悬置环形阴极结构的平板显示器及其制作工艺

摘要

本发明涉及一种悬置环形阴极结构的平板显示器及其制作工艺，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；在阴极玻璃面板上有阴极导电层、碳纳米管以及悬置环形阴极结构；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件，能够进一步提高碳纳米管阴极的电子发射效率和电子发射数量，降低栅极工作电压，改进栅极结构的控制功能，有利于提高器件显示亮度，具有制作过程稳定可靠、制作工艺简单、制作成本低廉、结构简单的优点。

权利要求

1、一种悬置环形阴极结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板[13]、阴极玻璃面板[1]和四周玻璃围框[18]所构成的密封真空腔；设置在阳极玻璃面板上的阳极导电层[14]以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层[16]；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[17]以及消气剂附属元件[19]，其特征在于： 在阴极玻璃面板上有阴极导电层[7]、碳纳米管[12]以及悬置环形阴极结构； 所述的悬置环形阴极结构以阴极玻璃面板作为衬底，该阴极玻璃面板的材料为钠钙玻璃或硼硅玻璃；阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成阻滞层；阻滞层上面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成间隔层；间隔层的下表面为平面，要覆盖住阴极引线层以及空余的阻滞层部分；间隔层中存在倒置圆台型斜面孔，即倒置圆台型斜面孔在间隔层的上表面的截面是一个圆形面，此处的直径最大，然后从间隔层的上表面开始，倒置圆台斜面孔的内侧壁逐渐倾斜，其直径也越来越小，直至到达间隔层的下表面位置为止，整个斜面孔为一个倒置的圆台型形状；间隔层中倒置圆台斜面孔的底部要暴露出阴极引线层；间隔层倒置圆台斜面孔的下半部分内侧壁上的刻蚀后的金属层形成阴极延长线层；阴极延长线层和阴极引线层是相互连通的；倒置圆台斜面孔中印刷的银浆层形成提升层；提升层呈现一个类斜三角型形状，即提升层的基部大部分坐落于靠近间隔层下表面的阴极延长线层上面，少部分坐落于阻滞层上面，提升层的顶部斜向上，呈现一个类等腰三角型形状，即提升层顶部的末端汇聚成一个尖点，但在靠近三角型尖点的部分发生弯曲，其尖角指向方向变换成垂直于阴极玻璃面板并指向阳极方向；整个提升层环绕在倒置圆台斜面孔的底部周围，形成一个环型形状；提升层的上表面上的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；间隔层中倒置圆台斜面孔中靠近间隔层上表面处印刷的绝缘浆料层形成栅极基底层；栅极基底层依附于倒置圆台斜面孔的内侧壁上，其上表面是一个倾斜的平面，其倾斜后的角度以正好指向提升层顶部尖点为准；栅极基底层上表面的刻蚀后的金属层形成调控栅极层；调控栅极层覆盖在栅极基底层的上表面，其前端向前延伸，呈现悬空态；间隔层上面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层和调控栅极层是相互连通的；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极覆盖层；栅极覆盖层要覆盖住全部的栅极引线层以及部分的调控栅极层，不能够覆盖处于悬空态的调控栅极层；碳纳米管制备在阴极导电层的上面。

2、 根据权利要求1所述的悬置环形阴极结构的平板显示器，其特征在于： 所述的悬置环形阴极结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；阴极引 线层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、铅、锡、铟；阴极延长线层为金属金、 银、铝、钼、铬、锡；阴极导电层为金属铁、钴、镍；调控栅极层为金属金、 银、铝、铜、钼、铬；栅极引线层的走向和阴极引线层的走向是相互垂直的； 栅极引线层为金属金、银、铝、钼、铬。

3、 一种悬置环形阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于，其制 作工艺如下：1) 阴极玻璃面板[l]的制作：对整体平板玻璃进行划割，制作出阴极玻 璃面板；2) 阻滞层[2]的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧 结工艺后形成阻滞层；3) 阴极引线层[3]的制作：在阻滞层的上面制备出一个金属层；刻蚀后 形成阴极引线层；4) 间隔层[4]的制作：在阴极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、 烧结工艺后形成间隔层；5) 阴极延长线层[5]的制作：在间隔层倒置圆台斜面孔的内侧壁上制备 出一个金属层，刻蚀后形成阴极延长线层；6) 提升层[6]的制作：在倒置圆台斜面孔中印刷银浆层，经烘烤、烧结 工艺后形成提升层；7) 阴极导电层[7]的制作：在提升层的上表面上制备出一个金属层，刻 蚀后形成阴极导电层；8) 栅极基底层[8]的制作：在倒置圆台斜面孔上边缘内侧壁上印刷绝缘 浆料，经烘烤、烧结工艺后形成栅极基底层；9) 调控栅极层[9]的制作：在栅极基底层的上面制备出一个金属层，刻 蚀后形成调控栅极层；10) 栅极引线层[10]的制作：在间隔层上面制备出一个金属层，刻蚀后 形成栅极引线层；11) 栅极覆盖层[ll]的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经 烘烤、烧结工艺后形成栅极覆盖层；12) 悬置环形阴极结构的表面清洁处理：对悬置环形阴极结构的表面进 行清洁处理，除掉杂质和灰尘；13) 碳纳米管[12]的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；14) 阳极玻璃面板[13]的制作：对整体平板玻璃进行划割，制作出阳极玻 璃面板；15) 阳极导电层[1.4]的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜 层；刻蚀后形成阳极导电层；16) 绝缘浆料层[15]的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；17) 荧光粉层[16]的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；18) 器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[17]和四周玻璃围框[18]装配到一起，并将消气剂附属元件[19]放入到空腔当中，用 低熔点玻璃粉固定；19) 成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

4、 根据权利要求3所述的悬置环形阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于:所述步骤16具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层， 用于防止寄生电子发射；经过烘烤，烘烤温度：150°C，保持时间：5分钟， 之后，放置在烧结炉中进行高温烧结，烧结温度：5S0。C，保持时间：IO分钟。

5、 根据权利要求3所述的悬置环形阴极结构的平板显示器的制作工艺， 其特征在于:所述步骤17具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层； 在烘箱当中进行烘烤，烘烤温度：120°C，保持时间：IO分钟。

6、 根据权利要求3所述的悬置环形阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤19具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装 管脚形成成品件。

说明书

悬置环形阴极结构的平板显示器及其制作工艺

技术领域

本发明属于平板显示技术领域、微电子科学与技术领域、真空科学与技术 领域以及纳米科学与技术领域的相互交叉领域，涉及到平板场致发射显示器的 器件制作，具体涉及到碳纳米管阴极的平板场致发射显示器的器件制作方面的 内容，特别涉及一种悬置环形阴极结构的平板显示器及其制作工艺。 背景技术
场致发射显示器采用了类似传统阴极射线管显示器的工作原理，即用电子 束轰击屏幕上的荧光粉而发出可见光。这使得场致发射显示器能够把阴极射线 管的明亮清晰高质量图像和液晶显示器的轻、薄结合起来，具有高清晰度、高 亮度、高分辨率以及功耗低等优点，是一种新型的平板显示设备。碳纳米管具 有小的尖端曲率半径，在外加电场强度的作用下能够发射出大量的电子，是一 种相当优秀的冷阴极发射材料，在真空显示技术方面具有极大的应用潜力。而 利用这一场致发射原理制作的碳纳米管阴极平板显示器件则己成为了目前国际 平板显示领域的热门话题。
栅极结构是三极场致发射平板显示器中的关键控制元件之一，它直接决定 着碳纳米管阴极能否进行电子发射，而进一步降低栅极结构的工作电压也是众 多研究者们努力的方向之一。其中尽可能縮小栅极结构和碳纳米管阴极结构之 间的距离是比较见效可行的方法，但这一方法也受到诸如绝缘材料的制作可行 性、绝缘材料的绝缘等级等等因素的制约。而碳纳米管阴极的形状也对所形成 的电场强度具有一定的影响作用，很显然，碳纳米管阴极的形状越陡，也就越有利于进一步增强阴极表面的电场强度，使得碳纳米管阴极能够在较低的电压 下就发射电子，这也是从另一角度来降低栅极结构的工作电压。那么，在实际 器件的制作过程中，如何将各种有利因素相互结合起来，能够制作出质量更高、 效果更好的平板器件，这是众多科研人员值得思考的问题。
此外，在三极结构的平板场致发射显示器件当中，在确保栅极结构对碳纳 米管阴极具有良好控制作用的前提下，还需要尽可能的降低总体器件成本，进 行稳定可靠、成本低廉、性能优良、高质量的器件制作。 发明内容
本发明的目的在于克服上述平板显示器件中存在的缺点和不足而提供一种 成本低廉、制作过程稳定可靠、制作成功率高、结构简单的悬置环形阴极结构 的平板显示器及其制作工艺。
本发明的目的是这样实现的，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周
玻璃围框所构成的密封真空腔；设置在阳极玻璃面板上的阳极导电层以及制备 在阳极导电层上面的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑 墙结构以及消气剂附属元件，在阴极玻璃面板上有阴极导电层、碳纳米管以及 悬置环形阴极结构。
所述的悬置环形阴极结构的衬底材料为玻璃，如钠钙玻璃、硼硅玻璃，也 就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成阻滞层；阻滞层 上面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层上面的印刷的绝缘浆料层 形成间隔层；间隔层的下表面为平面，要覆盖住阴极引线层以及空余的阻滞层 部分；间隔层中存在倒置圆台型斜面孔，即倒置圆台型斜面孔在间隔层的上表 面的截面是一个圆形面，此处的直径最大，然后从间隔层的上表面开始，倒置 圆台斜面孔的内侧壁逐渐倾斜，其直径也越来越小，直至到达间隔层的下表面位置为止，整个斜面孔类似于一个倒置的圆台型形状；间隔层中倒置圆台斜面 孔的底部要暴露出阴极引线层；间隔层倒置圆台斜面孔的下半部分内侧壁上的 刻蚀后的金属层形成阴极延长线层；阴极延长线层和阴极引线层是相互连通的； 倒置圆台斜面孔中印刷的银桨层形成提升层；提升层呈现一个类斜三角型形状， 即提升层的基部大部分坐落于靠近间隔层下表面的阴极延长线层上面，少部分 坐落于阻滞层上面，提升层的顶部斜向上，呈现一个类等腰三角型形状，末端 汇聚成一个尖点，但在靠近三角型尖点的部分发生弯曲，其尖角指向方向变换 成垂直于阴极玻璃面板并指向阳极方向；整个提升层环绕在倒置圆台斜面孔的 底部周围，形成一个环型形状；提升层的上表面上的刻蚀后的金属层形成阴极 导电层；间隔层中倒置圆台斜面孔中靠近间隔层上表面处印刷的绝缘浆料层形 成栅极基底层；栅极基底层依附于倒置圆台斜面孔的内侧壁上，其上表面是一 个倾斜的平面，其倾斜后的角度以正好指向提升层顶部尖点为准；栅极基底层 上表面的刻蚀后的金属层形成调控栅极层；调控栅极层覆盖在栅极基底层的上 表面，其前端向前延伸，呈现悬空态；间隔层上面的刻蚀后的金属层形成栅极 引线层；栅极引线层和调控栅极层是相互连通的；栅极引线层上面的印刷的绝 缘浆料层形成栅极覆盖层；栅极覆盖层要覆盖住全部的栅极引线层以及部分的 调控栅极层，不能够覆盖处于悬空态的调控栅极层；碳纳米管制备在阴极导电 层的上面。
所述的悬置环形阴极结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；阴极 引线层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬、铅、锡、铟；阴极延长线层可以 为金属金、银、铝、钼、络、锡；阴极导电层可以为金属铁、钴、镍；调控栅 极层可以为金属金、银、铝、铜、钼、铬；栅极引线层的走向和阴极引线层的 走向是相互垂直的；栅极引线层可以为金属金、银、铝、钼、铬。一种带有悬置环形阴极结构的平板显示器的制作工艺，其制作工艺如下：
1) 阴极玻璃面板[l]的制作：对整体平板玻璃进行划割，制作出阴极玻璃
面板；
2) 阻滞层[2]的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结 工艺后形成阻滞层；
3) 阴极引线层[3]的制作：在阻滞层的上面制备出一个金属层；刻蚀后形 成阴极引线层；
4) 间隔层[4]的制作：在阴极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧 结工艺后形成间隔层；
5) 阴极延长线层[5]的制作：在间隔层倒置圆台斜面孔的内侧壁上制备出 一个金属层，刻蚀后形成阴极延长线层；
6) 提升层[6]的制作：在倒置圆台斜面孔中印刷银浆层，经烘烤、烧结工 艺后形成提升层；
7) 阴极导电层[7]的制作：在提升层的上表面上制备出一个金属层，刻蚀
后形成阴极导电层；
8) 栅极基底层[8]的制作：在倒置圆台斜面孔上边缘内侧壁上印刷绝缘浆 料，经烘烤、烧结工艺后形成栅极基底层；
9) 调控栅极层[9]的制作：在栅极基底层的上面制备出一个金属层，刻蚀 后形成调控栅极层；
10) 栅极引线层[10]的制作：在间隔层上面制备出一个金属层，刻蚀后形
成栅极引线层；
11) 栅极覆盖层[ll]的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘
烤、烧结工艺后形成栅极覆盖层；12) 悬置环形阴极结构的表面清洁处理：对悬置环形阴极结构的表面进行 清洁处理，除掉杂质和灰尘；
13) 碳纳米管[12]的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；
14) 碳纳米管的后处理：对碳纳米管进行后处理，改善场致发射特性；
15) 阳极玻璃面板[13]的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阳极 玻璃面板；
16) 阳极导电层[14]的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层； 刻蚀后形成阳极导电层；
17) 绝缘浆料层[15]的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘桨料层；
18) 荧光粉层[16]的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；
19) 器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[17]和四周 玻璃围框[18]装配到一起，并将消气剂[19]放入到空腔当中，用低熔点玻璃私、 固定。在玻璃面板的四周涂抹好低瑢点玻璃粉，用夹子固定；
20) 成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。 所述步骤17具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止
寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度：150°C，保持时间：5分钟）之后，放置在 烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：5S0。C，保持时间：IO分钟）。
所述步骤18具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当 中进行烘烤(烘烤温度：120°C，保持时间：IO分钟）。
所述步骤20具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件 放入烘箱当中进行烘烤,.放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、
封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。
本发明具有如下的积极效果：首先，在所述的悬置环形阴极结构中，将碳纳米管阴极制备在了呈现悬空 设置的阴极基底层上面的阴极导电层的上面。这样，可以充分利用碳纳米管阴 极电子发射中的边缘位置发射大量电子的现象，提高了碳纳米管阴极的电子发 射效率。更改了碳纳米管阴极的表面形状，这有利于在比较低的栅极工作电压 下产生更强大的电场强度，从而进一步降低栅极结构的工作电压。增大了碳纳 米管阴极的电子发射面积，使得更多的碳纳米管阴极都参与电子发射，有利于 提高整体器件的显示图像质量。
其次，在所述的悬置环形阴极结构中，对栅极形状进行了变换，分别制作 了栅极引线层和调控栅极层两部分，呈现折线型形状。其中，调控栅极层的末 端直接指向最尖端的碳纳米管阴极， 一方面可以有效地縮短二者之间的距离， 从而降低栅极结构工作电压，另一方面还可以进一步增强碳纳米管阴极表面顶 端的电场强度，迫使其发射出大量的电子。将栅极结构和阴极结构高度集成到
一起，有助于促进整体器件的高度集成化发展；
此外，在所述的悬置环形阴极结构中，并没有采用特殊的结构制作材料， 也没有采用特殊的器件制作工艺，这在很大程度上就进一步降低了整体平板显 示器件的制作成本，简化了器件的制作过程，能够进行大面积的器件制作，有 利于进行商业化的大规模生产。 附图说明
图1给出了悬置环形阴极结构的纵向结构示意图； 图2给出了悬置环形阴极结构的横向结构示意图；
图3给出了带有悬置环形阴极结构发射结构的、碳纳米管场致发射平面显 示器的结构示意图。 具体实施方式下面结合附图和实施例对本发明进行进一步说明，但本发明并不局限于这 些实施例。
所述的一种带有悬置环形阴极结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板 [13]、阴极玻璃面板[1]和四周玻璃围框[18]所构成的密封真空腔；在阳极玻璃 面板上有阳极导电层[14]以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层[16];在阴极 玻璃面板上有阴极导电层[7]、碳纳米管[12]以及悬置环形阴极结构；位于阳极
玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[17]以及消气剂[19]附属元件。
所述的悬置环形阴极结构包括阴极玻璃面板[l]、阻滞层[2]、阴极引线层 [3]、间隔层[4]、阴极延长线层[5]、提升层[6]、阴极导电层[7]、栅极基底层 [8]、调控栅极层[9]、栅极引线层[IO]、栅极覆盖层[11]和碳纳米管[12]部分。
所述的悬置环形阴极结构的衬底材料为玻璃，如钠钙玻璃、硼硅玻璃，也 就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成阻滞层；阻滞层 上面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层上面的印刷的绝缘浆料层 形成间隔层；间隔层的下表面为平面，要覆盖住阴极引线层以及空余的阻滞层 部分；间隔层中存在倒置圆台型斜面孔，即倒置圆台型斜面孔在间隔层的上表 面的截面是一个圆形面，此处的直径最大，然后从间隔层的上表面开始，倒置 圆台斜面孔的内侧壁逐渐倾斜，其直径也越来越小，直至到达间隔层的下表面 位置为止，整个斜面孔类似于一个倒置的圆台型形状；间隔层中倒置圆台斜面 孔的底部要暴露出阴极引线层；间隔层倒置圆台斜面孔的下半部分内侧壁上的 刻蚀后的金属层形成阴极延长线层；阴极延长线层和阴极引线层是相互连通的； 倒置圆台斜面孔中印刷的银浆层形成提升层；提升层呈现一个类斜三角型形状， 即提升层的基部大部分坐落于靠近间隔层下表面的阴极延长线层上面，少部分 坐落于阻滞层上面，提升层的顶部斜向上，呈现一个类等腰三角型形状，—末端汇聚成一个尖点，但在靠近三角型尖点的部分发生弯曲，其尖角指向方向变换 成垂直于阴极玻璃面板并指向阳极方向；整个提升层环绕在倒置圆台斜面孔的 底部周围，形成一个环型形状；提升层的上表面上的刻蚀后的金属层形成阴极 导电层；间隔层中倒置圆台斜面孔中靠近间隔层上表面处印刷的绝缘浆料层形 成栅极基底层；栅极基底层依附于倒置圆台斜面孔的内侧壁上，其上表面是一 个倾斜的平面，其倾斜后的角度以正好指向提升层顶部尖点为准；栅极基底层 上表面的刻蚀后的金属层形成调控栅极层；调控栅极层覆盖在栅极基底层的上 表面，其前端向前延伸，呈现悬空态；间隔层上面的刻蚀后的金属层形成栅极 引线层；栅极引线层和调控栅极层是相互连通的；栅极引线层上面的印刷的绝 缘浆料层形成栅极覆盖层；栅极覆盖层要覆盖住全部的栅极引线层以及部分的 调控栅极层，不能够覆盖处于悬空态的调控栅极层；碳纳米管制备在阴极导电 层的上面。
所述的悬置环形阴极结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；阴极 引线层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬、铅、锡、铟；阴极延长线层可以 为金属金、银、铝、钼、铬、锡；阴极导电层可以为金属铁、钴、镍；调控栅 极层可以为金属金、银、铝、铜、钼、铬；栅极引线层的走向和阴极引线层的 走向是相互垂直的；栅极引线层可以为金属金、银、铝、钼、铬。
一种带有悬置环形阴极结构的平板显示器的制作工艺，其制作工艺如下：
1) 阴极玻璃面板[l]的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阴极 玻璃面板；
2) 阻滞层[2]的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结
工艺后形成阻滞层；
3) 阴极引线层[3]的制作：在阻滞层的上面制备出一个金属钼层；刻蚀形成阴极引线层；
4) 间隔层[4]的制作：在阴极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧 结工艺后形成间隔层；
5) 阴极延长线层[5]的制作：在间隔层倒置圆台斜面孔的内侧壁上制备出 一个金属钼层，刻蚀后形成阴极延长线层；
6) 提升层[6]的制作：在倒置圆台斜面孔中印刷银浆层，经烘烤、烧结工 艺后形成提升层；
7) 阴极导电层[7]的制作：在提升层的上表面上制备出一个金属镍层，刻 蚀后形成阴极导电层；
8) 栅极基底层[8]的制作：在倒置圆台斜面孔上边缘内侧壁上印刷绝缘浆 料，经烘烤、烧结工艺后形成栅极基底层；
9) 调控栅极层[9]的制作：在栅极基底层的上面制备出一个金属铬层，刻 蚀后形成调控栅极层；
10) 栅极引线层[10]的制作：在间隔层上面制备出一个金属铬层，刻蚀后 形成栅极引线层；
11) 栅极覆盖层[ll]的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘 烤、烧结工艺后形成栅极覆盖层；
12) 悬置环形阴极结构的表面清洁处理：对悬置环形阴极结构的表面进行 清洁处理，除掉杂质和灰尘；
13) 碳纳米管[12]的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；
14) 碳纳米管的后处理：对碳纳米管进行后处理，改善场致发射特性；
15) 阳极玻璃面板[13]的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阳极 玻璃面板；16) 阳极导电层[14]的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层; 刻蚀后形成阳极导电层；
17) 绝缘浆料层[15]的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层;
18) 荧光粉层[16]的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；
19) 器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[17]和四周 玻璃围框[18]装配到一起，并将消气剂[19]放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉 固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔点玻璃粉，用夹子固定；
20) 成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。
所述步骤17具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止 寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度：150°C，保持时间：5分钟)之后，放置在 烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：580°C，保持时间：IO分钟）。
所述步骤18具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当 中进行烘烤(烘烤温度：120°C，保持时间：IO分钟）。
所述步骤20具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件 放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、 封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。