硅片装卸装置

摘要

一种硅片装卸装置，它由底板、石墨舟定位块、顶托针组成，石墨舟定位块固定在底板上，在石墨舟定位块与底板之间设有与滑轨相对应的滑轨槽，所述顶托针分布在底板的上端面，在与石墨舟上方孔相对应的位置范围内均匀分布若干根顶托针，当石墨舟安放在硅片装卸器上后顶托针的高度略高于石墨舟的上端面。它与现有石墨舟配套使用，不仅简化了硅片在石墨舟上的存取，避免硅片与框架之间的摩擦，大幅度降低了硅片在取放过程中所产生的缺口或碎裂，提高了硅片在PECVD工序中的成品率，降低了生产成本，提高了生产效率。

权利要求

1.一种硅片装卸装置，其特征是：它由底板(21)、石墨舟定位块(22)、顶托针(23)组成，石墨舟定位块(22)固定在底板(21)上，在石墨舟定位块(22)与底板(21)之间设有与滑轨(6)相对应的滑轨槽(24)，所述顶托针(23)分布在底板(21)的上端面，在与石墨舟上方孔(2)相对应的位置范围内均匀分布若干根顶托针(23)，顶托针(23)的高度为：当石墨舟安放在硅片装卸装置上后，顶托针(23)的高度略高于石墨舟的上端面。

2.根据权利要求1所述硅片装卸装置，其特征是：在与石墨舟上方孔(2)相对应的位置范围内均匀分布3根以上顶托针(23)。

说明书

硅片装卸装置

技术领域：

[0001] 本发明涉及晶体硅太阳能电池镀膜生产中的一种工装夹具，尤其涉及晶体硅太阳能电池表面镀膜工序中用于硅片存取的装置。背景技术：

[0002] 在晶体硅太阳能电池生产过程中，都需在晶体硅太阳能电池表面制备一层减反射膜，现在流行的工艺是用PECVD方法在硅片表面镀覆一层氮化硅膜，国内使用的PECVD设备多数是德国roth-rau公司生产的平板式PECVD设备。在该设备中用于装载硅片进行镀膜的工装为石墨舟，其结构如附图1～2所示，它为一个板状的框格结构，在板状框架上等间距地设有36个方孔2，孔与孔之间由筋条3隔开，四周边1形成框架，方孔2用于放置硅片，在每个方孔2的左右两侧各设有限位钩4，它们能限定硅片上下、左右的自由度；在前后两侧各设有两根限位丝5，用于限定硅片前后方向的自由度。方孔2的大小与硅片相对应，在每个方孔内放入一片硅片，放满后通过框架上的轨道6滑入镀膜设备进行镀膜，这种石墨舟在硅片的放入或取出时，操作员都必须细心地用吸笔或其他手工工具准确操作，稍不留意硅片就会与框架磨擦，导致硅片四周缺口，严重时会使硅片破裂，这是硅片镀膜工序中的产生废品太多的一个工序，它是影响晶体硅太阳能电池生产成本的主要因素之一。发明内容：

[0003] 为克服现有石墨舟在存取硅片时所存在的上述不足，本发明提供了一种与石墨舟配套使用的硅片装卸装置。它与现有石墨舟配套使用，不仅简化了硅片在石墨舟上的存取，避免硅片与框架之间的摩擦，大幅度降低了硅片在取放过程中所产生的缺口或碎裂，提高了硅片在PECVD工序中的成品率，降低了生产成本，提高了生产效率。

[0004] 本发明所述硅片装卸装置由底板21、石墨舟定位块22、顶托针23组成，石墨舟定位块22固定在底板21上，在石墨舟定位块22与底板21之间设有与滑轨6相对应的滑轨槽24，所述顶托针23分布在底板21的上端面，在与石墨舟上方孔2相对应的位置范围内均匀分布若干根顶托针23，当石墨舟安放在硅片装卸器上后顶托针23的高度略高于石墨舟的上端面。

[0005] 将石墨舟套装在硅片装卸装置上，石墨舟由石墨舟定位块限位，固定在底板上的顶托针与石墨舟的方孔相对应，方孔中的硅片则由顶托针自动顶出；同样，硅片在存放时可直接放在顶托针上，当将石墨舟垂直升起后，硅片自动放在方孔内，这样不仅简化了硅片在石墨舟上的存取，避免硅片与框架之间的摩擦，大幅度降低了硅片在取放过程中所产生的缺口或碎裂，提高了硅片在PECVD工序中的成品率，降低了生产成本，提高了生产效率。

[0006] 附图说明：

[0007] 图1、图2为石墨舟的结构示意图；图1为石墨舟俯视图；图2为石墨舟的局部剖视图；

[0008] 图3为石墨舟与硅片装卸装置结合状态的示意图；

[0009] 图4是从图3状态取出石墨舟后硅片装卸装置的俯视图(局部)；

[0010] 其中：1-四周边；2-方孔；3-筋条；4-限位钩；5-限位丝；6-滑轨；

[0011] 21-底板；22-石墨舟定位块；23-顶托针；24-滑轨槽。

[0012] 具体实施方式：

[0013] 下面结合附图举例说明本发明的具体实施方式。

[0014] 实施例1：石墨舟的结构如附图1～2所示，它为一个板状的框格结构，在板状框架上等间距地设有36个方孔2，孔与孔之间由筋条3隔开，四周边1形成框架，方孔2用于放置硅片，在每个方孔2的左右两侧各设有限位钩4，它们能限定硅片上下、左右的自由度；在前后两侧各设有两根限位丝5，用于限定硅片前后方向的自由度，方孔2的大小与硅片相对应，在每个方孔内放入一片硅片。

[0015] 所述硅片装卸装置由底板21、两个石墨舟定位块22、一佰零捌根顶托针23组成，两个石墨舟定位块22分别固定在底板21上左侧面和前面，在石墨舟定位块22与底板21之间设有与滑轨6相对应的滑轨槽24，一佰零捌根顶托针23分成三十六个单元，每个单元由三根顶托针23，它们呈等腰三角形分布，所有顶托针23都固定在底板21的上端面，每个单元由三根顶托针23与石墨舟上方孔2相对应，当石墨舟安放在硅片装卸器上后顶托针23的高度略高于石墨舟的上端面。

[0016] 本发明的使用方法：将石墨舟放置在硅片装卸装置上，使石墨舟的左侧面和前面分别紧贴两个石墨舟定位块22，此时，石墨舟上的左右两滑轨6分别位于滑轨槽24内，硅片装卸装置上顶托针能将石墨舟方孔中的硅片则自动顶出；同样，硅片在存放时可直接放在顶托针上，当将石墨舟垂直升起后，硅片自动放在方孔内，这样不仅简化了硅片在石墨舟上的存取，避免硅片与框架之间的摩擦，大幅度降低了硅片在取放过程中所产生的缺口或碎裂，提高了硅片在PECVD工序中的成品率，降低了生产成本，提高了生产效率。

[0017] 在上例中，在每个方孔内设置了三根呈等腰三角形分布的顶托针，在其内均匀设置3根以上也可。