涂布液供给装置

摘要

本发明的涂布液供给装置能实现密封的稳定性的提高、吸引时间的缩短等。在注射泵(2)的缸盖(9)的内表面(9a)中的凹部底部(9e)上，在同一个圆周上设置有供应口(18a、18b)和吐出口(19)。在设于切换杆(24)前端的阀板(26)上设置有与供应口(18a、18b)和吐出口(19)对应的贯通孔(27a、27b)。切换杆(24)由旋转式驱动器(23)驱动而旋转，受到螺旋弹簧(48)朝着将阀板(26)推压在缸盖(9)的凹部底部(9e)上的方向的弹性施力。

权利要求

1.一种涂布液供给装置，其特征在于，包括：活塞，该活塞在缸体内进退；

缸盖，该缸盖以内表面与所述活塞相对的形态配置在所述缸体的一端上；

进液口，该进液口设在所述缸盖上，且与涂料桶相连；

出液口，该出液口设在所述缸盖上，且与涂布机相连；

供应口，该供应口在所述缸盖的所述内表面上开口，且与所述进液口连通；

吐出口，该吐出口在所述缸体的内表面上开口，且与所述出液口连通，与所述供应口配置在同一个第一圆上；

切换杆，该切换杆贯穿所述缸盖，轴线穿过所述第一圆的中心；

阀板，该阀板设置在位于缸体内的所述切换杆的一端上；

贯通孔，该贯通孔设在所述阀板上，且配置在与所述第一圆同心且相同直径的第二圆上；

驱动器，该驱动器驱动所述切换杆绕所述轴线旋转；以及弹簧，该弹簧弹性地对所述切换杆施力，将所述阀板始终向所述缸盖的所述内表面压紧，以使所述阀板与所述缸盖的所述内表面之间形成起到密封膜兼润滑膜作用的所述涂布液的膜。

2.如权利要求1所述的涂布液供给装置，其特征在于，所述供应口有多个，且所述贯通孔与所述供应口为同等数量。

3.如权利要求2所述的涂布液供给装置，其特征在于，所述供应口相对于所述第一圆的所述中心呈中心对称地配置。

4.如权利要求3所述的涂布液供给装置，其特征在于，所述供应口有两个，这两个供应口绕所述第一圆的所述中心以隔开180°的角度间隔进行配置。

5.如权利要求1所述的涂布液供给装置，其特征在于，在所述缸盖的内表面与所述阀板之间夹设有固定在所述缸盖或所述阀板上的具有耐磨性的固定板。

说明书

涂布液供给装置

技术领域

[0001] 本发明涉及一种涂布液供给装置。

背景技术

[0002] 作为对玻璃基板(glass substrate)等板状处理物、膜(film)等的表面涂布浆液(paste)、抗蚀剂液体(resist liquid)、滤色片(color filter)用荧光浆液(fluorescent paste)等涂布液的涂布机，模具涂布机(die coater)受到了广泛使用。以往，作为从涂料桶(application liquid tank)向模具涂布机供给涂布液的涂布液供给装置，在专利文献1中公开了一种在注射泵(syringe pump)的头部一体形成有流路切换机构的结构。

[0003] 但是，专利文献1所公开的涂布液供给装置是通过联轴器(coupling)在切换杆(changing rod)上连结气缸(air cylinder)、并用该气缸的气压来维持设在切换杆上的阀板与缸盖(cylinder head)之间的密封(seal)的结构，且是在阀芯旋转时使阀板与缸盖之间空出空间的方式，因此缸盖与阀板之间的滑动面的密封不稳定，可能会发生液体泄漏。另外，在该涂布液供给装置中，用于将涂布液从涂料桶引入缸体内的供应口是一个，因此吸引涂布液所需的时间长。

[0004] 专利文献1：日本专利特开2002-200452号公报

发明内容

[0005] 本发明的目的在于实现涂布液供给装置的密封的稳定性的提高、吸引时间的缩短以及装置的小型化。

[0006] 本发明提供一种涂布液供给装置，该装置包括：在缸体内进退的活塞；以内表面与所述活塞相对的形态配置在所述缸体的一端上的缸盖；设在所述缸盖上、且与涂料桶相连的进液口(suction port)；设在所述缸盖上、且与涂布机相连的出液口(discharge port)；在所述缸盖的所述内表面上开口、与所述进液口连通的供应口；在所述缸体的内表面上开口、与所述出液口连通、且与所述供应口配置在同一个第一圆上的吐出口；贯穿所述缸盖、轴线穿过所述第一圆的中心、且在位于所述缸体的内表面侧的一端上具有阀板的切换杆；设在所述阀板上、且配置在与所述第一圆同心且相同直径的第二圆上的贯通孔；驱动所述切换杆绕所述轴线旋转的驱动器；以及朝着将所述阀板压紧在所述缸盖的所述内表面上的方向弹性地对所述切换杆施力的弹簧。

[0007] 在从涂料桶吸引涂布液时，用驱动器驱动切换杆旋转，从而使阀板处于贯通孔与供应口一致的角度位置。活塞朝着使缸体内的容积增加的方向移动，来自涂料桶的涂布液经由进液口从供应口被吸入缸体内。另一方面，在向涂布机输出涂布液时，用驱动器驱动切换杆旋转，从而使阀板处于贯通孔与吐出口一致的角度位置。活塞朝着使缸体内的容积减少的方向移动，缸体内的涂布液经由吐出口从出液口向涂布机输出。

[0008] 阀板始终被弹簧压紧在缸盖的内表面上。具体而言，无论是在阀板从贯通孔与供应口一致的角度位置旋转至贯通孔与吐出口一致的角度位置时，还是在阀板反向地旋转时，阀板都维持着被压紧在缸盖的内表面上的状态。因此，与通过联轴器将切换杆与气缸相连、在阀板旋转时使阀板与缸盖之间空出空间、并用气压来维持密封的场合相比，缸盖内表面与阀板之间的滑动面的密封的稳定性大幅度提高，能可靠地防止涂布液泄漏。另外，由于不需要使切换杆进退的气缸和联轴器，因此可使装置小型化并简化。再者，只需调整弹簧的施力就可简单地调整阀板对缸盖内表面的压紧力，可提高装置的操作性。

[0009] 最好所述供应口有多个，且所述贯通孔与所述供应口为同等数量。

[0010] 由于可增加供应口的总的截面积，因此可缩短从涂料桶吸引涂布液所需的时间。另外，在确保为了以合适的流量吸引涂布液而必要的总的截面积的同时，可减少各个供应口的截面积。通过减少各个供应口的截面积，可使阀板的尺寸小型化。而且，通过减少各个供应口的截面积，在确保为了可靠地密封而必要的供应口与吐出口之间的沿表面的距离的同时，可缩小供应口与吐出口之间的角度范围。其结果是，可缩小吸引与输出的切换所必要的阀板的旋转角度，可减小滑动面的滑动面积和滑动距离。

[0011] 另外，最好所述供应口相对于所述第一圆的所述中心呈中心对称地配置。

[0012] 来自涂料桶的压力均匀地作用在阀板的多个部位上。其结果是，可进一步提高缸盖的内表面与阀板之间的滑动面的密封的稳定性。

[0013] 例如，所述供应口有两个，这两个供应口绕所述第一圆的所述中心以隔开180°的角度间隔进行配置。

[0014] 在所述缸盖的内表面与所述阀板之间，也可夹设有固定在所述缸盖或所述阀板上的具有耐磨性的固定板。

[0015] 所述弹簧的压紧力被设定成使所述阀芯与所述缸盖之间形成起到密封膜兼润滑膜的作用的所述涂布液的膜。因此，当阀芯旋转时，可以对缸盖的内表面与阀板之间的滑动面大范围地供给涂布液，使这整个滑动面上形成起到密封膜兼润滑膜的作用的涂布液的润滑膜。

[0016] 在本发明的涂布液供给装置中，由于利用弹簧朝着将阀板压紧在缸盖的内表面上的方向弹性地对所述切换杆施力，因此可提高缸盖的内表面与阀板之间的滑动面的密封的稳定性，并可使装置小型化及简化。另外，通过设置多个供应口，可实现滑动面的密封的稳定性的提高、吸引时间的缩短、阀板尺寸的小型化、以及滑动面的滑动面积及滑动距离的减少。再者，通过中心对称地配置供应口，可进一步提高缸盖的内表面与阀板之间的滑动面的密封的稳定性。

附图说明

[0017] 图l是表示本发明的实施形态的涂布液供给装置的纵剖视图。

[0018] 图2是表示缸盖、阀板和固定板的局部分解立体图。

[0019] 图3是从缸体内部看到的缸盖的主视图。

[0020] 图4是沿图3的IV-IV线的剖视图。

[0021] 图5是表示旋转式驱动器和切换杆的局部分解立体图。

[0022] 图6是示意地表示旋转式驱动器的纵剖视图。

[0023] 图7(A)是表示吸入时的缸盖和阀板的主视图，图7(B)是表示输出时的缸盖和阀板的主视图。

[0024] 图8是示意地表示代替方案的缸盖的主视图。

[0025] 图9是示意地表示代替方案的阀板的主视图。

[0026] 图10(A)是示意地表示位于中间位置的代替方案的缸盖和阀板的主视图，图10(B)是示意地表示位于吸入位置的代替方案的缸盖和阀板的主视图，图10(C)是示意地表示位于输出位置的代替方案的缸盖和阀板的主视图，

[0027] (符号说明)

[0028] 1涂布液供给装置

[0029] 2注射泵

[0030] 3切换装置

[0031] 4控制器(controller)

[0032] 6缸体

[0033] 7驱动器

[0034] 8活塞

[0035] 9缸盖

[0036] 9a内表面

[0037] 9b外表面

[0038] 9c凹部

[0039] 9d插入孔

[0040] 9e凹部底部

[0041] 11进液口

[0042] 12出液口

[0043] 13、14配管

[0044] 16涂料桶

[0045] 17模具涂布机

[0046] 18a、18b、18c、18d供应口

[0047] 19、19a、19b、19c、19d吐出口

[0048] 21a、21b供给流路

[0049] 22输出流路

[0050] 23旋转式驱动器

[0051] 24切换杆

[0052] 26阀板

[0053] 27a、27b、27c、27d贯通孔

[0054] 28固定板

[0055] 29a、29b、29c、29d贯通孔

[0056] 31插入孔

[0057] 32a、32b销孔

[0058] 33阳螺纹部

[0059] 34a、34b平坦面

[0060] 36a、36b、36c衬套(bush)

[0061] 37 O形圈(O-ring)

[0062] 38保持零件

[0063] 39托架(bracket)

[0064] 41壳体(casing)

[0065] 42a、42b缸室(cylinder room)

[0066] 42c、42e第一室

[0067] 42d、42f第二室

[0068] 43a、43b第二活塞

[0069] 44齿条(rack)

[0070] 46小齿轮(pinion)

[0071] 46a插入孔

[0072] 47轴承部件

[0073] 47a插入孔

[0074] 47b轴承部

[0075] 47c第一扩径部

[0076] 47d第二扩径部

[0077] 47e弹簧座

[0078] 47f筒状部

[0079] 48螺旋弹簧(coil spring)

[0080] 49弹簧推压件

[0081] 49a凸缘部

[0082] 51螺母(nut)

[0083] C1、C2、C3圆

[0084] CT1、CT2、CT3中心

[0085] S轴线

[0086] θ1、θ2角度范围

[0087] L沿表面的距离

具体实施方式

[0088] 下面参照附图对本发明的实施形态进行详细说明。

[0089] 参照图1，涂布液供给装置1包括注射泵2、切换装置3和控制器4。

[0090] 注射泵2包括：缸体6、由直动式驱动器7驱动而在缸体6内进退的活塞8、以及以内表面9a与活塞8相对的形态固定在缸体6的一端上的缸盖9。

[0091] 同时参照图2～图4，本实施形态的缸盖9呈大致扁平的圆柱形状，在外周设置有进液口11和出液口12。进液口11利用配管13与涂料桶16相连，出液口12利用配管14与模具涂布机(涂布机)17相连。在缸盖9的内表面9a上设置有截面呈圆形的凹部9c。在内表面9a中，在构成凹部9c底部的部分(凹部底部9e)，两个供应口18a、18b和一个吐出口19在缸体6内的内部开口。供应口18a、18b通过在缸盖9内形成的供给流路21a、21b与进液口11连通。吐出口19通过在缸盖9内形成的输出流路22与出液口12连通。在本实施形态中，供应口18a、18b和吐出口19的截面形状均为圆形。

[0092] 如图3所示，供应口18a、18b和吐出口19配置在内表面9a上的假想的圆C1的圆周上。具体而言，两个供应口18a、18b绕圆C1的中心CT1隔开180°的角度间隔呈中心对称地配置。另外，吐出口19相对于两个供应口18a、18b绕圆C1的中心CT1隔开90°的角度间隔配置。在缸盖9上以在厚度方向贯穿的形态设置有插入孔9d，该插入孔9d具有与圆C1同心的圆形截面。

[0093] 切换装置3包括：旋转式驱动器23、以及在该旋转式驱动器23的驱动下绕自身的轴线S旋转的切换杆24。

[0094] 参照图1、图2和图5，切换杆24插通插入孔9d而贯穿缸盖9，轴线S穿过配置有供应口18a、18b和吐出口19的圆C1的中心CT1。在位于缸体6内(缸盖9的内表面9a侧)的切换杆24的一端上一体设置有圆盘状的阀板26。在阀板26上设置有两个贯通孔27a、27b。这些贯通孔27a、27b配置在假想的圆C2的圆周上，该圆C2与配置有供应口18a、18b和吐出口19的圆C1同心且相同直径。具体而言，两个贯通孔27a、27b绕圆C2的中心CT2隔开180°的角度间隔呈中心对称地配置。另外，贯通孔27a、28a的截面形状为直径与供应口18a、18b和吐出口19相同的圆形。

[0095] 在图2中最为明确，在阀板26的与缸盖9相对的面上固定有固定板28，该固定板28由耐磨性材料构成，且呈圆盘状并具有耐磨性。在该固定板28上以沿厚度方向贯穿的形态设置有两个贯通孔29a、29b。具体而言，这些贯通孔29a、29b相对于中心CT3隔开180°的角度间隔呈中心对称地配置在直径与圆C1、C2相同的假想的圆C3的圆周上。另外，贯通孔29a、29b的截面形状为直径与供应口18a、18b、吐出口19和贯通孔27a、27b相同的圆形。
在固定板28的中央设置有插入孔31，在该插入孔31内插通着切换杆24。另外，固定板28利用插通在一对销孔32a、32b中的销(未图示)相对于阀板26固定。

[0096] 在切换杆24的另一端设置有阳螺纹部33。另外，如图5所示，从切换杆24的插通旋转式驱动器23的部位到阳螺纹部33形成有彼此平行的平坦面34a、34b。切换杆24的其余部分的截面形状呈圆形。在缸盖9的插入孔9d内安装有三个衬套36a、36b、36c和O形圈37，它们由被螺栓固定在缸盖9的外表面9b上的保持零件38保持。由O形圈37来密封在插入孔9d的孔壁与切换杆24的外周面之间的间隙。

[0097] 在缸盖9的外表面上用螺栓固定(fixed by bolts)有托架39，在该托架39上固定有旋转式驱动器23的壳体41。参照图6，在旋转式驱动器23的壳体41内平行设置有两个缸室42a、42b。在各个缸室42a、42b中分别收容有第二活塞43a、43b。一方的缸室42a包括被第二活塞43a分隔的图中左侧的第一室42c和右侧的第二室42d。同样地，另一方的缸室42b也包括被第二活塞43b分隔的图中左侧的第一室42e和右侧的第二室42f。缸室42a的第一室42c与缸室42b的第二室42f通过未图示的流路彼此连通。同样地，缸室42a的第二室42d与缸室42b的第一室42e也通过未图示的流路彼此连通。在第二活塞43a、
43b的一侧分别设置有齿条44。在壳体41内，与第二活塞43a、43b的齿条44啮合的小齿轮46可自由旋转地被支撑着。在小齿轮46上以沿厚度方向贯穿的形态设置有插入孔46a，该插入孔46a具有与如上所述的具有平坦面34a、34b的切换杆24的截面形状对应的截面形状。在该插入孔46a内插通有切换杆24。小齿轮46的旋转被传递给切换杆24，但小齿轮46并不妨碍切换杆24在轴线S方向上进退。

[0098] 当向缸室42a的第一室42c内和缸室42b的第二室42f内供给空气时，第二活塞43a朝着图6中的右侧移动，另一方面，第二活塞43b朝着左侧移动。其结果是，由齿条44驱动的小齿轮46在图6中逆时针旋转。当向缸室42a的第二室42d内和缸室42b的第一室42e内供给空气时，第二活塞43a朝着图6中的左侧移动，另一方面，第二活塞43b朝着右侧移动，由齿条44驱动的小齿轮46在图6中顺时针旋转。切换杆42与小齿轮46一起绕轴线S旋转，结果使阀板26以圆C2的中心CT2为中心旋转。

[0099] 参照图1及图5，在旋转式驱动器23的壳体41中，在与安装到托架39上的部位相反的一侧的部位上固定有轴承部件47。在沿厚度方向贯穿该轴承部件47的插入孔47a内插入有切换杆24的另一端侧。切换杆24的阳螺纹部33突出到轴承部件47的外部。插入孔47a从靠近旋转式驱动器23的一侧起包括：轴承部47b、第一扩径部47c、以及直径大于第一扩径部47c的第二扩径部47d。轴承部47b作为切换杆24的径向轴承(radial bearing)而起作用。第一扩径部47c与第二扩径部47d的连接部位、即台阶部作为弹簧座47e而起作用。螺旋弹簧48被收容在第二扩径部47d内，螺旋弹簧48的一端(旋转式驱动器23侧的端部)被弹簧座47e支撑。另外，在第二扩径部47d内可自由滑动地收容有圆筒状的弹簧推压件49的凸缘部49a，螺旋弹簧48的另一端(与旋转式驱动器23相反的一侧的端部)与弹簧推压件49抵接。

[0100] 切换杆24贯穿螺旋弹簧48和弹簧推压件49，阳螺纹部33从轴承部件47的筒状部47f突出到外部。螺旋弹簧48和弹簧推压件49的内径设定成比切换杆24的外尺寸大足够多，以不限制切换杆24在轴线S方向上的进退。弹簧推压件49的与凸缘部49a相反的一侧的端部也从轴承部件47的圆筒部47f突出到外部。

[0101] 在切换杆24的阳螺纹部33上螺纹旋合有螺母51，通过旋紧该螺母51，切换杆24被螺旋弹簧48朝着图1中的箭头A所示的方向弹性地施力。具体而言，当旋紧螺母51时，被螺母51推压的弹簧推压件49朝着弹簧座47e压缩螺旋弹簧48。因此，被压缩的螺旋弹簧48想要恢复自然长度的力通过弹簧推压件49传递给螺母51，切换杆24受到朝着箭头A方向的施力。因为螺旋弹簧48的箭头A方向上的施力，切换杆24的阀板26隔着固定板28始终被弹性地压紧在缸盖9的内表面9a(凹部底部9e)上。

[0102] 控制器4进行控制，以使使注射泵2的活塞8进退的驱动器7与驱动切换杆24旋转的旋转式驱动器23同步地动作。

[0103] 下面对本实施形态的涂布液供给装置1的动作进行说明。

[0104] 在从涂料桶16吸引涂布液时，由旋转式驱动器23驱动切换杆24旋转，从而如图7(A)所示，阀板26成为各个贯通孔27a、27b经由固定板28的贯通孔29a、29b与各个供应口18a、18b一致的角度位置。在该角度位置，吐出口19被固定板28的不存在贯通孔29a、
29b的部位闭锁。在阀板26处于该角度位置后，利用驱动器7使注射泵2的活塞8朝着使缸体6内的容积增加的方向(图1中的右方)移动。其结果是，因为储藏在涂料桶16内的涂布液的压力(静压)，涂布液从涂料桶16经由配管13、进液口11、供给流路21a、21b、供应口18a、18b、贯通孔29a、29b、以及贯通孔27a、27b而吸引到缸体6内。

[0105] 另外，在向模具涂布机17输出涂布液时，由旋转式驱动器23驱动切换杆24旋转，从而如图7(B)所示，阀板26绕中心CT1以图中的顺时针方向旋转90°，成为一方的贯通孔27b经由固定板28的贯通孔29b与吐出口19一致的角度位置。在该角度位置，供应口18a、18b被固定板28的不存在贯通孔29a、29b的部位闭锁，另一方的贯通孔27a和贯通孔
29a被缸盖9的内表面9a的凹部底部9e的、不存在供应口18a、18b和吐出口19的部位闭锁。在阀板26处于该角度位置后，利用驱动器7使注射泵2的活塞8朝着使缸体6内的容积减少的方向(图1中的左方)移动。其结果是，受到活塞8加压的缸体6内的涂布液经由贯通孔27b、贯通孔29b、吐出口19、输出流路22、出液口12、以及配管14向模具涂布机
17输出。

[0106] 当在涂布液向模具涂布机17输出后再次从涂料桶16吸引涂布液时，阀板26从图7(B)所示的角度位置绕中心CT1以图中的逆时针方向旋转90°，在贯通孔27a、27b和贯通孔29a、29b与供应口18a、18b一致后，活塞8朝着使缸体6内的容积增加的方向移动。如上所述，通过反复进行阀板26的旋转及与其同步的活塞8的进退，可将涂料桶16内的涂布液连续地向模具涂布机17供给。

[0107] 本实施形态的涂布液供给装置1具有下面的特征。

[0108] 阀板26和固定板28始终被螺旋弹簧48压紧在缸盖9的内表面9a的凹部底部9e上。具体而言，无论是在阀板26从贯通孔27a、27b和贯通孔29a、29b与供应口18a、18b一致的角度位置(图7(A))朝着贯通孔27b和贯通孔29b与吐出口19一致的角度位置(图7(B))旋转时，还是在阀板26反向地旋转时，阀板26和固定板28都维持着被压紧在缸盖9内表面9a的凹部底部9e上的状态。因此，与通过联轴器将切换杆与气缸相连并用气压来维持密封的场合相比，在缸盖9内表面9a的凹部底部9e与固定板28之间的滑动面的密封的稳定性大幅度提高，能可靠地防止涂布液的泄漏。另外，由于不需要用于使切换杆24进退的气缸和联轴器，因此可使装置小型化并简化。再者，只需调整螺旋弹簧48的施力就可简单地调整阀板26和固定板28对缸盖9内表面9a的凹部底部9e的压紧力，可提高装置的操作性。在本实施形态的场合，若增加螺母51的旋紧量，则螺旋弹簧48的施力便会增加，若减少旋紧量，则螺旋弹簧48的施力便会减小。

[0109] 由于设置有多个(本实施形态中为两个)供应口18a、18b并设置有与其同等数量的贯通孔27a、27b和贯通孔29a、29b，因此通过阀板26的旋转，涂布液会进入缸盖9内表面9a的凹部底部9e与固定板28之间的滑动面的大范围内，涂布液的膜会起到密封膜兼润滑膜的作用。图7(B)的符号θ1、θ2表示的是阀板26旋转一次供给到滑动面上的涂布液的角度范围。在反复旋转下，会在整个滑动面上形成涂布液的密封膜兼润滑膜，可防止在缸盖
9内表面9a的凹部底部9e与固定板28之间的滑动面处的液体泄漏和磨损。

[0110] 由于通过设置多个供应口18a、18b可增加供应口的总的截面积，因此可缩短从涂料桶16吸引涂布液所需的时间。另外，在确保为了以合适的流量吸引涂布液而必要的总的截面积的同时，可减少各个供应口18a、18b的截面积。通过减少各个供应口18a、18b的截面积，可使阀板26的尺寸小型化。而且，通过减少各个供应口18a、18b的截面积，在确保为了可靠地密封而必要的供应口18a、18b与吐出口19之间的沿表面的距离(图7(B)中用符号L示意地表示)的同时，可缩小供应口18a、18b与吐出口19之间的角度范围(本实施形态中为90°)。其结果是，可缩小吸引与输出的切换所需要的阀板26的旋转角度，可减小在缸盖9内表面9a的凹部底部9e与固定板28之间的滑动面的滑动面积和滑动距离。

[0111] 另外，由于将多个(本实施形态中为两个)供应口18a、18b相对于圆C1的中心CT1呈中心对称(在本实施形态中绕中心CT1以180°的角度间隔)配置，因此在吸引涂布液时来自涂料桶16的压力会均匀地作用在阀板26的多个部位(本实施形态中为两个部位)上。其结果是，可进一步提高在缸盖9内表面9a的凹部底部9e与固定板28之间的滑动面的密封的稳定性。

[0112] 图8表示的是缸盖9内表面上的供应口和吸入口的代替方案，图9表示的是与其对应的阀板26。

[0113] 参照图8，四个供应口18a～18d和四个吐出口19a～19d以各一个构成一对，每个对绕假想的圆C1的中心CT1以60°的角度间隔进行配置。另外，构成对的供应口18a～18b与吐出口19a～19d绕中心CT1以30°的角度间隔进行配置。另一方面，参照图9，在阀板26上，四个贯通孔27a～27d绕假想的圆C2的中心CT2以90°的角度间隔进行配置。
另外，在固定板28上设置有与阀板26的贯通孔27a～27d连通的四个贯通孔29a～29d。

[0114] 如图10(A)所示，当处于贯通孔27a～27d及贯通孔29a～29d与供应口18a～18d和吐出口19a～19d中的任一方都不一致的中间位置上的阀板26和固定板28朝着逆时针方向旋转30°时，如图10(B)所示，贯通孔27a～27d及贯通孔29a～29d与供应口
18a～18d一致，从而成为可吸入涂布液的角度位置。相反地，当阀板26和固定板28从图
10(A)的中间位置起朝着顺时针方向旋转30°时，如图10(C)所示，贯通孔27a～27d及贯通孔29a～29d与吐出口19a～19d一致，从而成为可输出涂布液的角度位置。

[0115] 像该代替方案那样，通过增加供应口和阀板的贯通孔的个数，可减小滑动面的滑动面积和滑动距离。

[0116] 本发明并不局限于上述实施形态，可进行各种变形。例如，旋转式驱动器的小齿轮与切换杆可以用不限制切换杆的进退的构造进行连结，例如可采用键连结。另外，只要能在不限制切换杆进退的情况下使切换杆转动，则旋转式驱动器也可以具有实施形态以外的结构。只要不限制切换杆的旋转，对切换杆弹性施力的结构也可以是实施形态的螺旋弹簧、弹簧推压件、阳螺纹部和螺母的组合以外的结构。再者，阀板无需和切换杆一体，也可将分开形成的阀板固定在切换杆上。