光源装置、其制造方法以及头模块转让专利
申请号 : CN200610059894.7
文献号 : CN100590539C
文献日 : 2010-02-17
发明人 : 中岛章
申请人 : 精工爱普生株式会社
摘要 :
本发明提供一种可得到必要的光量的行式头模块。按顺序接近配置：将有机EL元件(3)在主扫描方向(x)上排列配置的行式头(1)，将来自有机EL元件(3)的出射光(1r)在主扫描方向(x)上大致平行化的第一光学机构(80)，将来自第一光学机构(80)的出射光(80r)在副扫描方向(y)上进行聚光的第二光学机构(90)。有机EL元件(3)的发光面(26)在副扫描方向(y)的长度一方比主扫描方向(x)一方的长度长。例如，第一光学机构(80)是棱镜片(81)，第二光学机构(90)是柱面透镜(91)。
权利要求 :
1、一种光源装置，具备：
发光装置，其具备多个发光元件；
第一光学机构，其将来自所述发光元件的出射光，在第一方向上平行 化；和第二光学机构，其将经所述第一光学机构被平行化的所述出射光，在 与所述第一方向交叉的第二方向上进行聚光，其中，
所述发光装置的所述多个发光元件在所述第一方向上被排列配置，所述第一光学机构具备与每个所述发光元件接近配置的由多个聚光 元件构成的聚光元件组，与一个所述发光元件对应的所述聚光元件组，与光量比所述的一个发 光元件更多的另外的所述发光元件所对应的所述聚光元件组相比，具备更 多的所述聚光元件。
2、根据权利要求1所述的光源装置，其特征在于，所述发光装置、所述第一光学机构以及所述第二光学机构被按顺序密 接配置。
3、根据权利要求1或2所述的光源装置，其特征在于，所述发光装置的所述多个发光元件的发光面在所述第一方向被排列 配置，所述发光面的所述第二方向的长度比所述第一方向的长度更长。
4、根据权利要求1或2所述的光源装置，其特征在于，所述第一方向是主扫描方向，所述第二方向是副扫描方向。
5、根据权利要求1或2所述的光源装置，其特征在于，所述发光元件是有机EL元件。
6、根据权利要求1或2所述的光源装置，其特征在于，所述第一光学机构是微透镜阵列。
7、根据权利要求1或2所述的光源装置，其特征在于，所述第一光学机构是棱镜片。
8、根据权利要求1或2所述的光源装置，其特征在于，所述第二光学机构是柱面透镜。
9、根据权利要求1或2所述的光源装置，其特征在于，所述第二光学机构是线性菲涅耳透镜。
10、一种光源装置的制造方法，所述光源装置具备：发光装置，其具 备多个发光元件；第一光学机构，其将来自所述发光元件的出射光，在第 一方向上平行化；和第二光学机构，其将经所述第一光学机构被平行化的 所述出射光，在与所述第一方向交叉的第二方向上进行聚光，所述发光装置的所述多个发光元件在所述第一方向上被排列配置，所述第一光学机构具备与每个所述发光元件接近配置的由多个聚光 元件构成的聚光元件组，所述光源装置的制造方法的特征在于，包括：测定所述发光元件的光量的工序；
对于与一个所述发光元件对应的所述聚光元件组，形成与光量比所述 一个发光元件更多的另外的所述发光元件所对应的所述聚光元件组相比 更多的所述聚光元件的工序。
11、一种行式头模块，其具备权利要求1～9中任一项所述的光源装 置。
12、根据权利要求11所述的行式头模块，其特征在于，将由所述第二光学机构聚光的光导向感光体，将所述感光体曝光。
说明书 :
技术领域
本发明涉及一种光源装置、其制造方法以及行式头模块。
背景技术
作为利用电子照相方式的打印机，公知有行式打印机(图像形成装 置)。该行式打印机，在成为被曝光部的感光鼓的周面上，接近配置带电 器、行式打印头(行式头)、显影器、转写器等装置。即，在通过带电器 被带电后的感光鼓的周面上，通过以在行式头中设置的发光元件选择性的 发光动作进行曝光，从而形成静电潜像，将该潜像经从显影器供给的调色 剂进行显影，以将该调色像用转写器转写在用纸上。
在该电子照相方式的行式打印机中，一般采用通过使来自行式头的放 射光通过Celfoc(登录商标)透镜阵列(日本Nippon Sheet Glass公司的 商品名)，从而在感光鼓上成像、并曝光的方式。该透镜阵列，通过排列 多个正立等倍成像的圆柱状的Celfoc(登录商标)透镜阵列，从而可进行 宽范围的图像的成像。
然而，作为上述这样的行式头的发光元件，一般采用发光二极管等。 但是，这样产生的问题在于，高精度地排列数千个发光点极其困难。因此， 在近年来，具备令高精度地产生发光点的有机电致发光元件(有机EL元 件)成为发光元件的发光元件阵列，作为曝光机构的图像形成装置(例如 参照专利文献1)。
【专利文献1】特开平10-55890
然而，在当前被实用化的有机EL元件，发光强度较小。因此，得到 曝光所需要的光量较困难。另外，为了增加光量而使有机EL元件的电流 密度增加，缩短有机EL元件的寿命。
在该电子照相方式的行式打印机中，一般采用通过使来自行式头的放 射光通过Celfoc(登录商标)透镜阵列(日本Nippon Sheet Glass公司的 商品名)，从而在感光鼓上成像、并曝光的方式。该透镜阵列，通过排列 多个正立等倍成像的圆柱状的Celfoc(登录商标)透镜阵列，从而可进行 宽范围的图像的成像。
然而，作为上述这样的行式头的发光元件，一般采用发光二极管等。 但是，这样产生的问题在于，高精度地排列数千个发光点极其困难。因此， 在近年来，具备令高精度地产生发光点的有机电致发光元件(有机EL元 件)成为发光元件的发光元件阵列，作为曝光机构的图像形成装置(例如 参照专利文献1)。
【专利文献1】特开平10-55890
然而，在当前被实用化的有机EL元件，发光强度较小。因此，得到 曝光所需要的光量较困难。另外，为了增加光量而使有机EL元件的电流 密度增加，缩短有机EL元件的寿命。
发明内容
本发明，就是用于解决以上问题的，其目的在于提供一种可得到需要 的光量的光源装置、其制造方法以及行式头模块。
为了实现上述目的，本发明的光源装置，其特征在于，具备：发光装 置，其具备多个发光元件；第一光学机构，其将来自上述发光元件的出射 光，在第一方向上平行化；和第二光学机构，其将来自上述第一光学机构 的出射光，在与上述第一方向交叉的第二方向上进行聚光，上述发光装置 的多个上述发光元件排列配置在上述第一方向上，上述第一光学机构，具 备由与每个上述发光元件被接近配置的多个聚光元件构成的聚光元件组。 与一个上述发光元件对应的上述聚光元件组，具备与光量比上述一个发光 元件更多的另外的上述发光元件对应的上述聚光元件组相比更多的上述 聚光元件。
根据该构成，由于来自发光元件的出射光在第一方向上大致平行化， 并进行点照射，因此能够将点的第一方向宽度设定为给定值。另外，由于 来自第一光学机构的出射光在第二方向上聚光，并进行点照射，因此能够 确保点的光量。另外，可使多个发光元件的光量不均变得均匀化，能够使 多个点照射的光量均匀化。
并且，上述发光装置，优选上述第一光学机构以及上述第二光学机构 被按顺序密接配置。
根据本构成，可将来自发光元件的出射光几乎全部利用于点照射，能 够确保点光量。
并且优选上述发光装置的多个上述发光元件的发光面，在上述第一方 向被排列配置；上述发光面的上述第二方向的长度比上述第一方向的长度 更长。
另外，优选上述第一方向是主扫描方向，上述第二方向是副扫描方向。
根据该构成，点的第一方向宽度的设定变得容易，能够以狭小的间隔 进行多个点照射。另外，在第二方向上可对更多的光进行聚光，能够充分 确保点光量。
另外优选上述发光元件是有机EL元件。
虽然有机EL元件，被高精度地制作，但发光强度比较小。因此通过 应用本发明，能够确保光的光量。
另外，优选上述第一光学机构为维透镜阵列。
维透镜阵列，可以采用喷墨法高精度地形成。
另外，优选上述第一光学机构，是棱镜片。
棱镜片廉价，能够降低第一光学机构的制造成本。
另外优选上述第二光学机构，是柱面透镜。
另外优选上述第二光学机构，是线性菲涅耳透镜。
根据这些构成，可使来自第一光学机构的出射光在第二方向上充分聚 光，能够确保点光量。
另一方面，一种本发明的光源装置的制造方法，上述光源装置具备： 发光装置，其具备多个发光元件；第一光学机构，其将来自上述发光元件 的出射光，在第一方向上大致平行化；和第二光学机构，其将来自上述第 一光学机构的出射光，在与上述第一方向交叉的第二方向上进行聚光，上 述发光装置的上述多个发光元件在上述第一方向上被排列配置，上述第一 光学机构具备与每个上述发光元件接近配置的由多个聚光元件构成的聚 光元件组，上述光源装置的制造方法的特征在于，包括：测定上述发光元 件的光量的工序；对于与一个上述发光元件对应的上述聚光元件组，形成 与光量比上述一个发光元件更多的另外的上述发光元件所对应的上述聚 光元件组相比更多的上述聚光元件的工序。
根据该构成，可使多个发光元件的光量不均均匀化，能够使多个点照 射的光量均匀化。
另一方面，本发明的行式头模块，其特征在于，具备上述光源装置。 并且优选将通过上述第二光学机构所被聚光的光导向感光体，对上述感光 体进行曝光。
根据该构成，由于能够使点间隔变窄，因此能够进行点间距较小的高 精细的曝光。另外，能够确保感光体的曝光所需要的光量。
为了实现上述目的，本发明的光源装置，其特征在于，具备：发光装 置，其具备多个发光元件；第一光学机构，其将来自上述发光元件的出射 光，在第一方向上平行化；和第二光学机构，其将来自上述第一光学机构 的出射光，在与上述第一方向交叉的第二方向上进行聚光，上述发光装置 的多个上述发光元件排列配置在上述第一方向上，上述第一光学机构，具 备由与每个上述发光元件被接近配置的多个聚光元件构成的聚光元件组。 与一个上述发光元件对应的上述聚光元件组，具备与光量比上述一个发光 元件更多的另外的上述发光元件对应的上述聚光元件组相比更多的上述 聚光元件。
根据该构成，由于来自发光元件的出射光在第一方向上大致平行化， 并进行点照射，因此能够将点的第一方向宽度设定为给定值。另外，由于 来自第一光学机构的出射光在第二方向上聚光，并进行点照射，因此能够 确保点的光量。另外，可使多个发光元件的光量不均变得均匀化，能够使 多个点照射的光量均匀化。
并且，上述发光装置，优选上述第一光学机构以及上述第二光学机构 被按顺序密接配置。
根据本构成，可将来自发光元件的出射光几乎全部利用于点照射，能 够确保点光量。
并且优选上述发光装置的多个上述发光元件的发光面，在上述第一方 向被排列配置；上述发光面的上述第二方向的长度比上述第一方向的长度 更长。
另外，优选上述第一方向是主扫描方向，上述第二方向是副扫描方向。
根据该构成，点的第一方向宽度的设定变得容易，能够以狭小的间隔 进行多个点照射。另外，在第二方向上可对更多的光进行聚光，能够充分 确保点光量。
另外优选上述发光元件是有机EL元件。
虽然有机EL元件，被高精度地制作，但发光强度比较小。因此通过 应用本发明，能够确保光的光量。
另外，优选上述第一光学机构为维透镜阵列。
维透镜阵列，可以采用喷墨法高精度地形成。
另外，优选上述第一光学机构，是棱镜片。
棱镜片廉价，能够降低第一光学机构的制造成本。
另外优选上述第二光学机构，是柱面透镜。
另外优选上述第二光学机构，是线性菲涅耳透镜。
根据这些构成，可使来自第一光学机构的出射光在第二方向上充分聚 光，能够确保点光量。
另一方面，一种本发明的光源装置的制造方法，上述光源装置具备： 发光装置，其具备多个发光元件；第一光学机构，其将来自上述发光元件 的出射光，在第一方向上大致平行化；和第二光学机构，其将来自上述第 一光学机构的出射光，在与上述第一方向交叉的第二方向上进行聚光，上 述发光装置的上述多个发光元件在上述第一方向上被排列配置，上述第一 光学机构具备与每个上述发光元件接近配置的由多个聚光元件构成的聚 光元件组，上述光源装置的制造方法的特征在于，包括：测定上述发光元 件的光量的工序；对于与一个上述发光元件对应的上述聚光元件组，形成 与光量比上述一个发光元件更多的另外的上述发光元件所对应的上述聚 光元件组相比更多的上述聚光元件的工序。
根据该构成，可使多个发光元件的光量不均均匀化，能够使多个点照 射的光量均匀化。
另一方面，本发明的行式头模块，其特征在于，具备上述光源装置。 并且优选将通过上述第二光学机构所被聚光的光导向感光体，对上述感光 体进行曝光。
根据该构成，由于能够使点间隔变窄，因此能够进行点间距较小的高 精细的曝光。另外，能够确保感光体的曝光所需要的光量。
附图说明
图1为行式头模块的立体图。
图2为行式头模块的分解立体图。
图3(a)为第一光学机构的变形例，(b)为第二光学机构的变形例。
图4为有机EL元件与聚光元件组之间的对应关系的说明图。
图5为行式头的侧面剖面图。
图6为维透镜的制造方法的说明图。
图7为串联方式的图像形成装置的示意构成图。
图8为4循环方式的图像形成装置的示意构成图。
图中：x-主扫描方向，y-副扫描方向，1-行式头，1r-出射光，3 -有机EL元件，26-发光面，80-第一光学机构，80r-出射光，81-棱 镜片，90-第二光学机构，91-柱面透镜。
图2为行式头模块的分解立体图。
图3(a)为第一光学机构的变形例，(b)为第二光学机构的变形例。
图4为有机EL元件与聚光元件组之间的对应关系的说明图。
图5为行式头的侧面剖面图。
图6为维透镜的制造方法的说明图。
图7为串联方式的图像形成装置的示意构成图。
图8为4循环方式的图像形成装置的示意构成图。
图中：x-主扫描方向，y-副扫描方向，1-行式头，1r-出射光，3 -有机EL元件，26-发光面，80-第一光学机构，80r-出射光，81-棱 镜片，90-第二光学机构，91-柱面透镜。
具体实施方式
以下，关于本发明的实施方式，参照附图进行具体说明。另外，以下 参照的各个附图中，为了容易看图，对各构成要素的尺寸等进行适当变更 后显示。
(行式头模块)
首先，针对作为图像形成装置的曝光机构采用的行式头模块进行说 明。
图1，为行式头模块的立体图。本实施方式的行式头模块101，其构 成为，将行式头(发光装置)1，其将多个有机EL元件(未图示)排列配 置；第一光学机构80，其将来自行式头1的出射光在主扫描方向(x方向， 第一方向)大致平行化；和第二光学机构90，其将来自第一光学机构80 的出射光在副扫描方向(y方向，第二方向)进行聚光、按顺序密接配置。 并且，将来自行式头模块101的出射光，点照射至感光鼓341的外周面， 使感光鼓341进行曝光。
图2，为行式头模块的分解立体图。另外，构成行式头模块101的行 式头1、第一光学机构80以及第二光学机构90，虽然延伸在x方向，但 在图2中，仅将它们的一部分放大显示。
在行式头1中，在x方向以等间距配置多个有机EL元件3。有机EL 元件3在x方向的间距，因感光鼓的曝光所需要的解析度而决定。并且有 机EL元件3的发光面26中在y方向的长度，比x方向的长度更长。并且， 使从该发光面26的各部放射状照射光。另外，关于有机EL元件3的详细 构造后述。
在行式头1的后方，配置第一光学机构80，其将来自行式头1的出射 光在x方向上大致平行化。作为第一光学机构80，优选采用如图2所示的 棱镜片81。该棱镜片81，具备作为聚光元件的三楞柱状的棱镜82。该三 楞柱状棱镜82，使顶边(长度方向)与y方向大致一致，以数μm的间距 排列配置在x方向。并且，通过适当选择三楞柱棱镜82的顶角，从而使 来自行式头1的出射光1r在x方向上大致平行化。该棱镜片廉价，能够降 低第一光学机构的制造成本。
另外作为第一光学机构80的聚光元件，代替上述三楞柱棱镜82或者 与三楞柱82的同时，还可以采用椭圆筒平凸透镜和圆筒平凸透镜等。并 且，还可以采用将三楞柱棱镜的顶角作为切割点设置平坦面。通过适当设 定这些极率或顶角，从而能够使来自行式头1的出射光1r在x方向上大致 平行化。
并且作为第一光学机构80，还可以采用如图3(a)所示的微透镜阵 列86。微透镜阵列86，具备作为聚光元件的半球状平凸微透镜。微透镜 87，以数μm的间距被非常密集地填充配置在基板89上。这种情况下，通 过适当设定微透镜87的曲率，从而使来自行式头的出射光在x方向大致 平行化，同时在y方向上也进行聚光。
另外，作为第一光学机构80的聚光元件，代替微透镜87或者与微透 镜87的同时，还可以采用角锥棱镜或圆锥棱镜、椭圆求平凸棱镜等。并 且，还可以采用将角锥棱镜或圆锥棱镜的顶部作为切割点设置平坦面。通 过适当设定这些顶角或极率，从而使来自行式头的出射光在x方向上大致 平行化，同时在y方向上也进行聚光。
返回图2，在第一光学机构80的后方，配置第二光学机构90，其将 来自第一光学机构80的出射光在y方向上进行聚光。作为第二光学机构 90，优选采用如图2所示的圆柱透镜91。在图2中，一个半圆柱状的圆柱 透镜91，被配置使其长度方向在x方向大致一致。并且，通过适当设定圆 柱透明91的曲率，从而使来自第一光学机构80的出射光在y方向进行聚 光。
另外，作为第二光学机构90，也可以采用如图3(b)所示的线性菲 涅耳透镜。线性菲涅耳96，将圆柱透明的曲面在宽度方向分割配置成平面 状。并且如图2所示的第二光学机构90，也可以采用衍射透镜。
再返回图2，作为行式头模块101的构成部件的行式头1、第一光学 机构80以及第二光学机构90，通过光学粘合剂被相互固定，按顺序被密 接配置。光学粘合剂，优选采用折射率小的材料，对于各构成部件部分进 行涂布。另外，通过在行式头模块101的周缘部设置框体，从而密接配置 各构成部件。
在如上述构成的行式头模块101中，来自行式头1的有机EL元件3 的出射光1r向第一光学机构80入射。另外，由于行式头1和第一光学机 构80密接配置，因此能够使出射光1r几乎全部向第一光学机构80入射， 利用于曝光。在该第一光学机构80中，至少使出射光1r在x方向上大致 平行化并出射。
进而，来自第一光学机构80的出射光80r向第二光学机构90入射。 另外，来自行式头1的出射光1r在第一光学机构80中还在y方向进行聚 光的情况下，使来自第一光学机构80的出射光80r几乎全部向密接配置的 第二光学大机构入射，利用于曝光。在该第二光学机构90中，使出射光 80r在y方向上进行聚光。这样，将来自第二光学机构90的出射光90r缩 小，对于感光鼓的外周面进行照射呈点99状。
在此，通过适当设定行式头1的有机EL元件3的发光面26中在x方 向的长度、和第一光学机构80中在x方向的聚光率，从而可以将点99的 x方向宽度设定为规定值。另外因第一光学机构80的聚光率存在界限，因 此使发光面26在x方向的长度，比点99的x方向宽度更短。然而，如上 述关于x方向由于可以将出射光1r几乎全部利用于曝光，因此能够选择曝 光所需要的光量。
另一方面，通过适当设定行式头1的有机EL元件3的发光面26中在 y方向的长度、和第二光学机构90中在y方向的聚光率，从而也能够将点 99的y方向宽度设定为规定值。另外，通过第二光学机构90中的聚光， 从而使点99的y方向宽度，比发光面26的y方向长度更短。因此，可使 来自发光面26的出射光集中在点99，能够确保曝光所需要的光量。
并且，发光面26在y方向的长度，比x方向的长度更长而形成。根 据该构成，点99在x方向的宽度的设定变得容易，能够使点99的间隔变 窄。这样，能够进行点间距较小的高精细的曝光。另外，在y方向上可对 更多的光进行聚光，能够充分确保曝光所需要的光量。
(聚光元件组)
图4，为有机EL元件与聚光元件之间的对应关系的说明图。以下， 以采用微透镜87作为第一光学机构80的情况为例进行说明。
在第一光学机构80中，由与各有机EL元件3接近配置的多个聚光元 件，构成聚光元件组。例如，由与第一发光面26a接近配置的多个微透镜 87a构成第一聚光元件组80a，由与第二发光面26b接近配置的多个微透 镜87b构成第二聚光元件组80b。
并且，与一个发光面对应的聚光元件组，与光量比该一个发光面更多 的另外的发光面对应的聚光元件组相比具备更多的聚光元件。例如，在第 一发光面26a的光量(亮度)比第一发光面26b的光量多的情况下，第二 聚光元件组80b中包含的微透镜87b的数量比第一聚光元件80a中包含的 微透镜87a的数量更多。另外，各聚光元件组中包含的微透镜，集中在发 光面的中央部而配置。
关于制造这样的光源装置，首先制作行式头1，测量各发光面的光量。 接着，依据其测定结果，决定各聚光元件组中包含的聚光元件的数量，制 作第一光学机构80。即，对于与一个发光面对应的聚光元件组，形成与光 量比该一个发光面多的另外的发光面对应的聚光元件组相比更多的聚光 元件。
这样，来自光量较多的第一发光面26a的出射光中的出射角度较小(接 近发光面的法线方向)的光，经第一聚光元件组80的微透镜87a被大致 平行化并被点照射。并且来自第一发光面26a的出射光中的出射角度大的 光，向邻接的第二聚光元件组80b入射。相反，来自光量较少的第二发光 面26b的出射光，几乎全部经第二聚光元件组80b的微透镜87b而被大致 平行化并被点照射。这样，便可使有机EL元件3的光量不均平行化，能 够使多个点照射的光量均匀化。随之，便能够消除主扫描方向的曝光不均。
(行式头)
接着，针对行式头中的有机EL元件或其驱动元件等详细构成，参照 图5进行说明。
图5，为行式头的侧面剖面图。行式头1，以元件基板2、在元件基板 2的表面配置的驱动电路部5、在驱动电路部5的表面配置的多个有机EL 元件3、和将有机EL元件3密封的密封基板30为主而构成。在行式头 的主扫描方向(x方向)，以等间距配置多个有机EL元件3。各有机EL 元件3，从与元件基板2垂直的方向看形成大致长方形(或者大致长圆形)， 按照其长度方向(或者长轴方向)与行式头的副扫描方向(y方向)大致 一致的方式配置。在本实施方式中，以将从元件基板2侧发出有机EL元 件3中的发光光的底发射型的有机EL装置用于在行式头为例的情况进行 说明。
在底发射型的有机EL装置中，由于从元件基板2侧发出发光层60中 的发光光，因此采用透明或者半透明的采用作为元件基板2。例如，可采 用玻璃或石英、树脂(塑料、塑料膜)等，尤其适合采用玻璃基板。另外， 在从阴极50侧发出发光层60中的发光光的顶发射型的有机EL装置中， 也可采用透明基板以及不透明基板中的任一种作为元件基板2。作为不透 明基板，除例如矾土等陶瓷、不锈钢等金属片施以表面氧化等的绝缘处理 之外，还列举热硬化形树脂或热可塑性树脂等。
在元件基板2上，形成包含有机EL元件3的驱动用TFT123(驱动元 件4)等在内驱动电路部5。另外，也可在元件基板2上安装具备驱动电 路的半导体元件，构成有机EL装置。
作为驱动电路部5的具体构成，在元件基板2的表面形成由绝缘材料 组成的底部保护层281，在其上面形成作为半导体材料的硅层241。在该 硅层241的表面，形成以SiO2以及/或者SiN为主体的栅极绝缘层282。 在该栅极绝缘层282的表面，形成栅电极242。该栅电极242，由未图示 的扫描线的一部分构成。另外，在上述硅层241中、夹住栅极绝缘层282 且与栅电极242对置的区域，成为沟道区域241。另一方面，在栅电极242 以及栅极绝缘层282的表面，形成以SiO2为主体的第一层间绝缘层283。
并且在硅层241中、与沟道区域241a的一方侧，设置低浓度源极区 域241b以及高浓度源极区域241S，在沟道区域241a的另一方侧，设置低 浓度漏极区域241c以及高浓度漏极区域241D，所谓的LDD(Light Doped Drain)构造。它们其中高浓度源极区域241S，经由贯通栅极绝缘层282 以及第一层间绝缘层283的接触孔243a，与源极电极243连接。该源电极 243，由未图示的电源线的一部分构成。另一方面，高浓度漏极区域241D， 经由贯通栅极绝缘层282以及第一层间绝缘层283的接触孔244a，与配置 在与源电极243同层的漏电极244连接。
在上述的源电极243以及漏电极244、还有第一层间绝缘层283的上 层，形成以丙稀系或聚酰亚胺系等耐热性绝缘性树脂材料等主体的平坦化 膜284。该平坦化膜284，用于使因驱动用TFT123(驱动元件4)、源电 极243、漏电极244等而产生的表面凹凸消除而形成。
然后，在平坦化膜284的表面中的有机EL元件3的形成区域，形成 多个像素电极23。该像素电极23，以矩阵状配置在平坦化膜284的表面 上。像素电极23，经由被设置在该平坦化膜284中的接触孔23a，与漏电 极244连接。即，像素电极23，经由漏电极244，与硅层241的高浓度漏 极区域241D连接。
并且，在平坦化膜284的表面中的像素电极23的周围，形成由SiO2 等无机绝缘材料组成的无机隔壁25。进而在无机隔壁25的表面，形成由 聚酰亚胺等有机绝缘材料组成的有机隔壁221。并且，在配置在有机EL 元件3的形成区域中的像素电极23的上方，配置无机隔壁25的侧面25a 以及有机隔壁221的测满221a。
然后，在无机隔壁25的侧面25a以及有机隔壁221的侧面221a的内 侧，层叠形成多个功能膜，构成有机EL元件3。有机EL元件3，由将作 为阳极发挥功能的像素电极23、将来自该像素电极23的空穴注入/输送的 空穴注入层70、由有机EL物质组成的发光层60、和阴极50层叠而构成。
当底发射型的有机EL装置时，作为阳极发挥功能的像素电极23，由 ITO(铟锡氧化物)等透明导电材料形成。
作为空穴注入层70的形成材料，尤其适合采用3、4-聚乙烯二氧噻 吩/聚苯乙烯磺酸(PEDOT/PSS)的分散液，即，在作为分散剂的聚苯乙 烯磺酸中使3、4-聚乙烯二氧噻吩分散，进而使之分散在水中的分散液。
另外，作为空穴注入层70的形成材料，可使用并非限定于上述这些 的各种材料。例如，可使用将聚乙烯、聚吡咯、聚苯胺、聚乙炔或其衍生 物等分散在适当的分散剂中，例如上述聚苯乙烯磺酸中后的材料等。
作为用于形成发光层60的材料，采用可发出荧光或者磷光的公知的 发光材料。在本实施方式中，虽然采用发光波长带宽与红色对应的发光层， 但也可采用波长带宽与绿色或蓝色对应的发光层。
作为发光层60的形成材料，具体来说，适合采用(聚)芴衍生物(PF)、 (聚)对亚苯基亚乙烯衍生物(PPV)、聚亚苯基衍生物(PP)、聚对亚 苯基衍生物(PPP)、聚乙烯基咔唑(PVK)、聚噻吩衍生物、聚甲基- 苯基硅烷(PMPS)等聚硅烷系等。另外，这些高分子材料中，也可以掺 杂二萘嵌苯系色素、香豆素系色素、若丹明系色素等高分子系材料、蛇麻 素、二萘嵌苯、9、10-联苯蒽、四苯基丁二烯、尼罗红、香豆素6、香豆 灵等低分子材料而采用。
阴极50，由将主阴极以及辅助阴极层叠而构成。作为主阴极，优选采 用工作函数为3.0V以下的Ca或Mg、LiF等材料。这样，由于给主阴极 赋予作为电子注入层的功能，因此能够以低电压使发光层发光。另外，辅 助阴极，具有使阴极整体的导电性提高，同时保护主阴极受氧或水分破坏 的功能。另外，底发射型的有机EL装置中的辅助阴极，还具有使发光光 反射在阳极侧的功能。因此作为辅助阴极，优选采用导电性优良的Al、或 Au、Ag等金属材料。
另一方面，在阴极50的上方，形成由SiO2等组成的无机密封膜51。 在该无机密封膜51的上方，经粘合层40与密封基板30紧贴。另外，将 覆盖阴极50整体的密封间隙固定在元件基板2的周缘部，在该密封间隙 的内侧配置吸收水分或氧等的收气剂。
在上述的有机EL装置中，从驱动电路5的源电极243供给的图像信 号，在给定的时刻通过驱动元件4施加给像素电极23。并且，从该像素电 极23注入的空穴、和从阴极50注入的电子，在发光层60中重新结合， 放出规定波长的光。该发光光，透射由透明材料组成的像素电极23、驱动 电路部5以及元件基板2，向外部发出。这样，便在元件基板2侧进行图 像显示。另外，由于无机隔壁25由绝缘材料构成，因而仅在无机隔壁25 的侧面25a的内侧有电流流动，且发光层60发光。因此，无机隔壁25的 侧面25a的内侧，成为有机EL元件3的发光面26。
(微透镜的制造方法)
接着，关于构成第一光学机构的微透镜的制造方法，采用图6进行说 明。
图6，为微透镜的制造方法的说明图。首先，如图6(a)所示，在微 透镜的形成区域形成具有开口部88a的围偃88。具体来说，在基板89的 表面整体形成由感光性树脂材料组成的围偃层，通过进行曝光以及显影， 从而在微透镜的的形成区域形成开口部88a。接着，对开口部88a的内面 进行亲液处理，同时对围偃88的表面进行疏液处理。另外，分别通过采 用O2气体进行等离子处理，从而能够进行亲液处理O2；通过采用CF4 气体进行等离子处理，从而能够进行疏液处理
接着，如图6(b)所示，对于开口部88a涂布包含微透镜的形成材料 在内的液状体。该液状体的涂布中，采用液滴喷头110。作为液滴喷头110， 优选采用因使用通过放电而产生机械振动的压电元件，使液室内的压力改 变，从而从喷嘴喷出液滴的方式的液滴喷头。另外，也可以采用通过经发 热体对液室内进行局部加热并产生气泡，从而从喷嘴喷出液滴的方式的液 滴喷头。除此以外，还可以采用带电控制型、加压振动型这样的连续方法、 静电吸引方式，进一步照射激光等电磁波使之发热，通过该发热的作用而 使液状体喷出的方式等。
在此，从液滴喷头110喷出的液滴，没有附着在被疏液处理后的围偃 88的表面，而是仅附着在被亲液处理后的开口部88a的内面。并且，即使 超过开口部88a的体积而喷出液滴，也不会润湿展开在被疏液处理后的围 偃88的表面，在开口部88a的内侧凸起呈穹顶形。因此，通过使液滴的 喷出量不同，从而还可以形成曲率不同的微透镜。另外，通过形成大小不 同的开口部88a，还可以形成平面积不同的微透镜。
之后，如图6(c)所示，使被涂布后的液状体硬化，形成微透镜87。
另外，代替设置上述围偃88，也可以形成含氟基的SAM膜(自组织 化膜)。由于该SAM膜的表面表示疏液性，与上述同样能够形成微透镜。
这样，如果采用喷墨法制造微透镜，则能够在规定位置高精度地形成 规定形状的微透镜。
(行式头模块的使用方法)
接着，针对本实施方式的行式头模块的使用形式进行说明。
本实施方式的行式头模块，作为图像形成装置中的曝光装置使用。这 种情况下，行式头模块，被配置与感光鼓对置，将来自行式头的光照射在 感光鼓上并使用。
(串联方式的图像形成装置)
首先，关于串联方式的图像形成装置，采用图7进行说明。
图7，为串联方式的图像形成装置的示意构成图。在该图像形成装置 380的中央配置图像转写单元。图像转写单元，主要具备：黑图像转写单 元K、青色图像转写单元C、红色图像转写单元M、黄色图像转写单元Y、 中间转写带390。该黄色图像转写单元Y，主要具备感光鼓(图像载体) 341、带电机构342、本发明的行式头模块101。显影装置344。
感光鼓341，在其外周面具备作为图像载体的感光层，保持可旋转而 构成。在感光鼓341的周围，按顺序配置带电机构342、行式头模块101 以及显影装置344。带电机构(电晕带电器)42，使感光鼓341的感光层 一样地带电。行式头模块101，对感光鼓341进行曝光，而在感光层上形 成静电潜像。另外，按照行式头模块101的发光能量的峰值波长、和感光 鼓341的感光度波峰波长大致一致的方式被设定。显影装置344，在感光 鼓341的静电潜像中附着调色剂，形成可视像。另外，在显影装置344的 内部，具备：作为显影剂的非磁性成分调色剂、使该调色剂附着在感光鼓 上的显影滚轮255、向该显影滚轮355的表面供给调色剂的供给轱辘356、 和对在显影轱辘355的表面附着的调色剂的膜厚进行规定的叶片(未图 示)。
另外，在感光鼓341的下方，配置中间转写带390。中间转写带390， 被架在驱动滚轮391、从动滚轮392以及张紧辊393中，通过驱动滚轮391 而可循环移动。按照夹住该中间转写带390且与感光鼓341对置的方式， 配置一次转写滚轮345。并且，向该一次转写滚轮345施加一次转写偏压， 将中间转写带390按压在感光鼓341上。这样，在感光鼓341上形成的调 色像，在中间转写带390中被一次转写。另外，与一次转写位置接近，设 置将感光鼓341的表面残留调色剂去除的清洁机构346。
与上述黄色图像转写单元Y同样，构成黄色图像转写单元，、青色图 像转写单元C以及黑图像转写单元K，沿着中间转写带390被配置。并且， 通过在各色图像转写单元中将各色调色像一次转写在中间转写带390中， 从而形成将各色调色像叠加的全彩调色像。
另一方面，在图像形成装置380的下方，设置层叠保持多个记录介质 P的供纸盒363。在该供纸盒363的端部，设置按每一张输送记录介质P 的拾取滚轮364、以及对记录介质P的供给事件进行规定的闸门滚轮对 365。并且，与中间转写带390的从动滚轮392对置，设置二次转写滚轮 366。而且，将向该二次转写滚轮366上供给的记录介质P，按压在从动滚 轮392上的中间转写带390上。这样，在中间转写带390上形成的全彩调 色像，被二次转写在记录介质P中。另外，与二次转写位置接近，设置将 中间转写带390表面的残余调色去除的清洁机构367。
进一步，在二次转写位置的下流侧，设置使调色像固定在记录介质P 中的固定滚轮对361。在该固定滚轮对361的下流侧，设置向在图像形成 装置380的上部形成的出纸盘368上输出记录介质P的排纸滚轮对362。 串联方式的图像形成装置，按照以上所构成。
由于该图像形成装置380，具备本发明的行式头模块101，因此能够 进行点间距小的高精细的曝光。并且，能够确保感光体的曝光所需要的光 量。因此，能够形成高品质的图像。
(4循环方式的图像形成装置)
接着，针对4循环方式的图像形成装置进行说明。
图8，为4循环方式的图像形成装置的示意构成图。该图像形成装置 160，在感光鼓165的周围，具备带电器168、行式头模块167、轮转构成 的显影装置161而构成。另外，感光鼓165、带电器168以及行式头模块 167的构成，与上述串联方式的图像形成装置同样。
轮转构成的显影装置161，具备：黄色显影单元Y、蓝色显影单元C、 红色显影单元C、黑色显影单元K。在中心轴161b的周围可旋转而构成。 在该黄色显影单元Y的内部，具备：黄色墨粉、使该墨粉附着在感光鼓 165上的显影滚轮162、对于该显影滚轮162供给墨粉的供给滚轮163、和 将显影滚轮162的墨粉规定为规定厚度的规定叶片164。并且，通过向显 影滚轮162施加高电压，从而在旋转的感光鼓165的表面形成黄色图像。
在该感光鼓165的上方，配置中间转写带169。该中间转写带169， 被架在驱动滚轮170a和从动滚轮170b之间。如果将该驱动滚轮170a与 感光鼓165的驱动电动机联结，从而能够与感光鼓165同步使中间转写带 169循环移动。并且如果采用步进电动机作为驱动电动机，则能够进行中 间转写带165的颜色偏差校正。按照夹住该中间转写带169与感光鼓165 对置的方式，配置一次转写滚166。并且，通过经该一次转写滚轮166将 中间转写带169按压在感光鼓165上，从而将在感光鼓165中形成的黄色 图像一次转写在中间转写带169上。
另一方面，在图像形成装置160的下方，设置容纳用纸的供纸托盘 178。在该供给托盘178的端部，设置按每一张供给用纸的拾取滚轮179。 在从该拾取滚轮179延伸的用纸载送路径174中，设置载送用纸的多个载 送滚轮。该载送滚轮，被低速无刷电动机等驱动。另外，按照夹住用纸载 送路径174且与驱动滚轮170a对置的方式，配置二次转写滚轮171。该二 次转写滚轮171，通过离合器与中间转写带169邻接以及背离。并且，将 向该二次转写滚轮171上供给的用纸，按压在配置在驱动滚轮170a上的 中间转写带169上。这样，在中间转写带169上形成的黄色图像，在用纸 上被二次转写。
在该二次转写位置的下流侧，配置对于用纸进行图像的固定处理的固 定器。在该固定器中，设置加热滚轮172以及加压滚轮173。在固定器的 下流侧，配置排纸滚轮对176。固定处理后的用纸，由送纸滚轮对176牵 引向箭头F方向前进。若从该状态开始使送纸滚轮对176逆向旋转，则用 纸的前进方向反转，用纸在双面打印用载送路径175中向箭头G方向前进。 在使该用纸在该载送路径175中待机期间，将背面打印用的黄色图像一次 转写在中间转写带169中。然后，在适当的时刻将用纸向二次转写位置供 给，从中间转写带169向用纸二次转写黄色图像。
若在用纸的双面将黄色图像二次转写，则使旋转构成的显影装置161 向箭头A方向旋转90度，关于青色图像进行同样的处理。进而，通过关 于红色图像以及黑色图像进行同样的处理，从而在用纸上形成将各色图像 叠加后的彩色图像。4循环方式的图像形成装置160，按照以上方式构成。
由于该图像形成装置160，具备本发明的行式头模块167，因此能够 进行点间距小的高精细的曝光。另外，能够确保感光体的曝光所需要的光 量。因此，能够形成高品质的图像。
另外，本发明的技术范围，并非限定于上述各实施方式，在不脱离本 发明的主旨的范围内，还包含加上对上述各实施方式进行变更后的形式。 即，各实施方式中所列举的具体的材料或构成等只不过是一例，还可进行 适当变更。例如本发明的光源装置，不仅被使用于行式头模块，还可使用 于方向性高的消耗电能小的探照灯或手电筒等。并且通过对发光元件进行 2维排列，从而还可构成视野角小的显示器，尤其适于应防止周围的窥视 的便携式电话或PDA等。
(行式头模块)
首先，针对作为图像形成装置的曝光机构采用的行式头模块进行说 明。
图1，为行式头模块的立体图。本实施方式的行式头模块101，其构 成为，将行式头(发光装置)1，其将多个有机EL元件(未图示)排列配 置；第一光学机构80，其将来自行式头1的出射光在主扫描方向(x方向， 第一方向)大致平行化；和第二光学机构90，其将来自第一光学机构80 的出射光在副扫描方向(y方向，第二方向)进行聚光、按顺序密接配置。 并且，将来自行式头模块101的出射光，点照射至感光鼓341的外周面， 使感光鼓341进行曝光。
图2，为行式头模块的分解立体图。另外，构成行式头模块101的行 式头1、第一光学机构80以及第二光学机构90，虽然延伸在x方向，但 在图2中，仅将它们的一部分放大显示。
在行式头1中，在x方向以等间距配置多个有机EL元件3。有机EL 元件3在x方向的间距，因感光鼓的曝光所需要的解析度而决定。并且有 机EL元件3的发光面26中在y方向的长度，比x方向的长度更长。并且， 使从该发光面26的各部放射状照射光。另外，关于有机EL元件3的详细 构造后述。
在行式头1的后方，配置第一光学机构80，其将来自行式头1的出射 光在x方向上大致平行化。作为第一光学机构80，优选采用如图2所示的 棱镜片81。该棱镜片81，具备作为聚光元件的三楞柱状的棱镜82。该三 楞柱状棱镜82，使顶边(长度方向)与y方向大致一致，以数μm的间距 排列配置在x方向。并且，通过适当选择三楞柱棱镜82的顶角，从而使 来自行式头1的出射光1r在x方向上大致平行化。该棱镜片廉价，能够降 低第一光学机构的制造成本。
另外作为第一光学机构80的聚光元件，代替上述三楞柱棱镜82或者 与三楞柱82的同时，还可以采用椭圆筒平凸透镜和圆筒平凸透镜等。并 且，还可以采用将三楞柱棱镜的顶角作为切割点设置平坦面。通过适当设 定这些极率或顶角，从而能够使来自行式头1的出射光1r在x方向上大致 平行化。
并且作为第一光学机构80，还可以采用如图3(a)所示的微透镜阵 列86。微透镜阵列86，具备作为聚光元件的半球状平凸微透镜。微透镜 87，以数μm的间距被非常密集地填充配置在基板89上。这种情况下，通 过适当设定微透镜87的曲率，从而使来自行式头的出射光在x方向大致 平行化，同时在y方向上也进行聚光。
另外，作为第一光学机构80的聚光元件，代替微透镜87或者与微透 镜87的同时，还可以采用角锥棱镜或圆锥棱镜、椭圆求平凸棱镜等。并 且，还可以采用将角锥棱镜或圆锥棱镜的顶部作为切割点设置平坦面。通 过适当设定这些顶角或极率，从而使来自行式头的出射光在x方向上大致 平行化，同时在y方向上也进行聚光。
返回图2，在第一光学机构80的后方，配置第二光学机构90，其将 来自第一光学机构80的出射光在y方向上进行聚光。作为第二光学机构 90，优选采用如图2所示的圆柱透镜91。在图2中，一个半圆柱状的圆柱 透镜91，被配置使其长度方向在x方向大致一致。并且，通过适当设定圆 柱透明91的曲率，从而使来自第一光学机构80的出射光在y方向进行聚 光。
另外，作为第二光学机构90，也可以采用如图3(b)所示的线性菲 涅耳透镜。线性菲涅耳96，将圆柱透明的曲面在宽度方向分割配置成平面 状。并且如图2所示的第二光学机构90，也可以采用衍射透镜。
再返回图2，作为行式头模块101的构成部件的行式头1、第一光学 机构80以及第二光学机构90，通过光学粘合剂被相互固定，按顺序被密 接配置。光学粘合剂，优选采用折射率小的材料，对于各构成部件部分进 行涂布。另外，通过在行式头模块101的周缘部设置框体，从而密接配置 各构成部件。
在如上述构成的行式头模块101中，来自行式头1的有机EL元件3 的出射光1r向第一光学机构80入射。另外，由于行式头1和第一光学机 构80密接配置，因此能够使出射光1r几乎全部向第一光学机构80入射， 利用于曝光。在该第一光学机构80中，至少使出射光1r在x方向上大致 平行化并出射。
进而，来自第一光学机构80的出射光80r向第二光学机构90入射。 另外，来自行式头1的出射光1r在第一光学机构80中还在y方向进行聚 光的情况下，使来自第一光学机构80的出射光80r几乎全部向密接配置的 第二光学大机构入射，利用于曝光。在该第二光学机构90中，使出射光 80r在y方向上进行聚光。这样，将来自第二光学机构90的出射光90r缩 小，对于感光鼓的外周面进行照射呈点99状。
在此，通过适当设定行式头1的有机EL元件3的发光面26中在x方 向的长度、和第一光学机构80中在x方向的聚光率，从而可以将点99的 x方向宽度设定为规定值。另外因第一光学机构80的聚光率存在界限，因 此使发光面26在x方向的长度，比点99的x方向宽度更短。然而，如上 述关于x方向由于可以将出射光1r几乎全部利用于曝光，因此能够选择曝 光所需要的光量。
另一方面，通过适当设定行式头1的有机EL元件3的发光面26中在 y方向的长度、和第二光学机构90中在y方向的聚光率，从而也能够将点 99的y方向宽度设定为规定值。另外，通过第二光学机构90中的聚光， 从而使点99的y方向宽度，比发光面26的y方向长度更短。因此，可使 来自发光面26的出射光集中在点99，能够确保曝光所需要的光量。
并且，发光面26在y方向的长度，比x方向的长度更长而形成。根 据该构成，点99在x方向的宽度的设定变得容易，能够使点99的间隔变 窄。这样，能够进行点间距较小的高精细的曝光。另外，在y方向上可对 更多的光进行聚光，能够充分确保曝光所需要的光量。
(聚光元件组)
图4，为有机EL元件与聚光元件之间的对应关系的说明图。以下， 以采用微透镜87作为第一光学机构80的情况为例进行说明。
在第一光学机构80中，由与各有机EL元件3接近配置的多个聚光元 件，构成聚光元件组。例如，由与第一发光面26a接近配置的多个微透镜 87a构成第一聚光元件组80a，由与第二发光面26b接近配置的多个微透 镜87b构成第二聚光元件组80b。
并且，与一个发光面对应的聚光元件组，与光量比该一个发光面更多 的另外的发光面对应的聚光元件组相比具备更多的聚光元件。例如，在第 一发光面26a的光量(亮度)比第一发光面26b的光量多的情况下，第二 聚光元件组80b中包含的微透镜87b的数量比第一聚光元件80a中包含的 微透镜87a的数量更多。另外，各聚光元件组中包含的微透镜，集中在发 光面的中央部而配置。
关于制造这样的光源装置，首先制作行式头1，测量各发光面的光量。 接着，依据其测定结果，决定各聚光元件组中包含的聚光元件的数量，制 作第一光学机构80。即，对于与一个发光面对应的聚光元件组，形成与光 量比该一个发光面多的另外的发光面对应的聚光元件组相比更多的聚光 元件。
这样，来自光量较多的第一发光面26a的出射光中的出射角度较小(接 近发光面的法线方向)的光，经第一聚光元件组80的微透镜87a被大致 平行化并被点照射。并且来自第一发光面26a的出射光中的出射角度大的 光，向邻接的第二聚光元件组80b入射。相反，来自光量较少的第二发光 面26b的出射光，几乎全部经第二聚光元件组80b的微透镜87b而被大致 平行化并被点照射。这样，便可使有机EL元件3的光量不均平行化，能 够使多个点照射的光量均匀化。随之，便能够消除主扫描方向的曝光不均。
(行式头)
接着，针对行式头中的有机EL元件或其驱动元件等详细构成，参照 图5进行说明。
图5，为行式头的侧面剖面图。行式头1，以元件基板2、在元件基板 2的表面配置的驱动电路部5、在驱动电路部5的表面配置的多个有机EL 元件3、和将有机EL元件3密封的密封基板30为主而构成。在行式头 的主扫描方向(x方向)，以等间距配置多个有机EL元件3。各有机EL 元件3，从与元件基板2垂直的方向看形成大致长方形(或者大致长圆形)， 按照其长度方向(或者长轴方向)与行式头的副扫描方向(y方向)大致 一致的方式配置。在本实施方式中，以将从元件基板2侧发出有机EL元 件3中的发光光的底发射型的有机EL装置用于在行式头为例的情况进行 说明。
在底发射型的有机EL装置中，由于从元件基板2侧发出发光层60中 的发光光，因此采用透明或者半透明的采用作为元件基板2。例如，可采 用玻璃或石英、树脂(塑料、塑料膜)等，尤其适合采用玻璃基板。另外， 在从阴极50侧发出发光层60中的发光光的顶发射型的有机EL装置中， 也可采用透明基板以及不透明基板中的任一种作为元件基板2。作为不透 明基板，除例如矾土等陶瓷、不锈钢等金属片施以表面氧化等的绝缘处理 之外，还列举热硬化形树脂或热可塑性树脂等。
在元件基板2上，形成包含有机EL元件3的驱动用TFT123(驱动元 件4)等在内驱动电路部5。另外，也可在元件基板2上安装具备驱动电 路的半导体元件，构成有机EL装置。
作为驱动电路部5的具体构成，在元件基板2的表面形成由绝缘材料 组成的底部保护层281，在其上面形成作为半导体材料的硅层241。在该 硅层241的表面，形成以SiO2以及/或者SiN为主体的栅极绝缘层282。 在该栅极绝缘层282的表面，形成栅电极242。该栅电极242，由未图示 的扫描线的一部分构成。另外，在上述硅层241中、夹住栅极绝缘层282 且与栅电极242对置的区域，成为沟道区域241。另一方面，在栅电极242 以及栅极绝缘层282的表面，形成以SiO2为主体的第一层间绝缘层283。
并且在硅层241中、与沟道区域241a的一方侧，设置低浓度源极区 域241b以及高浓度源极区域241S，在沟道区域241a的另一方侧，设置低 浓度漏极区域241c以及高浓度漏极区域241D，所谓的LDD(Light Doped Drain)构造。它们其中高浓度源极区域241S，经由贯通栅极绝缘层282 以及第一层间绝缘层283的接触孔243a，与源极电极243连接。该源电极 243，由未图示的电源线的一部分构成。另一方面，高浓度漏极区域241D， 经由贯通栅极绝缘层282以及第一层间绝缘层283的接触孔244a，与配置 在与源电极243同层的漏电极244连接。
在上述的源电极243以及漏电极244、还有第一层间绝缘层283的上 层，形成以丙稀系或聚酰亚胺系等耐热性绝缘性树脂材料等主体的平坦化 膜284。该平坦化膜284，用于使因驱动用TFT123(驱动元件4)、源电 极243、漏电极244等而产生的表面凹凸消除而形成。
然后，在平坦化膜284的表面中的有机EL元件3的形成区域，形成 多个像素电极23。该像素电极23，以矩阵状配置在平坦化膜284的表面 上。像素电极23，经由被设置在该平坦化膜284中的接触孔23a，与漏电 极244连接。即，像素电极23，经由漏电极244，与硅层241的高浓度漏 极区域241D连接。
并且，在平坦化膜284的表面中的像素电极23的周围，形成由SiO2 等无机绝缘材料组成的无机隔壁25。进而在无机隔壁25的表面，形成由 聚酰亚胺等有机绝缘材料组成的有机隔壁221。并且，在配置在有机EL 元件3的形成区域中的像素电极23的上方，配置无机隔壁25的侧面25a 以及有机隔壁221的测满221a。
然后，在无机隔壁25的侧面25a以及有机隔壁221的侧面221a的内 侧，层叠形成多个功能膜，构成有机EL元件3。有机EL元件3，由将作 为阳极发挥功能的像素电极23、将来自该像素电极23的空穴注入/输送的 空穴注入层70、由有机EL物质组成的发光层60、和阴极50层叠而构成。
当底发射型的有机EL装置时，作为阳极发挥功能的像素电极23，由 ITO(铟锡氧化物)等透明导电材料形成。
作为空穴注入层70的形成材料，尤其适合采用3、4-聚乙烯二氧噻 吩/聚苯乙烯磺酸(PEDOT/PSS)的分散液，即，在作为分散剂的聚苯乙 烯磺酸中使3、4-聚乙烯二氧噻吩分散，进而使之分散在水中的分散液。
另外，作为空穴注入层70的形成材料，可使用并非限定于上述这些 的各种材料。例如，可使用将聚乙烯、聚吡咯、聚苯胺、聚乙炔或其衍生 物等分散在适当的分散剂中，例如上述聚苯乙烯磺酸中后的材料等。
作为用于形成发光层60的材料，采用可发出荧光或者磷光的公知的 发光材料。在本实施方式中，虽然采用发光波长带宽与红色对应的发光层， 但也可采用波长带宽与绿色或蓝色对应的发光层。
作为发光层60的形成材料，具体来说，适合采用(聚)芴衍生物(PF)、 (聚)对亚苯基亚乙烯衍生物(PPV)、聚亚苯基衍生物(PP)、聚对亚 苯基衍生物(PPP)、聚乙烯基咔唑(PVK)、聚噻吩衍生物、聚甲基- 苯基硅烷(PMPS)等聚硅烷系等。另外，这些高分子材料中，也可以掺 杂二萘嵌苯系色素、香豆素系色素、若丹明系色素等高分子系材料、蛇麻 素、二萘嵌苯、9、10-联苯蒽、四苯基丁二烯、尼罗红、香豆素6、香豆 灵等低分子材料而采用。
阴极50，由将主阴极以及辅助阴极层叠而构成。作为主阴极，优选采 用工作函数为3.0V以下的Ca或Mg、LiF等材料。这样，由于给主阴极 赋予作为电子注入层的功能，因此能够以低电压使发光层发光。另外，辅 助阴极，具有使阴极整体的导电性提高，同时保护主阴极受氧或水分破坏 的功能。另外，底发射型的有机EL装置中的辅助阴极，还具有使发光光 反射在阳极侧的功能。因此作为辅助阴极，优选采用导电性优良的Al、或 Au、Ag等金属材料。
另一方面，在阴极50的上方，形成由SiO2等组成的无机密封膜51。 在该无机密封膜51的上方，经粘合层40与密封基板30紧贴。另外，将 覆盖阴极50整体的密封间隙固定在元件基板2的周缘部，在该密封间隙 的内侧配置吸收水分或氧等的收气剂。
在上述的有机EL装置中，从驱动电路5的源电极243供给的图像信 号，在给定的时刻通过驱动元件4施加给像素电极23。并且，从该像素电 极23注入的空穴、和从阴极50注入的电子，在发光层60中重新结合， 放出规定波长的光。该发光光，透射由透明材料组成的像素电极23、驱动 电路部5以及元件基板2，向外部发出。这样，便在元件基板2侧进行图 像显示。另外，由于无机隔壁25由绝缘材料构成，因而仅在无机隔壁25 的侧面25a的内侧有电流流动，且发光层60发光。因此，无机隔壁25的 侧面25a的内侧，成为有机EL元件3的发光面26。
(微透镜的制造方法)
接着，关于构成第一光学机构的微透镜的制造方法，采用图6进行说 明。
图6，为微透镜的制造方法的说明图。首先，如图6(a)所示，在微 透镜的形成区域形成具有开口部88a的围偃88。具体来说，在基板89的 表面整体形成由感光性树脂材料组成的围偃层，通过进行曝光以及显影， 从而在微透镜的的形成区域形成开口部88a。接着，对开口部88a的内面 进行亲液处理，同时对围偃88的表面进行疏液处理。另外，分别通过采 用O2气体进行等离子处理，从而能够进行亲液处理O2；通过采用CF4 气体进行等离子处理，从而能够进行疏液处理
接着，如图6(b)所示，对于开口部88a涂布包含微透镜的形成材料 在内的液状体。该液状体的涂布中，采用液滴喷头110。作为液滴喷头110， 优选采用因使用通过放电而产生机械振动的压电元件，使液室内的压力改 变，从而从喷嘴喷出液滴的方式的液滴喷头。另外，也可以采用通过经发 热体对液室内进行局部加热并产生气泡，从而从喷嘴喷出液滴的方式的液 滴喷头。除此以外，还可以采用带电控制型、加压振动型这样的连续方法、 静电吸引方式，进一步照射激光等电磁波使之发热，通过该发热的作用而 使液状体喷出的方式等。
在此，从液滴喷头110喷出的液滴，没有附着在被疏液处理后的围偃 88的表面，而是仅附着在被亲液处理后的开口部88a的内面。并且，即使 超过开口部88a的体积而喷出液滴，也不会润湿展开在被疏液处理后的围 偃88的表面，在开口部88a的内侧凸起呈穹顶形。因此，通过使液滴的 喷出量不同，从而还可以形成曲率不同的微透镜。另外，通过形成大小不 同的开口部88a，还可以形成平面积不同的微透镜。
之后，如图6(c)所示，使被涂布后的液状体硬化，形成微透镜87。
另外，代替设置上述围偃88，也可以形成含氟基的SAM膜(自组织 化膜)。由于该SAM膜的表面表示疏液性，与上述同样能够形成微透镜。
这样，如果采用喷墨法制造微透镜，则能够在规定位置高精度地形成 规定形状的微透镜。
(行式头模块的使用方法)
接着，针对本实施方式的行式头模块的使用形式进行说明。
本实施方式的行式头模块，作为图像形成装置中的曝光装置使用。这 种情况下，行式头模块，被配置与感光鼓对置，将来自行式头的光照射在 感光鼓上并使用。
(串联方式的图像形成装置)
首先，关于串联方式的图像形成装置，采用图7进行说明。
图7，为串联方式的图像形成装置的示意构成图。在该图像形成装置 380的中央配置图像转写单元。图像转写单元，主要具备：黑图像转写单 元K、青色图像转写单元C、红色图像转写单元M、黄色图像转写单元Y、 中间转写带390。该黄色图像转写单元Y，主要具备感光鼓(图像载体) 341、带电机构342、本发明的行式头模块101。显影装置344。
感光鼓341，在其外周面具备作为图像载体的感光层，保持可旋转而 构成。在感光鼓341的周围，按顺序配置带电机构342、行式头模块101 以及显影装置344。带电机构(电晕带电器)42，使感光鼓341的感光层 一样地带电。行式头模块101，对感光鼓341进行曝光，而在感光层上形 成静电潜像。另外，按照行式头模块101的发光能量的峰值波长、和感光 鼓341的感光度波峰波长大致一致的方式被设定。显影装置344，在感光 鼓341的静电潜像中附着调色剂，形成可视像。另外，在显影装置344的 内部，具备：作为显影剂的非磁性成分调色剂、使该调色剂附着在感光鼓 上的显影滚轮255、向该显影滚轮355的表面供给调色剂的供给轱辘356、 和对在显影轱辘355的表面附着的调色剂的膜厚进行规定的叶片(未图 示)。
另外，在感光鼓341的下方，配置中间转写带390。中间转写带390， 被架在驱动滚轮391、从动滚轮392以及张紧辊393中，通过驱动滚轮391 而可循环移动。按照夹住该中间转写带390且与感光鼓341对置的方式， 配置一次转写滚轮345。并且，向该一次转写滚轮345施加一次转写偏压， 将中间转写带390按压在感光鼓341上。这样，在感光鼓341上形成的调 色像，在中间转写带390中被一次转写。另外，与一次转写位置接近，设 置将感光鼓341的表面残留调色剂去除的清洁机构346。
与上述黄色图像转写单元Y同样，构成黄色图像转写单元，、青色图 像转写单元C以及黑图像转写单元K，沿着中间转写带390被配置。并且， 通过在各色图像转写单元中将各色调色像一次转写在中间转写带390中， 从而形成将各色调色像叠加的全彩调色像。
另一方面，在图像形成装置380的下方，设置层叠保持多个记录介质 P的供纸盒363。在该供纸盒363的端部，设置按每一张输送记录介质P 的拾取滚轮364、以及对记录介质P的供给事件进行规定的闸门滚轮对 365。并且，与中间转写带390的从动滚轮392对置，设置二次转写滚轮 366。而且，将向该二次转写滚轮366上供给的记录介质P，按压在从动滚 轮392上的中间转写带390上。这样，在中间转写带390上形成的全彩调 色像，被二次转写在记录介质P中。另外，与二次转写位置接近，设置将 中间转写带390表面的残余调色去除的清洁机构367。
进一步，在二次转写位置的下流侧，设置使调色像固定在记录介质P 中的固定滚轮对361。在该固定滚轮对361的下流侧，设置向在图像形成 装置380的上部形成的出纸盘368上输出记录介质P的排纸滚轮对362。 串联方式的图像形成装置，按照以上所构成。
由于该图像形成装置380，具备本发明的行式头模块101，因此能够 进行点间距小的高精细的曝光。并且，能够确保感光体的曝光所需要的光 量。因此，能够形成高品质的图像。
(4循环方式的图像形成装置)
接着，针对4循环方式的图像形成装置进行说明。
图8，为4循环方式的图像形成装置的示意构成图。该图像形成装置 160，在感光鼓165的周围，具备带电器168、行式头模块167、轮转构成 的显影装置161而构成。另外，感光鼓165、带电器168以及行式头模块 167的构成，与上述串联方式的图像形成装置同样。
轮转构成的显影装置161，具备：黄色显影单元Y、蓝色显影单元C、 红色显影单元C、黑色显影单元K。在中心轴161b的周围可旋转而构成。 在该黄色显影单元Y的内部，具备：黄色墨粉、使该墨粉附着在感光鼓 165上的显影滚轮162、对于该显影滚轮162供给墨粉的供给滚轮163、和 将显影滚轮162的墨粉规定为规定厚度的规定叶片164。并且，通过向显 影滚轮162施加高电压，从而在旋转的感光鼓165的表面形成黄色图像。
在该感光鼓165的上方，配置中间转写带169。该中间转写带169， 被架在驱动滚轮170a和从动滚轮170b之间。如果将该驱动滚轮170a与 感光鼓165的驱动电动机联结，从而能够与感光鼓165同步使中间转写带 169循环移动。并且如果采用步进电动机作为驱动电动机，则能够进行中 间转写带165的颜色偏差校正。按照夹住该中间转写带169与感光鼓165 对置的方式，配置一次转写滚166。并且，通过经该一次转写滚轮166将 中间转写带169按压在感光鼓165上，从而将在感光鼓165中形成的黄色 图像一次转写在中间转写带169上。
另一方面，在图像形成装置160的下方，设置容纳用纸的供纸托盘 178。在该供给托盘178的端部，设置按每一张供给用纸的拾取滚轮179。 在从该拾取滚轮179延伸的用纸载送路径174中，设置载送用纸的多个载 送滚轮。该载送滚轮，被低速无刷电动机等驱动。另外，按照夹住用纸载 送路径174且与驱动滚轮170a对置的方式，配置二次转写滚轮171。该二 次转写滚轮171，通过离合器与中间转写带169邻接以及背离。并且，将 向该二次转写滚轮171上供给的用纸，按压在配置在驱动滚轮170a上的 中间转写带169上。这样，在中间转写带169上形成的黄色图像，在用纸 上被二次转写。
在该二次转写位置的下流侧，配置对于用纸进行图像的固定处理的固 定器。在该固定器中，设置加热滚轮172以及加压滚轮173。在固定器的 下流侧，配置排纸滚轮对176。固定处理后的用纸，由送纸滚轮对176牵 引向箭头F方向前进。若从该状态开始使送纸滚轮对176逆向旋转，则用 纸的前进方向反转，用纸在双面打印用载送路径175中向箭头G方向前进。 在使该用纸在该载送路径175中待机期间，将背面打印用的黄色图像一次 转写在中间转写带169中。然后，在适当的时刻将用纸向二次转写位置供 给，从中间转写带169向用纸二次转写黄色图像。
若在用纸的双面将黄色图像二次转写，则使旋转构成的显影装置161 向箭头A方向旋转90度，关于青色图像进行同样的处理。进而，通过关 于红色图像以及黑色图像进行同样的处理，从而在用纸上形成将各色图像 叠加后的彩色图像。4循环方式的图像形成装置160，按照以上方式构成。
由于该图像形成装置160，具备本发明的行式头模块167，因此能够 进行点间距小的高精细的曝光。另外，能够确保感光体的曝光所需要的光 量。因此，能够形成高品质的图像。
另外，本发明的技术范围，并非限定于上述各实施方式，在不脱离本 发明的主旨的范围内，还包含加上对上述各实施方式进行变更后的形式。 即，各实施方式中所列举的具体的材料或构成等只不过是一例，还可进行 适当变更。例如本发明的光源装置，不仅被使用于行式头模块，还可使用 于方向性高的消耗电能小的探照灯或手电筒等。并且通过对发光元件进行 2维排列，从而还可构成视野角小的显示器，尤其适于应防止周围的窥视 的便携式电话或PDA等。