基板收纳装置

摘要

本发明提供一种基板收纳装置。该基板收纳装置(10)通过在刚体板(15)的上面层叠多个收容体(20)而形成。收容体(20)包括具有弹性和半导电性的缓冲材料部(21)、和由框状体构成的载荷承受部(22)，在缓冲材料部(21)的上面设置有纤维素制的基板保护层(23)。基板收纳装置(10)通过将载置有基板(S)的收容体(20)层叠而将基板(S)包含在内部，并且，当已将收容体(20)层叠时，载荷承受部(22)使收容体(20)整体的载荷作用在下侧的收容体(20)的外周边，载荷不会作用于载置有基板(S)的中央部分。