滴涂器及缺陷修正方法转让专利
申请号 : CN200580029322.8
文献号 : CN100592936C
文献日 : 2010-03-03
发明人 : 梶山康一 , 水村通伸
申请人 : 株式会社V技术
摘要 :
本发明提供一种滴涂器，具有：将用于修正滤色器基板的缺陷部的彩色紫外线硬化树脂(4)予以收容的容器(1)；安装在该容器(1)的顶端、使所述彩色紫外线硬化树脂(4)排出到所述缺陷部上的排出针(2)；以及将正压赋予所述容器(1)内的彩色紫外线硬化树脂(4)并使该彩色紫外线硬化树脂(4)从所述排出针(2)排出的排出控制装置(3)，所述排出针(2)的结构是，将加热软化后的玻璃管拉长而将针尖形成为比针本体部细的形状。由此，可将排出材料充填在排出对象物的微小缺陷部上，从而修正该缺陷部。
权利要求 :
1.一种缺陷修正方法，是使用滴涂器对排出对象物的缺陷部进行修正的缺陷修正方法， 该滴涂器具有：将用于修正排出对象物的缺陷部的排出材料予以收容的容器；安装在该容 器顶端、使所述排出材料排出到所述缺陷部的排出针；以及将正压赋予所述容器内的排出 材料、使该排出材料从所述排出针排出的排出控制装置，其特征在于，以根据从所述滴涂器的排出针通过一次排出动作所排出的排出材料的排出量及涂布厚 度预先设定的修整尺寸对所述缺陷部进行修整而使该缺陷部增大，并从所述排出针通过一次排出动作将排出材料排出到该修整后而增大的缺陷部上。
2.如权利要求1所述的缺陷修正方法，其特征在于，通过将加热软化后的玻璃管拉长， 所述滴涂器的排出针形成为针尖变得比针本体部细的形状。
3.如权利要求1或2所述的缺陷修正方法，其特征在于，所述排出材料是通过紫外线 照射而硬化的紫外线硬化树脂。
4.如权利要求1或2所述的缺陷修正方法，其特征在于，所述排出对象物是滤色器基 板。
5.如权利要求3所述的缺陷修正方法，其特征在于，所述排出对象物是滤色器基板。
说明书 :
技术领域
本发明涉及将排出材料向排出对象物排出从而对该排出对象物的缺陷进行修正的滴 涂器(Dispenser)及缺陷修正方法，详细地说，涉及这样一种滴涂器及缺陷修正方法： 通过将软化的玻璃管拉长并将排出针的针尖形成得比针本体部细，从而将排出材料充填在 排出对象物的细小缺陷部来修正该缺陷部。
背景技术
以往的这种缺陷修正方法，例如作为液晶显示装置用滤色器的缺陷修正方法，对滤色 器上的缺陷部照射YAG激光，对缺陷部进行修整放大，利用滴涂器将修正用的彩色紫外线 硬化树脂充填在该修整后的缺陷部上，再照射紫外线将彩色紫外线硬化树脂硬化，来修正 缺陷部(例如参照专利文献1)。
专利文献1：日本特开平6-109919号公报
但是，在这种以往的缺陷修正方法中所使用的滴涂器，由于一般是使用不锈钢制的排 出针的滴涂器，故可形成的针的最小内径是100μm左右，最小排出量为1μL左右。相对于 此，滤色器的修整后的微小缺陷部的修正所需的彩色紫外线硬化树脂的量是微量的，约 5pL～20pL，因此，在使用以往的不锈钢制的排出针的场合，就有彩色紫外线硬化树脂从 修整后的缺陷部溢出的问题。所以，使用滴涂器的缺陷修正方法不实用。
专利文献1：日本特开平6-109919号公报
但是，在这种以往的缺陷修正方法中所使用的滴涂器，由于一般是使用不锈钢制的排 出针的滴涂器，故可形成的针的最小内径是100μm左右，最小排出量为1μL左右。相对于 此，滤色器的修整后的微小缺陷部的修正所需的彩色紫外线硬化树脂的量是微量的，约 5pL～20pL，因此，在使用以往的不锈钢制的排出针的场合，就有彩色紫外线硬化树脂从 修整后的缺陷部溢出的问题。所以，使用滴涂器的缺陷修正方法不实用。
发明内容
因此，本发明的目的就是对付这种问题，提供一种向排出对象物的细小缺陷部充填排 出材料以修正该缺陷部的滴涂器及缺陷修正方法。
为实现上述目的，第1发明的滴涂器具有：将用于修正排出对象物的缺陷部的排出材 料予以收容的容器；安装在该容器顶端、使所述排出材料排出到所述缺陷部的排出针；以 及将正压赋予所述容器内的排出材料、使该排出材料从所述排出针排出的排出控制装置， 所述排出针的结构是，将加热软化后的玻璃管拉长而将针尖形成为比针本体部细的形状。
采用这种结构，在容器中收容对排出对象物的缺陷部进行修正用的排出材料，利用排 出控制装置将正压赋予容器内的排出材料，从安装在所述容器顶端的、将加热软化后的玻 璃管拉长而形成针尖比针本体部细的形状的排出针中，将排出材料排出到所述缺陷部。由 此，可将排出材料充填在排出对象物的细小的缺陷部上。
又，第2发明的缺陷修正方法，是使用滴涂器对排出对象物的缺陷部进行修正的缺陷 修正方法，该滴涂器具有：将用于修正排出对象物的缺陷部的排出材料予以收容的容器； 安装在该容器顶端、使所述排出材料排出到所述缺陷部的排出针；以及将正压赋予所述容 器内的排出材料、使该排出材料从所述排出针排出的排出控制装置，以根据从所述滴涂器 的排出针通过一次排出动作所排出的排出材料的排出量及涂布厚度预先设定的修整尺寸 对所述缺陷部进行修整而使该缺陷部增大，并从所述排出针通过一次排出动作将排出材料 排出到该修整后而增大的缺陷部上。
第3发明的缺陷修正方法，是使用滴涂器对排出对象物的缺陷部进行修正的缺陷修正 方法，该滴涂器具有：将用于修正排出对象物的缺陷部的排出材料予以收容的容器；安装 在该容器顶端、使所述排出材料排出到所述缺陷部的排出针；以及将正压赋予所述容器内 的排出材料、使该排出材料从所述排出针排出的排出控制装置，根据所述缺陷部的大小， 从为了修整所述缺陷部而预先设定的多个修整尺寸中选择其中一个来修整该缺陷部，再以 根据所述选择的修整尺寸而预先设定的排出次数将所述排出材料排出到该修整后的缺陷部上。
又，通过将加热软化后的玻璃管拉长，所述滴涂器的排出针形成为针尖变得比针本体 部细的形状。由此，从这样的将加热软化后的玻璃管拉长而形成针尖比针本体部细的形状 的滴涂器的排出针中，将排出材料排出到被排出对象物的微小缺陷部上。
所述排出材料是通过紫外线照射而硬化的紫外线硬化树脂。由此，用通过紫外线照射 而硬化的紫外线硬化树脂对缺陷部进行充填修正。
所述排出对象物是滤色器基板。由此，对滤色器基板的滤色器缺陷进行修正。
采用权利要求1及4的发明，由于排出针将加热软化后的玻璃管拉长而将针尖形成得 较细，则可容易地形成内径D为几微米至几十微米的排出针。因此，可排出微量的排出材 料，可使用滴涂器对排出对象物的微小缺陷部进行修正。
又，采用权利要求2的发明，由于以根据从滴涂器排出的排出材料的排出量及涂布厚 度而预先设定的尺寸对缺陷部进行修整，将规定量的排出材料排出到该修整后的缺陷部 上，则无论缺陷部的大小都能始终以一定的尺寸进行修整，充填排出材料。因此，缺陷修 正作业变得简单，可缩短修正作业的时间。
还有，采用权利要求3的发明，由于根据缺陷部的大小，从为了修整缺陷部而预先设 定的多个修整尺寸中选择其中一个对该缺陷部进行修整，再以根据所述选择的修整尺寸而 设定的排出次数将排出材料排出到该修整后的缺陷部上，则在缺陷部较小的场合，可减小 修整尺寸并减少排出材料的排出量。因此，可抑制用于缺陷修正的排出材料的使用量。又， 在缺陷部较大的场合，可增大修整尺寸并增加排出次数，充填排出材料。由此，可用1根 排出针与不同尺寸的修整部对应。
采用权利要求5的发明，由于使用通过紫外线照射而硬化的紫外线硬化树脂作为排出 材料，则可将硬化时的体积变化抑制在百分之几，容易控制涂布厚度。
采用权利要求6的发明，由于将排出对象物作为滤色器基板，则可对液晶显示装置的 滤色器进行缺陷修正。
为实现上述目的，第1发明的滴涂器具有：将用于修正排出对象物的缺陷部的排出材 料予以收容的容器；安装在该容器顶端、使所述排出材料排出到所述缺陷部的排出针；以 及将正压赋予所述容器内的排出材料、使该排出材料从所述排出针排出的排出控制装置， 所述排出针的结构是，将加热软化后的玻璃管拉长而将针尖形成为比针本体部细的形状。
采用这种结构，在容器中收容对排出对象物的缺陷部进行修正用的排出材料，利用排 出控制装置将正压赋予容器内的排出材料，从安装在所述容器顶端的、将加热软化后的玻 璃管拉长而形成针尖比针本体部细的形状的排出针中，将排出材料排出到所述缺陷部。由 此，可将排出材料充填在排出对象物的细小的缺陷部上。
又，第2发明的缺陷修正方法，是使用滴涂器对排出对象物的缺陷部进行修正的缺陷 修正方法，该滴涂器具有：将用于修正排出对象物的缺陷部的排出材料予以收容的容器； 安装在该容器顶端、使所述排出材料排出到所述缺陷部的排出针；以及将正压赋予所述容 器内的排出材料、使该排出材料从所述排出针排出的排出控制装置，以根据从所述滴涂器 的排出针通过一次排出动作所排出的排出材料的排出量及涂布厚度预先设定的修整尺寸 对所述缺陷部进行修整而使该缺陷部增大，并从所述排出针通过一次排出动作将排出材料 排出到该修整后而增大的缺陷部上。
第3发明的缺陷修正方法，是使用滴涂器对排出对象物的缺陷部进行修正的缺陷修正 方法，该滴涂器具有：将用于修正排出对象物的缺陷部的排出材料予以收容的容器；安装 在该容器顶端、使所述排出材料排出到所述缺陷部的排出针；以及将正压赋予所述容器内 的排出材料、使该排出材料从所述排出针排出的排出控制装置，根据所述缺陷部的大小， 从为了修整所述缺陷部而预先设定的多个修整尺寸中选择其中一个来修整该缺陷部，再以 根据所述选择的修整尺寸而预先设定的排出次数将所述排出材料排出到该修整后的缺陷部上。
又，通过将加热软化后的玻璃管拉长，所述滴涂器的排出针形成为针尖变得比针本体 部细的形状。由此，从这样的将加热软化后的玻璃管拉长而形成针尖比针本体部细的形状 的滴涂器的排出针中，将排出材料排出到被排出对象物的微小缺陷部上。
所述排出材料是通过紫外线照射而硬化的紫外线硬化树脂。由此，用通过紫外线照射 而硬化的紫外线硬化树脂对缺陷部进行充填修正。
所述排出对象物是滤色器基板。由此，对滤色器基板的滤色器缺陷进行修正。
采用权利要求1及4的发明，由于排出针将加热软化后的玻璃管拉长而将针尖形成得 较细，则可容易地形成内径D为几微米至几十微米的排出针。因此，可排出微量的排出材 料，可使用滴涂器对排出对象物的微小缺陷部进行修正。
又，采用权利要求2的发明，由于以根据从滴涂器排出的排出材料的排出量及涂布厚 度而预先设定的尺寸对缺陷部进行修整，将规定量的排出材料排出到该修整后的缺陷部 上，则无论缺陷部的大小都能始终以一定的尺寸进行修整，充填排出材料。因此，缺陷修 正作业变得简单，可缩短修正作业的时间。
还有，采用权利要求3的发明，由于根据缺陷部的大小，从为了修整缺陷部而预先设 定的多个修整尺寸中选择其中一个对该缺陷部进行修整，再以根据所述选择的修整尺寸而 设定的排出次数将排出材料排出到该修整后的缺陷部上，则在缺陷部较小的场合，可减小 修整尺寸并减少排出材料的排出量。因此，可抑制用于缺陷修正的排出材料的使用量。又， 在缺陷部较大的场合，可增大修整尺寸并增加排出次数，充填排出材料。由此，可用1根 排出针与不同尺寸的修整部对应。
采用权利要求5的发明，由于使用通过紫外线照射而硬化的紫外线硬化树脂作为排出 材料，则可将硬化时的体积变化抑制在百分之几，容易控制涂布厚度。
采用权利要求6的发明，由于将排出对象物作为滤色器基板，则可对液晶显示装置的 滤色器进行缺陷修正。
附图说明
图1是表示本发明的滴涂器的实施形态的概念图。
图2是表示所述滴涂器的排出针的纵剖视图。
图3是表示排出针的内径与每一次的排出量及对不同的三种尺寸的修整部进行充填所 需的排出次数之间关系的示图。
图4是用来说明本发明的缺陷修正方法的滤色器基板的剖视图。
图5是用来说明本发明的缺陷修正方法的滤色器基板的俯视图。
图2是表示所述滴涂器的排出针的纵剖视图。
图3是表示排出针的内径与每一次的排出量及对不同的三种尺寸的修整部进行充填所 需的排出次数之间关系的示图。
图4是用来说明本发明的缺陷修正方法的滤色器基板的剖视图。
图5是用来说明本发明的缺陷修正方法的滤色器基板的俯视图。
具体实施方式
下面，根据附图说明本发明的实施形态。
图1是表示本发明的滴涂器的实施形态的概念图。该滴涂器用于将排出材料排出到排 出对象物且对该排出对象物的微小缺陷部进行修正，具有容器1、排出针2和排出控制装 置3。
所述容器1是将修正排出对象物的缺陷部的排出材料予以储存的槽罐，例如在排出对 象物为滤色器基板的场合，储存滤色器的彩色紫外线硬化树脂4作为排出材料。该彩色紫 外线硬化树脂4通过紫外线照射进行硬化，硬化时的体积变化是百分之几，故容易控制涂 布厚度。相对于此，也可使用热硬化性树脂作为排出材料，但该热硬化性树脂，由于其硬 化时的体积变化约是50％，故可能有如下情况：为了获得规定的涂布厚度，必须排出涂布 厚度的约2倍的热硬化性树脂，热硬化性树脂从修整后的缺陷部溢出。因此，在下面的说 明中，对使用滤色器基板作为排出对象物、使用彩色紫外线硬化树脂4作为排出材料的情 况进行叙述。
在所述容器1的顶端部设有排出针2。该排出针2是由使彩色紫外线硬化树脂4排出 到滤色器基板的缺陷部11(参照图4)的玻璃管制成的。在该场合，滤色器的缺陷修正所需 的彩色紫外线硬化树脂4的量是微量的，即当将滤色器的膜厚作成2μm、修整尺寸例如为 50μm×50μm时，所需的彩色紫外线硬化树脂4的量是5pL，当尺寸为100μm×100μm时，所 需的彩色紫外线硬化树脂4的量为20pL，因此，如图2所示那样通过将加热软化后的玻璃 管拉长，排出针2形成为针尖2a变得比针本体部2b细的形状。玻璃管的管内径也随着加 热软化并拉细拉长而变小，可容易地形成内径D为几微米至几十微米的较细的针尖2a。
为作参考，图3表示了排出针2的内径D与每次的排出量V及充填不同的三种尺寸的 修整部所需的排出次数之间的关系。排出量V根据空气压力、排出时间及彩色紫外线硬化 树脂4的粘度等而有所不同，但在此，是作为处于图2所示的针尖2a的长度L部分的彩 色紫外线硬化树脂4因一次排出动作而排出的量来计算的。
在可根据缺陷部11的大小选择所述修整尺寸的场合，可选择的修整尺寸例如是 50μm×50μm、70μm×70μm、100μm×100μm时，关于内径D为3μm～9μm的排出针2，则可对 各尺寸的修整部进行充填的排出次数就如图3所示。在该图中，斜线表示的区域A是与所 对应尺寸的修整部的体积相比一次的排出量过多，故是彩色紫外线硬化树脂4从所述修整 部溢出而不能使用的区域。另外，区域B是为对各修整部进行充填而必须反复进行11次 以上的排出、修整节拍较长的不理想的区域。
根据图3，可用1根排出针2与所述三种尺寸的修整部对应的，是在该图中由粗虚线 所围住的内径D为6μm～9μm的排出针2。因此，在该场合，排出针2形成为针尖2a的内 径为6μm～9μm。所述修整尺寸，例如当缺陷部11的大小是30μm≤S＜50μm时选择 50μm×50μm，当是50μm≤S＜70μm时选择70μm×70μm，当是70μm≤S＜100μm时选择 100μm×100μm。
如图1所示，所述容器1通过配管6而与排出控制装置3连接。该排出控制装置3的 用途是，将正压作用于储存在所述容器1内的彩色紫外线硬化树脂4，该排出控制装置3 具有储气罐7、定时器8、电磁阀9和流量控制阀10。这里，储气罐7的用途例如是暂时 储存由气泵供给的空气，储气罐7通过流量控制阀10而与电磁阀9连接。另外，定时器8 的用途是以预先设定的时间接通开关使电磁阀9通电，电磁阀9的用途是根据通电的接通 或断开使阀进行开闭动作。由此，排出控制装置3进行这样的动作：以定时器8所设定的 时间使电磁阀9打开，利用流量控制阀10对暂时储存在储气罐7内的空气进行流量控制 并通过配管6将其供给到所述容器1中，利用导入到容器1内的空气正压，使彩色紫外线 硬化树脂4从容器1的排出针2适量地排出。
如此，采用本发明的滴涂器，由于将排出针2作成玻璃管，将加热软化后的玻璃管拉 长且针尖2a形成得较细，则可容易地形成内径D为几微米至几十微米的排出针2。因此， 可排出微量的彩色紫外线硬化树脂4，可用滴涂器修正滤色器的微小缺陷部。
下面，参照图4及图5说明用上述滴涂器修正滤色器缺陷部的缺陷修正方法。
首先，在第1步骤，通过图示省略的例如观察用CCD照相机的物镜来检测滤色器上的 缺陷部，例如利用设在物镜上的量规对缺陷部的大小进行测量。
在第2步骤，根据滤色器5的缺陷部的大小来选择修整尺寸。该选择通过选择修整用 激光光线所通过的狭槽来进行。例如，当缺陷部的大小S是30μm≤S＜50μm时选择 50μm×50μm的狭槽，当是50μm≤S＜70μm时选择70μm×70μm的狭槽，当是70μm≤S＜100μm 时选择100μm×100μm的狭槽。
在第3步骤，如图4(a)所示，通过所述选择的狭槽，以规定时间对缺陷部11照射修 整用的例如532nm或355nm的激光光线12，缺陷部11得到修整而增大(参照图5(a))。该 修整是为了如下情况而进行的，即：为了除去附着在滤色器5上的异物等的突起物；以及 为了使注入于缺陷部11的彩色紫外线硬化树脂4不从缺陷部11溢出，考虑了通过一次排 出动作从排出针2排出的彩色紫外线硬化树脂4的排出量而有意增大缺陷部11。
在第4步骤，如图4(b)所示，排出针2的针尖2a位于缺陷部11。在该状态下，若按 下省略图示的排出开始开关，则图1所示的排出控制装置3的定时器8产生动作，并以预 先设定的时间将电磁阀9打开。由此，压缩空气来自储气罐7，由流量控制阀10对压缩空 气进行流量调整并通过配管6将其供给到容器1中。并且，由空气产生的正压被赋予容器 1内的彩色紫外线硬化树脂4，彩色紫外线硬化树脂4从排出针2被排出到修整后的缺陷 部11上(参照图5(b))。在该场合，当例如使用内径D为6μm的排出针2、根据缺陷部11 的大小S选择50μm×50μm作为修整尺寸时，如图3所示，执行1次排出动作，当选择 70μm×70μm作为修整尺寸时，执行4次排出动作，当选择100μm×100μm时作为修整尺寸 时，执行10次排出动作。
在第5步骤，如图4(c)所示，通过所述物镜，例如以规定时间照射355nm(紫外线)的 激光光线13，使排出到缺陷部11上的彩色紫外线硬化树脂4硬化(参照图5(c))。由此， 如图4(d)所示，缺陷部11的修正结束(参照图5(d))。
另外，在上述第2步骤，也可不根据缺陷部11的大小从预先设定的三种修整尺寸中 选择一种尺寸，而在预先知道1次排出量及涂布厚度的情况下，无论缺陷部11的大小而 始终设定根据所述排出量及涂布厚度所算出的修整尺寸。具体地说，当例如使用内径D为 19μm的排出针2时，1次排出量如图3所示是19.8pL的场合，无论缺陷部11的大小，都 可将修整尺寸始终设定为100μm×100μm进行修整。在该场合，可通过1次排出动作，用彩 色紫外线硬化树脂4大致充满修整部。
如此，采用本发明的缺陷修正方法，由于可根据缺陷部11的大小从预先设定的多个 尺寸中选择其中一个以修整缺陷部11，从而可在缺陷部11较小的场合减小修整尺寸，并 可减少彩色紫外线硬化树脂4的排出量。因此，可抑制滤色器5的缺陷修正所使用的彩色 紫外线硬化树脂4的使用量。
另外，由于以根据修整尺寸而设定的排出次数将彩色紫外线硬化树脂4排出，从而也 可用1根排出针2对应于不同尺寸的修整部。
此外，在预先知道1次排出量及涂布厚度的场合，若无论缺陷部11的大小而始终设 定根据所述排出量及涂布厚度所算出的修整尺寸，则不必测量缺陷部11的大小，缺陷修 正作业变得简单。因此，可缩短缺陷修正作业的时间。
以上，说明了将滤色器基板用作排出对象物的情况，但并不限定于此，例如也可适用 于配线电路等的膜的缺陷修正。
符号说明
1-容器；2-排出针；2a-针尖；2b-针本体部；3-排出控制装置；4-彩色紫外线 硬化树脂(排出材料)；5-滤色器；11-缺陷部
图1是表示本发明的滴涂器的实施形态的概念图。该滴涂器用于将排出材料排出到排 出对象物且对该排出对象物的微小缺陷部进行修正，具有容器1、排出针2和排出控制装 置3。
所述容器1是将修正排出对象物的缺陷部的排出材料予以储存的槽罐，例如在排出对 象物为滤色器基板的场合，储存滤色器的彩色紫外线硬化树脂4作为排出材料。该彩色紫 外线硬化树脂4通过紫外线照射进行硬化，硬化时的体积变化是百分之几，故容易控制涂 布厚度。相对于此，也可使用热硬化性树脂作为排出材料，但该热硬化性树脂，由于其硬 化时的体积变化约是50％，故可能有如下情况：为了获得规定的涂布厚度，必须排出涂布 厚度的约2倍的热硬化性树脂，热硬化性树脂从修整后的缺陷部溢出。因此，在下面的说 明中，对使用滤色器基板作为排出对象物、使用彩色紫外线硬化树脂4作为排出材料的情 况进行叙述。
在所述容器1的顶端部设有排出针2。该排出针2是由使彩色紫外线硬化树脂4排出 到滤色器基板的缺陷部11(参照图4)的玻璃管制成的。在该场合，滤色器的缺陷修正所需 的彩色紫外线硬化树脂4的量是微量的，即当将滤色器的膜厚作成2μm、修整尺寸例如为 50μm×50μm时，所需的彩色紫外线硬化树脂4的量是5pL，当尺寸为100μm×100μm时，所 需的彩色紫外线硬化树脂4的量为20pL，因此，如图2所示那样通过将加热软化后的玻璃 管拉长，排出针2形成为针尖2a变得比针本体部2b细的形状。玻璃管的管内径也随着加 热软化并拉细拉长而变小，可容易地形成内径D为几微米至几十微米的较细的针尖2a。
为作参考，图3表示了排出针2的内径D与每次的排出量V及充填不同的三种尺寸的 修整部所需的排出次数之间的关系。排出量V根据空气压力、排出时间及彩色紫外线硬化 树脂4的粘度等而有所不同，但在此，是作为处于图2所示的针尖2a的长度L部分的彩 色紫外线硬化树脂4因一次排出动作而排出的量来计算的。
在可根据缺陷部11的大小选择所述修整尺寸的场合，可选择的修整尺寸例如是 50μm×50μm、70μm×70μm、100μm×100μm时，关于内径D为3μm～9μm的排出针2，则可对 各尺寸的修整部进行充填的排出次数就如图3所示。在该图中，斜线表示的区域A是与所 对应尺寸的修整部的体积相比一次的排出量过多，故是彩色紫外线硬化树脂4从所述修整 部溢出而不能使用的区域。另外，区域B是为对各修整部进行充填而必须反复进行11次 以上的排出、修整节拍较长的不理想的区域。
根据图3，可用1根排出针2与所述三种尺寸的修整部对应的，是在该图中由粗虚线 所围住的内径D为6μm～9μm的排出针2。因此，在该场合，排出针2形成为针尖2a的内 径为6μm～9μm。所述修整尺寸，例如当缺陷部11的大小是30μm≤S＜50μm时选择 50μm×50μm，当是50μm≤S＜70μm时选择70μm×70μm，当是70μm≤S＜100μm时选择 100μm×100μm。
如图1所示，所述容器1通过配管6而与排出控制装置3连接。该排出控制装置3的 用途是，将正压作用于储存在所述容器1内的彩色紫外线硬化树脂4，该排出控制装置3 具有储气罐7、定时器8、电磁阀9和流量控制阀10。这里，储气罐7的用途例如是暂时 储存由气泵供给的空气，储气罐7通过流量控制阀10而与电磁阀9连接。另外，定时器8 的用途是以预先设定的时间接通开关使电磁阀9通电，电磁阀9的用途是根据通电的接通 或断开使阀进行开闭动作。由此，排出控制装置3进行这样的动作：以定时器8所设定的 时间使电磁阀9打开，利用流量控制阀10对暂时储存在储气罐7内的空气进行流量控制 并通过配管6将其供给到所述容器1中，利用导入到容器1内的空气正压，使彩色紫外线 硬化树脂4从容器1的排出针2适量地排出。
如此，采用本发明的滴涂器，由于将排出针2作成玻璃管，将加热软化后的玻璃管拉 长且针尖2a形成得较细，则可容易地形成内径D为几微米至几十微米的排出针2。因此， 可排出微量的彩色紫外线硬化树脂4，可用滴涂器修正滤色器的微小缺陷部。
下面，参照图4及图5说明用上述滴涂器修正滤色器缺陷部的缺陷修正方法。
首先，在第1步骤，通过图示省略的例如观察用CCD照相机的物镜来检测滤色器上的 缺陷部，例如利用设在物镜上的量规对缺陷部的大小进行测量。
在第2步骤，根据滤色器5的缺陷部的大小来选择修整尺寸。该选择通过选择修整用 激光光线所通过的狭槽来进行。例如，当缺陷部的大小S是30μm≤S＜50μm时选择 50μm×50μm的狭槽，当是50μm≤S＜70μm时选择70μm×70μm的狭槽，当是70μm≤S＜100μm 时选择100μm×100μm的狭槽。
在第3步骤，如图4(a)所示，通过所述选择的狭槽，以规定时间对缺陷部11照射修 整用的例如532nm或355nm的激光光线12，缺陷部11得到修整而增大(参照图5(a))。该 修整是为了如下情况而进行的，即：为了除去附着在滤色器5上的异物等的突起物；以及 为了使注入于缺陷部11的彩色紫外线硬化树脂4不从缺陷部11溢出，考虑了通过一次排 出动作从排出针2排出的彩色紫外线硬化树脂4的排出量而有意增大缺陷部11。
在第4步骤，如图4(b)所示，排出针2的针尖2a位于缺陷部11。在该状态下，若按 下省略图示的排出开始开关，则图1所示的排出控制装置3的定时器8产生动作，并以预 先设定的时间将电磁阀9打开。由此，压缩空气来自储气罐7，由流量控制阀10对压缩空 气进行流量调整并通过配管6将其供给到容器1中。并且，由空气产生的正压被赋予容器 1内的彩色紫外线硬化树脂4，彩色紫外线硬化树脂4从排出针2被排出到修整后的缺陷 部11上(参照图5(b))。在该场合，当例如使用内径D为6μm的排出针2、根据缺陷部11 的大小S选择50μm×50μm作为修整尺寸时，如图3所示，执行1次排出动作，当选择 70μm×70μm作为修整尺寸时，执行4次排出动作，当选择100μm×100μm时作为修整尺寸 时，执行10次排出动作。
在第5步骤，如图4(c)所示，通过所述物镜，例如以规定时间照射355nm(紫外线)的 激光光线13，使排出到缺陷部11上的彩色紫外线硬化树脂4硬化(参照图5(c))。由此， 如图4(d)所示，缺陷部11的修正结束(参照图5(d))。
另外，在上述第2步骤，也可不根据缺陷部11的大小从预先设定的三种修整尺寸中 选择一种尺寸，而在预先知道1次排出量及涂布厚度的情况下，无论缺陷部11的大小而 始终设定根据所述排出量及涂布厚度所算出的修整尺寸。具体地说，当例如使用内径D为 19μm的排出针2时，1次排出量如图3所示是19.8pL的场合，无论缺陷部11的大小，都 可将修整尺寸始终设定为100μm×100μm进行修整。在该场合，可通过1次排出动作，用彩 色紫外线硬化树脂4大致充满修整部。
如此，采用本发明的缺陷修正方法，由于可根据缺陷部11的大小从预先设定的多个 尺寸中选择其中一个以修整缺陷部11，从而可在缺陷部11较小的场合减小修整尺寸，并 可减少彩色紫外线硬化树脂4的排出量。因此，可抑制滤色器5的缺陷修正所使用的彩色 紫外线硬化树脂4的使用量。
另外，由于以根据修整尺寸而设定的排出次数将彩色紫外线硬化树脂4排出，从而也 可用1根排出针2对应于不同尺寸的修整部。
此外，在预先知道1次排出量及涂布厚度的场合，若无论缺陷部11的大小而始终设 定根据所述排出量及涂布厚度所算出的修整尺寸，则不必测量缺陷部11的大小，缺陷修 正作业变得简单。因此，可缩短缺陷修正作业的时间。
以上，说明了将滤色器基板用作排出对象物的情况，但并不限定于此，例如也可适用 于配线电路等的膜的缺陷修正。
符号说明
1-容器；2-排出针；2a-针尖；2b-针本体部；3-排出控制装置；4-彩色紫外线 硬化树脂(排出材料)；5-滤色器；11-缺陷部