半导体测试装置的测试程序生成系统

摘要

本发明是关于一种半导体测试装置的测试程序生成系统，通过本发明，即使是缺乏半导体测试装置知识的用户，也可以容易地生成测试程序，且可以容易地进行测试程序的更改、校正。本发明中，利用通常习惯使用的应用软件之一的表格计算软件的微程序，创建测试程序，由此，即使是缺乏半导体测试装置知识的用户，也可以易于生成测试程序。而且，当进行测试程序的更改、校正时，仅对各表格的设定条件进行更改、校正即可，因此，可以容易地进行测试程序的更改、校正。

权利要求

1.一种测试程序生成系统，生成用以使半导体测试装置运作的测试程序，且所述测试程序生成系统包括：启动装置，其启动具备多个表格的表格计算软件，该表格是由用以输入测试条件的规定格式所构成，每一测试项目具备有表格；

选择装置，其从经启动的所述表格计算软件的所述多个表格中，选择生成所述测试程序时所必须的表格；

输入装置，其将规定的设定条件输入到经选择的表格的格式中；

执行装置，其执行所述表格计算软件的宏程序；

生成装置，对应于所述宏程序的执行，生成用以使所述半导体测试装置运作的测试程序；以及显示装置，将通过执行所述宏程序而生成的测试程序显示在所述表格计算软件中另外的表格中。

2.如权利要求1所述的测试程序生成系统，其特征在于，根据已预先准备的基本表格来创建所述多个表格。

3.如权利要求1所述的测试程序生成系统，其特征在于，使用MICROSOFT 为所述表格计算软件。

4.如权利要求1所述的测试程序生成系统，其特征在于，所述规定格式构成的表格包括以下设定项目：第1电源设定部及第2电源设定部，包括电源设定部、施加条件设定部、以及模式设定部，所述电源设定部输入引脚名，所述施加条件设定部以单位伏特输入电压的设定条件，所述模式设定部选择性地设定vfim或ifvm模式；

测试速率设定部，包括输入条件设定部、以及单位设定部，所述输入条件设定部输入与各速率rt1～rt6对应的值，所述单位设定部设定测试速率的单位为奈秒、微秒、毫秒；

继电器设定部，包括负载继电器编号项目的接通/断开设定部；

输入引脚电压设定部，包括输入引脚设定部、VCC标志设定部、conn设定部、fmask设定部、fmt设定部、以及iofmt设定部，所述输入引脚设定部设定引脚名，所述VCC标志设定部设定各端子的电源模式为IOVCC、VCC、VDD，所述conn设定部设定各端子的连接对象为fc、open、svi、pmu，所述fmask设定部设定故障屏蔽为dsb、enb，所述fmt设定部设定波形格式为nrz、rl、rz、fixh、fixl、sbc，所述iofmt设定部设定IO格式为input、output、nrz；

输入引脚时序设定部，包括设定第1到第6为止的各时序tt1～tt6的单位的项目；

LCD设定部，包括rng设定部、lcdrly设定部、vt伏特设定部、以及ioh微安培设定部及iol微安培设定部，所述rng设定部设定off、lv、hv作为LCD引脚的范围，所述lcdrly设定部设定LCD引脚的输出继电器的接通、断开，所述vt伏特设定部将LCD引脚的VT设定为单位伏特，所述ioh微安培设定部及iol微安培设定部将LCD引脚的电流值设定为单位微安培；

lodstrb设定部，设定与第1至第6为止的各时序tt1～tt6对应的LCD引脚的选通脉冲；

输出引脚设定部，包括LCD引脚设定部、conn设定部、fmask设定部、以及voh伏特设定部及vol伏特设定部，所述LCD引脚设定部设定以DDF文件定义的引脚名，所述conn设定部设定open、ald、pmu作为各端子的连接对象，所述fmask设定部设定dsb、enb作为故障屏蔽，所述voh伏特设定部及vol伏特设定部将电压值设定为单位伏特；

IOVCC倍率设定部，设定VIH1、VIL1、VOH1、VOL1、VT1的各DC特性中的倍率；

VCC倍率设定部，设定VIH2、VIL2、VOH2、VOL2、VT2的各DC特性中的倍率；以及VDD设定部，设定VIH3、VIL3、VOH3、VOL3、VT3的各DC特性中的倍率。

5.如权利要求4所述的测试程序生成系统，其特征在于，所述规定格式构成的表格更包括以下设定项目：图形设定部，包括设定测试编号的测试编号设定部、设定使用图形名的使用图形设定部、设定记述在使用图形中的开始标记的开始设定部、设定记述在使用图形中的停止标记的停止设定部、设定seq/para中的任一个作为使用图形的运行模式的运行模式设定部、以及设定与测试图形条件表对应的编号的测试图形条件设定部；

电源序列设定部，包括以单位毫秒设定sr序列时间的时间设定部、设定端子名的uvi设定部、rvi设定部、pin设定部、以及与LCD部有关的设定lcd的LCD设定部的各设定项目；

测试图形条件表，设定与各测试相应的条件内容，该条件内容包含条件编号、测试编号、图形名；以及来历表，设定测试条件表的来历。

说明书

半导体测试装置的测试程序生成系统

技术领域

[0001] 本发明涉及一种测试程序生成系统，使用所述系统可以生成使半导体测试装置运作的测试程序(test program)，本发明尤其涉及一种半导体测试装置的测试程序生成系统，使用所述系统，即使缺乏半导体测试装置知识的用户，也可以容易地生成测试程序。 [0002] 背景技术

[0003] 为了将性能及品质得到保证的半导体器件制成成品上市，而必须在制造部门、检查部门的各工序中抽取半导体器件的全部或一部分，检查其电特性。半导体测试装置如下述般检查电特性，对被测定半导体器件赋予规定的测试用图形数据，读取由此而获得的被测定半导体器件的输出数据，根据被测定半导体器件的输出数据，针对被测定半导体器件的基本运作及功能是否存在问题，解析不良信息，检查电特性。

[0004] 为了进行所述检查，必须在每一种半导体器件中生成在半导体测试装置中需要执行的测试程序，而且，当半导体测试装置不同时，必须对每一种所述机型生成测试程序。通常，测试程序包含作为测试对象的半导体器件的引脚分组信息、及测试项目的处理顺序等。 [0005] 作为如上所述用以生成测试程序的装置，众所周知的是如日本专利特开平10-48300号公报所示的测试程序创建方式。所述测试程序创建方式是通过输入半导体器件的个别数据，而将测试对象引脚的分组或其他半导体器件个别信息放入测试程序的表格(form)中，创建半导体器件的个别测试程序。

[0006] 而且，如日本专利特开2000-187064号公报所示的测试组创建装置及其创建系统也为众所周知。所述测试组创建装置及其创建系统涉及半导体器件的测试对象引脚的分组方法，预先定义好引脚的分组条件，使之与更复杂的条件、即半导体器件复杂化且引脚数增加之类条件相对应，准确无误地短时间内创建测试组。

[0007] 所述背景技术的情况存在如下问题，测试项目也与半导体器件同样变得复杂化，所述测试项目在每一个半导体器件中都不相同时，则必须在每一个半导体器件中创建测试程序，因此需要花费劳力和时间进行创建。而且，已生成的测试程序需要通过人力进行调整、更改，因此，用户必须具有关于各半导体装置的高度专业知识。进而，先前由于可以通过人力进行调整、更改，因此，在进行程序更改、修订时，可能会混入人为错误，而且， 由于通过人力进行更改、修订，测试规格与测试程序的关系变得无法以1对1进行对应。为了在所述状态下使测试规格与测试程序的关系相对应，则必须从测试程序向测试规格进行反向变换，当没有反向变换的构造时，更改已生成的程序后，则将无法返回测试规格。进而，存在如下问题，即，在创建测试程序时存在个人情况差别，因此，在对他人所创建的测试程序进行实施或解析等时，则需要耗费很多时间。

[0008] 发明内容

[0009] 本发明的目的在于提供一种测试程序生成系统，使用所述方法，即使缺乏半导体测试装置知识的用户，也可以容易地生成测试程序，且可以容易地进行测试程序的更改、校正。

[0010] 本发明的测试程序生成方法的第1特征是，所述系统是生成使半导体测试装置运作的测试程序的测试程序生成系统，具备以下装置。启动装置，其启动具备多个表格的表格计算软件(spreadsheet)，该表格是由用以输入测试条件的规定格式(format)所构成，每一测试项目具备有表格；选择装置，其从经启动的所述表格计算软件的所述多个表格中，选择生成所述测试程序时所必须的表格；输入装置，其将规定的设定条件输入到经选择的表格的格式中；执行装置，其执行所述表格计算软件的宏程序(macroprogram)；生成装置，对应于所述宏程序的执行，生成用以使所述半导体测试装置运作的测试程序；显示装置，将通过执行所述宏程序而生成的测试程序显示在所述表格计算软件中另外的表格中。 [0011] 所述系统中，利用通常习惯使用的应用软件(application software)之一的表格计算软件的微程序(microprogram)，创建测试程序，由此，即使缺乏半导体测试装置知识的用户，也可以容易地生成测试程序。而且，当进行测试程序的更改、校正时，仅对各表格的设定条件进行更改、校正即可，因此，可以容易地进行测试程序的更改、校正。 [0012] 本发明的测试程序生成系统的第2特征如所述第1特征所述的测试程序生成系统，其中，根据预先已准备的基本表格来创建所述多个表格。所述系统中，根据基本表格来生成与各测试项目对应的各表格的构成，因此，仅对所述基本表格加以理解，即可容易地对其他测试项目的构成加深理解。

[0013] 本发明的测试程序生成系统的第3特征如所述第1特征所述的测试程序生成系统，其中，使用 作为所述表格计算软件。所述系统中，使用利用最多的MICROSOFT 作为表格计算软件。

[0014] 本发明的测试程序生成系统的第4特征如所述第1特征所述的测试程序生成系统，其中，通过执行所述宏程序而生成的测试程序显示在所述表格计算软件中的另外的表格中。所述系统中，将通过执行表格计算软件的宏程序而生成的测试程序显示在相同的表格计算软件的表格中，由此，使所述操作变得简单。

[0015] 附图说明

[0016] 图1是本发明的一个实施形态相关的测试程序生成方法的概略构成的示意图。 [0017] 图2是图1的第1电源设定部及第2电源设定部的详细示意图。

[0018] 图3是图1的测试速率设定部及类别设定部的详细示意图。

[0019] 图4是图1的继电器设定部的详细示意图。

[0020] 图5是图1的输入引脚电压设定部(第1处理部，第1Care部)的详细示意图。 [0021] 图6是图1的输入引脚时序设定部(第1处理部)的详细示意图。

[0022] 图7是图1的LCD(liquid crystal display，液晶显示器)设定部及lodstrb设定部的详细示意图。

[0023] 图8是图1的输出引脚设定部的详细示意图。

[0024] 图9是图1的IOVCC(输入输出供电电压)倍率设定部、VCC(供电电压)倍率设定部、以及VDD(工作电压)设定部的详细示意图。

[0025] 图10是图1的图形设定部(第1处理部)的详细示意图。

[0026] 图11是图1的输入引脚电压设定部(第2处理部，第2Care部)、以及输入引脚时序设定部(第2处理部)的详细示意图。

[0027] 图12是图1的电源序列设定部的详细示意图。

[0028] 图13是使用图1的基本表格而创建的开路(open)测试的1例示意图。

[0029] 图14是使用图1的基本表格而创建的短路(short)测试的1例示意图。

[0030] 图15是图13的开路(open)测试的程序创建表中程序表的一例示意图，所述程序表表示操作执行按钮时所创建的测试程序的一例。

[0031] [符号的说明]

[0032] 11：第2电源设定部

[0033] 12：测试速率设定部

[0034] 13：类别设定部

[0035] 14：继电器设定部

[0036] 15：输入引脚电压设定部(第1处理部)

[0037] 16：输入引脚时序设定部(第1处理部)

[0038] 17：LCD设定部

[0039] 18：lodstrb设定部

[0040] 19：输出引脚设定部

[0041] 20：IOVCC倍率设定部

[0042] 21：VCC倍率设定部

[0043] 22：VDD设定部

[0044] 23：图形设定部(第1处理部)

[0045] 24：输入引脚电压设定部(第2处理部)

[0046] 25：输入引脚时序设定部(第2处理部)

[0047] 26：图形设定部(第2处理部)

[0048] 27：电源序列设定部

[0049] 28：测试图形条件表

[0050] 29：来历表

[0051] 30：LCD-DC(Direct Current，直流)设定部

[0052] 31：执行按钮

具体实施方式

[0053] 以下，使用图式说明本发明的优选具体例。图1是本发明的一实施形态的测试程序生成方法的概略构成的示意图，表示在作为应用软件的MICROSOFT EXCEL 中构筑测试程序创建系统的情况。图1表示已预先准备的基本(表格，form)表的一例。

[0054] 图1的基本表格包括第1电源设定部10、第2电源设定部11、测试速率设定部12、类别设定部13、继电器设定部14、输入引脚电压设定部(第1处理部)15、输入引脚时序设定部(第1处理部)16、LCD设定部17、lodstrb设定部18、输出引脚设定部19、IOVCC倍率设定部20、VCC倍率设定部21、VDD设定部22、图形设定部(第1处理部)23、输入引脚电压设定部(第2处理部)24、输入引脚时序设定部(第2处理部)25、图形设定部(第2处理部)26、电源序列设定部27、测试图形条件表28、以及来历表29。

[0055] 图2是图1的第1电源设定部10及第2电源设定部11的详细示意图。第1电源设定部10包含3列设定项目以及4行输入项目，所述3列设定项目为电源设定、施加条件及模式；第2电源设定部11同样包含3列设定项目、以及24行输入项目，所述3列设定项目为电源设定、施加条件及模式。在设定项目“电源设定”中，输入有VCC、IOVCC等引脚名，在设定项目“施加条件”中，以单位[V]输入有电压的设定条件，在设定项目“模式”中，选择性地设定vfim或ifvm模式。

[0056] 图3是图1的测试速率设定部12及类别设定部13的详细示意图。测试速率设定部12包含3列设定项目、以及与各速率rt1～rt6对应的6行输入项目，所述3列设定项目为速率(rate)、输入条件及单位。将与各速率rt1～rt6对应的值输入到设定项目“输入条件”中。在设定项目“单位”中，选择性地设定[ns]、[μs]、[ms]作为测试速率的单位。类别设定部13包含如下3列设定项目，即表示类别设定部的“cat”的文字、及程 序值、类别。所述类别设定在各测试中为固定的，故无须进行设定。

[0057] 图4是图1的继电器设定部14的详细示意图。继电器设定部14对负载继电器进行设定，设定负载继电器编号(load relay number)及将其接通/断开。负载继电器编号准备有40行输入项目。而且，可以在接通/断开的右侧记述所使用的负载继电器的指令。 [0058] 图5是图1的输入引脚电压设定部(第1处理部)15的详细示意图。输入引脚电压设定部(第1处理部)15包含各设定项目以及40行输入项目，所述各设定项目为输入引脚设定、VCC标志(flag)、标志、conn、fmask、fmt、iofmt、vih[V]、vil[V]、voh[V]、vol[V]、vt[V]、ioh[μA]、以及iol[μA]。在设定项目“输入引脚设定”中，设定以DDF文件定义的引脚名。在设定项目“VCC标志”中，设定各端子的电源模式(IOVCC、VCC、VDD)。在设定项目“conn”中，设定各端子的连接对象(fc、open、svi、pmu)。在设定项目“fmask”中，设定故障屏蔽(fail mask)(dsb、enb)。在设定项目“fmt”中，设定波形格式(nrz、rl、rz、fixh、fixl、sbc)。在设定项目“iofmt”中，设定IO格式(input(输入)、output(输出)、nrz)。在设定项目“vih[V]、vil[V]、voh[V]、vol[V]、vt[V]、ioh[μA]及iol[μA]”中，在设定项目“VCC标志”经过设定后，将会自动设定倍率。其中，当IOVCC、VCC倍率设定部未进行设定时，将会设定为“-”。在数值栏中，设定与倍率的计算结果。此外，使用直接值(直接利用键盘等输入数值)时，可以直接输入到“值”栏中。

[0059] 图6是图1的输入引脚时序设定部(第1处理部)16的详细示意图。输入引脚时序设定部(第1处理部)16包含第1～第6的各时序tt1～tt6、设定所述各时序单位的项目、以及40行输入项目。在各时序tt1～tt6中，设置有各设定项目ICL、DRL、DRT、strb1、strb2。设定项目“ICL”中，当波形格式为“sbc”时，设定数值作为反转边缘。当波形格式为“sbc”以外的其他格式时、或不是输入引脚而是输出引脚时，设定为“-”。设定项目“DRL”中，设定上升边缘之值。波形格式为“fixh”、“fixl”时，设定为(0.0ns)。DRT项目中，设定下降边缘之数值。波形格式为“fixh”、“fixl”时，设定为“-”。设定项目“strb1”及“strb2”中，设定选通脉冲(strobing)的值。通常的选通脉冲的情况，仅设定“STRB1”，windows选通脉冲，则还需要设定“STRB2”。未记述的情况下，设定为“-”。设定项目“单位”中，设定ns、μs中的任一个单位。

[0060] 图7是图1的LCD设定部17及lodstrb设定部18的详细示意图。LCD设定部17包含如下各设定项目，即rng、lcdrly、vt[V]、ioh[μA]、iol[μA]。设定项目“rng”中，设定off、lv、hv，作为LCD引脚的范围。设定项目“lcdrly”中，设定LCD引脚的输出继电器的接通(on)、断开(off)。设 定项目“vt[V]”中，将LCD引脚的VT设定为单位[V]。设定项目“ioh[μA]、iol[μA]”中，设定LCD引脚的电流值作为单位[μA]。lodstrb设定部18包含如下设定项目，即与各时序tt1～tt6对应的LCD引脚的选通脉冲。各时序tt1～tt6中存在单位设定部。

[0061] 图8是图1的输出引脚设定部19的详细示意图。输出引脚设定部19包含如下各设定项目，即LCD引脚设定、conn、fmask、voh[V]、vol[V]。设定项目“LCD引脚设定”中，设定有以DDF文件定义的引脚名。设定项目“conn”中，设定open、ald、pmu作为各端子的连接对象。设定项目“fmask”中，设定dsb、enb作为故障屏蔽。设定项目“voh[V]”、“vol[V]”中，将电压值设定为单位[V]。

[0062] 图9是图1的IOVCC倍率设定部20、VCC倍率设定部21、以及VDD设定部22的详细示意图。IOVCC倍率设定部20包含如下各设定项目，即VIH1、VIL1、VOH1、VOL1、VT1。VCC倍率设定部21包含如下各设定项目，即VIH2、VIL2、VOH2、VOL2、VT2。VDD设定部22包含如下各设定项目，即VIH3、VIL3、VOH3、VOL3、VT3。所述各设定项目中，设定有各DC特性中的倍率。利用已设定的值与VCC标志，对输入端子设定电压。

[0063] 图10是图1的图形设定部(第1处理部)23的详细示意图。图形设定部(第1处理部)23包含如下各设定项目，即测试编号、使用图形、开始、停止、运行模式(seq/para)、测试图形条件。设定项目“测试编号”中，设定有测试编号。设定项目“使用图形”中，设定使用图形名。设定项目“开始”、“停止”中，设定使用图形中所记述的开始、停止标记。设定项目“运行模式(seq/para)”中，设定(seq/para)中的任一个作为使用图形的运行模式。设定项目“测试图形条件”中，设定有与测试图形条件表对应的编号。此外，所述各设定项目在自动生成时并不使用，但确认设定端子时必须记述。

[0064] 图11是图1的输入引脚电压设定部(第2处理部)24及输入引脚时序设定部(第2处理部)25的详细示意图。输入引脚电压设定部(第2处理部)24及输入引脚时序设定部(第2处理部)25除输入项目数不同外，与图5及图6的输入引脚电压设定部(第1处理部)15及输入引脚时序设定部(第1处理部)16相同。此外，图形设定部(第2处理部)26与图10的图形设定部(第1处理部)23相同，因此省略图示。

[0065] 图12是图1的电源序列设定部27的详细示意图。电源序列设定部27包含如下设定项目，即时间、端子名。设定项目“时间”中，以单位[ms]设定sr序列的时间。设定项目“端子名”包含如下各项目，即uvi、rvi、pin、LCD，项目“uvi”、“rvi”中设定有端子名，项目“LCD”中，设定有关LCD部的lcd，而未记述的情况下则设定为“-”。

[0066] 此外，未详细图示测试图形条件表28及来历表29，但测试图形条件表28中，设定有与各测试相应的条件内容。例如，设定条件编号、测试编号、图形名，并用于与图形设定部之间进行确认。并且，来历表29中，设定本测试条件表的来历。

[0067] 图13是使用图1的基本表格而生成的开路(open)测试的1例的示意图。根据图可以明白，进行开路(open)测试的情况时，直接使用图1的基本表格中如下各部来构成测试表，即，电源设定部10、第2电源设定部11、测试速率设定部12、类别设定部13、继电器设定部14、输入引脚电压设定部(第1处理部)15、输入引脚时序设定部(第1处理部)16、LCD设定部17、lodstrb设定部18、输出引脚设定部19、IOVCC设定部20、VCC倍率设定部21、VDD设定部22、电源序列设定部27、以及来历表29。将规定的数值或文字等输入到所述测试表的各项目中，对左上方的执行按钮31进行操作，由此，执行MICROSOFT EXCEL 的宏语言(macro language)(VBA)，将测试程序输出到程序表中。

[0068] 图14是使用图1的基本表格而生成的短路(short)测试的1例的示意图。根据图可以明白，当进行短路(short)测试的情况时，直接使用图1的基本表格中如下各部，即，电源设定部10、第2电源设定部11、测试速率设定部12、类别设定部13、继电器设定部14、输入引脚电压设定部(第1处理部)15、输入引脚时序设定部(第1处理部)16、LCD设定部17、lodstrb设定部18、输出引脚设定部19、IOVCC设定部20、VCC倍率设定部21、VDD设定部22、电源序列设定部27、以及来历表29，进而，追加LCD-DC设定部30。所述LCD-DC设定部30包括如下各设定项目，即LCD引脚设定、rly、施加条件、模式，并省略详细说明。将规定的数值或文字等输入到所述测试表的各项目中，对左上方的执行按钮31进行操作，由此，执行MICROSOFTEXCEL 的VBA，将测试程序输出到程序表中。

[0069] 图15是图13的开路(open)测试的程序创建表中程序表的一例示意图，所述程序表表示对执行按钮进行操作时所创建的测试程序的一例。如所述实施形态所示，仅打开规定的测试表，输入规定的数值等，对执行按钮进行操作，即可将规定的测试程序创建在规定的程序表中。

[0070] 所述实施形态中，以短路(short)测试及开路(open)测试的程序创建表为例进行了说明，但也能够准备除此以外的各种测试程序对应的程序创建表。