运动导向装置及运动导向装置的组装方法

摘要

本发明提供一种可衰减移动块沿轨道导轨的轴正交方向振动的运动导向装置。在移动块主体(4)上设置具有与轨道导轨(1)的表面对置的表面的衰减板(8)。该衰减板(8)的表面与轨道导轨(1)接触、或者将其与轨道导轨(1)之间的间隙尽可能地设定为零。在从轨道导轨或移动块产生振动时，通过轨道导轨(1)的表面和衰减板(8)的表面的接触，轨道导轨的轴正交方向的运动导向装置的弹簧常数变化，因此，轴正交方向的振动的衰减性提高。

权利要求

1.一种运动导向装置，其具备：形成有滚动体滚道槽的轨道构件；形成有与所述滚动体滚道槽对置的负载滚动体滚道槽，并且形成有无负载返回通路的移动构件主体；设于所述移动构件主体的行进方向的两端，且形成有连接所述负载滚动体滚道槽和所述无负载返回通路的方向转换路的盖构件；收容在包括所述移动构件主体的所述负载滚动体滚道槽的滚动体循环路径内的多个滚动体，其特征在于，在所述移动构件主体上设置有：具有与所述轨道构件的表面对置的表面的衰减板、和调节该衰减板和所述轨道构件之间的间隙的间隙调节板，在所述移动构件主体及所述间隙调节板各自的配合面设置梯度，

通过使所述间隙调节板相对于所述移动构件主体移动，来调节所述衰减板和所述轨道构件之间的间隙，在所述移动构件主体上还设置有：安装在所述移动构件主体的行进方向两端的一对按压板；相对于所述按压板将所述间隙调节板向所述行进方向按压的按压装置；将所述衰减板及所述间隙调节板固定在所述移动构件主体上的固定装置，在所述移动构件主体上还设置有衰减板按压装置，该衰减板按压装置向所述固定装置拉伸所述衰减板的方向的相反方向按压所述衰减板。

2.一种运动导向装置的组装方法，在轨道构件和移动构件之间可滚动运动地装有滚动体的运动导向装置的移动构件主体上，组装具有与所述轨道构件的表面对置的表面的衰减板、以及调节所述衰减板和所述轨道构件之间的间隙的间隙调节板，其特征在于，包括：通过使配合面带有梯度的所述间隙调节板相对于配合面带有梯度的所述移动构件主体沿所述移动构件主体的行进方向移动，来调节所述衰减板和所述轨道构件之间的间隙的间隙调节工序；

然后，将所述衰减板及所述间隙调节板固定在所述移动构件主体上的固定工序，在所述间隙调节工序和所述固定工序之间具备衰减板按压工序，所述衰减板按压工序是在所述衰减板固定在所述移动构件主体上时向所述衰减板被拉伸的方向的相反方向按压所述衰减板。

说明书

运动导向装置及运动导向装置的组装方法

技术领域

[0001] 本发明涉及引导移动物体运动的直线导向装置、滚珠花键等运动导向装置，特别是涉及在导向机构中设置了降低摩擦系数的滚珠、滚柱等滚动体的滚动型运动运动装置。

背景技术

[0002] 导向机构中设置了滚动体的滚动型运动导向装置具有得到比滑动型运动导向装置轻快的动作的优点，因此，多用于工作机械、半导体·液晶制造装置、机器人等多种领域。作为滚动型运动导向装置之一的使用例，如图15所示，例举用于纵型加工中心的Z轴的例子。该例子中，运动导向装置22引导使工具21旋转的驱动装置24相对于基座23沿Z轴方向做直线运动。

[0003] 但是，在这种加工中心的Z轴使用滚动型运动导向装置22时，加工中会在运动导向装置22上产生振动，该振动在驱动装置24的前端的工具21的部分扩大，由此产生加工面的精度降低的问题。若从工具21侧观察，工具21的振动会强烈碰到加工面，从而产生工具21的寿命降低的问题。为解决这种问题，代替滚动型运动导向装置，加工中心的Z轴有时使用衰减性高的滑动型运动导向装置。

[0004] 当然，当使用滑动型运动导向装置时，不能实现得到轻快的运动的滚动型运动导向装置的优点。为在实现得到轻快的运动的滚动型运动导向装置的最大优点的同时来提高衰减性，例如图16所示，已知有如下技术，即，在轨道导轨25和移动块26之间形成挤压膜阻尼器27，利用挤压膜阻尼器27来衰减移动块26的振动(参照专利文献1、2页)。在使用了该挤压膜阻尼器27的流体衰减技术中，在移动块26上形成与轨道导轨1的顶面面对的第一滑动面28、和与轨道导轨1的伸出壁的下面面对的第二滑动面29。在第一及第二滑动面28、29和轨道导轨1之间形成数十微米左右的间隙t，在该间隙t内充满油膜，构成挤压膜阻尼器。

[0005] 专利文献1：特开平5-60129号公报

[0006] 采用了挤压膜阻尼器27的流体衰减技术中，由于移动块在轨道导轨的轴方向产生振动时会有阻力产生，因此，可将移动块在轴方向的振动衰减。可是，不能够衰减移动块在轴正交方向上产生的振动。本发明者发现了在加工中心的Z轴使用运动导向装置的情况中构成问题的振动是在轨道导轨的轴正交方向产生的振动。该轴正交方向的振动是在加工工作物时产生的振动，是在移动块停止中或者缓慢移动时产生的。而且，构成问题的振动是因滚动体起到弹簧那样的作用而产生的。

发明内容

[0007] 本发明的目的在于提供一种运动导向装置，其能够衰减移动块在轨道导轨的轴正交方向上的振动。

[0008] 下面，对本发明进行说明，需要说明的是，为便于理解本发明，在括号内添加附图中的参照符号，但本发明不会由此而限于图示的方式。

[0009] 为解决上述课题，本发明第一方面提供一种运动导向装置，其具备：形成有滚动体滚道槽(1a)的轨道构件(1)；形成有与所述滚动体滚道槽(1a)对置的负载滚动体滚道槽(2a)，并且形成有无负载返回通路(2b)的移动构件主体(4)；设于所述移动构件主体(4)的行进方向的两端，形成有连接所述负载滚动体滚道槽(2a)和所述无负载返回通路(2b)的方向转换路的盖构件(5)；收容在包括所述移动构件主体(4)的所述负载滚动体滚道槽(2a)的滚动体循环路径内的多个滚动体(3)，其特征在于，在所述移动构件主体(4)上设置具有与所述轨道构件(1)的表面对置的表面的衰减板(8、15)，该衰减板(8、15)的所述表面与所述轨道构件(1)接触、或者将其与所述轨道构件(1)之间的间隙(δ)尽可能地设定为零，所述移动构件主体(4)相对于所述轨道构件(1)沿与所述轨道构件(1)的长度方向交叉的方向相对振动时，通过所述衰减板(8、15)的表面和所述轨道构件(1)的表面的接触，衰减所述移动构件主体(4)相对于所述轨道构件(1)沿所述交叉的方向相对振动。

[0010] 本发明第二方面在第一方面的基础上，提供运动导向装置，其特征在于，在所述移动构件主体(4)和所述衰减板(8)之间设置调节所述衰减板(8)和所述轨道构件(1)之间的间隙的间隙调节板(7)。

[0011] 本发明第三方面在第二方面的基础上，提供运动导向装置，其特征在于，在所述移动构件主体(4)及所述间隙调节板(7)各自的配合面(4c、7a)设置梯度，通过使所述间隙调节板(7)相对于所述移动构件主体(4)移动，来调节所述衰减板(8)和所述轨道构件(1)之间的间隙(δ)。

[0012] 本发明第四方面提供一种运动导向装置，其具备：形成有滚动体滚道槽(1a)的轨道构件(1)；形成有与所述滚动体滚道槽(1a)对置的负载滚动体滚道槽(2a)，并且形成有无负载返回通路(2b)的移动构件主体(16)；设于所述移动构件主体(16)的行进方向的两端，形成有连接所述负载滚动体滚道槽(2a)和所述无负载返回通路(2b)的方向转换路的盖构件(5)；收容在包括所述移动构件主体(16)的所述负载滚动体滚道槽(2a)的滚动体循环路径内的多个滚动体(3)，其特征在于，在所述移动构件主体(16)上设置具有与所述轨道构件(1)的表面对置的表面(16b)的衰减部(16a)，该衰减部(16a)的所述表面(16b)与所述轨道构件(1)接触、或者将其与所述轨道构件(1)之间的间隙(δ)尽可能地设定为零，所述移动构件主体(16)相对于所述轨道构件(1)沿与所述轨道构件(1)的长度方向交叉的方向相对振动时，通过所述衰减部(16a)的表面(16b)和所述轨道构件(1)的表面的接触，衰减所述移动构件主体(16)相对于所述轨道构件(16)沿所述交叉的方向相对振动。

[0013] 本发明第五方面在第四方面的基础上，提供运动导向装置，其特征在于，所述衰减部(16a)与所述移动构件主体(16)相同材质且一体形成。

[0014] 本发明第六方面在第一～第四方面中任一方面的基础上，提供运动导向装置，其特征在于，在所述衰减板(8、15)或所述衰减部(16a)的所述表面形成油槽(8b)，该油槽(8b)供给用于降低所述移动构件主体(4、16)沿所述轨道构件(1)的长度方向移动时的摩擦阻力的油。

[0015] 本发明第七方面在第一～第六方面中任一方面的基础上，提供运动导向装置，其特征在于，所述移动构件主体(4、16)整体形成为鞍形状，具有与所述轨道构件(1)的上面对置的中央部(4a)、和设于中央部(4a)的宽度方向两端且与所述轨道构件(1)的侧面对置的一对脚部(4b)，在所述移动构件主体(4)的所述中央部(4a)设置所述衰减板(8、15)或所述衰减部(16a)。

[0016] 本发明第八方面提供一种运动导向装置，其具备：形成有滚动体滚道槽(1a)的轨道构件(1)；形成有与所述滚动体滚道槽(1a)对置的负载滚动体滚道槽(2a)，并且形成有无负载返回通路(2b)的移动构件主体(4)；设于所述移动构件主体(4)的行进方向的两端，形成有连接所述负载滚动体滚道槽(2a)和所述无负载返回通路(2b)的方向转换路的盖构件(5)；收容在包括所述移动构件主体(4)的所述负载滚动体滚道槽(2a)的滚动体循环路径内的多个滚动体(3)，其特征在于，在所述移动构件主体(4)上设置：具有与所述轨道构件(1)的表面对置的表面的衰减板(8)、和调节该衰减板(8)和所述轨道构件(1)之间的间隙的间隙调节板(7)。

[0017] 本发明第九方面在第八方面的基础上，提供运动导向装置，其特征在于，在所述移动构件主体(4)及所述间隙调节板(7)各自的配合面(4c、7a)设置梯度，通过使所述间隙调节板(7)相对于所述移动构件主体(4)移动，来调节所述衰减板(8)和所述轨道构件(1)之间的间隙。

[0018] 本发明第十方面在第九方面的基础上，提供运动导向装置，其特征在于，所述移动构件主体上还设置一对按压板(10)、按压装置(11)、固定装置(9)，其中，一对按压板(10)安装在所述移动构件主体(4)的行进方向两端，按压装置(11)相对于所述按压板(10)向所述行进方向按压所述间隙调节板(7)，固定装置(9)将所述衰减板(8)及所述间隙调节板(7)固定在所述移动构件主体上。

[0019] 本发明第十一方面在第十方面的基础上，提供运动导向装置，其特征在于，所述移动构件主体(4)上还设置向所述固定装置(9)拉伸所述衰减板(8)的方向的相反方向按压所述衰减板(8)的衰减板按压装置(12)。

[0020] 本发明第十二方面提供一种运动导向装置的组装方法，在轨道构件(1)和移动构件(2)之间可滚动运动地安装有滚动体(3)的运动导向装置的移动构件(2)上，组装具有与所述轨道构件(1)的表面对置的表面的衰减板(8)、以及调节所述衰减板(8)和所述轨道构件(1)之间的间隙的间隙调节板(7)，其特征在于，包括：通过使配合面(7a)带有梯度的所述间隙调节板(7)相对于配合面(4c)带有梯度的所述移动构件主体(4)向所述移动构件主体(4)的行进方向移动，来调节所述衰减板(8)和所述轨道构件(1)之间的间隙的间隙调节工序；然后，将所述衰减板(8)及所述间隙调节板(7)固定在所述移动构件主体(4)上的固定工序。

[0021] 本发明第十三方面在第十二方面的基础上，提供运动导向装置的组装方法，其特征在于，在所述间隙调节工序和所述固定工序之间具备衰减板按压工序，所述衰减板按压工序是在所述衰减板(8)固定在所述移动构件主体(4)上时向所述衰减板(8)被拉伸的方向的相反方向按压所述衰减板(8)。

[0022] 发明效果

[0023] 根据本发明第一方面，在从轨道构件或移动构件产生振动时，通过轨道构件的表面和衰减板的表面的接触，与轨道构件的长度方向交叉的方向、例如轴正交方向的运动导向装置的弹簧系数改变，因此，轴正交方向上的振动的衰减性提高。因此，例如在工作机械中使用运动导向装置时，不会引起加工面品质恶化、或工具寿命降低的问题。

[0024] 由于移动构件主体以安装有衰减板的状态插入轨道构件，故如第一方面的发明，当使衰减板的表面与轨道构件接触、或将其与轨道构件之间的间隙尽可能地设定为零时，存在衰减板和轨道构件产生干涉，极其难以插入的问题。但是，根据第二方面的发明，由于可通过间隙调节板来自如地改变衰减板和轨道构件之间的间隙，故将移动构件主体插入轨道构件的作业容易。即，在将移动构件主体插入轨道构件时，可在轨道构件和衰减板之间预先设置间隙，在插入之后使轨道构件和衰减板接触。

[0025] 根据第三方面的发明，通过使间隙调节板相对于移动构件主体移动，可调节衰减板和轨道构件之间的间隙。

[0026] 根据第四方面的发明，在从轨道构件或移动构件产生振动时，通过轨道构件的表面和衰减部的表面的接触，与轨道构件的长度方向交叉的方向、例如轴正交方向的运动导向装置的弹簧系数改变，因此，轴正交方向上的衰减性提高。因此，例如在工作机械中使用运动导向装置时，不会引起加工面品质恶化、或工具寿命降低的问题。

[0027] 如第五方面的发明，衰减板可以与移动构件相同材质且一体形成。

[0028] 根据第六方面的发明，通过形成供给油的油槽，可防止衰减板和轨道构件的滑动阻力增加而产生烧粘。

[0029] 根据第七方面的发明，由于直线导轨的移动块的径向方向及反径向方向的弹簧常数变化，故可衰减径向方向及反径向方向的振动。

[0030] 根据第八方面的发明，由于可通过间隙调节板自如地改变衰减板和轨道构件之间的间隙，故将移动构件主体插入轨道构件的作业容易。即，在将移动构件主体插入轨道构件时，可在轨道构件和衰减板之间预先设置间隙，在插入之后使轨道构件和衰减板接触。而且，还可以通过改变衰减板和轨道构件之间的间隙来调节衰减效果。因此，第八方面的发明不仅适用于接触式衰减导向装置，而且还适用于具有通过油膜来进行衰减的功能的导向装置。

[0031] 根据第九方面的发明，当使间隙调节板相对于移动构件主体移动时，由于移动构件主体和间隙调节板上带有梯度，故衰减板上下动作。其结果是可调节衰减板和轨道构件之间的间隙。

[0032] 根据第十方面的发明，当用按压装置向移动块的行进方向按压间隙调节板时，衰减板上下动作，可调节衰减板和轨道构件之间的间隙。之后，可通过固定装置将衰减板固定在移动构件主体上。

[0033] 如第十方面的发明，当利用按压装置按压间隙调节板，调节间隙，然后用固定装置将衰减板固定在移动构件主体上时，衰减板被拉向移动构件主体侧而导致间隙过大，从而可能要必须反复进行数次调节。但是，根据第十一方面的发明，在衰减板按压装置的作用下，由固定装置拉伸衰减板而导致间隙过大的现象消失，因此，可使间隙稳定，而且可消减调节的工序数。

[0034] 根据第十二方面的发明，当用按压装置向移动块的行进方向按压间隙调节板时，衰减板上下动作，可调节衰减板和轨道构件之间的间隙。之后，可通过固定装置将衰减板固定在移动构件主体上。

[0035] 根据第十三方面的发明，根据衰减板按压工序，衰减板固定在移动构件上时衰减板被拉伸而导致间隙过大的现象消失，因此，可使间隙稳定，而且可消减调节的工序数。

附图说明

[0036] 图1是表示本发明一实施方式的运动导向装置的立体图(含有一部分剖面图)；

[0037] 图2是运动导向装置的轴正交方向的剖面图；

[0038] 图3是图2的III-III线剖面图；

[0039] 图4是表示轨道导轨和衰减板的轴方向剖面图(图中(A)表示轨道导轨笔直的状态，图中(B)表示轨道导轨弯曲的状态)；

[0040] 图5是表示将间隙调节板及衰减板联接后的移动块主体的图(图中(A)表示剖面图，图中(B)表示主视图)；

[0041] 图6是表示移动块主体的图(图中(A)表示俯视图，图中(B)表示主视图)；

[0042] 图7是表示按压板的图(图中(A)表示主视图，图中(B)表示俯视图)；

[0043] 图8是表示间隙调节板的图(图中(A)表示俯视图，图中(B)表示侧视图)；

[0044] 图9是表示衰减板的图(图中(A)表示侧视图，图中(B)表示仰视图)；

[0045] 图10是表示间隙调节方法的原理图；

[0046] 图11是表示间隙调节方法的原理图；

[0047] 图12是表示本发明其它实施方式的运动导向装置的轴正交方向剖面图；

[0048] 图13是表示本发明其它实施方式的运动导向装置的轴方向剖面图；

[0049] 图14是表示本发明其它实施方式的运动导向装置的轴正交方向剖面图；

[0050] 图15是表示在加工中心的Z轴使用了运动导向装置的例子的图；

[0051] 图16是表示具有现有的挤压膜阻尼器的运动导向装置的剖面图。

[0052] 符号说明

[0053] 1轨道导轨(轨道构件)

[0054] 1a滚珠滚道槽(滚动体滚道槽)

[0055] 2移动块(移动构件)

[0056] 2a负载滚珠滚道槽(负载滚动体滚道槽)

[0057] 2b无负载返回通路

[0058] 3滚珠(滚动体)

[0059] 4、16移动块主体(移动构件主体)

[0060] 4a中央部

[0061] 4b脚部

[0062] 4c、7a配合面

[0063] 5端板(盖构件)

[0064] 7间隙调节板

[0065] 8、15衰减板

[0066] 8b油槽

[0067] 9固定螺栓(固定装置)

[0068] 10按压板

[0069] 11压紧螺钉(按压装置)

[0070] 12压紧螺钉(衰减板按压装置)

[0071] 16a衰减部

具体实施方式

[0072] 引导进行直线或曲线运动的移动物体的运动导向装置被用在运送部件、或进行组装作业的机器人、及半导体·液晶制造装置、工作机械等各种领域。滚动型运动导向装置在导向部分设置滚珠及滚柱等滚动体，通过滚动体的滚动运动实现引导功能。

[0073] 图1表示本发明一实施方式的运动导向装置。该实施方式的运动导向装置称为直线导向装置，其通过滚珠的滚动运动引导移动物体作直线运动。直线导向装置具备直线状细长地延伸的作为轨道构件的轨道导轨1、和可相对滑动地组装在该轨道导轨1上的鞍状的作为移动构件的移动块2。在轨道导轨1和移动块2之间设有可滚动运动的多个滚珠3。

[0074] 轨道导轨1形成为截面大致四角形状，在轨道导轨1的左右侧面的上部及上面的两端部形成合计4条滚珠滚道槽1a作为滚动体滚道槽。滚珠滚道槽1a沿轨道导轨1的长度方向延伸，其截面形状形成为由单一圆弧构成的单圆弧形槽形状或由两个圆弧构成的哥特式拱槽形状。

[0075] 移动块2整体形成为鞍形状，其由作为移动构件主体的钢制移动块主体4、和移动块主体4的行进方向两端设置的作为盖构件的树脂制端板5构成。在移动块主体4上形成与轨道导轨1的滚珠滚道槽1a对置的作为负载滚动体滚道槽的负载滚珠滚道槽2a，并且形成有与负载滚珠滚道槽2a平行延伸的无负载返回通路2b。负载滚珠滚道槽2a也与轨道导轨1的滚珠滚道槽1a相同，形成为由单一圆弧构成的单圆弧形槽形状或由两个圆弧构成的哥特式拱槽形状。而且，移动块主体4具有与轨道导轨1的上面对置的中央部4a、和自中央部4a的宽度方向两端部向下方延伸且与轨道导轨1的左右侧面对置的脚部4b、4b。

[0076] 在移动块主体4的行进方向的两端面一体形成将负载滚珠滚道槽2a和滚珠返回通路2b连接的构成U字状方向转换路的内周侧的R部件部。另一方面，在移动块主体4的行进方向两端安装的树脂制端板5上形成方向转换路的外周侧。由滚珠滚道槽1a和负载滚珠滚道槽2a之间的负载滚珠滚道路、与负载滚珠滚道路平行延伸的无负载返回通路2b、连接于负载滚珠滚道路及无负载返回通路的两端的U字状方向转换路构成回路状的滚珠循环路径。

[0077] 在回路状滚珠循环路径上排列收纳多个滚珠3。该实施方式中，多个滚珠3旋转自如地保持于保持带24。在滚珠3间设有用于防止滚珠3彼此接触的隔离物，该隔离物由可挠性的带一连串地保持。

[0078] 当使移动块2相对于轨道导轨1沿轴方向相对移动时，滚珠3在负载滚道路中边承受负载边滚动运动。随着该负载域的滚珠的滚动运动，一连串连接的无负载域的滚珠3也在滚珠循环路径中移动，因此，最终全部滚珠3在滚珠循环路径内循环。

[0079] 作为本实施方式的特征，在移动块2和轨道导轨1之间装入两个部件即间隙调节板7及衰减板8。这些间隙调节板7及衰减板8固定于移动块主体4上，衰减板8的与轨道导轨1对置的表面(即下面)与轨道导轨1接触，或者将其与轨道导轨1之间的间隙尽可能地设定为零。而且，衰减板8的与轨道导轨1对置的表面与轨道导轨1的表面平行。

[0080] 对衰减板和轨道导轨之间的间隙进行详细说明。图2及图3表示设于移动块主体4和轨道导轨1之间的间隙调节板7及衰减板8。衰减板8和轨道导轨1接触意味着衰减板8和轨道导轨1之间为负间隙。该情况下，衰减板8和轨道导轨1无论是行程中还是加工中都是始终接触的。需要说明的是，图2及图3中，为了便于理解，将间隙δ空开相当量表示，但实际上衰减板8和轨道导轨1是接触的。

[0081] 另一方面，有时也将衰减板8和轨道导轨1之间的间隙δ尽可能地设定为零。轨道导轨1如图4(A)所示，期望笔直地制造，但如图4(B)所示，有时也弯曲10μm左右制造。而且，移动块主体4及衰减板8的表面也很少笔直地制造，有数μm左右的弯曲。因此，即使在轨道导轨1的弯曲最大的部位将衰减板8和轨道导轨1的间隙设定为零，在轨道导轨1的弯曲最小的部位也会空出10μm左右的间隙。将间隙δ尽可能地设定为零就是也含有这种情况的意思。

[0082] 本发明中，衰减板8和轨道导轨1之间的间隙如下设定：在移动块2或轨道导轨1沿轴正交方向振动时，衰减板8和轨道导轨1无论如何都会接触。这是由于，本发明是如下技术，即，在移动块2或轨道导轨1沿轴正交方向振动时，使衰减板8与轨道导轨1接触，以此将移动块2或轨道导轨1的轴正交方向的振动衰减。例如，在工作机械以规定的加工条件加工工作物的过程中，在加工点产生的振动传递给运动导向装置，从而移动块2或轨道导轨1沿轴正交方向振动。此时，按照衰减板8和轨道导轨1接触的方式设定间隙δ。

[0083] 在轨道导轨1或移动块2振动时，通过使轨道导轨1的表面和衰减板8的表面面接触，轨道导轨1的轴正交方向(径向方向及反径向方向)的运动导向装置的弹簧常数变化，因此，轴正交方向的振动的衰减性提高。因此，在将运动导向装置例如用于工作机械时，不会引起加工面品质恶化、或工具寿命降低的问题。需要说明的是，试验中，在工作机械中，在加工点产生的振动构成问题不是在粗加工时，而是在加工力小且振幅也小的精加工时。

[0084] 移动块2在安装有衰减板8的状态下插入到轨道导轨1上，因此，当使衰减板8的表面与轨道导轨1接触、或将其与轨道导轨1之间的间隙尽可能地设定为零时，存在衰减板8和轨道导轨1干涉，非常难以插入的问题。为解决该问题，如图2及图3所示，在移动块主体4和衰减板8之间设置调节衰减板8和轨道导轨1之间的间隙δ的间隙调节板7。而且，在将移动块2向轨道导轨1插入时，可在轨道导轨1和衰减板8之间设置间隙，在插入后通过调节间隙来使轨道导轨1和衰减板8接触。

[0085] 如图3所示，在移动块主体4和间隙调节板7各自的配合面4c、7a上设置梯度。即，双方的配合面4c、7a成为彼此带相同角度的锥部。衰减板8夹着间隙调节板7，通过接合螺栓等接合装置牢固地固定在移动块主体4上。在将移动块主体4和衰减板8的连接松开的状态下，利用压紧螺钉等按压装置从移动块2的行进方向两侧压紧间隙调节板7，当使间隙调节板7相对于移动块主体4移动时，由于间隙调节板7及移动块主体4的配合面4c、
7a带有梯度，故衰减板8通过间隙调节板7的移动而上下动作。例如当使间隙调节板7向图中左方向移动时，衰减板8降下而减小间隙，当使其向图中右方向移动时，衰减板8上升而增大间隙。

[0086] 对各构成部件做详细说明。图5表示在移动块主体4上联接了间隙调节板7及衰减板8的状态。衰减板8和移动块主体4通过固定螺栓9联接。在间隙调节板7上开设直径比固定螺栓9的直径大的螺栓通孔7c，由此，间隙调节板7相对于移动块主体4沿行进方向例如移动±2mm总计4mm。当移动块主体4和间隙调节板7的配合面带例如1/100的梯度时，通过间隙调节板7的±2mm的行程，衰减板8上下动作±20μm。假设没有间隙调节板7，而使带梯度的衰减板8直接与移动块主体4的配合面4c配合时，为确保衰减板8的±2mm的行程，必须在移动块主体4的螺栓通孔的周围开设±2mm的间隙。但是，开设这样的螺栓通孔时，不能确保固定螺栓9的座面的大小，从而固定螺栓9的联接力不足。因此，夹着间隙调节板7，在间隙调节板7上形成空出±2mm以上的间隙的螺栓通孔7c。

[0087] 如图6所示，在移动块主体4的行进方向两端形成切口4d。向该切口4d中嵌入图7所示的按压板10。在按压板10上形成用于将按压板10安装到移动块主体4上的螺栓通孔10a，另外还形成与压紧螺钉11(参照图3)螺合的阴螺纹10b。

[0088] 图8表示间隙调节板7。如上所述，在间隙调节板7的与移动块主体4配合的配合面7a上设置例如1/100的梯度。在移动块主体4的配合面4c上也设置与间隙调节板7的配合面7a相同的梯度。这些配合面4c、7a双方都是平面。另一方面，在间隙调节板7的与衰减板8配合的配合面7b上没有设置梯度。

[0089] 图9表示衰减板8。本发明中，通过使衰减板8与轨道导轨1接触，由此衰减移动块2的轴正交方向的振动。当衰减板8接近钢体时呈现弹簧的特性，其振幅可减小，但衰减效果也许不充分。因此，衰减板8的材质使用树脂或软质金属的铸造物等。该衰减板8边接触轨道导轨1，边沿轨道导轨1的轴方向移动。当金属彼此之间接触时，有非常大的阻力产生，从而可能使衰减板8烧粘。为防止衰减板8的烧粘，在衰减板8的表面形成供给用于降低摩擦阻力的油的油槽8b。从图5(A)所示的油供给路径17向该油槽8b供给油。但是，由于衰减板8和轨道导轨1接触，故当没有油的出路时，会因供给的油的压力而在衰减板8和轨道导轨1之间产生间隙。因此，油槽8b具有到达衰减板的侧面的出路8c。

[0090] 如图10所示，由压紧螺钉11压紧间隙调节板7来调节间隙，之后，若用固定螺栓9从移动块主体的上面将衰减板8固定在移动块主体4上，则衰减板8被拉向移动块主体4侧而导致间隙过大，从而可能必须要将调节反复进行数次。因此，如图11所示，也可以由作为衰减板按压装置的衰减板压紧螺钉12从移动块主体4的上面按压衰减板8(换言之，防止被拉向移动块主体4侧)，之后，通过固定螺栓9将衰减板8固定在移动块主体4上。由此，由于没有衰减板8被固定螺栓9拉拽导致间隙δ过大的现象，故间隙δ稳定，而且可减少调节工序。

[0091] 图12及图13表示本发明其它实施方式的运动导向装置。该实施方式中，不设置间隙调节板而将衰减板15直接固定在移动块主体4上。衰减板15的下面与如上所述的运动导向装置相同，与轨道导轨1接触、或者尽可能地将其与轨道导轨1之间的间隙δ设定为零。而且在衰减板15的下面形成供给用于防止烧粘的油的油槽。也可以在衰减板15的与移动块主体配合的配合面上设置用于调节间隙的梯度。移动块主体4、轨道导轨1等的构成由于与上述实施方式的运动导向装置相同，故使用同一符号而省略其说明。该实施方式中，当从轨道导轨1或移动块2产生振动时，通过使轨道导轨1的表面和衰减板15的表面接触，轨道导轨1的轴正交方向(径向方向及反径向方向)的运动导向装置的弹簧常数变化，因此，轴正交方向上的振动的衰减性也提高。

[0092] 图14表示本发明的再其它实施方式的运动导向装置。该实施方式的运动导向装置中，代替衰减板，设有与移动块主体16相同的材质且一体的衰减部16a。衰减部16a的与轨道导轨1对置的表面16b为平面。衰减部16a的表面16b与如上所述的运动导向装置相同，与轨道导轨1接触、或者尽可能地将其与轨道导轨1之间的间隙δ设定为零。而且，在衰减部16a的表面16b形成供给用于防止烧粘的油的油槽。该实施方式中，在从轨道导轨1或移动块2产生振动时，通过使轨道导轨1的表面和衰减部16a的表面16b接触，轨道导轨1的轴正交方向(径向方向及反径向方向)的运动导向装置的弹簧常数变化，因此，轴正交方向上的振动的衰减性提高。

[0093] 需要说明的是，本发明不限于上述实施方式，在不变更本发明主旨的范围内可进行各种变更。例如，本发明的运动导向装置并不限定于加工中心的Z轴，只要是在移动块或轨道导轨上沿轴正交方向产生振动，就可适用于各种工作机械、机器人、半导体制造装置等。另外，本发明的运动导向装置不限于移动块为鞍形状的直线导向装置，也可以适用于滚珠花键。

[0094] 而且，在并用间隙调节板和衰减板时，也可以改变衰减板和轨道导轨之间的间隙来调节衰减效果。该情况下，在衰减板和轨道导轨之间空出数μm～数十μm的间隙，在间隙中填充油。通过该油，移动块在轨道导轨的轴方向振动时，产生阻力。因此，并用了该间隙调节板和衰减板的发明不仅适用于接触式衰减导向装置，而且也可以适用于具有通过油膜实现衰减的功能的导向装置。

[0095] 本说明书基于2005年5月24曰申请的特愿2005-151472。其内容全部包含于此。