多晶硅薄膜太阳能电池专用设备

摘要

本发明公开了一种多晶硅薄膜太阳能电池专用设备，包括设置在炉管中对薄膜电池片进行化学气体沉积处理的容器，进气管通过容器上的开口伸入容器中，在容器开口处近侧，设置有向容器开口喷射高压惰性气体的喷射装置。本发明结构合理，采用高压惰性气体对薄膜电池片进行化学气体沉积处理的容器开口处进行密封，密封效果好，有效提高工作效率。

权利要求

1.一种多晶硅薄膜太阳能电池专用设备，包括设置在炉管中对薄膜电池片进行化学气体沉积处理的容器，进气管通过容器上的开口伸入容器中，其特征是：在容器开口处近侧，设置有向容器开口喷射高压惰性气体的喷射装置。

2.根据权利要求1所述的多晶硅薄膜太阳能电池专用设备，其特征是：容器开口处向容器外侧呈扩大的喇叭口形。

3.根据权利要求1或2所述的多晶硅薄膜太阳能电池专用设备，其特征是：向容器开口喷射高压惰性气体的喷射装置包括套装在进气管上的惰性气体管，惰性气体管的端部设置喷射孔，且多个喷射孔沿惰性气体管的圆周方向均匀布置。

4.根据权利要求1或2所述的多晶硅薄膜太阳能电池专用设备，其特征是：进气管主体为陶瓷管，陶瓷管外壁上包有铂层。

5.根据权利要求3所述的多晶硅薄膜太阳能电池专用设备，其特征是：惰性气体管是铂材料的管子。

6.根据权利要求1或2所述的多晶硅薄膜太阳能电池专用设备，其特征是：所述惰性气体是氩气。

说明书

多晶硅薄膜太阳能电池专用设备

技术领域：

[0001] 本发明涉及一种制造多晶硅薄膜太阳能电池用设备。背景技术：

[0002] 现有的多晶硅薄膜太阳能电池制造设备中，对薄膜电池片进行化学气体沉积处理的容器，其进气管处，采用固体密封形式，每次对薄膜电池处理时，均需要重新装密封件，操作麻烦，工作效率低，且固体密封件易在高温下发生泄露等现象，影响工作效果。发明内容：

[0003] 本发明的目的在于提供一种结构合理，采用气体密封方式进行进行密封处理，工作效果好的多晶硅薄膜太阳能电池专用设备。

[0004] 本发明的技术解决方案是：

[0005] 一种多晶硅薄膜太阳能电池专用设备，包括设置在炉管中对薄膜电池片进行化学气体沉积处理的容器，进气管通过容器上的开口伸入容器中，其特征是：在容器开口处近侧，设置有向容器开口喷射高压惰性气体的喷射装置。

[0006] 容器开口处呈扩大的喇叭口形。向容器开口喷射高压惰性气体的喷射装置包括套装在进气管上的惰性气体管，惰性气体管的端部设置喷射孔，且多个喷射孔沿惰性气体管的圆周方向均匀布置。向容器开口喷射高压惰性气体的喷射装置为设置在容器开口部位壁上的惰性气体孔。进气管主体为陶瓷管，陶瓷管外壁上包有铂层。惰性气体管是铂材料的管子。所述惰性气体是氩气。

[0007] 本发明结构合理，采用高压惰性气体对薄膜电池片进行化学气体沉积处理的容器开口处进行密封，密封效果好，有效提高工作效率。附图说明：

[0008] 下面结合附图和实施例对本发明作进一步说明。

[0009] 图1是本发明一个实施例的结构示图。具体实施方式：

[0010] 一种多晶硅薄膜太阳能电池专用设备，包括设置在炉管1中对薄膜电池片进行化学气体沉积处理的容器2，进气管3通过容器2上的开口4伸入容器2中，在容器2开口处近侧，设置有向容器开口喷射高压惰性气体的喷射装置。容器开口处呈扩大的喇叭口形。向容器开口喷射高压惰性气体的喷射装置包括套装在进气管上的惰性气体管5，惰性气体管5的端部设置喷射孔6，多个喷射孔6沿惰性气体管5的圆周方向均匀布置。进气管3主体为陶瓷管，陶瓷管外壁上包有铂层。惰性气体管是铂材料的管子。所述惰性气体是氩气。

[0011] 当然，本发明还可以有其他合适实施例，例如：向容器开口喷射高压惰性气体的喷射装置为设置在容器开口部位壁上的惰性气体孔等形式。