制造显示屏的方法以及用于显示屏基板的支持台转让专利
申请号 : CN200680000241.X
文献号 : CN100580849C
文献日 : 2010-01-13
发明人 : 米原浩幸 , 铃木雅教 , 森田真登 , 足立大辅 , 赤田靖幸 , 谷本宪司
申请人 : 松下电器产业株式会社
摘要 :
制造显示屏的方法包括在基板(23)上形成材料层的材料层形成步骤，将形成有材料层的基板(23)设置于支持台(20)上进行加热烘焙的烘焙步骤，支持台(20)由第一支持台(21)和设置于第一支持台(21)上的第二支持台(22)形成。第二支持台(22)和基板(23)之间的热膨胀系数差设置为小于第一支持台(21)和基板(23)之间的热膨胀系数差，并且在烘焙步骤中，基板(23)设置于第二支持台(22)上使得第二支持台(22)存在于基板(23)的周边，以抑止玻璃基板表面擦痕的产生。
权利要求 :
1.一种制造显示屏的方法，该方法包括以下步骤：
在基板上形成材料层；以及
将形成有所述材料层的所述基板设置于支持台上进行加热烘焙；
其中，所述支持台包括第一支持台和设置于所述第一支持台上的第二 支持台；
其中，所述第二支持台的热膨胀系数和所述基板的热膨胀系数之间的 差值设置为小于所述第一支持台的热膨胀系数和所述基板的热膨胀系数之 间的差值；并且在用于加热烘焙的所述加热烘焙步骤中，将所述基板与所述第二支持 台相接触地设置于所述第二支持台上使得所述第二支持台存在于所述基板 周围。
2.根据权利要求1所述的制造方法，其中，所述第二支持台为设置于 所述第一支持台上的条状组件。
3.根据权利要求1所述的制造方法，其中，所述第二支持台由含钛金 属板制成。
4.根据权利要求1所述的制造方法，其中，所述第一支持台和所述第 二支持台当中的至少一个支持台设置有抑止移动装置，以抑止所述第二支 持台在所述第一支持台上移动。
5.根据权利要求1所述的制造方法，其中，所述第二支持台分割为多 个台，在所述加热烘焙步骤中，对于横跨所述多个所述第二支持台的一块 所述基板进行加热烘焙，其中，调节所述第二支持台使得各所述第二支持 台的热膨胀方向与所述基板的热膨胀方向一致或近似。
6.根据权利要求5所述的制造方法，其中，调节所述各第二支持台的 热膨胀中心点使其位于所述第一支持台上的中心点或中心点的附近。
7.根据权利要求5所述的制造方法，其中所述第二支持台由含钛金属 板制成。
8.一种支持台，在该支持台上设置用于显示屏的基板以进行加热烘焙， 该支持台包括，第一支持台；和
设置于所述第一支持台上的第二支持台，
其中，所述第二支持台的热膨胀系数和所述基板的热膨胀系数之间的 差值设置为小于所述第一支持台的热膨胀系数和所述基板的热膨胀系数之 间的差值，其中所述第二支持台具有这样的结构，使得当所述基板与所述第二支 持台相接触地设置于所述第二支持台上时，所述第二支持台存在于所述基 板的周围。
9.根据权利要求8所述的支持台，其中，所述第一支持台在其承载所 述第二支持台的表面上设置有槽，并且所述第二支持台由沿着所述第一支 持台的表面成形的薄板构成。
10.根据权利要求8所述的支持台，其中，所述第二支持台具有凸凹 部。
11.根据权利要求8所述的支持台，其中，所述第二支持台为设置于 所述第一支持台上的条状组件。
12.根据权利要求8所述的支持台，其中，所述第二支持台由含钛金 属板制成。
13.根据权利要求8所述的支持台，其中，所述第一支持台和所述第 二支持台中的至少一个支持台设置有抑止移动装置，以抑止所述第二支持 台在所述第一支持台上移动。
14.根据权利要求8所述的支持台，其中，所述第二支持台分割为多 个台，并且一块所述基板横跨所述多个所述第二支持台，其中所述支持台 具有调节部件以调节所述第二支持台使得各所述第二支持台的热膨胀方向 与所述基板的热膨胀方向一致或近似。
15.根据权利要求14所述的支持台，其中，所述调节部件进行调节， 使得各所述第二支持台的热膨胀中心点位于所述第一支持台上的中心点或 中心点的附近。
16.根据权利要求15所述的支持台，其中，所述调节部件包括设置于 所述第一支持台的调节销和设置于所述第二支持台的开口，其中所述开口 与所述调节销相匹配，并且其长轴的中心线通过所述第一支持台上的中心 点或中心点的附近。
17.根据权利要求16所述的支持台，其中，沿着所述开口的长轴线方 向的开口长度“W”和所述第二支持台的热膨胀中心点与所述开口的中心 点之间的距离“L”符合下式(1)：W＞(第二支持台的热膨胀系数)×Tf×L (1)
其中，Tf＝烘焙温度，L＝所述第二支持台的所述热膨胀中心点到所述 开口中心的距离，W＝开口长度。
18.根据权利要求14所述的支持台，其中，横跨多个所述第二支持台 的所述基板的中心点与所述第二支持台的热膨胀中心点之间的距离与所述 基板的热膨胀系数和所述第二支持台的热膨胀系数的关系由下式(2)表示：e＜1/(2×(所述基板和所述第二支持台的热膨胀系数差)×Tf)(2)其中，e＝所述基板的中心点和所述第二支持台的热膨胀中心点之间的 距离，Tf＝烘焙温度。
19.根据权利要求14所述的支持台，其中，所述第二支持台由含钛金 属板制成。
说明书 :
技术领域
本发明涉及制造显示屏的方法，特别地，涉及抑止产生显示屏表面擦 痕的方法，还涉及用于显示屏的基板的支持台。
背景技术
作为一类显示屏的等离子体显示屏(下文简称“PDP”或“显示屏”) 由彼此相对的前板和后板组成，并且这些板在其周边用密封组件密封。在 前板和后板之间形成放电空间，并且在放电空间中填充诸如氖和氙的放电 气体。
前板包括以下部件：
多个显示电极对，包括扫描电极和维持电极，均以条状图案形成在玻 璃基板的表面；以及
电介质层和保护层，均覆盖所述显示电极对。
每个显示电极对由透明电极以及形成于该透明电极上的金属辅助电极 组成。
后板包括以下部件：
多个寻址电极，以条状图案沿着与显示电极对成直角交叉的方向形成 在另一玻璃基板上；
基电介质(base dielectric)层，覆盖着这些寻址电极；
障壁，以条状图案形成并沿着各寻址电极分割放电空间；以及
荧光粉层，在障壁之间各槽内依次涂布有红、绿和蓝各色荧光粉。
显示电极对与寻址电极以直角交叉，其交叉部构成放电单元。这些放 电单元呈矩阵排列，在沿显示电极对方向上，相邻的涂有红、绿和蓝色荧 光粉的三个放电单元组成的放电单元组构成用于彩色显示的像素。PDP通 过以下机理显示彩色视频图像：给定的电压依次施加到扫描电极和寻址电 极之间，以及扫描电极和维持电极之间，从而产生气体放电，该气体放电 产生紫外线。该紫外线激发荧光粉层以发光，从而显示彩色视频图像。
前板和后板以如下方法制造：诸如显示电极对以及电介质层等的结构 部件以给定的形状和图案配置在前玻璃基板上。诸如寻址电极，基电介质 层，障壁以及荧光粉层等的结构部件以给定形状和图案配置在后玻璃基板 上。这些部件各自的材料被涂敷在各玻璃基板上，根据需要通过光刻法或 喷砂法进行图案化后被烘焙。
将上述预定的材料涂敷于各玻璃基板上以形成材料层，然后烘焙硬化 该层，从而在玻璃基板上形成各结构部件。在烘焙硬化步骤中，玻璃基板 设置于支持台上并与支持台一起放入烘焙炉内以烘焙材料层。在烘焙炉中， 温度保持在高达500-600℃，因此支持台由诸如玻璃陶瓷(neoceram) N-0或N-11(日本电气玻璃公司(Nippon Electric Glass Co.Ltd.)的产品 名称)的陶瓷材料制成，因为它们有高耐热性，并且玻璃基板使用高抗形变 玻璃。在前述的烘焙硬化步骤中防止支持台和基板发生错位的实例公开于 日本待审专利申请公报No.2003-51251中。
但是，在上述将拥有各种电极和材料层的玻璃基板设置在支持台上并 送入烧结炉的烘焙硬化步骤中，由于支持台和基板之间的热膨胀系数的差 异，而在接触支持台的玻璃基板表面上产生多个小的擦痕。具体而言，热 膨胀系数为-0.4×10-6/℃的耐热材料用作支持台，而热膨胀系数为8.3× 10-6/℃的高抗形变玻璃用作玻璃基板。由于支持台和基板之间的热膨胀系 数差值，玻璃基板表面与支持台发生摩擦，因此产生擦痕。在后板上的这 些擦痕不会什么特别的影响，但是，如果擦痕在用于显示视频影像的前板 上，则会降低显示质量从而引起生产率下降的问题。
前板包括以下部件：
多个显示电极对，包括扫描电极和维持电极，均以条状图案形成在玻 璃基板的表面；以及
电介质层和保护层，均覆盖所述显示电极对。
每个显示电极对由透明电极以及形成于该透明电极上的金属辅助电极 组成。
后板包括以下部件：
多个寻址电极，以条状图案沿着与显示电极对成直角交叉的方向形成 在另一玻璃基板上；
基电介质(base dielectric)层，覆盖着这些寻址电极；
障壁，以条状图案形成并沿着各寻址电极分割放电空间；以及
荧光粉层，在障壁之间各槽内依次涂布有红、绿和蓝各色荧光粉。
显示电极对与寻址电极以直角交叉，其交叉部构成放电单元。这些放 电单元呈矩阵排列，在沿显示电极对方向上，相邻的涂有红、绿和蓝色荧 光粉的三个放电单元组成的放电单元组构成用于彩色显示的像素。PDP通 过以下机理显示彩色视频图像：给定的电压依次施加到扫描电极和寻址电 极之间，以及扫描电极和维持电极之间，从而产生气体放电，该气体放电 产生紫外线。该紫外线激发荧光粉层以发光，从而显示彩色视频图像。
前板和后板以如下方法制造：诸如显示电极对以及电介质层等的结构 部件以给定的形状和图案配置在前玻璃基板上。诸如寻址电极，基电介质 层，障壁以及荧光粉层等的结构部件以给定形状和图案配置在后玻璃基板 上。这些部件各自的材料被涂敷在各玻璃基板上，根据需要通过光刻法或 喷砂法进行图案化后被烘焙。
将上述预定的材料涂敷于各玻璃基板上以形成材料层，然后烘焙硬化 该层，从而在玻璃基板上形成各结构部件。在烘焙硬化步骤中，玻璃基板 设置于支持台上并与支持台一起放入烘焙炉内以烘焙材料层。在烘焙炉中， 温度保持在高达500-600℃，因此支持台由诸如玻璃陶瓷(neoceram) N-0或N-11(日本电气玻璃公司(Nippon Electric Glass Co.Ltd.)的产品 名称)的陶瓷材料制成，因为它们有高耐热性，并且玻璃基板使用高抗形变 玻璃。在前述的烘焙硬化步骤中防止支持台和基板发生错位的实例公开于 日本待审专利申请公报No.2003-51251中。
但是，在上述将拥有各种电极和材料层的玻璃基板设置在支持台上并 送入烧结炉的烘焙硬化步骤中，由于支持台和基板之间的热膨胀系数的差 异，而在接触支持台的玻璃基板表面上产生多个小的擦痕。具体而言，热 膨胀系数为-0.4×10-6/℃的耐热材料用作支持台，而热膨胀系数为8.3× 10-6/℃的高抗形变玻璃用作玻璃基板。由于支持台和基板之间的热膨胀系 数差值，玻璃基板表面与支持台发生摩擦，因此产生擦痕。在后板上的这 些擦痕不会什么特别的影响，但是，如果擦痕在用于显示视频影像的前板 上，则会降低显示质量从而引起生产率下降的问题。
发明内容
本发明提出了制造显示屏的方法，该方法包括以下步骤：
在基板上形成材料层；以及
将形成有材料层并放置于支持台上的基板进行烘焙；
支持台由第一支持台和设置于第一支持台上的第二支持台组成。第二 支持台和基板之间的热膨胀系数差值设置为小于第一支持台和基板之间的 热膨胀系数差值。在烘焙步骤中，将基板设置于第二支持台上以使第二支 持台位于基板的周围，然后烘焙炉产生热量进行烘焙。
前述的制造方法能够减少由于所述支持台与所述基板之间的热膨胀系 数之差而导致的擦痕的产生。因为在烘焙步骤中，基板放置在第二支持台 上，使得第二支持台位于基板的周围，而第二支持台与基板之间热膨胀系 数差值小于第一支持台与基板之间热膨胀系数。该方法还可以防止由第二 支持台的端部的摩擦而引起的擦痕。结果，可以获得高品质的显示屏。
在基板上形成材料层；以及
将形成有材料层并放置于支持台上的基板进行烘焙；
支持台由第一支持台和设置于第一支持台上的第二支持台组成。第二 支持台和基板之间的热膨胀系数差值设置为小于第一支持台和基板之间的 热膨胀系数差值。在烘焙步骤中，将基板设置于第二支持台上以使第二支 持台位于基板的周围，然后烘焙炉产生热量进行烘焙。
前述的制造方法能够减少由于所述支持台与所述基板之间的热膨胀系 数之差而导致的擦痕的产生。因为在烘焙步骤中，基板放置在第二支持台 上，使得第二支持台位于基板的周围，而第二支持台与基板之间热膨胀系 数差值小于第一支持台与基板之间热膨胀系数。该方法还可以防止由第二 支持台的端部的摩擦而引起的擦痕。结果，可以获得高品质的显示屏。
附图说明
图1为示出PDP结构的透视图。
图2A为示出了根据本发明第一实施例的制造显示屏的方法中所使用 的支持台的结构的平面图。
图2B为示出了根据本发明第一实施例的制造显示屏的方法中所使用 的支持台的前视图。
图3示出了根据本发明第二实施例的制造显示屏的方法中所使用的支 持台结构。
图4示出了根据本发明第二实施例的制造显示屏的方法中所使用的修 改了的支持台的结构。
图5示出了显示根据本发明第三实施例的制造显示屏的方法中所使用 的支持台的结构。
图6A为示出了根据本发明第三实施例的制造显示屏的方法中所使用 的修改了的支持台的结构的平面图。
图6B为示出了根据本发明第三实施例的制造显示屏的方法中所使用 的修改了的支持台的结构的前视图。
图7A为示出了根据本发明第三实施例的制造显示屏的方法中所使用 的另一修改了的支持台的结构的平面图。
图7B为图7A中沿7B-7B线截取的剖面图。
图8A为示出了根据本发明第三实施例的制造显示屏的方法中所使用 的另一修改了的支持台的结构的平面图。
图8B为图8A中沿8B-8B线截取的剖面图。
图9A为示出了根据本发明第三实施例的制造显示屏的方法中所使用 的修改了的支持台的结构的平面图。
图9B为图9A中沿9B-9B线截取的剖面图。
图10A为示出了根据本发明第三实施例的制造显示屏的方法中所使用 的另一修改了的支持台的结构的平面图。
图10B为图10A中沿10B-10B线截取的剖面图。
图11A为示出了根据本发明第四实施例的制造显示屏的方法中所使用 的支持台的结构的平面图。
图11B为图11A中沿x方向截取的剖面图。
图11C为图11A的沿y方向截取的剖面图。
图12A为示出了根据本发明第四实施例的制造显示屏的方法中所使用 的修改了的支持台的结构的平面图。
图12B为图12A中沿x方向截取的剖面图。
图13A为示出了显示根据本发明第四实施例的变形例的制造显示屏的 方法中所使用的修改了的支持台的结构的平面图。
图13B为图13A中沿x方向截取的剖面图。
图13C为图13A中沿y方向截取的剖面图。
图14A为示出了根据本发明第五实施例的制造显示屏的方法中所使用 的支持台的结构的平面图。
图14B为图14A中沿14B-14B线截取的剖面图。
图15A为图14A的“C”部的细节的剖面图。
图15B为图14A的“C”部的细节的平面图。
图16为示出了根据本发明第五实施例的制造显示屏的方法中所使用 的不具有调节部件的支持台的结构的平面图。
图17为示出了根据本发明第六实施例的制造显示屏的方法中所使用 的支持台的结构的平面图。
图18为示出了根据本发明第七实施例的制造显示屏的方法中所使用 的支持台的结构的平面图。
图19为示出了根据本发明第八实施例的制造显示屏的方法中所使用 的支持台的结构的平面图。
图20A为示出了制造显示屏的方法中所使用的现有支持台的结构的平 面图。
图20B为显示制造显示屏的方法中所使用的现有支持台的结构的前视 图。
附图标记说明
1PDP
2前板
3前玻璃基板
4扫描电极
5维持电极
6显示电极
7黑条(遮光层)
8电介质层
9保护层
10后板
11后玻璃基板
12寻址电极
13基电介质层
14障壁
15荧光粉层
16放电空间
20，63支持台
21，24，28，31，33，35，38，42，50，54，55，61第一支持台
22，25，29，30，32，34，36，39，43，45，62，70，90，91，92， 93第二支持台
23基板
26槽
27，30，53，58空间
32a第一弯曲部
32b第二弯曲部
33a突出部
35a，39a，42a孔
37，41固定组件
40a，40b板状组件
44，45a突出部
51，56，57条状组件
64，64a，64b，64c，94a，94b，94c，94d，94e，94f，94h调节部 件
65开口
66调节销
67，80，81中心线
68孔
69，82，83，100，101，102，103中心点
71，72，74重心
220结构部件
图2A为示出了根据本发明第一实施例的制造显示屏的方法中所使用 的支持台的结构的平面图。
图2B为示出了根据本发明第一实施例的制造显示屏的方法中所使用 的支持台的前视图。
图3示出了根据本发明第二实施例的制造显示屏的方法中所使用的支 持台结构。
图4示出了根据本发明第二实施例的制造显示屏的方法中所使用的修 改了的支持台的结构。
图5示出了显示根据本发明第三实施例的制造显示屏的方法中所使用 的支持台的结构。
图6A为示出了根据本发明第三实施例的制造显示屏的方法中所使用 的修改了的支持台的结构的平面图。
图6B为示出了根据本发明第三实施例的制造显示屏的方法中所使用 的修改了的支持台的结构的前视图。
图7A为示出了根据本发明第三实施例的制造显示屏的方法中所使用 的另一修改了的支持台的结构的平面图。
图7B为图7A中沿7B-7B线截取的剖面图。
图8A为示出了根据本发明第三实施例的制造显示屏的方法中所使用 的另一修改了的支持台的结构的平面图。
图8B为图8A中沿8B-8B线截取的剖面图。
图9A为示出了根据本发明第三实施例的制造显示屏的方法中所使用 的修改了的支持台的结构的平面图。
图9B为图9A中沿9B-9B线截取的剖面图。
图10A为示出了根据本发明第三实施例的制造显示屏的方法中所使用 的另一修改了的支持台的结构的平面图。
图10B为图10A中沿10B-10B线截取的剖面图。
图11A为示出了根据本发明第四实施例的制造显示屏的方法中所使用 的支持台的结构的平面图。
图11B为图11A中沿x方向截取的剖面图。
图11C为图11A的沿y方向截取的剖面图。
图12A为示出了根据本发明第四实施例的制造显示屏的方法中所使用 的修改了的支持台的结构的平面图。
图12B为图12A中沿x方向截取的剖面图。
图13A为示出了显示根据本发明第四实施例的变形例的制造显示屏的 方法中所使用的修改了的支持台的结构的平面图。
图13B为图13A中沿x方向截取的剖面图。
图13C为图13A中沿y方向截取的剖面图。
图14A为示出了根据本发明第五实施例的制造显示屏的方法中所使用 的支持台的结构的平面图。
图14B为图14A中沿14B-14B线截取的剖面图。
图15A为图14A的“C”部的细节的剖面图。
图15B为图14A的“C”部的细节的平面图。
图16为示出了根据本发明第五实施例的制造显示屏的方法中所使用 的不具有调节部件的支持台的结构的平面图。
图17为示出了根据本发明第六实施例的制造显示屏的方法中所使用 的支持台的结构的平面图。
图18为示出了根据本发明第七实施例的制造显示屏的方法中所使用 的支持台的结构的平面图。
图19为示出了根据本发明第八实施例的制造显示屏的方法中所使用 的支持台的结构的平面图。
图20A为示出了制造显示屏的方法中所使用的现有支持台的结构的平 面图。
图20B为显示制造显示屏的方法中所使用的现有支持台的结构的前视 图。
附图标记说明
1PDP
2前板
3前玻璃基板
4扫描电极
5维持电极
6显示电极
7黑条(遮光层)
8电介质层
9保护层
10后板
11后玻璃基板
12寻址电极
13基电介质层
14障壁
15荧光粉层
16放电空间
20，63支持台
21，24，28，31，33，35，38，42，50，54，55，61第一支持台
22，25，29，30，32，34，36，39，43，45，62，70，90，91，92， 93第二支持台
23基板
26槽
27，30，53，58空间
32a第一弯曲部
32b第二弯曲部
33a突出部
35a，39a，42a孔
37，41固定组件
40a，40b板状组件
44，45a突出部
51，56，57条状组件
64，64a，64b，64c，94a，94b，94c，94d，94e，94f，94h调节部 件
65开口
66调节销
67，80，81中心线
68孔
69，82，83，100，101，102，103中心点
71，72，74重心
220结构部件
具体实施方式
下面对本发明的示例性具体实施例参照附图予以说明。
第一实施例
本发明适用于经历对由结构部件组成并形成在玻璃基板上的材料层进 行烘焙硬化的制造步骤的显示屏，例如，PDP。在本发明的实施例中，将 使用PDP作为显示屏的实例进行说明。
图1所示为PDP的透视图。PDP的基本结构与广泛使用的表面放电 式交流PDP相似。如图1所示，PDP1包括以下部件：
包括前玻璃基板3的前板2；
包括后玻璃基板11的后板10，其与前板2相对；
由玻璃粉组成的密封组件，用于以不透气的方式将前板2和后板10 的周边密封。
例如氖(Ne)和氙(Xe)的放电气体以400～600Torr的压力填充在 密封的PDP1内的放电空间16中。
在前板2的前玻璃基板3的主面上，由扫描电极4和维持电极5组成 每一对的多个显示电极对6以条状排列并与多个黑条7(遮光层)相平行。 由Pb-B系玻璃制成并用作电容器的电介质层8形成在这些显示电极对6 和黑条(遮光层)7上。由氧化镁(MgO)制成的保护层9形成在电介质层8 的表面。
在后板10的后玻璃基板11的主面上，沿着与扫描电极4和维持电极 5垂直交叉的方向，多个条状寻址电极12彼此平行布置，并且基电介质层 13覆盖寻址电极12。具有给定高度的障壁14在寻址电极12之间形成于基 电介质层13之上，使得障壁14分割放电空间16。荧光粉层15涂敷于障 壁14之间的槽。荧光粉层15在紫外线照射下在每个寻址电极12上依次发 出红光、绿光和蓝光。放电单元形成在扫描电极4，维持电极5和寻址电 极12的交叉位置上。沿显示电极对6方向上排列的具有红，绿和蓝荧光粉 层15的放电单元构成用于进行彩色显示的像素。
下面说明制作PDP的方法。首先，扫描电极4，维持电极5和遮光层 7形成在前玻璃基板3的主面上。扫描电极4和维持电极5包括由铟锡氧 化物(ITO)和氧化锡(SnO2)制成的透明电极和由银膏制成的形成于 透明电极上的金属汇流电极。这些电极是以光刻法形成图案而制成的。这 些电极材料层在所希望的温度下烘焙硬化。遮光层7也是使用丝网印刷的 方法来施加包含黑色颜料的膏来形成图案，或在玻璃基板整面上施加包含 黑色颜料的膏后使用光刻法来形成图案，之后进行烘焙硬化该图案化的膏 而制成的。
电介质膏层(电介质材料层)是通过在前玻璃基板3上以挤压式涂布 法(die-coating)施加电介质膏而形成，使得该层覆盖扫描电极4，维持电 极5和遮光层7。之后将基板3静置一给定时间以使所施加的电介质膏表 面拉平从而变得平坦。之后，对电介质膏层进行烘焙硬化，从而制成覆盖 扫描电极4，维持电极5和遮光层7的电介质层8。电介质膏为包括诸如玻 璃粉，粘合剂以及溶剂等电介质物质的涂料。然后，由氧化镁(MgO)构 成的保护层9通过真空蒸着法形成在电介质层8上。给定的结构部件(扫 描电极4，维持电极5和遮光层7，电介质层8和保护层9)通过以上步骤 制成，从而完成前板2。
后板10由以下方法形成：首先，在后玻璃基板11的主面上形成金属 膜，例如，通过丝网印刷的方法施加银膏并形成图案，或者在基板11的整 个表面上形成金属膜后使用平板印刷法以形成图案，从而形成材料层以作 为用于寻址电极12的结构部件。该材料层在给定温度下进行烘焙硬化以制 成寻址电极12。然后，在后玻璃基板11上，通过挤压式涂布方法施加电 介质膏来形成电介质膏层，使得该电介质膏层覆盖寻址电极12。然后烘焙 电介质膏层以形成基电介质层13。电介质膏为包括诸如玻璃粉，粘合剂以 及溶剂等电介质材料的涂料。
之后，在基电介质层13上涂敷含有障壁材料的障壁制备膏，并进行图 案化处理以形成给定形式的图案，从而形成障壁层。将如此形成的障壁材 料层被烘焙硬化以制成障壁14。使用光刻法或喷砂法以使涂敷于基电介质 层13上的障壁制备膏形成图案。
然后，在彼此邻接的障壁14之间的基电介质层13上以及障壁14的侧 面，涂敷包含荧光粉材料的荧光粉膏然后烘焙硬化而形成荧光粉层15。通 过以上步骤，制成在后玻璃基板11上包括所述给定结构部件的后板10。
将如此获得的各自拥有给定部件的前板2和后板10放置为彼此相对， 并且扫描电极14和寻址电极12垂直交叉。两板的周边用玻璃料(glass frit) 密封，包含氖和氙等的放电气体填充入放电空间16中以制成PDP1。
如上所述，设置于前玻璃基板3的金属汇流电极(未图示)，遮光层 7，电介质层8以及设置于后玻璃基板11的寻址电极12，基电介质层13， 障壁14，以及荧光粉层15以如下方式形成：这些部件的相应材料分别涂 敷到前玻璃基板3或后玻璃基板11上，然后根据需要将这些材料形成图案， 于是将之烘焙硬化。烘焙步骤对于各组件分别在500-600℃进行。前板2 需要至少两次烘焙步骤，并且后板10需要至少四次烘焙步骤。
下面说明现有的烘焙步骤。图20A和20B示出了PDP的现有制作方 法中支持台的结构。图20A为平面图，图20B为前视图。玻璃基板200放 置于支持台210上，使其具有诸如各电极和材料层等的结构部件220的有 效面(active face)向上，并且玻璃基板200的另一面接触支持台210。这 种情况下，擦痕产生在玻璃基板200的与支持台210相接触的表面上。
擦痕是由于支持台210和基板200之间的热膨胀体积的不同引起的。 具体而言，支持台210使用热膨胀系数为-0.4×10-6/℃的耐热陶瓷，玻璃 基板200的热膨胀系数为8.3×10-6/℃。两数字之间的差如此之大使得支 持台210和基板200在处于烘焙炉中时会出现很大的热膨胀体积差。基板 越大的时候，出现的热膨胀体积差就成比例地增大。特别地，在由一个大 基板得到多个块的方法(即多个PDP由一个玻璃基板200制得)使如此大 的玻璃基板200被烘焙，以至于热膨胀体积差更大。从而基板200与支持 台210发生摩擦而在基板200上产生线状擦痕。线状擦痕的长度与基板200 的尺寸成比例地变长。
如图20A的箭头所示，玻璃基板200以热膨胀的中心点230为中心放 射状地热膨胀，所以由基板200和支持台210之间的摩擦而导致的线状擦 痕从中心点230呈放射状展开。通常，由均一组分形成的玻璃基板200的 情况下，中心点230与玻璃基板200的重心重合，线状擦痕的最大长度可 以通过基板200和支持台210之间的热膨胀体积差以及基板的尺寸大小计 算出来。
线状擦痕的最大长度可以用以下公式表示：(玻璃基板200和支持台 210的热膨胀系数差)×(烘焙温度)×(基板尺寸)。具有低热膨胀系 数的耐热陶瓷用作支持台210，并且以42寸(980mm×554mm)的通常 PDP用高抗形变玻璃作为玻璃基板200，这两种部件在600℃进行烘焙时， 玻璃基板200上产生的线状擦痕的最大长度可估计为3.4mm。不短于1mm 或有时0.7mm以上的线状擦痕可以很容易被看到，从而这些擦痕使得显示 质量明显下降。
图2A，2B示出了根据本发明第一实施例的制造显示屏方法中使用的 支持台的结构，图2A，2B示出了将基板放置在支持台上的状态。图2A 为平面图，图2B为侧视图。如这些图所示，支持台20包括第一支持台21 和第二支持台22，并且基板23放置在第二支持台22上。在此，基板23 代表在其上形成有PDP结构部件的前玻璃基板3以及后玻璃基板11。基 板23的一个面与第二支持台22相接触，而所述部件位于基板23另一侧的 表面上。基板23通过第二支持台22放置在第一支持台21上。
第一支持台21使用所述的低热膨胀系数的材料，其显示为较小值的α 值(-0.4×10-6/℃)。第二支持台22由薄的金属板制成。第二支持台22 和基板23之间的热膨胀系数差值设置为小于第一支持台21和基板23之间 的热膨胀系数差值。具体而言，如此选择第二支持台22的薄属板，使得第 二支持台22和基板23之间的热膨胀系数差值的绝对值不大于基板23和第 一支持台21之间的热膨胀系数差值的绝对值的一半，或优选不大于10％。 钛或钛合金可用作薄金属板。
如图2A所示，第二支持台22设置为存在于基板23的周围，即，设 置于第一支持台21上的第二支持台22的外围总是存在于设置于第二支持 台22上的基板23的外围。
如上所述，基板23设置于支持台20上，并且形成于基板23上的PDP 结构部件在烘焙炉中烘焙。前述的现有技术直接将基板23设置于第一支持 台21上以烘焙，所以基板23在烘焙过程中由于第一支持台21和基板23 之间的热膨胀体积差而在基板23与第一支持台21接触的表面引起擦痕。 用作第一支持台21的耐热陶瓷的热膨胀系数很小，而用作基板23的前玻 璃基板3或后玻璃基板11的热膨胀系数的幅值比耐热陶瓷的大一个数量 级。从而在烘焙炉的烘焙过程中第一支持台21和基板23之间的热膨胀体 积差很大。特别是，从一块基板获取用于PDP的多个前板2和后板10的 时候，即进行多面提取的时候，进行烧结的基板23变的很大，从而使得第 一支持台21和基板23之间的热膨胀体积差变的很大。由于这样的热膨胀 体积差，基板23与支持台21发生摩擦而产生擦痕。
本发明的这个实施例中，如图2所示，第二支持台22设置于第一支持 台21上，并且基板23设置于第二支持台22上。然后将他们置于烘焙炉中 对形成于基板23上的PDP结构部件的材料层进行烘焙。在这种情况下， 第二支持台22和基板23之间的热膨胀系数差值小于第一支持台21和基板 23之间的热膨胀系数差值，所以基板23和与基板23相接触的第二支持台 22之间的热膨胀体积差值变小。结果得以抑止基板23上产生擦痕。
例如，使用热膨胀系数为8.4×10-6/℃的钛制成的金属板作为第二支 持台22，由此在热膨胀系数方面，支持台22与热膨胀系数为8.3×10-6/ ℃的基板23的相近。此时，第二支持台22和基板23之间的热膨胀系数差 值与第一支持台21和基板23之间的热膨胀系数差值相比非常小。结果， 基板23上的线状擦痕的长度比基板23设置于第一支持台21上的情况下大 约小两个数量级。
另外，本实施例中，如图2所示第二支持台22存在于基板23的周围， 换句话说，设置于第一支持台21的第二支持台22的周边总是位于设置于 第二支持台22上的基板23的周边的外侧。如果第二支持台22的周边的端 部存在于基板23的内侧，则该周边的端部会使基板23上产生擦痕，但是 本实施例可以防止由此原因造成的擦痕。
如上所述，该第一实施例可以抑止由于支持台20和基板23之间的热 膨胀系数之差而造成的基板23的表面上的擦痕的产生。另外，还可以预防 由于基板23和第二支持台22的端部之间的摩擦而产生的擦痕，从而可以 获得高质量的显示屏。
第二实施例
第一实施例中说明的烘焙方法，是将平板状的基板23设置于平板状的 支持台22上并放入烘焙炉中进行烘焙，但是，第二支持台22和基板23 之间的空气膨胀，使得对于基板23出现浮力，从而使基板23在第二支持 台22上移动并且有时会引起损坏。类似现象同样会出现在第一支持台21 和第二支持台22之间，使得基板23不稳定，这引起其自身的损坏或者烘 焙炉的故障。第二实施例说明防止基板23表面上的擦痕以及防止基板23 损坏的支持台的结构。
图3所示为本发明第二实施例中制造显示屏的方法中所使用的支持台 的结构，并且图3显示出设置于这一支持台上的基板。第二实施例中使用 的显示屏的基板的结构与第一实施例中的保持不变，在此不再赘述。第一 支持台24和第二支持台25与第一实施例中的相应部分的结构有所不同。
具体而言，第一支持台24设置有槽26，第二支持台25由沿着含有槽 26的第一支持台24的表面的薄板形成。基板23设置于第二支持台25上， 并且在基板23和第二支持台25之间形成有空间27。形成第二支持台25 的薄板由与第一实施例中所使用的类似的金属板制成，因此该金属板含钛。 在基板23的周围存在有第二支持台25。
本发明的第二实施例可以减小在烘焙过程中第二支持台25和基板23 之间的热膨胀体积差，因此抑止基板23上的擦痕的产生。另外，形成于基 板23和第二支持台25之间的空间27在烘焙过程中可以减小对于基板23 产生的浮力，从而抑止基板23的滑动以防止基板23的损伤。
图4所示为根据本发明第二实施例的显示屏制备方法中所使用的修改 了的支持台的结构。具有凸凹部的第二支持台29设置于第一支持台28的 平坦表面上，从而在基板23和第二支持台29之间形成有空间30。第二支 持台29由与第一实施例中所使用的金属板类似的金属板制成，因此该金属 板包含钛。在基板23的周围存在有第二支持台29。
结果，在烘焙过程中第二支持台29和基板23之间的热膨胀体积差变 小，从而可以抑止基板23上的擦痕的产生。形成于基板23和第二支持台 29之间的空间30可以减小对于基板23的浮力，从而抑止基板23的滑动 以防止基板23的损伤。
第三实施例
图5所示为根据本发明第三实施例的制造显示屏的方法中所使用的支 持台的结构。显示屏的第三实施例中使用的基板的结构相对于第一实施例 不变，因此不再赘述。第三实施例使用抑止移动装置以抑止第二支持台在 第一支持台上的移动。
如图5所示，由薄板形成的第二支持台32设置于第一支持台31上， 并且基板23设置于第二支持台32上。第二支持台32包括向上弯曲的第一 弯曲部32a和向下弯曲的第二弯曲部32b。第二弯曲部32b用作抑止移动 装置。设置第二弯曲部32b使得其分别面对第一支持台31的四个侧面，从 而得以防止第二支持台32在第一支持台31上的滑动。第一弯曲部32a的 设置使得可以防止基板23的大幅滑动。第二支持台32与第一实施例同样 由含钛的金属板制得。
前述结构可以减小烘焙过程中第二支持台32和基板23之间的热膨胀 体积差，因此抑止基板23的擦痕的产生。而且，该结构可以抑止第二支持 台32或基板23在烘焙过程中的滑动，从而防止基板23的损坏和烘焙炉的 故障。
图6A和6B所示为本发明第三实施例的制造显示屏的方法所使用的修 改了的支持台的结构。如图6A和6B所示，由薄板制得的第二支持台34 设置于第一支持台33上，并且基板23设置于第二支持台34上。第一支持 台34在其拐角处分别具有四个突出部33a，并且从正上方看各突出部33a 在平面图中显示为直角三角形。第二支持台34为四个拐角处被切除的长方 形，各切除后的角与突出部33a的直角三角形的斜边相对。该结构可以防 止第二支持台34发生滑动以及偏离其在第一支持台33上的位置。第二支 持台34由与第一实施例相类似的含钛的金属板制得，从而在烘焙过程中第 二支持台34和基板23之间的热膨胀体积差变小。因此可以抑止基板23 上的擦痕的产生。
图7A和7B所示为根据本发明第三实施例的制造显示屏的方法中所使 用的另一修改了的支持台的结构。图7A为平面图并且图7B显示图7A中 沿7B-7B线的剖面图。如图7A和7B所示，第二支持台36设置于第一 支持台35上，并且基板23设置于第二支持台36上。
多个孔35a设置于第一支持台35使得多个孔35a环绕第二支持台36， 并且如图7A所示，形成第二支持台36的薄板的每个边设置有两个孔35a。 并且，在每个孔35a里镶嵌有固定组件37，每个固定组件37用作抑止移 动装置。固定组件37防止在烘焙过程中的第二支持台36在第一支持台35 上滑动，并且如果基板大幅度偏离其位置，固定组件37也可用作基板23 的止动件。第二支持台36由与第一实施例类似的含钛金属板制得，所以在 烘焙过程中第二支持台36和基板23之间的热膨胀体积差变小，从而抑止 基板23上产生的擦痕。考虑到热膨胀的影响，在第二支持台36和固定组 件37之间设置有空间。
图8A和8B所示为本发明第三实施例的制造显示屏的方法中所使用的 另一修改了的支持台的结构。图8A为平面图并且图8B为图8A中沿8B -8B线截取的剖面图。如图8A和8B所示，第二支持台39设置于第一支 持台38上，并且基板23设置于第二支持台39上。
多个孔39a设置于第一支持台38上使得多个孔39a围绕第二支持台 39，并且如图8A所示，第二支持台39的各边设置有两个孔39a。板状组 件40a，40b作为抑止移动装置，分别对应于台39的各边设置。板状组件 40a，40b由固定组件41在孔39a处固定在第一支持台38上。板状组件40a 设置于第二支持台39的周围，并且板状组件40b覆盖在板状组件40a上， 使得板状组件40b的端部与第二支持台39的端部相重叠。在烘焙过程中， 这些板状组件40a，40b可以防止第二支持台39由于在第一支持台38上滑 动而偏离其位置。如果基板23大幅度偏移其位置，板状组件40b也可以作 为基板23的止动件。第二支持台39由与第一实施例中使用的相类似的含 钛金属板制成，因此在烘焙过程中第二支持台39和基板23之间的热膨胀 体积差变小，从而可以抑止基板23上擦痕的产生。板状组件40a和40b 可以合为一体。由于考虑到热膨胀的影响，在第二支持台39和板状组件 40a之间设置有空间。组件40a的厚度大于第二支持台39，使得在板状组 件40b的下边和第二支持台39的上表面之间预留空间以允许第二支持台 39热膨胀。
图9A和9B所示为根据本发明第三实施例的制造显示屏的方法中所使 用的修改了的支持台的结构。图9A为平面图，图9B为图9A中沿9B-9B 线的剖面图。如图9A和9B所示，第二支持台43设置于第一支持台42上。 虽然图中未示出，小于第二支持台43的基板23设置于第二支持台43上。
如图9A和9B所示，第一支持台42的中心部位设置有两个孔42a。 图9A显示两个孔42a设置为与第一支持台42的短边平行。由薄板制成的 第二支持台43的背面位置上设置有作为抑止移动装置的突出部44。突出 部44与孔42a相对应，并且该突出部44嵌入第一支持台42的孔42a。在 烘焙过程中，突出部44的存在可以防止第二支持台43由于在第一支持台 42上的滑动而偏离其位置，或防止由于在第一支持台42上的旋转而产生 的移动。第二支持台43由与第一实施例中相类似的含钛的金属板制得，因 此在烘焙过程中第二支持台43和基板23之间的热膨胀体积差减小，从而 可以抑止基板23上的擦痕的产生。突出部44的数量和位置可以任意确定， 但是，至少设置两个突出部44即可以防止第二支持台43发生旋转或平行 移动。
图10A和10B所示为根据本发明第三实施例的制造显示屏的方法中所 使用的修改了的支持台的结构。图10A为平面图并且图10B为图10A中 沿10B-10B线的剖面图。如图10A和10B所示，第二支持台45设置于 第一支持台42上。虽然图中未示出，但是小于第二支持台45的基板23 设置于第二支持台45上。
如图10A和10B所示，第一支持台42中心部设置有两个孔42a。图 10A所示两个孔42a设置为与第一支持台42的短边平行。在第二支持台 45的背面的中心部设置有作为抑止移动装置的两个突出部45a且该突出部 45a突出于第二支持台45的背面。这些突出部45a可以通过在由薄板制成 的第二支持台45上形成切口，并且使切口部分向第二支持台45的薄板背 面弯曲而形成。如果设置有基板23的表面上有一些尖点部，所述尖点部会 在基板23上引起擦痕。可以将第二支持台45上的切口部分适度地弯曲， 从而在设置有基板23的表面不产生尖点部。突出部45a嵌入第一支持台 42上的孔42a。
与图9A和9B所示的情况相同，突出部45a的存在使得在烘焙过程中， 可以防止第二支持台45由于在第一支持台42上滑动而偏离其位置，或由 于在第一支持台42上旋转而移动。第二支持台45由与第一实施例中所使 用的相类似的含钛金属板制得，因此在烘焙过程中第二支持台45和基板 23之间的热膨胀体积差可以减小，从而抑止基板23上擦痕的产生。突出 部45a的数量和位置可以任意确定，但是至少两个突出部45a即可以防止 第二支持台45发生旋转或平行移动。
在第一到第三实施例中，基板23优选地设置于第二支持台上，使得基 板23的中心点与第二支持台的中心点吻合。这样的设置使得基板23的热 膨胀方向与第二支持台的热膨胀方向相一致。如果基板23大于第二支持 台，基板23会碰到第二支持台的边缘，基板23上会因此而出现擦痕。但 是，在第一到第三实施例中，由于基板23设置于第二支持台上使得第二支 持台存在于基板23的周围，这种擦痕不会产生。
第四实施例
下面参照附图说明本发明的第四实施例。在前述的第一到第三实施例 中，使用由薄板制得的第二支持台，但是第四实施例中使用条状组件作为 第二支持台。
图11A，11B和11C所示为根据本发明的第四实施例的制造显示屏方 法中使用的支持台的结构，这些附图示出了设置在支持台上的基板。PDP 的基板具有与第一实施例所述的相类似的结构，在此不再赘述。在该第四 实施例中，第二支持台的结构与第一和第二实施例中的不同。
图11A为平面图，图11B为图11A中沿x方向的剖面图。图11C为 图11A中沿y方向的剖面图。如图11A，11B和11C所示，第一支持台50 上具有多个相互平行的形成条状图案的槽，并且用作第二支持台的条状组 件51插入该槽中。基板23设置于用作第二支持台的条状组件51上，并且 在此状态下，在基板23和第一支持台50之间形成空间53，即条状组件51 位于第一支持台50和基板23之间。第一支持台50由与第一到第三实施例 中相类似的诸如耐热陶瓷的具有低热膨胀系数的材料制得。用作第二支持 台的条状组件51由与第一到第三实施例相类似的与第二支持台的薄金属 板相同的金属制得，该金属包含例如钛或者钛合金。
在图11A，11B和11C所示的状态下，第一支持台50放入烘焙炉中 以烘焙形成于基板23上的材料层。在这种情况下，条状组件51和基板23 之间的热膨胀系数差很小而使得在烘焙过程中条状构件51和基板23之间 的热膨胀体积差很小，因此可以抑止基板23上擦痕的产生。基板23和第 一支持台50之间的空间53的存在使得可以减小在烘焙过程中对于基板23 产生的浮力，因此防止基板23从其位置偏离。
图12A和12B显示了根据本发明第四实施例的用于制造显示屏的方法 中使用的修改了的支持台的结构。图12A为平面图，图12B为图12A中 沿x方向的剖面图。
如图12A和12B所示，在第一支持台54的表面上，形成有从第一支 持台54的中心呈放射状布置的多个条状槽。用作第二支持台的条状组件 51插入该槽中。当基板23设置于条状组件51上时，在基板23和第一支 持台54之间形成空间(未示出)。在图12A和12B中，考虑到在烘焙过 程中基板23以放射状热膨胀，而设置条状组件51。根据该结构，条状组 件51和基板23之间的热膨胀系数差很小，使得他们之间的热膨胀体积差 很小。另外，这两个部件在相同方向上热膨胀，因此基板23上的擦痕的产 生得以抑止。基板23和第一支持台54之间的空间的存在使得可以减小在 烘焙过程中对于基板23的浮力，从而可以抑止基板23从其位置偏移。
图13A，13B和13C所示为根据本发明第四实施例的制造显示屏的方 法中所使用的另一修改的支持台的结构。图13A为平面图，13B为图13A 中沿x方向的剖面图，图13C为图13A中沿y方向的剖面图。
如图13A，13B和13C所示，在第一支持台55上，形成有多个彼此 平行的条状图案的槽，并且用作第二支持台的条状组件56，57插入该槽中。 基板23设置于条状组件56上，在此状态下，在基板23和第一支持台55 之间形成空间58。每个条状组件56的两端均比条状构件56的其他部分粗， 并且基板23设置于条状组件56的薄部上。该结构使得可以防止基板23 在烘焙过程中沿x方向的滑动。图13A所示分别设置于第一支持台55的 上端和下端的条状组件57足够粗以防止基板23沿y方向滑动。
第一支持台55由具有低热膨胀系数的诸如耐热陶瓷的材料构成，并且 条状组件56，57由与条状组件51相同的金属构成。该结构使得可以减小 条状组件56，57和基板23之间的热膨胀系数差，从而使得他们之间的热 膨胀体积差减小。从而可以更进一步抑止基板23上擦痕的产生。基板23 和第一支持台55之间的空间58的存在可以减小在烘焙过程中对于基板23 的浮力，因此可以抑止基板23从其位置偏离。
第五实施例
图14A，14B所示为根据本发明第五实施例的制造显示屏的方法中所 使用的支持台的结构。图14A为平面图，图14B为图14A中沿14B-14B 线的剖面图。图15A所示为图14A所示的“C”部的细节的剖面图，图15B 所示为“C”部的细节的平面图。
如图14B所示，基板23设置于由第一支持台61和第二支持台62组 成的支持台63上。基板23包括具有结构部件的后玻璃基板11和前玻璃基 板3，所述结构部件例如为，在其上形成的，即形成在基板23的上表面的 各种电极层和材料层。第二支持台62分割为两部分，一块基板23设置于 第二支持台62上使其横跨第二支持台62的两部分。第一支持台61由热膨 胀系数小的耐热材料制成，其热膨胀系数大约为-0.4×10-6/℃。第二支持 台62由与第一到第三实施例类似的含诸如钛或钛合金的薄金属板制成。
第二支持台62分割为两部分的原因是：最近PDP的尺寸增大，并且 使用多面提取制造方法以提高生产率。这些情况使得在烘焙步骤中的基板 23可以是增大尺寸的基板，因此需要特别大尺寸的第二支持台62。但是， 由大的金属板制成的如此大的支持台62在市场上可提供的数量有限，因此 支持台62的价格也非常昂贵。因此，本发明第五实施例使用多个小尺寸的 第二支持台62以减小成本并在烘焙步骤中简化操作。
如图14A和14B所示，在由薄金属板制成的第二支持台62的周围， 设置有多个调节部件64用以调节第二支持台62的热膨胀方向。如图14A， 14B，15A和15B所示，每个调节部件64由设置于第二支持台62的开口 65和固定于第一支持台61上的调节销66组成。开口65形状为具有长轴 线的矩形。
如图14A所示，设置于第二支持台62的调节部件64的开口65形成 为其长轴中心线67通过第一支持台61的中心点69。调节销66由耐热材 料诸如陶瓷制成。图15A所示的状态为调节销66插入设置于第一支持台 61的孔68中，但是，调节销也可以设置于第二支持台62上，使得调节销 可沿着设置于第一支持台61的开口的纵向方向上移动。
图16所示为没有调节部件的支持台的结构。两块没有调节部件的第二 支持台70相邻地设置于第一支持台61上，并且基板23设置于这两块支持 台70上。这两个支持台70分别以各自的重心71，72为热膨胀中心进行热 膨胀。换句话说，热膨胀不导致在第二支持台70的重心位置的移动，但沿 从重心发出的箭头方向会产生呈放射状热膨胀而产生移动。同时，与第二 支持台70的存在无关地，横跨这两块第二支持台70的基板23以其重心 74为膨胀中心进行热膨胀，所以使得基板23的热膨胀方向的重心74与第 二支持台70的热膨胀方向的重心71，72不相吻合。因此，使用两块第二 支持台70使得在烘焙过程中支持台70和基板23之间发生摩擦，从而在基 板23表面产生擦痕。
上述情况下，最大擦痕长度Smax可以近似由下面的公式(1)表示：
Smax＝2×(基板和第二支持台之间的热膨胀系数差)×Tf×d (1)
其中，Tf＝烘焙温度，d＝基板和第二支持台的热膨胀中心点之间的距 离。
以耐热陶瓷用作第一支持台61，以42寸的用于PDP的高抗形变玻璃 用作基板23，并且它们在600℃下烘焙，此时产生于基板23的最大擦痕长 度大约为1.4mm。
根据本发明的第四实施例，如图14A所示，通过调节调节部件64的 调节销66和开口65，设置于第一支持台61上的每个第二支持台62移动 被限制在沿着开口65的纵向方向上。换句话说，设置于第二支持台62的 开口65形成为，使得开口65的长轴中心线67经过第一支持台61的中心 点69。由于基板23由单板形成，所以它的热膨胀中心点与第一支持台61 的中心点69相一致。
第二支持台62被这样调节，第二支持台62的热膨胀方向被限制在以 中心点69为中心沿开口65的纵向方向上，因此，使得基板23的膨胀方向 与第二支持台62的膨胀方向相一致。第二支持台62由诸如钛等具有比第 一支持台61的热膨胀系数大的材料制成，使得第二支持台62和基板23 之间的热膨胀体积差变小。因此，由于基板23和第二支持台62之间的摩 擦而在基板23上产生的擦痕得以抑止，或擦痕的长度得以减小。前板2 和后板10的质量以及这两种板的生产率得以改善。
由于第二支持台62分割为数个台，基于多面板制造方法的大尺寸的玻 璃基板可使用这种尺寸小的第二支持台，从而费用得以降低。
第六实施例
图17所示为根据本发明第六实施例的制造显示屏的方法中所使用的 支持台的结构。如图17所示，两块第二支持台62沿着第一支持台61的长 边相邻设置。基板23横跨这两块第二支持台62。在基板23上形成PDP 结构部件的方法与前述的实施例中说明的方法保持不变，在此不再赘述。 在第六实施例中，与第五实施例类似的调节部件64设置于第二支持台62 的拐角处，这些拐角与第一支持台61的四个拐角相对应。设置于第二支持 台62的调节部件64的开口65形成为使其长轴中心线经过第一支持台61 的中心点69。
根据第六实施例的前述结构，可以在烘焙过程中调节第二支持台62 的热膨胀方向，使其与基板23的热膨胀方向相一致，因此基板23和第二 支持台62之间的摩擦可以减小。从而，基板23的擦痕的产生可得以进一 步抑止。
在第五和第六实施例中，使用了两块第二支持台，但是，也可以使用 诸如四块第二支持台以减小第二支持台的成本。
第七实施例
图18所示为根据本发明第七实施例的制造显示屏的方法中所使用的 支持台的结构。如图18所示，两块第二支持台62沿着第一支持台61的短 边相邻设置。基板23横跨这两块第二支持台62。两个第二支持台62中的 每一个设置有三个调节部件64a，64b和64c。这些调节部件的结构类似于 第五和第六实施例中所使用的，但是开口65的长轴方向与第五和第六实施 例中的不同。
具体而言，在图18中，设置于一个第二支持台62上的调节部件64a 的开口65的长轴中心线80与设置于同一个第二支持台62上的另一开口 65的调节部件64b的长轴中心线80相一致。并且形成在一个第二支持台 62上的调节部件64c的开口65的长轴中心线81与形成在另一个第二支持 台62上的另一调节部件64c的长轴中心线81相一致。两条中心线80从第 一支持台61的中心点69分别偏离“e”。所以，在本发明第六实施例中， 各第二支持台62的热膨胀中心点82和83在第一支持台61的中心点69(与 基板23的中心点一致)的附近，位于中心线80和81的交叉点处，并且分 别相对于中心点69偏离“e”。
所以，设置调节部件64a，64b和64c以使得中心点82和83位于中心 点69附近，在烘焙时，可以使得第二支持台62的热膨胀方向和热膨胀体 积与基板23的热膨胀方向和热膨胀体积相近，从而减小因基板23和第二 支持台62之间的摩擦而产生的擦痕长度。
人眼难以识别在烘焙过程中由于基板和支持台之间的摩擦所导致的小 于1mm长度的擦痕，因此对于外观或显示质量而言很少出现问题。从而， 基板23的中心点69与第二支持台62的热膨胀中心点82或83的距离“e” 能够满足下式(2)。
e＜1/(2×基板与第二支持台之间的热膨胀系数差)×Tf) (2)
其中，e＝基板的中心点与第二支持台的热膨胀中心点的距离，以及 Tf＝烘焙温度。在式(2)中，由于环境温度实质上大大低于烘焙温度，因 此环境温度可以忽略不计。
第八实施例
图19所示为根据本发明第八实施例的制造显示屏的方法中所使用的 支持台的结构。如图19所示，四块第二支持台90，91，92和93设置于第 一支持台61上，并且一块基板23横跨这四块第二支持台。基板23的结构 相对于前述的实施例保持不变，在此不再赘述。如图19所示，调节部件 94a-94h设置于第一支持台61以及第二支持台90，91，92和93上。其 设置为各个调节部件的开口的长轴中心线经过第一支持台61的中心附近。
前述结构使得第二支持台90，91，92，93的热膨胀中心点100，101， 102，103位于第一支持台61的中心附近，从而在烘焙过程中这些第二支 持台的膨胀方向受到调制。结果，基板23和这些第二支持台90，91，92 和93之间的摩擦很少发生，从而抑止基板23上的擦痕的产生。特别地， 当通过多面板制造方法制造大尺寸PDP时，由含例如钛的金属板制成的第 二支持台90，91，92和93可使用小尺寸的基板，从而使制造设备的成本 得以降低。
在第五到第八实施例中，如果沿着图15A到15B所示的纵向方向上的 开口长度“W”太短，第二支持台的膨胀被调节销66阻止，因此会使得第 二支持台变形。为防止该问题的发生，开口65的空隙尺寸“W”应该比第 二支持台的热膨胀体积大。具体而言，图14A所示的从第二支持台62的 热膨胀中心点69到开口65中心部的长度“L”满足下式(3)：
W＞(第二支持台的热膨胀系数)×Tf×L (3)
其中，Tf＝烘焙温度，并且L＝从第二支持台的热膨胀中心点到开口 中心部的长度。
另一方面，如果开口65的短轴方向的空隙尺寸“D”太大，则定位调 节不起作用，从而空隙尺寸“D”优选地等于或略大于调节销66的直径。
除了上述结构，调节销可以固定到第二支持台，而这些销能相对设置 在设置于第一支持台的开口内移动。也可以使用设置于第二支持台端部的 槽口来取代所述开口。
上述第五到第八实施例中，当基板23设置在第二支持台上时，基板 23的周边存在有第二支持台，并且基板23横跨多个第二支持台。因此， 在横跨部分，基板23接触到第二支持台的部分边缘，由于基板23与第二 支持台的部分边缘的接触，使得基板23容易出现擦痕。为克服这一问题， 所述全部边缘中至少与基板23相接触的这些部分边缘适当弯曲，如同形成 图10A，图10B形成的突出部45a一样，使得设置有基板23的位置的表 面上没有尖点部分。在第一支持台设置槽，使得所述适当弯曲的边缘部分 可插入该槽中。该结构可以抑止由于基板23和第二支持台边缘之间接触而 在基板23产生的擦痕。
在第一到第三实施例中和第五到第八实施例中，用作第二支持台的由 钛制成的薄金属板表面粗糙度“Ra”不大于1μm，根据实际需要该薄板 的两表面均可被粗糙化。假定两表面的表面粗糙度“Ra”均为从3μm到 6μm，那么薄板难以在第一支持台上滑动，而且，基板难于在薄板上滑动， 从而烘焙过程中可以有效地抑制该薄板，即第二支持台以及所述基板的移 动。
在前述的实施例中，虽然以制造PDP为例进行了说明，但是本发明对 于制造其他显示屏例如LCD板或FED板均是有效的。
工业实用性
本发明可实现以高生产率生产高质量显示屏，并且对于使用多面板制 造方法来制造显示屏的方法是有用的，并可用于大尺寸基板。
第一实施例
本发明适用于经历对由结构部件组成并形成在玻璃基板上的材料层进 行烘焙硬化的制造步骤的显示屏，例如，PDP。在本发明的实施例中，将 使用PDP作为显示屏的实例进行说明。
图1所示为PDP的透视图。PDP的基本结构与广泛使用的表面放电 式交流PDP相似。如图1所示，PDP1包括以下部件：
包括前玻璃基板3的前板2；
包括后玻璃基板11的后板10，其与前板2相对；
由玻璃粉组成的密封组件，用于以不透气的方式将前板2和后板10 的周边密封。
例如氖(Ne)和氙(Xe)的放电气体以400～600Torr的压力填充在 密封的PDP1内的放电空间16中。
在前板2的前玻璃基板3的主面上，由扫描电极4和维持电极5组成 每一对的多个显示电极对6以条状排列并与多个黑条7(遮光层)相平行。 由Pb-B系玻璃制成并用作电容器的电介质层8形成在这些显示电极对6 和黑条(遮光层)7上。由氧化镁(MgO)制成的保护层9形成在电介质层8 的表面。
在后板10的后玻璃基板11的主面上，沿着与扫描电极4和维持电极 5垂直交叉的方向，多个条状寻址电极12彼此平行布置，并且基电介质层 13覆盖寻址电极12。具有给定高度的障壁14在寻址电极12之间形成于基 电介质层13之上，使得障壁14分割放电空间16。荧光粉层15涂敷于障 壁14之间的槽。荧光粉层15在紫外线照射下在每个寻址电极12上依次发 出红光、绿光和蓝光。放电单元形成在扫描电极4，维持电极5和寻址电 极12的交叉位置上。沿显示电极对6方向上排列的具有红，绿和蓝荧光粉 层15的放电单元构成用于进行彩色显示的像素。
下面说明制作PDP的方法。首先，扫描电极4，维持电极5和遮光层 7形成在前玻璃基板3的主面上。扫描电极4和维持电极5包括由铟锡氧 化物(ITO)和氧化锡(SnO2)制成的透明电极和由银膏制成的形成于 透明电极上的金属汇流电极。这些电极是以光刻法形成图案而制成的。这 些电极材料层在所希望的温度下烘焙硬化。遮光层7也是使用丝网印刷的 方法来施加包含黑色颜料的膏来形成图案，或在玻璃基板整面上施加包含 黑色颜料的膏后使用光刻法来形成图案，之后进行烘焙硬化该图案化的膏 而制成的。
电介质膏层(电介质材料层)是通过在前玻璃基板3上以挤压式涂布 法(die-coating)施加电介质膏而形成，使得该层覆盖扫描电极4，维持电 极5和遮光层7。之后将基板3静置一给定时间以使所施加的电介质膏表 面拉平从而变得平坦。之后，对电介质膏层进行烘焙硬化，从而制成覆盖 扫描电极4，维持电极5和遮光层7的电介质层8。电介质膏为包括诸如玻 璃粉，粘合剂以及溶剂等电介质物质的涂料。然后，由氧化镁(MgO)构 成的保护层9通过真空蒸着法形成在电介质层8上。给定的结构部件(扫 描电极4，维持电极5和遮光层7，电介质层8和保护层9)通过以上步骤 制成，从而完成前板2。
后板10由以下方法形成：首先，在后玻璃基板11的主面上形成金属 膜，例如，通过丝网印刷的方法施加银膏并形成图案，或者在基板11的整 个表面上形成金属膜后使用平板印刷法以形成图案，从而形成材料层以作 为用于寻址电极12的结构部件。该材料层在给定温度下进行烘焙硬化以制 成寻址电极12。然后，在后玻璃基板11上，通过挤压式涂布方法施加电 介质膏来形成电介质膏层，使得该电介质膏层覆盖寻址电极12。然后烘焙 电介质膏层以形成基电介质层13。电介质膏为包括诸如玻璃粉，粘合剂以 及溶剂等电介质材料的涂料。
之后，在基电介质层13上涂敷含有障壁材料的障壁制备膏，并进行图 案化处理以形成给定形式的图案，从而形成障壁层。将如此形成的障壁材 料层被烘焙硬化以制成障壁14。使用光刻法或喷砂法以使涂敷于基电介质 层13上的障壁制备膏形成图案。
然后，在彼此邻接的障壁14之间的基电介质层13上以及障壁14的侧 面，涂敷包含荧光粉材料的荧光粉膏然后烘焙硬化而形成荧光粉层15。通 过以上步骤，制成在后玻璃基板11上包括所述给定结构部件的后板10。
将如此获得的各自拥有给定部件的前板2和后板10放置为彼此相对， 并且扫描电极14和寻址电极12垂直交叉。两板的周边用玻璃料(glass frit) 密封，包含氖和氙等的放电气体填充入放电空间16中以制成PDP1。
如上所述，设置于前玻璃基板3的金属汇流电极(未图示)，遮光层 7，电介质层8以及设置于后玻璃基板11的寻址电极12，基电介质层13， 障壁14，以及荧光粉层15以如下方式形成：这些部件的相应材料分别涂 敷到前玻璃基板3或后玻璃基板11上，然后根据需要将这些材料形成图案， 于是将之烘焙硬化。烘焙步骤对于各组件分别在500-600℃进行。前板2 需要至少两次烘焙步骤，并且后板10需要至少四次烘焙步骤。
下面说明现有的烘焙步骤。图20A和20B示出了PDP的现有制作方 法中支持台的结构。图20A为平面图，图20B为前视图。玻璃基板200放 置于支持台210上，使其具有诸如各电极和材料层等的结构部件220的有 效面(active face)向上，并且玻璃基板200的另一面接触支持台210。这 种情况下，擦痕产生在玻璃基板200的与支持台210相接触的表面上。
擦痕是由于支持台210和基板200之间的热膨胀体积的不同引起的。 具体而言，支持台210使用热膨胀系数为-0.4×10-6/℃的耐热陶瓷，玻璃 基板200的热膨胀系数为8.3×10-6/℃。两数字之间的差如此之大使得支 持台210和基板200在处于烘焙炉中时会出现很大的热膨胀体积差。基板 越大的时候，出现的热膨胀体积差就成比例地增大。特别地，在由一个大 基板得到多个块的方法(即多个PDP由一个玻璃基板200制得)使如此大 的玻璃基板200被烘焙，以至于热膨胀体积差更大。从而基板200与支持 台210发生摩擦而在基板200上产生线状擦痕。线状擦痕的长度与基板200 的尺寸成比例地变长。
如图20A的箭头所示，玻璃基板200以热膨胀的中心点230为中心放 射状地热膨胀，所以由基板200和支持台210之间的摩擦而导致的线状擦 痕从中心点230呈放射状展开。通常，由均一组分形成的玻璃基板200的 情况下，中心点230与玻璃基板200的重心重合，线状擦痕的最大长度可 以通过基板200和支持台210之间的热膨胀体积差以及基板的尺寸大小计 算出来。
线状擦痕的最大长度可以用以下公式表示：(玻璃基板200和支持台 210的热膨胀系数差)×(烘焙温度)×(基板尺寸)。具有低热膨胀系 数的耐热陶瓷用作支持台210，并且以42寸(980mm×554mm)的通常 PDP用高抗形变玻璃作为玻璃基板200，这两种部件在600℃进行烘焙时， 玻璃基板200上产生的线状擦痕的最大长度可估计为3.4mm。不短于1mm 或有时0.7mm以上的线状擦痕可以很容易被看到，从而这些擦痕使得显示 质量明显下降。
图2A，2B示出了根据本发明第一实施例的制造显示屏方法中使用的 支持台的结构，图2A，2B示出了将基板放置在支持台上的状态。图2A 为平面图，图2B为侧视图。如这些图所示，支持台20包括第一支持台21 和第二支持台22，并且基板23放置在第二支持台22上。在此，基板23 代表在其上形成有PDP结构部件的前玻璃基板3以及后玻璃基板11。基 板23的一个面与第二支持台22相接触，而所述部件位于基板23另一侧的 表面上。基板23通过第二支持台22放置在第一支持台21上。
第一支持台21使用所述的低热膨胀系数的材料，其显示为较小值的α 值(-0.4×10-6/℃)。第二支持台22由薄的金属板制成。第二支持台22 和基板23之间的热膨胀系数差值设置为小于第一支持台21和基板23之间 的热膨胀系数差值。具体而言，如此选择第二支持台22的薄属板，使得第 二支持台22和基板23之间的热膨胀系数差值的绝对值不大于基板23和第 一支持台21之间的热膨胀系数差值的绝对值的一半，或优选不大于10％。 钛或钛合金可用作薄金属板。
如图2A所示，第二支持台22设置为存在于基板23的周围，即，设 置于第一支持台21上的第二支持台22的外围总是存在于设置于第二支持 台22上的基板23的外围。
如上所述，基板23设置于支持台20上，并且形成于基板23上的PDP 结构部件在烘焙炉中烘焙。前述的现有技术直接将基板23设置于第一支持 台21上以烘焙，所以基板23在烘焙过程中由于第一支持台21和基板23 之间的热膨胀体积差而在基板23与第一支持台21接触的表面引起擦痕。 用作第一支持台21的耐热陶瓷的热膨胀系数很小，而用作基板23的前玻 璃基板3或后玻璃基板11的热膨胀系数的幅值比耐热陶瓷的大一个数量 级。从而在烘焙炉的烘焙过程中第一支持台21和基板23之间的热膨胀体 积差很大。特别是，从一块基板获取用于PDP的多个前板2和后板10的 时候，即进行多面提取的时候，进行烧结的基板23变的很大，从而使得第 一支持台21和基板23之间的热膨胀体积差变的很大。由于这样的热膨胀 体积差，基板23与支持台21发生摩擦而产生擦痕。
本发明的这个实施例中，如图2所示，第二支持台22设置于第一支持 台21上，并且基板23设置于第二支持台22上。然后将他们置于烘焙炉中 对形成于基板23上的PDP结构部件的材料层进行烘焙。在这种情况下， 第二支持台22和基板23之间的热膨胀系数差值小于第一支持台21和基板 23之间的热膨胀系数差值，所以基板23和与基板23相接触的第二支持台 22之间的热膨胀体积差值变小。结果得以抑止基板23上产生擦痕。
例如，使用热膨胀系数为8.4×10-6/℃的钛制成的金属板作为第二支 持台22，由此在热膨胀系数方面，支持台22与热膨胀系数为8.3×10-6/ ℃的基板23的相近。此时，第二支持台22和基板23之间的热膨胀系数差 值与第一支持台21和基板23之间的热膨胀系数差值相比非常小。结果， 基板23上的线状擦痕的长度比基板23设置于第一支持台21上的情况下大 约小两个数量级。
另外，本实施例中，如图2所示第二支持台22存在于基板23的周围， 换句话说，设置于第一支持台21的第二支持台22的周边总是位于设置于 第二支持台22上的基板23的周边的外侧。如果第二支持台22的周边的端 部存在于基板23的内侧，则该周边的端部会使基板23上产生擦痕，但是 本实施例可以防止由此原因造成的擦痕。
如上所述，该第一实施例可以抑止由于支持台20和基板23之间的热 膨胀系数之差而造成的基板23的表面上的擦痕的产生。另外，还可以预防 由于基板23和第二支持台22的端部之间的摩擦而产生的擦痕，从而可以 获得高质量的显示屏。
第二实施例
第一实施例中说明的烘焙方法，是将平板状的基板23设置于平板状的 支持台22上并放入烘焙炉中进行烘焙，但是，第二支持台22和基板23 之间的空气膨胀，使得对于基板23出现浮力，从而使基板23在第二支持 台22上移动并且有时会引起损坏。类似现象同样会出现在第一支持台21 和第二支持台22之间，使得基板23不稳定，这引起其自身的损坏或者烘 焙炉的故障。第二实施例说明防止基板23表面上的擦痕以及防止基板23 损坏的支持台的结构。
图3所示为本发明第二实施例中制造显示屏的方法中所使用的支持台 的结构，并且图3显示出设置于这一支持台上的基板。第二实施例中使用 的显示屏的基板的结构与第一实施例中的保持不变，在此不再赘述。第一 支持台24和第二支持台25与第一实施例中的相应部分的结构有所不同。
具体而言，第一支持台24设置有槽26，第二支持台25由沿着含有槽 26的第一支持台24的表面的薄板形成。基板23设置于第二支持台25上， 并且在基板23和第二支持台25之间形成有空间27。形成第二支持台25 的薄板由与第一实施例中所使用的类似的金属板制成，因此该金属板含钛。 在基板23的周围存在有第二支持台25。
本发明的第二实施例可以减小在烘焙过程中第二支持台25和基板23 之间的热膨胀体积差，因此抑止基板23上的擦痕的产生。另外，形成于基 板23和第二支持台25之间的空间27在烘焙过程中可以减小对于基板23 产生的浮力，从而抑止基板23的滑动以防止基板23的损伤。
图4所示为根据本发明第二实施例的显示屏制备方法中所使用的修改 了的支持台的结构。具有凸凹部的第二支持台29设置于第一支持台28的 平坦表面上，从而在基板23和第二支持台29之间形成有空间30。第二支 持台29由与第一实施例中所使用的金属板类似的金属板制成，因此该金属 板包含钛。在基板23的周围存在有第二支持台29。
结果，在烘焙过程中第二支持台29和基板23之间的热膨胀体积差变 小，从而可以抑止基板23上的擦痕的产生。形成于基板23和第二支持台 29之间的空间30可以减小对于基板23的浮力，从而抑止基板23的滑动 以防止基板23的损伤。
第三实施例
图5所示为根据本发明第三实施例的制造显示屏的方法中所使用的支 持台的结构。显示屏的第三实施例中使用的基板的结构相对于第一实施例 不变，因此不再赘述。第三实施例使用抑止移动装置以抑止第二支持台在 第一支持台上的移动。
如图5所示，由薄板形成的第二支持台32设置于第一支持台31上， 并且基板23设置于第二支持台32上。第二支持台32包括向上弯曲的第一 弯曲部32a和向下弯曲的第二弯曲部32b。第二弯曲部32b用作抑止移动 装置。设置第二弯曲部32b使得其分别面对第一支持台31的四个侧面，从 而得以防止第二支持台32在第一支持台31上的滑动。第一弯曲部32a的 设置使得可以防止基板23的大幅滑动。第二支持台32与第一实施例同样 由含钛的金属板制得。
前述结构可以减小烘焙过程中第二支持台32和基板23之间的热膨胀 体积差，因此抑止基板23的擦痕的产生。而且，该结构可以抑止第二支持 台32或基板23在烘焙过程中的滑动，从而防止基板23的损坏和烘焙炉的 故障。
图6A和6B所示为本发明第三实施例的制造显示屏的方法所使用的修 改了的支持台的结构。如图6A和6B所示，由薄板制得的第二支持台34 设置于第一支持台33上，并且基板23设置于第二支持台34上。第一支持 台34在其拐角处分别具有四个突出部33a，并且从正上方看各突出部33a 在平面图中显示为直角三角形。第二支持台34为四个拐角处被切除的长方 形，各切除后的角与突出部33a的直角三角形的斜边相对。该结构可以防 止第二支持台34发生滑动以及偏离其在第一支持台33上的位置。第二支 持台34由与第一实施例相类似的含钛的金属板制得，从而在烘焙过程中第 二支持台34和基板23之间的热膨胀体积差变小。因此可以抑止基板23 上的擦痕的产生。
图7A和7B所示为根据本发明第三实施例的制造显示屏的方法中所使 用的另一修改了的支持台的结构。图7A为平面图并且图7B显示图7A中 沿7B-7B线的剖面图。如图7A和7B所示，第二支持台36设置于第一 支持台35上，并且基板23设置于第二支持台36上。
多个孔35a设置于第一支持台35使得多个孔35a环绕第二支持台36， 并且如图7A所示，形成第二支持台36的薄板的每个边设置有两个孔35a。 并且，在每个孔35a里镶嵌有固定组件37，每个固定组件37用作抑止移 动装置。固定组件37防止在烘焙过程中的第二支持台36在第一支持台35 上滑动，并且如果基板大幅度偏离其位置，固定组件37也可用作基板23 的止动件。第二支持台36由与第一实施例类似的含钛金属板制得，所以在 烘焙过程中第二支持台36和基板23之间的热膨胀体积差变小，从而抑止 基板23上产生的擦痕。考虑到热膨胀的影响，在第二支持台36和固定组 件37之间设置有空间。
图8A和8B所示为本发明第三实施例的制造显示屏的方法中所使用的 另一修改了的支持台的结构。图8A为平面图并且图8B为图8A中沿8B -8B线截取的剖面图。如图8A和8B所示，第二支持台39设置于第一支 持台38上，并且基板23设置于第二支持台39上。
多个孔39a设置于第一支持台38上使得多个孔39a围绕第二支持台 39，并且如图8A所示，第二支持台39的各边设置有两个孔39a。板状组 件40a，40b作为抑止移动装置，分别对应于台39的各边设置。板状组件 40a，40b由固定组件41在孔39a处固定在第一支持台38上。板状组件40a 设置于第二支持台39的周围，并且板状组件40b覆盖在板状组件40a上， 使得板状组件40b的端部与第二支持台39的端部相重叠。在烘焙过程中， 这些板状组件40a，40b可以防止第二支持台39由于在第一支持台38上滑 动而偏离其位置。如果基板23大幅度偏移其位置，板状组件40b也可以作 为基板23的止动件。第二支持台39由与第一实施例中使用的相类似的含 钛金属板制成，因此在烘焙过程中第二支持台39和基板23之间的热膨胀 体积差变小，从而可以抑止基板23上擦痕的产生。板状组件40a和40b 可以合为一体。由于考虑到热膨胀的影响，在第二支持台39和板状组件 40a之间设置有空间。组件40a的厚度大于第二支持台39，使得在板状组 件40b的下边和第二支持台39的上表面之间预留空间以允许第二支持台 39热膨胀。
图9A和9B所示为根据本发明第三实施例的制造显示屏的方法中所使 用的修改了的支持台的结构。图9A为平面图，图9B为图9A中沿9B-9B 线的剖面图。如图9A和9B所示，第二支持台43设置于第一支持台42上。 虽然图中未示出，小于第二支持台43的基板23设置于第二支持台43上。
如图9A和9B所示，第一支持台42的中心部位设置有两个孔42a。 图9A显示两个孔42a设置为与第一支持台42的短边平行。由薄板制成的 第二支持台43的背面位置上设置有作为抑止移动装置的突出部44。突出 部44与孔42a相对应，并且该突出部44嵌入第一支持台42的孔42a。在 烘焙过程中，突出部44的存在可以防止第二支持台43由于在第一支持台 42上的滑动而偏离其位置，或防止由于在第一支持台42上的旋转而产生 的移动。第二支持台43由与第一实施例中相类似的含钛的金属板制得，因 此在烘焙过程中第二支持台43和基板23之间的热膨胀体积差减小，从而 可以抑止基板23上的擦痕的产生。突出部44的数量和位置可以任意确定， 但是，至少设置两个突出部44即可以防止第二支持台43发生旋转或平行 移动。
图10A和10B所示为根据本发明第三实施例的制造显示屏的方法中所 使用的修改了的支持台的结构。图10A为平面图并且图10B为图10A中 沿10B-10B线的剖面图。如图10A和10B所示，第二支持台45设置于 第一支持台42上。虽然图中未示出，但是小于第二支持台45的基板23 设置于第二支持台45上。
如图10A和10B所示，第一支持台42中心部设置有两个孔42a。图 10A所示两个孔42a设置为与第一支持台42的短边平行。在第二支持台 45的背面的中心部设置有作为抑止移动装置的两个突出部45a且该突出部 45a突出于第二支持台45的背面。这些突出部45a可以通过在由薄板制成 的第二支持台45上形成切口，并且使切口部分向第二支持台45的薄板背 面弯曲而形成。如果设置有基板23的表面上有一些尖点部，所述尖点部会 在基板23上引起擦痕。可以将第二支持台45上的切口部分适度地弯曲， 从而在设置有基板23的表面不产生尖点部。突出部45a嵌入第一支持台 42上的孔42a。
与图9A和9B所示的情况相同，突出部45a的存在使得在烘焙过程中， 可以防止第二支持台45由于在第一支持台42上滑动而偏离其位置，或由 于在第一支持台42上旋转而移动。第二支持台45由与第一实施例中所使 用的相类似的含钛金属板制得，因此在烘焙过程中第二支持台45和基板 23之间的热膨胀体积差可以减小，从而抑止基板23上擦痕的产生。突出 部45a的数量和位置可以任意确定，但是至少两个突出部45a即可以防止 第二支持台45发生旋转或平行移动。
在第一到第三实施例中，基板23优选地设置于第二支持台上，使得基 板23的中心点与第二支持台的中心点吻合。这样的设置使得基板23的热 膨胀方向与第二支持台的热膨胀方向相一致。如果基板23大于第二支持 台，基板23会碰到第二支持台的边缘，基板23上会因此而出现擦痕。但 是，在第一到第三实施例中，由于基板23设置于第二支持台上使得第二支 持台存在于基板23的周围，这种擦痕不会产生。
第四实施例
下面参照附图说明本发明的第四实施例。在前述的第一到第三实施例 中，使用由薄板制得的第二支持台，但是第四实施例中使用条状组件作为 第二支持台。
图11A，11B和11C所示为根据本发明的第四实施例的制造显示屏方 法中使用的支持台的结构，这些附图示出了设置在支持台上的基板。PDP 的基板具有与第一实施例所述的相类似的结构，在此不再赘述。在该第四 实施例中，第二支持台的结构与第一和第二实施例中的不同。
图11A为平面图，图11B为图11A中沿x方向的剖面图。图11C为 图11A中沿y方向的剖面图。如图11A，11B和11C所示，第一支持台50 上具有多个相互平行的形成条状图案的槽，并且用作第二支持台的条状组 件51插入该槽中。基板23设置于用作第二支持台的条状组件51上，并且 在此状态下，在基板23和第一支持台50之间形成空间53，即条状组件51 位于第一支持台50和基板23之间。第一支持台50由与第一到第三实施例 中相类似的诸如耐热陶瓷的具有低热膨胀系数的材料制得。用作第二支持 台的条状组件51由与第一到第三实施例相类似的与第二支持台的薄金属 板相同的金属制得，该金属包含例如钛或者钛合金。
在图11A，11B和11C所示的状态下，第一支持台50放入烘焙炉中 以烘焙形成于基板23上的材料层。在这种情况下，条状组件51和基板23 之间的热膨胀系数差很小而使得在烘焙过程中条状构件51和基板23之间 的热膨胀体积差很小，因此可以抑止基板23上擦痕的产生。基板23和第 一支持台50之间的空间53的存在使得可以减小在烘焙过程中对于基板23 产生的浮力，因此防止基板23从其位置偏离。
图12A和12B显示了根据本发明第四实施例的用于制造显示屏的方法 中使用的修改了的支持台的结构。图12A为平面图，图12B为图12A中 沿x方向的剖面图。
如图12A和12B所示，在第一支持台54的表面上，形成有从第一支 持台54的中心呈放射状布置的多个条状槽。用作第二支持台的条状组件 51插入该槽中。当基板23设置于条状组件51上时，在基板23和第一支 持台54之间形成空间(未示出)。在图12A和12B中，考虑到在烘焙过 程中基板23以放射状热膨胀，而设置条状组件51。根据该结构，条状组 件51和基板23之间的热膨胀系数差很小，使得他们之间的热膨胀体积差 很小。另外，这两个部件在相同方向上热膨胀，因此基板23上的擦痕的产 生得以抑止。基板23和第一支持台54之间的空间的存在使得可以减小在 烘焙过程中对于基板23的浮力，从而可以抑止基板23从其位置偏移。
图13A，13B和13C所示为根据本发明第四实施例的制造显示屏的方 法中所使用的另一修改的支持台的结构。图13A为平面图，13B为图13A 中沿x方向的剖面图，图13C为图13A中沿y方向的剖面图。
如图13A，13B和13C所示，在第一支持台55上，形成有多个彼此 平行的条状图案的槽，并且用作第二支持台的条状组件56，57插入该槽中。 基板23设置于条状组件56上，在此状态下，在基板23和第一支持台55 之间形成空间58。每个条状组件56的两端均比条状构件56的其他部分粗， 并且基板23设置于条状组件56的薄部上。该结构使得可以防止基板23 在烘焙过程中沿x方向的滑动。图13A所示分别设置于第一支持台55的 上端和下端的条状组件57足够粗以防止基板23沿y方向滑动。
第一支持台55由具有低热膨胀系数的诸如耐热陶瓷的材料构成，并且 条状组件56，57由与条状组件51相同的金属构成。该结构使得可以减小 条状组件56，57和基板23之间的热膨胀系数差，从而使得他们之间的热 膨胀体积差减小。从而可以更进一步抑止基板23上擦痕的产生。基板23 和第一支持台55之间的空间58的存在可以减小在烘焙过程中对于基板23 的浮力，因此可以抑止基板23从其位置偏离。
第五实施例
图14A，14B所示为根据本发明第五实施例的制造显示屏的方法中所 使用的支持台的结构。图14A为平面图，图14B为图14A中沿14B-14B 线的剖面图。图15A所示为图14A所示的“C”部的细节的剖面图，图15B 所示为“C”部的细节的平面图。
如图14B所示，基板23设置于由第一支持台61和第二支持台62组 成的支持台63上。基板23包括具有结构部件的后玻璃基板11和前玻璃基 板3，所述结构部件例如为，在其上形成的，即形成在基板23的上表面的 各种电极层和材料层。第二支持台62分割为两部分，一块基板23设置于 第二支持台62上使其横跨第二支持台62的两部分。第一支持台61由热膨 胀系数小的耐热材料制成，其热膨胀系数大约为-0.4×10-6/℃。第二支持 台62由与第一到第三实施例类似的含诸如钛或钛合金的薄金属板制成。
第二支持台62分割为两部分的原因是：最近PDP的尺寸增大，并且 使用多面提取制造方法以提高生产率。这些情况使得在烘焙步骤中的基板 23可以是增大尺寸的基板，因此需要特别大尺寸的第二支持台62。但是， 由大的金属板制成的如此大的支持台62在市场上可提供的数量有限，因此 支持台62的价格也非常昂贵。因此，本发明第五实施例使用多个小尺寸的 第二支持台62以减小成本并在烘焙步骤中简化操作。
如图14A和14B所示，在由薄金属板制成的第二支持台62的周围， 设置有多个调节部件64用以调节第二支持台62的热膨胀方向。如图14A， 14B，15A和15B所示，每个调节部件64由设置于第二支持台62的开口 65和固定于第一支持台61上的调节销66组成。开口65形状为具有长轴 线的矩形。
如图14A所示，设置于第二支持台62的调节部件64的开口65形成 为其长轴中心线67通过第一支持台61的中心点69。调节销66由耐热材 料诸如陶瓷制成。图15A所示的状态为调节销66插入设置于第一支持台 61的孔68中，但是，调节销也可以设置于第二支持台62上，使得调节销 可沿着设置于第一支持台61的开口的纵向方向上移动。
图16所示为没有调节部件的支持台的结构。两块没有调节部件的第二 支持台70相邻地设置于第一支持台61上，并且基板23设置于这两块支持 台70上。这两个支持台70分别以各自的重心71，72为热膨胀中心进行热 膨胀。换句话说，热膨胀不导致在第二支持台70的重心位置的移动，但沿 从重心发出的箭头方向会产生呈放射状热膨胀而产生移动。同时，与第二 支持台70的存在无关地，横跨这两块第二支持台70的基板23以其重心 74为膨胀中心进行热膨胀，所以使得基板23的热膨胀方向的重心74与第 二支持台70的热膨胀方向的重心71，72不相吻合。因此，使用两块第二 支持台70使得在烘焙过程中支持台70和基板23之间发生摩擦，从而在基 板23表面产生擦痕。
上述情况下，最大擦痕长度Smax可以近似由下面的公式(1)表示：
Smax＝2×(基板和第二支持台之间的热膨胀系数差)×Tf×d (1)
其中，Tf＝烘焙温度，d＝基板和第二支持台的热膨胀中心点之间的距 离。
以耐热陶瓷用作第一支持台61，以42寸的用于PDP的高抗形变玻璃 用作基板23，并且它们在600℃下烘焙，此时产生于基板23的最大擦痕长 度大约为1.4mm。
根据本发明的第四实施例，如图14A所示，通过调节调节部件64的 调节销66和开口65，设置于第一支持台61上的每个第二支持台62移动 被限制在沿着开口65的纵向方向上。换句话说，设置于第二支持台62的 开口65形成为，使得开口65的长轴中心线67经过第一支持台61的中心 点69。由于基板23由单板形成，所以它的热膨胀中心点与第一支持台61 的中心点69相一致。
第二支持台62被这样调节，第二支持台62的热膨胀方向被限制在以 中心点69为中心沿开口65的纵向方向上，因此，使得基板23的膨胀方向 与第二支持台62的膨胀方向相一致。第二支持台62由诸如钛等具有比第 一支持台61的热膨胀系数大的材料制成，使得第二支持台62和基板23 之间的热膨胀体积差变小。因此，由于基板23和第二支持台62之间的摩 擦而在基板23上产生的擦痕得以抑止，或擦痕的长度得以减小。前板2 和后板10的质量以及这两种板的生产率得以改善。
由于第二支持台62分割为数个台，基于多面板制造方法的大尺寸的玻 璃基板可使用这种尺寸小的第二支持台，从而费用得以降低。
第六实施例
图17所示为根据本发明第六实施例的制造显示屏的方法中所使用的 支持台的结构。如图17所示，两块第二支持台62沿着第一支持台61的长 边相邻设置。基板23横跨这两块第二支持台62。在基板23上形成PDP 结构部件的方法与前述的实施例中说明的方法保持不变，在此不再赘述。 在第六实施例中，与第五实施例类似的调节部件64设置于第二支持台62 的拐角处，这些拐角与第一支持台61的四个拐角相对应。设置于第二支持 台62的调节部件64的开口65形成为使其长轴中心线经过第一支持台61 的中心点69。
根据第六实施例的前述结构，可以在烘焙过程中调节第二支持台62 的热膨胀方向，使其与基板23的热膨胀方向相一致，因此基板23和第二 支持台62之间的摩擦可以减小。从而，基板23的擦痕的产生可得以进一 步抑止。
在第五和第六实施例中，使用了两块第二支持台，但是，也可以使用 诸如四块第二支持台以减小第二支持台的成本。
第七实施例
图18所示为根据本发明第七实施例的制造显示屏的方法中所使用的 支持台的结构。如图18所示，两块第二支持台62沿着第一支持台61的短 边相邻设置。基板23横跨这两块第二支持台62。两个第二支持台62中的 每一个设置有三个调节部件64a，64b和64c。这些调节部件的结构类似于 第五和第六实施例中所使用的，但是开口65的长轴方向与第五和第六实施 例中的不同。
具体而言，在图18中，设置于一个第二支持台62上的调节部件64a 的开口65的长轴中心线80与设置于同一个第二支持台62上的另一开口 65的调节部件64b的长轴中心线80相一致。并且形成在一个第二支持台 62上的调节部件64c的开口65的长轴中心线81与形成在另一个第二支持 台62上的另一调节部件64c的长轴中心线81相一致。两条中心线80从第 一支持台61的中心点69分别偏离“e”。所以，在本发明第六实施例中， 各第二支持台62的热膨胀中心点82和83在第一支持台61的中心点69(与 基板23的中心点一致)的附近，位于中心线80和81的交叉点处，并且分 别相对于中心点69偏离“e”。
所以，设置调节部件64a，64b和64c以使得中心点82和83位于中心 点69附近，在烘焙时，可以使得第二支持台62的热膨胀方向和热膨胀体 积与基板23的热膨胀方向和热膨胀体积相近，从而减小因基板23和第二 支持台62之间的摩擦而产生的擦痕长度。
人眼难以识别在烘焙过程中由于基板和支持台之间的摩擦所导致的小 于1mm长度的擦痕，因此对于外观或显示质量而言很少出现问题。从而， 基板23的中心点69与第二支持台62的热膨胀中心点82或83的距离“e” 能够满足下式(2)。
e＜1/(2×基板与第二支持台之间的热膨胀系数差)×Tf) (2)
其中，e＝基板的中心点与第二支持台的热膨胀中心点的距离，以及 Tf＝烘焙温度。在式(2)中，由于环境温度实质上大大低于烘焙温度，因 此环境温度可以忽略不计。
第八实施例
图19所示为根据本发明第八实施例的制造显示屏的方法中所使用的 支持台的结构。如图19所示，四块第二支持台90，91，92和93设置于第 一支持台61上，并且一块基板23横跨这四块第二支持台。基板23的结构 相对于前述的实施例保持不变，在此不再赘述。如图19所示，调节部件 94a-94h设置于第一支持台61以及第二支持台90，91，92和93上。其 设置为各个调节部件的开口的长轴中心线经过第一支持台61的中心附近。
前述结构使得第二支持台90，91，92，93的热膨胀中心点100，101， 102，103位于第一支持台61的中心附近，从而在烘焙过程中这些第二支 持台的膨胀方向受到调制。结果，基板23和这些第二支持台90，91，92 和93之间的摩擦很少发生，从而抑止基板23上的擦痕的产生。特别地， 当通过多面板制造方法制造大尺寸PDP时，由含例如钛的金属板制成的第 二支持台90，91，92和93可使用小尺寸的基板，从而使制造设备的成本 得以降低。
在第五到第八实施例中，如果沿着图15A到15B所示的纵向方向上的 开口长度“W”太短，第二支持台的膨胀被调节销66阻止，因此会使得第 二支持台变形。为防止该问题的发生，开口65的空隙尺寸“W”应该比第 二支持台的热膨胀体积大。具体而言，图14A所示的从第二支持台62的 热膨胀中心点69到开口65中心部的长度“L”满足下式(3)：
W＞(第二支持台的热膨胀系数)×Tf×L (3)
其中，Tf＝烘焙温度，并且L＝从第二支持台的热膨胀中心点到开口 中心部的长度。
另一方面，如果开口65的短轴方向的空隙尺寸“D”太大，则定位调 节不起作用，从而空隙尺寸“D”优选地等于或略大于调节销66的直径。
除了上述结构，调节销可以固定到第二支持台，而这些销能相对设置 在设置于第一支持台的开口内移动。也可以使用设置于第二支持台端部的 槽口来取代所述开口。
上述第五到第八实施例中，当基板23设置在第二支持台上时，基板 23的周边存在有第二支持台，并且基板23横跨多个第二支持台。因此， 在横跨部分，基板23接触到第二支持台的部分边缘，由于基板23与第二 支持台的部分边缘的接触，使得基板23容易出现擦痕。为克服这一问题， 所述全部边缘中至少与基板23相接触的这些部分边缘适当弯曲，如同形成 图10A，图10B形成的突出部45a一样，使得设置有基板23的位置的表 面上没有尖点部分。在第一支持台设置槽，使得所述适当弯曲的边缘部分 可插入该槽中。该结构可以抑止由于基板23和第二支持台边缘之间接触而 在基板23产生的擦痕。
在第一到第三实施例中和第五到第八实施例中，用作第二支持台的由 钛制成的薄金属板表面粗糙度“Ra”不大于1μm，根据实际需要该薄板 的两表面均可被粗糙化。假定两表面的表面粗糙度“Ra”均为从3μm到 6μm，那么薄板难以在第一支持台上滑动，而且，基板难于在薄板上滑动， 从而烘焙过程中可以有效地抑制该薄板，即第二支持台以及所述基板的移 动。
在前述的实施例中，虽然以制造PDP为例进行了说明，但是本发明对 于制造其他显示屏例如LCD板或FED板均是有效的。
工业实用性
本发明可实现以高生产率生产高质量显示屏，并且对于使用多面板制 造方法来制造显示屏的方法是有用的，并可用于大尺寸基板。