防护薄膜组件收纳容器

摘要

本发明提供一种防护薄膜组件收纳容器，其具有能承受保管、输送中的外力冲击的足够刚性，而且能抑制盖体掀开时的剧烈外气卷吸，防止异物附着于防护薄膜组件。为达成上述目的，对树脂片材进行成形以作为防护薄膜组件收纳容器的盖体(1)，并在该盖体(1)表面上设置肋部(3)，其与盖体短边所成角度在10°以内，而且与其他肋部不交叉。由于各肋部并未被其他肋部切断，故能大大提高肋部(3)上下方向(纵方向)的刚性，并能防止因为外力所造成的盖体变形以及防护薄膜组件的损伤。

权利要求

1.一种防护薄膜组件收纳容器，包含：容器本体，用以载置防护薄膜组件；

盖体，其覆盖防护薄膜组件，且与该容器本体在周缘部互相嵌合卡止，其特征为：该盖体是以树脂片材成形，且在该盖体上表面上设置有至少5个肋部，其与盖体外形中的某一边所成角度在10°以内，且与其他肋部不相交叉。

2.如权利要求1所述的防护薄膜组件收纳容器，其中，该肋部与盖体外形的短边所成角度在10°以内。

说明书

防护薄膜组件收纳容器

技术领域

[0001] 本发明是关于一种防护薄膜组件收纳容器，其可收纳、保管、输送在吾人制造半导体装置、印刷基板或是液晶显示器等产品时作为防尘器使用的微影用防护薄膜组件。 背景技术

[0002] 在LSI等半导体装置或是液晶显示器等物品的制造中，是用光照射半导体晶圆或者是液晶用玻璃基板以制作出图案，惟若此时所使用的光罩或是初缩光罩(以下称光罩)上有灰尘附着的话，该灰尘会遮住光，或折射光线，使转印的图案发生损坏。 [0003] 因此，该等作业通常是在无尘室内进行，惟即使如此欲经常保持光罩清洁仍相当困难，故采取在光罩表面贴附防护薄膜组件作为防尘器的方法。

[0004] 此时，异物并非直接附着于光罩表面上，而是附着于防护薄膜组件上，故只要在微影步骤中将焦点对准光罩图案上，防护薄膜组件上的异物就不会对转印造成影响。 [0005] 然而，在将防护薄膜组件贴附于光罩上后其所形成的封闭空间虽然具有防止异物从外部侵入内部的效果，惟若异物是附着于防护薄膜组件本身且在封闭空间内部时，便难以防止光罩表面附着异物。因此，除了要求防护薄膜组件本身的高度清洁性以外，更强烈要求保管、输送时使用的防护薄膜组件收纳容器也具有维持该清洁性的性能。具体而言，要求其防止静电性能优异，并由受摩擦时发尘量少的材质所构成，且形成能尽量防止防护薄膜组件与构成零件间的接触的构造，以及施加外力时能够防止变形的高刚性构造。 [0006] 防护薄膜组件收纳容器通常是将丙烯腈-丁二烯-苯二烯共聚物(Acrylonitrile Butadiene Styrene，ABS)树脂、丙烯酸等树脂以射出成形或是真空成形等方式制造而成。利用该等成形方法，具备表面平滑故异物附着或发尘的疑虑较少、一体成形无接缝故发尘或异物侵入的疑虑较少、即使物品形状复杂也能轻易制造、量产性优异、成本低廉等优点。 [0007] 半导体用或印刷基板用的防护薄膜组件收纳容器，其外形边长大约200～300mm左右，该等容器通常是利用射出成形方式制造而成。如前所述，为了保持防护薄膜组件收纳容器的干净，而要求其具有即使外力施加时也难以变形的高刚性，惟对该等边长200～
300mm的防护薄膜组件收纳容器而言少有刚性的问题存在。

[0008] 原本，小型容器就比较容易确保其刚性，且用射出成形的方式改变局部部位的厚度，便可轻易补强重要部位的壁厚。

[0009] 另一方面，主要用于液晶用防护薄膜组件而边长超过500mm的大型防护薄膜组件收纳容器，一般是对ABS、丙烯酸等合成树脂片材以真空成形方式所制造而成。 [0010] 这是因为，若使用从一个地方或是数个地方的闸门将树脂以高速注入模具内的射出成形方式，其树脂流动距离太长而会造成制作上的困难。真空成形方式，是在模具上覆盖加热过的树脂片材，再以真空吸引成形，故即使大型物品也能轻易制得。 [0011] 然而，真空成形方式无法形成厚壁，虽可用肋部作某些程度的补强，惟基本上只是弯曲相同板厚的片材所制成的而已，故使用该方式仍很难制得高刚性的物品。 [0012] 该等肋部的例子，就容器本体而言，例如，专利文献1等所例示的。就盖体而言，例如，设置如图3所示那样的井字形的肋部或X字型的肋部(未经图示)。

[0013] 又，仅靠肋部补强仍嫌不足时，例如，如专利文献2所示的，可与其他补强体连结以确保刚性。

[0014] [特许文献1]特开2000-173887

[0015] [特许文献2]特愿2005-081533

发明内容

[0016] 发明所欲解决的问题

[0017] 当吾人欲从收纳容器将防护薄膜组件取出而打开盖体时，会对收纳容器内产生剧烈的外气卷吸。此时，会发生空气中的浮游物或收纳容器周围所附着的异物随着外气一起卷入而附着于防护薄膜组件上的现象。

[0018] 由于大型防护薄膜组件收纳容器其盖体也很大，故即使缓慢掀起盖体，也很容易发生该等现象。

[0019] 盖体为了防止输送时等因外力而变形，而被要求具有高刚性，惟该现象会随着盖体刚性愈高愈显著。这是为了抑制从收纳容器本体将盖体掀开时的微小变形。 [0020] 因此，目前尚无法制得一种防护薄膜组件收纳容器，其具有确保容器内部清净度的高刚性，而且掀开盖体时不会卷入异物附着于防护薄膜组件上。

[0021] 根据以上所述，本发明的目的在于提供一种防护薄膜组件收纳容器，其具有足够刚性承受保管、输送时的外力，而且能抑制掀开盖体时卷入剧烈外气，并防止异物附着于防护薄膜组件上。

[0022] 解决问题的技术手段

[0023] 本发明的防护薄膜组件收纳容器，是由下列构件所构成：容器本体，其载置防护薄膜组件；盖体，其被覆防护薄膜组件，并与容器本体以周缘部互相嵌合卡止，其特征为：盖体是以树脂片材成形，该盖体上表面上至少设置了5个肋部，其与盖体外形中的某一边所成角度在10°以内，而且与其他肋部不交叉。

[0024] 然后，该肋部与盖体外形的短边所成角度更宜在10°以内为佳。 [0025] 对照现有技术的效果

[0026] 本发明的防护薄膜组件收纳容器，其盖体因肋部而具有能承受保管、输送中外力的足够刚性，且掀开盖体时容易产生弯曲变形，故能抑制开盖时朝容器内流入的剧烈外气卷吸，大幅降低异物附着于防护薄膜组件的机会。

附图说明

[0027] 图1是表示本发明的防护薄膜组件收纳容器一实施例的示意立体图。 [0028] 图2是表示本发明的防护薄膜组件收纳容器开盖时状态的示意侧视图。 [0029] 图3是表示使用习知盖体的防护薄膜组件收纳容器一实施例的示意立体图。 [0030] 图4是表示使用习知盖体的防护薄膜组件收纳容器开盖时状态的示意侧视图。 [0031] 主要附图标记说明

[0032] 1 盖体

[0033] 2 容器本体

[0034] 3 肋部

[0035] 11 盖体

[0036] 12 容器本体

[0037] 13 肋部

[0038] 14 防护薄膜组件

[0039] 21 盖体

[0040] 22 容器本体

[0041] 23 肋部

[0042] 31 盖体

[0043] 32 容器本体

[0044] 33 肋部

[0045] 3 4防护薄膜组件

[0046] a，b 弯曲量

具体实施方式

[0047] 以下，根据附图说明本发明的防护薄膜组件收纳容器其一实施形态。图1是表示本发明的防护薄膜组件收纳容器一例的示意立体图，图2是表示从该容器本体掀起盖体的状态的示意侧视图。

[0048] 如图1所示的，防护薄膜组件(未经图示)载置于容器本体2上，并由盖体1覆盖着。然后，盖体1与容器本体2用黏贴胶带等(未经图示)密封固定，或用夹具等连结工具(未经图示)固定。

[0049] 容器本体2以及盖体1可用树脂板材黏接制作而成，惟若考量清净度、量产性等面向，则宜用真空成形法制作为佳。

[0050] 又，盖体、容器本体的材质可从丙烯酸、ABS、PVC等树脂中选择适当材质，惟为了减少静电所造成的异物附着，宜使用可防止静电的材料。然后，盖体宜为透明或半透明以便于确认内部情况，容器本体宜为黑色以便确认是否有异物附着。

[0051] 在图1中，盖体1嵌合于容器本体2的周缘部上，嵌合时的盖体1与容 器本体2所生间隙宜尽量缩小，以防止异物从外部侵入。

[0052] 然后，在盖体1上表面设置补强用的5根肋部3。该肋部3与盖体外形中的某一边所成角度在10°以内(在图1的例中与短边在10°以内)，且各肋部间必须无交叉。 [0053] 该等肋部的幅宽、高度、配置、根数、剖面形状等，因应盖体所需要的刚性适当设计即可，在该图的形态中并未作任何限定。

[0054] 肋部3与盖体外形的边缘所成角度，在10度以内则无实用上问题，可适当设置，惟呈平行较佳，特别是跟短边平行更好。这是因为，与距离较短的短边平行比起与长边平行而言更能提高刚性，可使肋部的效果发挥到最大限度。

[0055] 然后，由于各肋部并未被其他肋部横断交叉而过，比起具有垂直方向的肋部者(例如，如图3所例示者)而言，更能大大提高肋部上下方向(纵方向)的刚性。 [0056] 例如，如图3所示，在盖体21上表面互相交叉的肋部，乍看之下会觉得平衡性良好而刚性优异，惟该等构造实无法达到吾人所要的刚性。

[0057] 亦即，真空成形法所制作的该等形态的肋部，虽以折曲的纵向表面确保刚性，惟交叉(连接)的其他肋部会切断该纵向表面的刚性。

[0058] 本发明并无交叉肋部，故能发挥肋部原有刚性。又，本发明几乎仅存在同一方向的肋部，故能大幅降低与肋部垂直方向的弯曲刚性。

[0059] 然而，在实际保管、输送中，当盖体嵌合于容器本体上时，由于容器本体的刚性可完全支撑住盖体，故弯曲刚性的降低完全不会造成问题。相反的，此在从容器本体将盖体掀开时反而产生很大的优点。

[0060] 从容器本体将盖体掀开时，盖体11容易产生如图2所示之弯曲。此时，将盖体11掀开时的支撑位置，在图2肋部配置中宜从两短边侧掀开为最佳，故特别适合在此设置把手等提握装置。

[0061] 然后，在与肋部垂直方向(在此例中为长边方向)上的低弯曲刚性，使盖体11自开盖时的最初期段阶柔软地产生弯曲。因此，开盖初期段阶空气平顺地静静流入盖体与容器本体内部，便能毫无抵抗地轻易将盖体掀开，故不会发生外气剧烈流入的情况而能大幅减低异物附着于内部防护薄膜组件上的机会。

[0062] [实施例]

[0063] 以下，说明本发明的实施例，惟本发明并非仅限于此。用真空成形法将能防止静电的ABS树脂片材(t＝3mm，黑色)制作成如图1所示形状的防护薄膜组件收纳容器本体2。 [0064] 该容器本体中央部较高，可载置防护薄膜组件。

[0065] 接着，用真空成形法将能防止静电的ABS树脂片材(t＝3mm，透明)制作成如图1所示形状的盖体1。盖体1在上表面五个地方设置肋部3，四个地方的肋部高度20mm、宽
50mm，中央的肋部高度20mm、宽100mm。

[0066] 当然，该盖体1可嵌合于容器本体2上，组合后的外观如图1那样。全体大小为长度1450×宽1330×高度95mm。

[0067] 将该防护薄膜组件收纳容器搬入等级1的无尘室内，以中性冲洗剂与纯水彻底洗净后再使其干燥。之后，将在暗室内以集光灯(光量30万勒克斯)检查过异物的防护薄膜组件(外寸1366×1146，未经图示)小心地收纳于该容器内。

[0068] 然后，利用盖体开闭动作对容器内部的防护薄膜组件是否附着异物进行评价。 [0069] 如图2所示，由2名作业员抓住盖体11的两短边，慢慢掀开拿掉。 [0070] 此时盖体11在一掀开后便产生微微弯曲，完全离开容器本体12时，在中央部产生约20mm的弯曲(图2中a的大小)。之后，小心取出收纳于内部的防护薄膜组件14，就这样在暗室内以集光灯进行异物检查。结果发现防护薄膜上完全未见异物增加。 [0071] 之后，为了确认再重复4次该实验，防护薄膜上的异物仍完全未见增加。 [0072] 另外，此时盖体11、容器本体12毎次进行再洗净，测试用防护薄膜组件重复使用相同物件。

[0073] 接着，在盖体1上(正确而言是肋部3上)载置1000×1300×8mmt的铝板(重量约28kg)以评价刚性。

[0074] 之后，自横方向观察盖体外观，发现盖体并未发生明显弯曲。 [0075] [比较例]

[0076] 用真空成形法将能防止静电的ABS树脂片材(t＝3mm，黑色)制作成如图3所示形状的防护薄膜组件收纳容器本体22。

[0077] 该容器本体中央部较高，可载置防护薄膜组件。

[0078] 接着，用真空成形法将能防止静电的ABS树脂片材(t＝3mm，透明)制作成如图3所示形状的盖体21。

[0079] 在盖体21上表面设置井字形的肋部23，所有肋部高度20mm、宽50mm。当然，该盖体21可嵌合于容器本体22上，组合后的外观如图1那样。

[0080] 全体大小与实施例相同，为长度1450×宽1330×高度95mm。

[0081] 就该防护薄膜组件收纳容器，以盖体开闭动作对内部防护薄膜组件是否附着异物，进行与上述实施例完全相同的评价。

[0082] 如图4所示，由2名作业员抓住盖体31的两短边，慢慢掀开拿掉。此时盖体31对掀开动作产生强力抵抗而无法轻易掀开。

[0083] 盖体31从容器本体32掀离时产生剧烈空气卷流，透过透明盖体31可以观察到内部所收纳的防护薄膜组件34的膜面受到很大的波动。

[0084] 又，盖体31自容器本体32完全被掀离后，并没有看到明显弯曲，仅中央部约有5mm左右(图4中b的大小)的弯曲。之后，小心取出收纳于内部的防护薄膜组件34，就这样在暗室内以集光灯进行异物检查。结果，在防护薄膜上发现增加了3个大小50～100μm左右的异物。

[0085] 之后，为了确认再进行4次该实验，4次中有3次防护薄膜上发生异物增加的情况。此时，盖体31、容器本体32毎次进行再洗净，测试用防护薄膜组件使用相同物件，所附着异物毎次均用吹风器除去。

[0086] 接着，在盖体21上(正确而言是肋部23上)载置1000×1300×8mmt的铝板(重量约28kg)以评价刚性。自横方向观察盖体外观后发现盖体上的肋部23朝内侧陷入约15～20mm左右，而导致盖体损坏。