一种双峰谐振镀膜光纤光栅气敏传感器的制造方法

摘要

一种双峰谐振镀膜光纤光栅气敏传感器的制造方法，涉及气敏传感器的制造技术领域；所要解决的是小型化、高集成、可遥测、高灵敏的气敏传感器的制造技术问题；该气敏传感器的制造方法包括如下步骤：1)选择光纤光栅；2)确定镀膜厚度；3)确定双峰中心波长；4)光纤光栅包层涂膜；5)传感头制作；6)双峰信号检测。本发明提供了一种小型化、高集成、可遥测的高灵敏镀膜光纤光栅气敏传感器的制造方法，有效利用了光纤光栅双峰谐振效应，应用这种方法所制造的传感器，对检测气体具有很高的灵敏度，对膜层折射率的测量分辨率可高达10-7；由于它集中了薄膜传感器和光纤光栅传感器的优点，有望在光化学传感器中得到广泛的应用。