光敏性树脂组合物、耐热性薄膜的形成方法以及具有该薄膜的平板显示器和半导体装置

摘要

本发明涉及一种光敏性树脂组合物，其具有抑制膜表面白化、抑制膜剩余率下降两方面功能，该光敏性树脂组合物包含碱可溶性树脂、具有醌二叠氮基的感光剂以及固化剂，碱可溶性树脂为丙烯酸类树脂，固化剂是含环氧基的固化剂，并且该光敏性树脂组合物进一步含有熔点为20℃以下、多个羧基中的一部分被高级醇酯化的多羧酸酯化合物，以及提供具有采用该光敏性树脂组合物形成的平坦化膜或者层间绝缘膜的平板显示面板或者半导体装置。作为上述多羧酸酯化合物，优选由脂肪族不饱和二羧酸形成的化合物。