微滴喷射设备、用基板制造面板的方法、图像显示设备及电子设备

摘要

本发明涉及微滴喷射设备、用基板制造面板的方法、图像显示设备及电子设备。所述微滴喷射设备包括：设置有多个微滴喷射头的头单元，多个微滴喷射头分成多组，每一组至少包括第一、第二、第三和第四微滴喷射头，第一、第二微滴喷射头和第三、第四微滴喷射头分别组成第一、第二套，且第一、第二套部分重叠；平台；使平台相对于头单元移动的移动机构；和控制单元。通过头单元相对于平台的一次移动，相同颜色的液体材料从每一组喷射到基板上的区域，该区域包括每一个都具有形成像素的多个喷射区域的多个子区域，且多个子区域包括分别从第一和第三微滴喷射头、第一和第四微滴喷射头、第二和第四微滴喷射头接收液体材料的第一、第二和第三子区域。

权利要求

1.一种用于将每一种都具有预定颜色的多种液体材料以微滴形式供给到基板上的微滴喷射设备，所述设备包括：头单元，设置有多个微滴喷射头，用于喷射该预定颜色的多种液体材料到基板上，所述多个微滴喷射头分成用于各个液体材料的多个组，其中所述多个组中的每一组至少包括用于喷射预定颜色的液体材料的第一微滴喷射头、第二微滴喷射头、第三微滴喷射头和第四微滴喷射头，第一到第四微滴喷射头中的每一个都包括第一和第二喷嘴阵列，所述第一和第二喷嘴阵列中的每一个具有多个通过预定节距线性排列的喷嘴，第一到第四微滴喷射头中每一个的第一和第二喷嘴阵列在平行于第一和第二喷嘴阵列中的每一个的第一方向上彼此平行，液体材料适于以微滴形式通过第一至第四微滴喷射头中的每一个的多个喷嘴喷射，其中在每一组中，第一微滴喷射头和第二微滴喷射头组成第一套，且第三微滴喷射头和第四微滴喷射头组成第二套，其中在第一套中，第一微滴喷射头和第二微滴喷射头沿第一方向布置，使得当从与第一方向垂直的第二方向上看时，第一微滴喷射头的第一和第二喷嘴阵列中的每一个的喷嘴和第二微滴喷射头的的第一和第二喷嘴阵列中的每一个的喷嘴是连续的，且在第二套中，第三微滴喷射头和第四微滴喷射头沿第一方向布置，使得当从第二方向上看时，第三微滴喷射头的第一和第二喷嘴阵列中的每一个的喷嘴和第四微滴喷射头的第一和第二喷嘴阵列中的每一个的喷嘴是连续的，且当从第一方向上看时，第一套和第二套彼此部分重叠，其中在第一到第四微滴喷射头的每一个中，第一和第二喷嘴阵列沿第二方向以并排的关系布置，且当从第二方向上看时，第一喷嘴阵列的喷嘴相对于第二喷嘴阵列的喷嘴沿第一方向偏移一半节距，并且其中当从第二方向上看时，第一套的第一和第二微滴喷射头的第一和第二喷嘴阵列的喷嘴被布置成不与第二套的第三和第四微滴喷射头的第一和第二喷嘴阵列的喷嘴重叠；

平台，包括两个主面，所述平台的两个主面中的一个朝向头单元的多个微滴喷射头，且所述基板被支撑在所述平台的所述一个主面上；

移动机构，用于使平台相对于头单元相互移动；以及

控制单元，用于控制头单元和移动机构的操作，使得头单元的多个微滴喷射头将液体材料的微滴喷射到基板上，同时使平台相对于头单元相互移动，其中，所述基板具有一个区域，通过头单元相对于平台的一次相互移动，相同颜色的液体材料适于从每一组的多个微滴喷射头以微滴形式喷射到所述区域，所述区域包括每一个都具有用于形成像素的多个喷射区域的多个子区域，且所述多个子区域包括沿第一方向顺序定位的第一子区域、第二子区域和第三子区域，以及其中，每一组的第一到第四微滴喷射头设置在头单元上，使得第一子区域的喷射区域适于总是从第一微滴喷射头的第一和第二喷嘴阵列的喷嘴和第三微滴喷射头的第一和第二喷嘴阵列的喷嘴接收微滴形式的液体材料，第二子区域的喷射区域适于总是从第一微滴喷射头的第一和第二喷嘴阵列的喷嘴和第四微滴喷射头的第一和第二喷嘴阵列的喷嘴接收微滴形式的液体材料，第三子区域的喷射区域适于总是从第二微滴喷射头的第一和第二喷嘴阵列的喷嘴和第四微滴喷射头的第一和第二喷嘴阵列的喷嘴接收微滴形式的液体材料。

2.根据权利要求1所述的微滴喷射设备，其中在多个组的每一个中，当从第一方向上看时，第二微滴喷射头被布置在第三微滴喷射头和第四微滴喷射头之间，并且当从第一方向上看时，第三微滴喷射头布置在第一微滴喷射头和第二微滴喷射头之间。

3.根据权利要求1所述的微滴喷射设备，其中所述区域包括在第一子区域与第二子区域之间的第一边界和在第二子区域与第三子区域之间的第二边界，其中用于一组第一至第四微滴喷射头的所述区域的第一边界和第二边界的位置不同于用于每一其它组第一至第四微滴喷射头的所述区域的第一边界和第二边界的位置。

4.根据权利要求1所述的微滴喷射设备，其中所述多种液体材料包括分别为红色、绿色和蓝色的三种液体材料。

5.根据权利要求1所述的微滴喷射设备，其中所述基板是用于制造用于液晶显示器的滤色衬底的基板材料，且所述多种液体材料是用于形成滤色衬底的滤色层的墨水。

6.根据权利要求1所述的微滴喷射设备，其中所述基板是用于制造电致发光显示器的基板材料，且所述多种液体材料包括用于制造电致发光显示器的发光材料。

7.一种使用由权利要求1限定的微滴喷射设备由基板制造面板的方法，所述方法包括以下步骤：

制备基板；以及

通过利用头单元喷射微滴，同时使基板相对于头单元相互移动，将多种液体材料以微滴的形式供应到基板上。

8.根据权利要求7所述的方法，其中所述基板是用于制造用于液晶显示器的滤色衬底的基板材料，且所述多种液体材料是用于形成滤色衬底的滤色层的墨水。

9.根据权利要求7所述的方法，其中所述基板是用于制造电致发光显示器的基板材料，且所述多种液体材料包括用于制造电致发光显示器的发光材料。

10.一种图像显示设备，包括使用由权利要求7限定的方法制造的面板。

11.一种电子设备，包括由权利要求10限定的图像显示设备。

说明书

微滴喷射设备、用基板制造面板的方法、图像显示设备及电

子设备

[0001] 本申请是申请日为2005年9月30日、申请号为200510108804.4名称为微滴喷射设备、用基板制造面板的方法、图像显示设备及电子设备的分案申请。

技术领域

[0002] 本发明涉及微滴喷射设备、用基板制造面板的方法、图像显示设备以及电子设备。

背景技术

[0003] 作为制造用于诸如液体显示器的滤色器的图像显示设备的面板的方法，已知有一种使用微滴喷射设备(喷墨制图装置)(例如，参看JP-A-59-75205)。在这种方法中，通过使用微滴喷射设备将例如墨水等液体材料以微滴形式供应到衬底上，在衬底上形成多个像素，以制造形成有多个像素(喷射区域)的面板。通过将诸如墨水的液体材料以微滴形式喷射到衬底上，同时使用于支撑衬底的平台相对于其上设置有多个微粒喷射头的头单元相互移动，这种用于制造面板的微滴喷射设备将用于形成像素的液体材料供给衬底上的多个像素上。

[0004] 在一个微滴喷射头上形成有多个喷嘴(喷嘴口)，以进行对准，多个喷嘴构成喷嘴阵列。由于喷嘴阵列的长度小于衬底的尺寸，为了使头单元的一次扫描操作喷射微滴的区域的宽度(待画出的宽度)更长，从扫描方向观察，多个微滴喷射头被设置在头单元上，使得其喷嘴阵列彼此连接。

[0005] 然而，由于多个微滴喷射头中的喷射量发生变化是不可避免的，例如，一个微滴喷射头喷射液体材料的微滴到其上的像素的颜色变深，另一个微滴喷射头喷射液体材料的微滴到其上的像素的颜色变浅。

[0006] 在这种情况下，在面板中存在色差(color heterogeneity)问题。

[0007] 并且，在一个微滴喷射头的喷嘴阵列和相邻的微滴喷射头的喷嘴阵列之间的接缝附近的像素供应有液体材料，存在的问题在于：在面板上产生沿着微滴喷射头的扫描方向延伸的色差的条纹，原因在于两个微滴喷射头之间的喷射量存在差异或者是因为喷嘴节距的误差。在面板中产生条纹的情况下，当时用这种面板制造图像显示装置时，图像显示装置的显示器会包括条纹。降低了图像质量。

发明内容

[0008] 因此，本发明的目的在于提供能够制造没有色差的高质量面板的微滴喷射设备、用基板制造面板的方法、图像显示设备以及设置有没有色差的面板的电子设备。

[0009] 为了实现上述目的，在本发明的一个方面，本发明涉及用于以微滴形式将每一种都具有预定颜色的多种液体材料供给到基板上的微滴喷射设备。本发明的设备包括：

[0010] 头单元，设置有多个微滴喷射头，用于喷射该预定颜色的多种液体材料到基板上，所述多个微滴喷射头分成用于各个液体材料的多个组，

[0011] 其中所述多个组中的每一组至少包括用于喷射预定颜色的液体材料的第一微滴喷射头、第二微滴喷射头、第三微滴喷射头和第四微滴喷射头，第一到第四微滴喷射头中的每一个都包括第一和第二喷嘴阵列，所述第一和第二喷嘴阵列中的每一个具有多个通过预定节距线性排列的喷嘴，第一到第四微滴喷射头中每一个的第一和第二喷嘴阵列在平行于第一和第二喷嘴阵列中的每一个的第一方向上彼此平行，液体材料适于以微滴形式通过第一至第四微滴喷射头中的每一个的多个喷嘴喷射，

[0012] 其中在每一组中，第一微滴喷射头和第二微滴喷射头组成第一套，且第三微滴喷射头和第四微滴喷射头组成第二套，

[0013] 其中在第一套中，第一微滴喷射头和第二微滴喷射头沿第一方向布置，使得当从与第一方向垂直的第二方向上看时，第一微滴喷射头的第一和第二喷嘴阵列中的每一个的喷嘴和第二微滴喷射头的的第一和第二喷嘴阵列中的每一个的喷嘴是连续的，且在第二套中，第三微滴喷射头和第四微滴喷射头沿第一方向布置，使得当从第二方向上看时，第三微滴喷射头的第一和第二喷嘴阵列中的每一个的喷嘴和第四微滴喷射头的第一和第二喷嘴阵列中的每一个的喷嘴是连续的，且当从第一方向上看时，第一套和第二套彼此部分重叠，[0014] 其中在第一到第四微滴喷射头的每一个中，第一和第二喷嘴阵列沿第二方向以并排的关系布置，且当从第二方向上看时，第一喷嘴阵列的喷嘴相对于第二喷嘴阵列的喷嘴沿第一方向偏移一半节距，并且

[0015] 其中当从第二方向上看时，第一套的第一和第二微滴喷射头的第一和第二喷嘴阵列的喷嘴被布置成不与第二套的第三和第四微滴喷射头的第一和第二喷嘴阵列的喷嘴重叠；

[0016] 平台，包括两个主面，所述平台的两个主面中的一个朝向头单元的多个微滴喷射头，且所述基板被支撑在所述平台的所述一个主面上；

[0017] 移动机构，用于使平台相对于头单元相互移动；以及

[0018] 控制单元，用于控制头单元和移动机构的操作，使得头单元的多个微滴喷射头将液体材料的微滴喷射到基板上，同时使平台相对于头单元相互移动，

[0019] 其中，所述基板具有一个区域，通过头单元相对于平台的一次相互移动，相同颜色的液体材料适于从每一组的多个微滴喷射头以微滴形式喷射到所述区域，所述区域包括每一个都具有用于形成像素的多个喷射区域的多个子区域，且所述多个子区域包括沿第一方向顺序定位的第一子区域、第二子区域和第三子区域，以及

[0020] 其中，每一组的第一到第四微滴喷射头设置在头单元上，使得第一子区域的喷射区域适于总是从第一微滴喷射头的第一和第二喷嘴阵列的喷嘴和第三微滴喷射头的第一和第二喷嘴阵列的喷嘴接收微滴形式的液体材料，第二子区域的喷射区域适于总是从第一微滴喷射头的第一和第二喷嘴阵列的喷嘴和第四微滴喷射头的第一和第二喷嘴阵列的喷嘴接收微滴形式的液体材料，第三子区域的喷射区域适于总是从第二微滴喷射头的第一和第二喷嘴阵列的喷嘴和第四微滴喷射头的第一和第二喷嘴阵列的喷嘴接收微滴形式的液体材料。

[0021] 根据本发明的微滴喷射设备，使用喷嘴阵列的重叠，通过多个微滴喷射头的喷嘴将液体材料的微滴喷射到一个喷射区域(也就是一个像素)。因此，即使在多个微滴喷射头的喷射量中存在偏差(误差)的情况下，使用本发明的头单元，可以防止有害色差在由基板制造的面板的表面产生。换言之，与本发明相比，在仅通过一个微滴喷射头的喷嘴将液体材料供应到一个喷射区域的情况下，微滴喷射头的喷射量的改变直接导致将供应给每个喷射区域的液体材料的量的改变(误差)，从而面板上的色差更加强烈。另一方面，在本发明中，由于将供应给一个喷射区域的液体材料的量变成在扫描方向重叠的多个微滴喷射头的喷射量的平均值，可以使供应给每个喷射区域的液体材料均匀，从而可以防止产生色差。

[0022] 并且，通过将通过多个微滴喷射头中的两个或更多个微滴喷射头的不同组合的喷嘴喷射的液体材料的微滴供应到基板上的多个子区域中的每个的喷射区域上，可以相对于喷射区域的每个使液体材料的喷射量均匀(平衡)，而不使它们存在偏差。因此，可以更确定地防止在将被制造的面板的表面上产生有害色差。

[0023] 根据本发明的微滴喷射设备，其中在多个组的每一个中，当从第一方向上看时，第二微滴喷射头被布置在第三微滴喷射头和第四微滴喷射头之间，并且当从第一方向上看时，第三微滴喷射头布置在第一微滴喷射头和第二微滴喷射头之间。

[0024] 在本发明的微滴喷射设备中，优选的是，所述区域包括在第一子区域与第二子区域之间的第一边界和在第二子区域与第三子区域之间的第二边界，其中用于一组第一至第四微滴喷射头的所述区域的第一边界和第二边界的位置不同于用于每一其它组第一至第四微滴喷射头的所述区域的第一边界和第二边界的位置。

[0025] 因此，即使在基板上的相邻子区域的每个的边界产生条纹的情况下，也可以使条纹变得不显著，原因在于每种颜色的喷射区域上产生的条纹并不相互重叠，而不是分散在将要制造的面板的不同的位置。

[0026] 在本发明的微滴喷射设备中，优选的是，所述多种类型的液体材料包括三种液体材料，分别为红色、绿色和蓝色液体材料。

[0027] 在本发明的微滴喷射设备中，优选的是，该基板是用于制造用于液晶显示器的滤色衬底的基板材料，且所述多种液体材料是用于形成滤色衬底的过滤层的墨水。

[0028] 这使得制造无有害色差和条纹并具有高成品率(制造效率)的液晶显示器的滤色衬底成为可能。

[0029] 在本发明的微滴喷射设备中，优选的是，基板是用于制造电致发光(场致发光)显示器的基板材料，所述多种液体材料包括用于制造电致发光(场致发光)显示器的发光材料。

[0030] 这使得制造无有害色差和条纹并具有高成品率(制造效率)的电致发光(场致发光)显示器成为可能。

[0031] 在本发明的另一方面，本发明涉及用于使用上述的微滴喷射设备由基板制造面板的方法。该方法包括以下步骤：

[0032] 制备基板；以及

[0033] 通过利用头单元喷射微滴，同时使基板相对于头单元相互移动，将多种液体材料以微滴的形式供应到基板上。

[0034] 根据使用本发明的微滴喷射设备由基板制造面板的方法，使用重叠的喷嘴阵列通过多个微滴喷射头的喷嘴将液体材料的微滴喷射到喷射区域(也就是，一个像素)。因此，即使在多个微滴喷射头的喷射量的改变(误差)的情况下，也可以防止在使用本发明的头单元由基板制造面板的表面上产生不良色差。换言之，与本发明相比，在仅通过一个微滴喷射头的喷嘴将液体材料供应到一个喷射区域的情况下，微滴喷射头的喷射量的改变直接导致将供应给每个喷射区域的液体材料的量的改变(误差)，从而面板上的色差更加强烈。另一方面，在本发明中，由于将供应给一个喷射区域的液体材料的量变成在扫描方向重叠的多个微滴喷射头的喷射量的平均值，可以使供应给每个喷射区域的液体材料均匀，从而可以防止产生色差。

[0035] 并且，通过将通过多个微滴喷射头中的两个或更多个微滴喷射头的不同组合的喷嘴喷射的液体材料的微滴供应到基板上的多个子区域中的每个的喷射区域上，可以相对于喷射区域的每个使液体材料的喷射量均匀(平衡)，而不使它们存在偏差。因此，可以更确定地防止在将被制造的面板的表面上产生有害色差。

[0036] 在根据本发明用基板制造面板的方法中，优选的是，基板是用于制造用于液晶显示器的滤色衬底的基板材料，所述多种液体材料是用于形成滤色衬底的过滤层的墨水。

[0037] 这使得制造无有害色差和条纹并具有高成品率(制造效率)的液晶显示器的滤色衬底成为可能。

[0038] 在根据本发明用基板制造面板的方法中，优选的是，基板是用于制造电致发光(场致发光)显示器的基板材料，所述多种液体材料包括用于制造电致发光(场致发光)显示器的发光材料。

[0039] 这使得制造无有害色差和条纹并具有高成品率(制造效率)的电致发光(场致发光)显示器成为可能。

[0040] 在本发明的再一方面，本发明涉及包括用上述方法制造的面板的图像显示设备。

[0041] 这使得制造无有害色差和条纹并具有高成品率(制造效率)的液晶显示器成为可能。

[0042] 在本发明的再一方面，本发明涉及包括上述图像显示设备的电子设备。

[0043] 这使得制造包括无有害色差和条纹并具有高成品率(制造效率)的液晶显示器的电子设备成为可能。

附图说明

[0044] 本发明的上述和其它目的、特征和优点将通过本发明的参考附图的优选实施例的下述详细描述变得更加显而易见。

[0045] 图1是本发明的微滴喷射设备的透视图。

[0046] 图2是示出图1中所示微滴喷射设备的头单元和基板的平面图。

[0047] 图3是微滴喷射头的喷嘴面(喷嘴板)的一部分和基板的像素的放大平面图。

[0048] 图4(a)和4(b)分别是图1中示出的微滴喷射设备的微滴喷射头的透视横截面图和横截面。

[0049] 图5是图1中示出的微滴喷射设备的框图。

[0050] 图6(a)是头驱动单元的示意图。

[0051] 图6(b)是示出用于头驱动单元的驱动信号、选择信号和喷射信号的时序图。

[0052] 图7是示出用于制造滤色衬底的方法示意性横截面图。

[0053] 图8是用于解释根据本发明的微滴喷射设备的头单元中的每个微滴喷射头的位置关系的示例性平面图。

[0054] 图9是示意性示出本发明的微滴喷射设备中的头单元的构造的另一实例的平面图。

[0055] 图10是示出用于制造有机电致发光显示器的方法的示例性横截面。

[0056] 图11是示出应用了根据本发明的电子设备的移动(膝上型)个人计算机的结构的透视图。

[0057] 图12是示出应用了根据本发明的电子设备的便携电话(包括个人手持电话系统)的结构的透视图。

[0058] 图13是示出应用了根据本发明的电子设备的数码相机的结构的透视图。

具体实施方式

[0059] 下面参看附图详细说明根据本发明的微滴喷射设备、用基板制造面板的方法、图像显示设备以及电子设备。

[0060] 在优选实施例中，将典型描述制造成为液晶显示器的作为面板实例的部件的滤色衬底10的情况。

[0061] (微滴喷射设备的整体结构)

[0062] 图1是本发明的微滴喷射设备1的透视图。如图1所示出的，微滴喷射设备1设置有：头单元103，其中，多个微滴喷射头2装配在托架105上；托架移动机构(移动机构)104，用于在一水平方向(此后，称之为“X轴方向”)移动头单元103；平台106，用于支撑随后描述的基体10A；以及控制单元112，用于控制头单元103、托架移动机构104、和平台移动机构108。

[0063] 并且，在微滴喷射设备1的附近设置有三个槽101，分别用于储存三种包括红色(R)、绿色(G)、以及蓝色(B)的液体材料111。每个槽101经由用作传送的液体材料111的通道的管110连接至头单元103。储存在每个槽101中的液体材料111被送(供应)到头单元103中的每个微滴喷射头2。

[0064] 就此而言，本发明中的“液体材料”包括用于形成面板的像素的材料，指的是具有足以通过微滴喷射头2的喷嘴25喷射的粘度的材料。在这种情况下，材料可以是水基的或者是油基的。另外，材料仅需要具有通过微滴喷射头2的喷嘴25的可喷射流动性(粘度)。尽管固体材料可被分散到材料上，该材料可以是作为整体的流体。本实施例中的流体材料
111是有机溶剂墨，其中，用于形成滤色衬底10的像素的过滤层的颜料溶解或分散在有机溶剂中。

[0065] 就此而言，在后边的描述中，在将液体材料111区分成红色、绿色、以及蓝色的情况下，它们被分别称作“液体材料111R、111G、以及111B”。另一方面，在通常命名它们而不区分颜色的情况下，每种液体材料均被简称为“液体材料111”。

[0066] 通过控制单元112来控制托架移动机构104的操作。本发明中的托架移动机构104具有通过沿着垂直方向(此后称之为“Z轴方向”)移动头单元103来调节头单元103的高度的作用。另外，托架移动机构104同样具备围绕平行于Z轴方向的轴线旋转头单元
103的作用，这使得精确调整头单元103围绕Z轴的角度成为可能。

[0067] 平台106具有平行于X轴方向和Y轴方向的平面。另外，平台106被构造成使得用于制造滤色衬底10的基板10A可以被固定或保持(支撑)在其上。平台移动机构108沿着垂直于X轴方向和Z轴方向的Y轴方向移动平台106。平台移动机构108的操作通过控制单元112控制。另外，本实施例中的平台移动机构108同样具备围绕平行于Z轴方向的轴线旋转平台106的作用，这使得通过精确调整装配到平台106上的基板10A围绕Z轴方向的斜度来修正平台106的位置成为可能。

[0068] 如上所述，通过托架移动机构104将头单元103移向X轴方向。另一方面，通过平台移动机构108将平台106移向Y轴方向。因此，通过托架移动机构104和平台移动机构108可以改变头单元103相对于平台106的相互位置。

[0069] 就此而言，将随后描述控制单元112的详细构造和功能。

[0070] (头单元)

[0071] 图2是示出图1中示出的微滴喷射设备1的头单元103和基板10A的平面图。如图2示出的头单元103具有以下结构：多个微滴喷射头2装配到托架105。如图2所示，托架105如图2所示用链双虚线示出。另外，分别示出多个微滴喷射头2的实线表示多个微滴喷射头2的喷嘴表面(也就是，随后描述的喷嘴板128)的位置。

[0072] 在头单元103上设置有四个用于喷射红色液体材料111R的微滴喷射头2、四个用于喷射绿色液体材料111G的微滴喷射头2、以及四个用于喷射蓝色液体材料111G的微滴喷射头2。四个用于喷射红色液体材料111R的微滴喷射头2包括第一微滴喷射头21R、第二微滴喷射头22R、第三微滴喷射头23R、以及第四微滴喷射头24R。四个用于喷射绿色液体材料111R的微滴喷射头2包括第一微滴喷射头21G、第二微滴喷射头22G、第三微滴喷射头23G、以及第四微滴喷射头24G。四个用于喷射蓝色液体材料111R的微滴喷射头2包括第一微滴喷射头21B、第二微滴喷射头22B、第三微滴喷射头23B、以及第四微滴喷射头24B。

[0073] 在以下描述中，在通常命名这些微滴喷射头2而不用以待喷射的液体材料的颜色区分它们的情况下，每个微滴喷射头均被简称为“微滴喷射头2”。另一方面，在将用于喷射红色、绿色、以及蓝色的液体材料的微滴喷射头2的情况下，它们被称之为，例如，“第一微滴喷射头21R、第二微滴喷射头22R、…”。

[0074] 如图2示出的基板10A是用于制造用于液晶显示器的滤色衬底10的基础材料，其中，滤色片以条状设置在滤色衬底上。多个红色像素(喷射区域)18R、多个绿色像素(喷射区域)18G、以及多个蓝色像素(喷射区域)18B设置在基板10A上。微滴喷射设备1运行以使红色液体材料111R被供应到每个像素18R上，使绿色液体材料111G被供应到每个像素18G上、使蓝色液体材料111B被供应到每个像素18B上。

[0075] 像素18R、18G、以及18B的每个具有大致的矩形形状。基板10A以使得每个像素18R、18G、以及18B的长轴方向平行于X轴方向以及使得每个像素18R、18G、以及18B的短轴方向平行于Y轴方向的姿势支撑在平台106上。多个像素18R、18G、以及18B设置在基板
10A上，以按照这一次序沿着Y轴方向重复设置，使得相同颜色的像素沿着X轴方向设置。
设置在Y轴方向的一组像素18R、18G、以及18B对应于将要制造的滤色衬底10的一个照片元素。

[0076] (微滴喷射头)

[0077] 图3是微滴喷射头2的喷嘴面(喷嘴板128)的一部分和基板10A的像素的放大平面图。在这种情况下，尽管每个微滴喷射头2的喷表面被设置为朝向基板10A，也就是，在垂直方向，便于观察，图3示出用实线标出的每个微滴喷射头2的喷嘴面。多个喷嘴(喷嘴洞)25形成在每个微滴喷射头2的喷嘴表面，使得沿X轴方向以均匀间隔线性排列。每个微滴喷射头2中的多个喷嘴25构成至少一个喷嘴阵列。在本实施例中，两个喷嘴阵列以平行方式形成在每个微滴喷射头2上，以相对于彼此以半节距移动。然而，本发明并不局限于此。一个微滴喷射头2具有的喷嘴阵列的数量可以是一个、或者三个、或者更多。另外，形成在一个微滴喷射头2上的喷嘴25的数量不被特殊限定，自然可在约数十个到数百个的范围内。

[0078] 图4(a)和4(b)分别是图1中示出的微滴喷射设备1的微滴喷射头2的透视横截面图和横截面。如图4(a)和4(b)所示出的，每个微滴喷射头2构成喷墨头。更特别的，微滴喷射头2设置有隔板126和喷嘴板128。贮液器129设置在隔板126和喷嘴板128之间。贮液器129填充有通过墨水入口131从槽101供应的液体材料111。

[0079] 多个分割壁122设置在隔板126和喷嘴板128之间。通过隔板126、喷嘴板128、以及一对分割壁122限定了空腔120。由于空腔120根据一个喷嘴25设置，所以，空腔120的数量与喷嘴25的数量相同。液体材料111经由设置在分割壁122对之间的供墨口130供应给空腔120。

[0080] 作为驱动元件的振动器124根据每个空腔120设置在隔板126上。振动器124用于改变填充在空腔120中的液体材料111的液压，包括压电元件124C以及一对电极124A和124B，压电元件124C夹在这对电极之间。通过施加驱动电压信号在该对电极124A和124B之间，压电元件124C变形以改变填充在空腔120中的液体材料111的液压，从而以微滴形式通过相应的喷嘴25喷射液体材料111。每个喷嘴的形状可被调整以使得通过每个喷嘴
25在Z轴方向喷射液体材料111。

[0081] 图1中所示的控制单元112可以被构造为应用驱动电压信号到彼此独立的多个振动器124的每个。换句话说，对于每个喷嘴25，可根据来自控制单元112的驱动电压信号控制待通过每个喷嘴25喷射的液体材料111的体积。

[0082] 就此而言，微滴喷射头2不限于将如图4中所示的压电执行器用作驱动元件的微滴喷射头。例如，微滴喷射头2可使用静电执行器，或可具有这样的结构：其中利用电热转换元件使用液体材料111的热膨胀(膜状沸腾)以微滴形式喷射液体材料111。

[0083] (控制单元)

[0084] 接下来，现在将描述控制单元112的构造。图5是图1中所示的微滴喷射设备1的框图，该微滴喷射设备包括控制单元112。如图5中所示，控制单元112设置有输入缓冲存储器200、存储单元202、处理单元204、扫描驱动单元206、头驱动单元208、托架(carriage)位置检测装置302、和平台位置检测装置303。

[0085] 处理单元204电连接至输入缓冲存储器200、存储单元202、处理单元204、扫描驱动单元206、头驱动单元208、托架位置检测装置302、和平台位置检测装置303的每个。并且，扫描驱动单元206电连接至托架移动机构104和平台移动机构108。类似地，头驱动单元208电连接至头单元103中的多个微滴喷射头2的每个。

[0086] 输入缓冲存储器200接收有关液体材料111的微滴的喷射位置的数据，即，从外部信息处理设备取出图样数据。输入缓冲存储器200输出取出的图样数据给处理单元204，接着处理单元204将取出的图样数据储存在存储单元202中。就此而言，图5中所示的存储单元202由RAM(随机存取存储器)、磁记录介质、磁光记录介质等构成。

[0087] 托架位置检测装置302检测托架105的位置，即，X轴方向上的头单元103(托架105在X轴方向上的移动距离)，并将所检测的信号输出到处理单元104中。托架位置检测装置302和平台位置检测装置303举例来说由线性编码器、激光长度测量装置等构成。

[0088] 根据托架位置检测装置302和平台位置检测装置303检测到的信号，处理单元204经由扫描驱动单元206控制托架移动机构104和平台移动机构108的操作，从而控制头单元103的位置和基板10A的位置。并且，通过控制平台移动机构108的操作，处理单元204控制平台106即基板10A的移动速度。

[0089] 此外，根据储存在存储单元202中的被取出的图样数据，处理单元204输出每个喷射定时(timing)中用于指定每个喷嘴25的ON/OFF的选择信号SC给头驱动单元208。头驱动单元208接着根据选择信号SC输出将液体材料111喷射到每个微滴喷射头2所需要的喷射信号。结果，液体材料111以微滴形式通过每个微滴喷射头2中的相应喷嘴25喷射。

[0090] 控制单元112可以是设置有CPU(中央处理单元)、ROM(只读存储器)、RAM等的计算机。在此情形下，可使用计算机可执行的软件程序实现上述控制单元112的操作。可选地，控制单元112可以专用电路(换句话说，使用硬件)实现。

[0091] 接着，将描述控制单元112中的头驱动单元208的构造和功能。图6(a)是头驱动单元208的示意图。图6(b)是时间图，示出用于头驱动单元208的驱动信号、选择信号和喷射信号。如图6(a)中所示，头驱动单元208包括一个驱动信号发生器203和多个模拟开关AS。如图6(b)中所示，驱动信号发生器203产生驱动信号DS。驱动信号DS的电势相对于基准电势L临时改变。更具体地，驱动信号DS包括以喷射循环EP重复的多个喷射波形P。就此而言，喷射波形P对应于待应用于相应振动器124中的这对电机124A和124B之间的驱动电压波形，以通过一个喷嘴25喷射一个微滴。

[0092] 驱动信号DS供给每个模拟开关AS的输入端子。每个模拟开关AS根据每个喷嘴25被设置。即，模拟开关AS的数量与喷嘴25的数量相同。

[0093] 处理单元204输出用于表示每个喷嘴25的ON/OFF的选择信号SC给每个模拟开关AS。就此而言，对于每个模拟开关AS，选择信号SC可变成高级状态或低级状态。响应于驱动信号DS和选择信号SC，每个模拟开关AS施加喷射信号WS于相应振动器124的电极124A。更具体地，在选择信号SC变成高级状态的情形下，打开相应模拟开关AS，并将驱动信号DS作为喷射信号ES施加于相应电极124A。另一方面，在选择信号SC变成低级状态的情形下，打开相应模拟开关AS，且相应的模拟开关AS输出给相应电极124A的喷射信号ES的电势变成基准电势L。当将驱动信号DS应用于振动器124的电极124A时，液体材料111通过相应于振动器124的喷嘴25喷射。就此而言，将基准电势L应用于每个振动器124的电极124B。

[0094] 在图6(b)中所示的实例中，设定两个选择信号SC的每个的高级时段和低级时段，使得喷射波形P与为两个喷射信号ES的每个的喷射循环EP的两倍的循环2EP一起出现。这样，对于循环2EP，液体材料111以微滴形式通过两个相应喷嘴25的每个喷射。从共用驱动信号发生器203应用普通驱动信号DS到相应于两个喷嘴25的振动器124的每个。由于此原因，液体材料111以大体相同的定时通过这两个喷嘴25喷射。

[0095] 这种微滴喷射设备1工作，使得液体材料111通过头单元103中的微滴喷射头2的每个的喷嘴25喷射，并供给(落在)基板10A的像素18R、18G、和18B上，同时通过平台移动机构108的操作在Y轴方向上移动支撑在平台106上的基板10A，且通过头单元103下面的基板10A。此后，可将微滴喷射设备1的操作称为“头单元103和基板10A之间的主扫描运动”。

[0096] 在基板10A在X轴方向上的宽度小于整个头单元103在液体材料111关于基板10A喷射的X轴方向上的长度(换句话说，稍后描述的整个喷射宽度W)的情形下，通过执行头单元103和基板10A之间的主扫描运动一次，可能供应液体材料111到整个基板10A上。
另一方面，在基板10A在X轴方向上的宽度大于头单元103的整个喷射宽度W的情形下，通过使头单元103和基板10A之间的主扫描运动和头单元103利用托架移动机构104的操作在X轴方向上的运动(称之为“副扫描方向”)反复交替，可能供应液体材料111到整个基板10A上。

[0097] 接下来，现在将详细描述使用上述微滴喷射设备1的滤色衬底10的制造方法。图7是示意性截面图，示出制造滤色衬底10的方法。如图7中所示，基板10A包括具有透光性的支撑衬底12和多个像素18R、18G、和18B，这些像素分别成为形成在支撑衬底12上的色素(像素区)，以便与黑底14和围堰16分离。黑底14由具有光屏蔽效果的材料制成。
黑底14和设置在黑底14上的围堰16位与支撑衬底12上，使得多个像素18R、18G、和18B由它们以矩阵形式限定。即，多个像素18R、18G、和18B通过支撑衬底12、黑底14、和围堰(bank)16形成为隔部(partition)。像素18R是仅具有在红波长范围内的任何波长的光穿过的过滤层111FR待形成的区域。像素18B是仅具有在蓝波长范围内的任何波长的光穿过的过滤层111FB待形成的区域。

[0098] 根据以下制造滤色衬底10的步骤制造基板10A。首先，利用溅射法或蒸发法在支撑衬底12上形成金属薄膜。接着利用光刻法从金属薄膜制成网状图样的黑底14。可将金属铬和氧化铬作为用于黑底14的材料。就此而言，支撑衬底12是对可见光(光波长)具有透光性的衬底，例如玻璃衬底等。随后，涂覆由负型感光聚合物成分构成的抗蚀层，以便覆盖支撑衬底12和黑底14。暴露抗蚀层，同时使得掩模薄膜(mask film)形成在粘在抗蚀层上的矩阵图样中。接着，通过利用蚀刻工艺去除抗蚀层的不暴露部分，获得围堰16。以此方式，获得基板10A。

[0099] 就此而言，可用由黑树脂制成的围堰代替围堰16。在此情形下，不需要金属薄膜(即，黑底14)，且围堰层由单层构成。

[0100] 接着，在大气压力下利用氧等离子体工艺使得基板10A变成亲液的。每个都由支撑衬底12限定的支撑衬底12的表面、黑底14的表面、和凹部(像素的部分)中围堰16的表面、黑底14、和围堰16通过此工艺往往呈现亲液性。并且，接着对基板10A执行将CF4用作处理气体的等离子体工艺。通过使用CF4的等离子体工艺，使每个凹部中的围堰16的表面氟化，且围堰16的表面通过此工艺往往呈现非亲液性。就此而言，通过使用CF4的等离子体工艺，已经呈现亲液性的支撑衬底12的表面和黑底14的表面的亲液性稍微损失。然而，即使这样，这些表面也能保持亲液性。就此而言，根据支撑衬底12的材料，黑底14的材料、和围堰16的材料，无需进行上述表面处理，每个凹部的表面都可呈现理想的亲液性和非亲液性。在此情形下，该表面不必经受上述表面处理。

[0101] 将如上所述的上面形成像素18R、18G、和18B的基板10A传送到微滴喷射设备1的平台106上，且支撑在平台106上。通过操纵平台移动机构108，微滴喷射设备1在Y轴方向上移动基板10A，并从每个微滴喷射头2以微滴形式供应液体材料到像素18R、18G、和18B的每个上，同时经过头单元103下面的基板10A。此时，如图7(a)至7(c)中所示，红液体材料111R(滤色材料)喷射到每个像素18R上，绿液体材料111G(滤色材料)喷射到每个像素18G上，且绿液体材料111B(滤色材料)喷射到每个像素18B上。

[0102] 在分别将液体材料111R、111G、和111B供给像素18R、18G、和18B的每个上后，将基板10A传送到烘干设备(图中未示出)，以烘干分别供给像素18R、18G、和18B的每个中的液体材料111R、111G、和111B。这样，过滤层111FR、111FG、和111FB分别形成在像素18R、18G、和18B的每个上。就此而言，通过使用微滴喷射设备1反复执行液体材料111R、111G、和111B的供应，和利用烘干设备烘干所供给的液体材料111R、111G、和111B，以使液体材料
111R、111G、和111B和过滤层111FR、111FG、和111FB交替层叠，可在像素18R、18G、和18B的每个上形成最终的过滤层111FR、111FG、和111FB。

[0103] 接着将基板10A传送到烘箱(图中未示出)中，并将过滤层111FR、111FG、和111FB在此烘箱中后烘(即，预加热)。

[0104] 接着，将基板10A传送到保护膜形成设备(图中未示出)中，并且保护膜(外覆膜)20在此保护膜形成设备中的过滤层111FR、111FG、和111FB和围堰16上形成。在已经在过滤层111FR、111FG、和111FB和围堰16上形成保护膜20后，在烘干设备中将保护膜20完全烘干。并且，并且在硬化设备(图中未示出)中加热保护膜20，以使保护膜20完全硬化，这样，基板10A变成滤色衬底10。

[0105] 图8是示意性平面图，用于说明根据本发明的微滴喷射设备1的头单元103中的微滴喷射头的每个的位置关系。如上所述，用于喷射红液体材料111R的四个微滴喷射头2(包括第一至第四微滴喷射头21R至24R)、用于喷射绿液体材料111G的四个微滴喷射头
2(包括第一至第四微滴喷射头21G至24G)、和用于喷射蓝液体材料111B的四个微滴喷射头2(包括第一至第四微滴喷射头21B至24B)设置在头单元103上。就此而言，图8中所示的每条线都表示每个微滴喷射头2的喷嘴阵列的位置。

[0106] 通常难以控制每个微滴喷射头2中的喷嘴阵列的两端附近的喷嘴25的每个的喷射量，这样容易发生所述喷嘴的喷射量误差。由于此原因，本实施例的微滴喷射设备1构造为使得不使用每个微滴喷射头2中的喷嘴阵列的两端附近的预定数量的喷嘴25(此后，可将这样的喷嘴25称为“失能喷嘴25”)(即，液体材料111不通过每个失能喷嘴25喷射)。因此，可能使每个喷嘴25中的液体材料111的喷射量均匀，这使得可能使待制造的滤色衬底10中的像素18R、18G、和18B的每个的颜色均匀。因此，可能防止色差更确定地发生。就此而言，设置在图8中所示的微滴喷射头2的每个中的喷嘴阵列的两端的未使用部分表示其中设置不使用喷嘴25的区域。

[0107] 下面，将对包括用于喷射红色液体材料111R的第一至四个微滴喷射头21R至24R的四个微滴喷射头2的位置关系进行描述。

[0108] 第一微滴喷射头21R和第二微滴喷射头22R以连续的方式排列在平行于每个喷嘴阵列的第一方向(即，X轴方向)上，且经由从垂直于每个喷嘴阵列(第一方向)的第二方向(即，Y轴方向)看的第一和第二微滴喷射头21R和22R的两个相邻喷嘴阵列之间的接缝r1排列第一和第二微滴喷射头21R和22R的两个喷嘴阵列，使其喷嘴25是连续的。在此情形下，第一和第二微滴喷射头21R和22R的两个喷嘴阵列充当长喷嘴阵列。换句话说，将在从Y轴方向观看时的接缝r1处的喷嘴间距设定成类似于喷嘴阵列中的喷嘴间距的规则长度。将由以此位置关系排列的第一和第二微滴喷射头21R和22R构成的头阵列称为头阵列31R。

[0109] 就此而言，考虑到第一和第二微滴喷射头21R和22R的各个端的不使用部分26，排列第一和第二微滴喷射头21R和22R，使得第一微滴喷射头21R中的喷嘴阵列的图8的右端部和第二微滴喷射头22R中的喷嘴阵列的图8的左端部在从Y轴方向观看时的喷嘴阵列的接缝r1的附近彼此重叠。

[0110] 以类似方式，第三微滴喷射头23R和第四微滴喷射头24R以连续的方式排列在平行于每个喷嘴阵列的第一方向(即，X轴方向)上，且经由从第二方向(即，Y轴方向)观看时第三和第四微滴喷射头23R和24R的两个相邻喷嘴阵列之间的接缝r2排列第三和第四微滴喷射头23R和24R的两个喷嘴阵列，使其喷嘴25是连续的。在此情形下，第三和第四微滴喷射头23R和24R的两个喷嘴阵列充当长喷嘴阵列。换句话说，将在从Y轴方向观看时的接缝r2处的喷嘴间距设定成类似于喷嘴阵列中的喷嘴间距的规则长度。将由以此位置关系排列的第三和第四微滴喷射头23R和24R构成的头阵列称为头阵列32R。

[0111] 就此而言，考虑到第三和第四微滴喷射头23R和24R的各个端的不使用部分26，排列第三和第四微滴喷射头23R和24R，使得第三微滴喷射头23R中的喷嘴阵列的图8的右端部和第四微滴喷射头24R中的喷嘴阵列的图8的左端部在从Y轴方向观看时的喷嘴阵列的接缝r2的附近彼此重叠。

[0112] 通过重叠由上述头阵列31R形成的长喷嘴阵列和由上述头阵列32R形成的长喷嘴阵列将这两个长喷嘴阵列排列起来，使得在从Y轴方向观看时接缝r1和r2在X轴方向上关于彼此移动。使用这种重叠，微滴喷射设备1可使液体材料以微滴形式通过多个不同的微滴喷射头2(在本实施例中，两个微滴喷射头2)的喷嘴25喷射到一个像素18R上。

[0113] 例如，如图3中所示，在使用图8中用R1表示的区域使液体材料111R以微滴形式喷射到像素18R上的情形下，其中在所述区域中重叠第一和第三微滴喷射头21R和23R，通过第一微滴喷射头21R的喷嘴25喷射的微滴91和通过第三喷射头23R的喷嘴25喷射的微滴92供应到这里。

[0114] 就此而言，在图3中，尽管当从Y轴方向看时头阵列31R(这里，第一微滴喷射头21R)中的喷嘴25的位置和头阵列32R(这里，第三微滴喷射头23R)中的喷嘴25的位置在X轴方向上关于彼此移动，但是也可将头阵列31R和32R排列为使得头阵列31R和32R彼此对应。

[0115] 尽管图中(特别是图3中)未示出，但是在使用图8中用R2表示的区域使液体材料111R以微滴形式喷射到像素18R上的情形下，其中在所述区域中重叠第一和第四微滴喷射头21R和24R，通过第一微滴喷射头21R的喷嘴25喷射的微滴和通过第四喷射头24R的喷嘴25喷射的微滴供应到这里。并且，在使用图8中用R3表示的区域使液体材料111R以微滴形式喷射到像素18R上的情形下，其中在所述区域中重叠第二和第四微滴喷射头22R和24R，通过第二微滴喷射头22R的喷嘴25喷射的微滴和通过第四喷射头24R的喷嘴25喷射的微滴供应到这里。

[0116] 也就是说，上面的描述也可根据下述描述。通过头单元103关于平台106(即，基板10A)的一次主扫描运动(即相互运动)从头单元103的多个微滴喷射头2以微滴形式喷射红液体材料111R至的区域分成(分隔成)多个子区域，这些子区域设置在垂直于主扫描方向(相互运动方向)的方向上，即X轴方向上。换句话说，通过经由边界的喷嘴阵列的接缝r1和r2将所述区域分成三个子区域，包括液体材料111R通过设置在图8中用R1表示的区域中的喷嘴阵列供给至的子区域(此后，称之为“R1子区域”)、液体材料111R通过设置在图8中用R2表示的区域中的喷嘴阵列供给至的子区域(此后，称之为“R2子区域”)、液体材料111R通过设置在图8中用R3表示的区域中的喷嘴阵列供给至的子区域(此后，称之为“R3子区域”)。通过两个微滴喷射头2的不同组合的喷嘴25的液体材料111R供给上述子区域的每个中的像素18R上。即，多个微滴喷射头2排列在头单元103上，使得包括R1子区域、R2子区域、和R3子区域的多个子区域的每个的像素18R适于总是从多个微滴喷射头2中的两个或更多个微滴喷射头2的不同组合的喷嘴25接收微滴形式的液体材料111R。

[0117] 微滴喷射设备1工作，使得液体材料111R以微滴形式通过多个不同微滴喷射头2的喷嘴25喷射到一个像素18R上。因此，即使在多个微滴喷射头2的喷射量存在改变(误差)的情形下，也可能使用微滴喷射设备1的头单元103防止有害的色差在从基板10A制造的滤色衬底10的表面中产生。换句话说，与本发明的微滴喷射设备1相比，在液体材料111R仅通过一个微滴喷射头2的喷嘴25供给一个像素18R上的情形下，微滴喷射头2的喷射量的改变直接导致供给每个像素18R上的液体材料111R的量的改变(误差)，从而色差强烈地出现在滤色衬底10中。另一方面，在本发明的微滴喷射设备1中，由于待供给一个像素18R上的液体材料111R的量成为在扫描方向上重叠的多个微滴喷射头2(在本实施例中，两个微滴喷射头2)中的喷嘴25的喷射量，所以可能使供给每个像素18R上的液体材料
111R的量均匀，从而可能防止色差发生。

[0118] 并且，由于将液体材料111R通过上述两个微滴喷射头2的不同组合的喷嘴25供给包括R1子区域、R2子区域、和R3子区域的三个子区域的每个，所以可能平衡喷射到整个基板10A的每个像素18R上的量(或平均值)，而不会使液体材料111R的喷射量有偏差。因此，可能更确定地防止有害的色差在待制造的滤色衬底10的表面中产生。

[0119] 此外，用于供应液体材料111R到R1子区域中的像素18R上的两个微滴喷射头2的组合由第一微滴喷射头21R和第三微滴喷射头23R组成，而用于供应液体材料111R到邻近R1子区域的R2子区域中的像素18R上的两个微滴喷射头2的组合由第一微滴喷射头21R和第四微滴喷射头24R组成。两个微滴喷射头2的这些组合使用至少一个公共微滴喷射头2，即，第一微滴喷射头21R。

[0120] 以类似方式，用于供应液体材料111R到R2子区域中的像素18R上的两个微滴喷射头2的组合由第一微滴喷射头21R和第四微滴喷射头24R组成，而用于供应液体材料111R到邻近R2子区域的R3子区域中的像素18R上的两个微滴喷射头2的组合由第二微滴喷射头22R和第四微滴喷射头24R组成。两个微滴喷射头2的这些组合使用至少一个公共微滴喷射头2，即，第四微滴喷射头24R。

[0121] 这样，通过在用于以微滴形式喷射液体材料111R到一个子区域中的像素18R上的微滴喷射头2的组合中和在用于以微滴形式喷射液体材料111R到邻近所述一个子区域的另一子区域中的像素18R上的微滴喷射头2的组合中使用至少一个公共微滴喷射头2，可能减少相邻子区域边界处的液体材料111R的喷射量的误差。因此，可能更确定地防止色差(包括稍后描述的条纹)在每个子区域的边界处变得明显。

[0122] 并且，在微滴喷射设备1中，通过由第一和第二微滴喷射头21R和22R构成头阵列31R，第一和第二微滴喷射头21R和22R的喷嘴阵列充当长喷嘴阵列，同时通过由第三和第四微滴喷射头23R和24R构成头阵列32R，第三和第四微滴喷射头23R和24R的喷嘴阵列充当长喷嘴阵列。因此，可能扩大液体材料111R通过整个头单元103中的喷嘴25喷射到基板10A上的整个喷射宽度W(即，头单元103在X轴方向上的长度)。因此，可能减少喷射液体材料111R到整个基板10A上所需要的头单元103关于基板10A的主扫描运动的数量。
特别地，在基板10A的宽度小于整个喷射宽度W的情形下，可能通过一次主扫描运动喷射液体材料111R到整个基板10A上。

[0123] 此外，由于微滴喷射设备1这样构造，使得头阵列31R中的喷嘴阵列的接缝r1和头阵列32R中的喷嘴阵列的接缝r2在从Y轴方向看时关于彼此移动，所以微滴喷射设备1具有以下优点。

[0124] 与出现在设置在其它位置处的像素18R中相比，色差更容易出现在液体材料111R通过两个相邻喷嘴阵列的任何接缝附近的喷嘴25供给其上的像素18R中。以高精度控制两个相邻喷嘴阵列附近的喷嘴25的喷射量困难的原因在于，因为这种喷嘴25位于喷嘴阵列的每个的两端附近，所以可能得考虑接缝等处的喷嘴间距的误差。在由于喷嘴阵列的这种接缝造成色差的产生的情形下，其中色差沿微滴喷射头2的扫描方向(即，沿Y轴方向)延伸的像线一样的所谓条纹可能出现在待制造的滤色衬底10中。

[0125] 当头阵列31R中的喷嘴阵列的接缝r1的位置对应于头阵列32R中的喷嘴阵列的接缝r2的位置时，在滤色衬底10中产生上述条纹的情形下，这两个条纹在待制造的滤色衬底10中重叠，从而这些条纹变得明显。另一方面，由于微滴喷射设备1这样构造，使得头阵列
31R中的喷嘴阵列的接缝r1和头阵列32R中的喷嘴阵列的接缝r2在从Y轴方向看时关于彼此移动，所以这两个条纹分散在待制造的滤色衬底10中接缝r1和接缝r2的位置处。因此，可能使得这样的条纹变得不明显。

[0126] 接着，将对包括用于喷射绿液体材料111G的第一至第四微滴喷射头21G至24G的四个微滴喷射头2的位置关系进行描述。包括用于喷射绿液体材料111G的第一至第四微滴喷射头21G至24G的四个微滴喷射头2的位置关系类似于包括用于喷射红液体材料111R的第一至第四微滴喷射头21R至24R的四个微滴喷射头2的位置关系。为此，此后，将简化对这种位置关系的描述。

[0127] 第一微滴喷射头21G和第二微滴喷射头22G以连续方式排列在平行于每个喷嘴阵列的X轴方向上，并排列第一和第二微滴喷射头21G和22G的两个喷嘴阵列，使得从垂直于每个喷嘴阵列(即X轴方向)的Y轴方向看时其喷嘴25经由从第一和第二微滴喷射头21G和22G的两个相邻喷嘴阵列之间的接缝g1是连续的。在此情形下，第一和第二微滴喷射头21G和22G的两个喷嘴阵列充当长喷嘴阵列。将由以此位置关系排列的第一和第二微滴喷射头21G和22G构成的头阵列称为头阵列31G。

[0128] 以类似方式，第三微滴喷射头23G和第四微滴喷射头24G以连续的方式排列在平行于每个喷嘴阵列的X轴方向上，并排列第三和第四微滴喷射头23G和24G的两个喷嘴阵列，使得从垂直于每个喷嘴阵列(即，X轴方向)的Y轴方向观看时其喷嘴25经由第三和第四微滴喷射头23G和24G的两个相邻喷嘴阵列之间的接缝g2是连续的。在此情形下，第三和第四微滴喷射头23G和24G的两个喷嘴阵列充当长喷嘴阵列。将由以此位置关系排列的第三和第四微滴喷射头23G和24G构成的头阵列称为头阵列32G。

[0129] 通过重叠由上述头阵列31G形成的长喷嘴阵列和由上述头阵列32G形成的长喷嘴阵列将这两个长喷嘴阵列排列起来，使得在从Y轴方向观看时接缝g1和g2在X轴方向上关于彼此移动。使用这种重叠，微滴喷射设备1可使液体材料以微滴形式通过多个不同的微滴喷射头2(在本实施例中，两个微滴喷射头2)的喷嘴25喷射到一个像素18G上。

[0130] 换句话说，在使用图8中用G1表示的区域使液体材料111G以微滴形式喷射到像素18G上的情形下，其中在所述区域中重叠第一和第三微滴喷射头21G和23G，通过第一微滴喷射头21G的喷嘴25喷射的微滴和通过第三喷射头23G的喷嘴25喷射的微滴供应到这里。

[0131] 并且，在使用图8中用G2表示的区域使液体材料111G以微滴形式喷射到像素18G上的情形下，其中在所述区域中重叠第一和第四微滴喷射头21G和24G，通过第一微滴喷射头21G的喷嘴25喷射的微滴和通过第四喷射头24G的喷嘴25喷射的微滴供应到这里。此外，在使用图8中用G3表示的区域使液体材料111G以微滴形式喷射到像素18G上的情形下，其中在所述区域中重叠第二和第四微滴喷射头22G和24G，通过第二微滴喷射头22G的喷嘴25喷射的微滴和通过第四喷射头24G的喷嘴25喷射的微滴供应到这里。

[0132] 也就是说，上面的描述也可描述如下。通过头单元103关于平台106(即，基板10A)的一次主扫描运动(即相互运动)从头单元103的多个微滴喷射头2以微滴形式喷射绿液体材料111G至的区域分成(分隔成)多个子区域，这些子区域设置在垂直于主扫描方向(相互运动方向)的方向上，即X轴方向上。换句话说，通过经由边界的喷嘴阵列的接缝g1和g2将所述区域分成三个子区域，包括液体材料111G通过设置在图8中用R1表示的区域中的喷嘴阵列供给至的子区域(此后，称之为“G1子区域”)、液体材料111R通过设置在图8中用G2表示的区域中的喷嘴阵列供给至的子区域(此后，称之为“G2子区域”)、液体材料
111R通过设置在图8中用G3表示的区域中的喷嘴阵列供给至的子区域(此后，称之为“G3子区域”)。通过两个微滴喷射头2的不同组合的喷嘴25的液体材料111G供给上述子区域的每个中的像素18G上。即，多个微滴喷射头2排列在头单元103上，使得包括G1子区域、G2子区域、和G3子区域的多个子区域的每个的像素(喷射区)18G适于总是从多个微滴喷射头2中的两个或更多个微滴喷射头2的不同组合的喷嘴25接收微滴形式的液体材料111G。

[0133] 这样，微滴喷射设备1工作，使得液体材料111G以微滴形式通过多个不同微滴喷射头2的喷嘴25喷射到一个像素18G上。因此，即使在多个微滴喷射头2的喷射量存在改变(误差)的情形下，也可能使用微滴喷射设备1的头单元103防止有害的色差在从基板10A制造的滤色衬底10的表面中产生。换句话说，与本发明的微滴喷射设备1相比，在液体材料111G仅通过一个微滴喷射头2的喷嘴25供给一个像素18G上的情形下，微滴喷射头
2的喷射量的改变直接导致供给每个像素18G上的液体材料111G的量的改变(误差)，从而色差强烈地出现在滤色衬底10中。另一方面，在本发明的微滴喷射设备1中，由于待供给一个像素18G上的液体材料111G的量成为在扫描方向上重叠的多个微滴喷射头2(在本实施例中，两个微滴喷射头2)中的喷嘴25的喷射量，所以可能使供给每个像素18G上的液体材料111G的量均匀，从而可能防止色差发生。

[0134] 并且，由于将液体材料111G通过上述两个微滴喷射头2的不同组合的喷嘴25供给包括G1子区域、G2子区域、和G3子区域的三个子区域的每个，所以可能平衡(或平均)喷射到整个基板10A的每个像素18G上的量(或平均值)，而不会使液体材料111G的喷射量有偏差。因此，可能更确定地防止有害的色差在待制造的滤色衬底10的表面中产生。

[0135] 此外，用于供应液体材料111G到G1子区域中的像素18G上的两个微滴喷射头2的组合由第一微滴喷射头21G和第三微滴喷射头23G组成，而用于供应液体材料111G到邻近G1子区域的G2子区域中的像素18R上的两个微滴喷射头2的组合由第一微滴喷射头21G和第四微滴喷射头24G组成。两个微滴喷射头2的这些组合使用至少一个公共微滴喷射头2，即，第一微滴喷射头21G。

[0136] 以类似方式，用于供应液体材料111G到G2子区域中的像素18G上的两个微滴喷射头2的组合由第一微滴喷射头21G和第四微滴喷射头24G组成，而用于供应液体材料111G到邻近G2子区域的G3子区域中的像素18G上的两个微滴喷射头2的组合由第二微滴喷射头22G和第四微滴喷射头24G组成。两个微滴喷射头2的这些组合使用至少一个公共微滴喷射头2，即，第四微滴喷射头24G。

[0137] 这样，通过在用于以微滴形式喷射液体材料111R到一个子区域中的像素18G上的微滴喷射头2的组合中和在用于以微滴形式喷射液体材料111G到邻近所述一个子区域的另一子区域中的像素18G上的微滴喷射头2的组合中使用至少一个公共微滴喷射头2，可能减少相邻子区域边界处的液体材料111G的喷射量的误差。因此，可能更确定地防止色差(包括稍后描述的条纹)在基板10A上的每个子区域的边界处变得明显。

[0138] 并且，在微滴喷射设备1中，通过由第一和第二微滴喷射头21G和22G构成头阵列31G，第一和第二微滴喷射头21G和22G的喷嘴阵列充当长喷嘴阵列，同时通过由第三和第四微滴喷射头23G和24G构成头阵列32G，第三和第四微滴喷射头23G和24G的喷嘴阵列充当长喷嘴阵列。因此，可能扩大液体材料111G通过整个头单元103中的喷嘴25喷射到基板10A上的整个喷射宽度W(即，头单元103在X轴方向上的长度)。因此，可能减少喷射液体材料111G到整个基板10A上所需要的头单元103关于基板10A的主扫描运动的数量。
特别地，在基板10A的宽度小于整个喷射宽度W的情形下，可能通过一次主扫描运动喷射液体材料111G到整个基板10A上。

[0139] 此外，由于微滴喷射设备1这样构造，使得头阵列31G中的喷嘴阵列的接缝g1和头阵列32G中的喷嘴阵列的接缝g2在从Y轴方向看时关于彼此移动，所以微滴喷射设备1具有以下优点。

[0140] 与出现在设置在其它位置处的像素18G中相比，色差更容易出现在液体材料111G通过两个相邻喷嘴阵列的任何接缝附近的喷嘴25供给其上的像素18G中。以高精度控制两个相邻喷嘴阵列附近的喷嘴25的喷射量困难的原因在于，因为这种喷嘴25位于喷嘴阵列的每个的两端附近，所以可能得考虑接缝等处的喷嘴间距的误差。在由于喷嘴阵列的这种接缝造成色差的产生的情形下，其中色差沿微滴喷射头2的扫描方向(即，沿Y轴方向)延伸的像线一样的所谓条纹可能出现在待制造的滤色衬底10中。

[0141] 当头阵列31G中的喷嘴阵列的接缝G1的位置对应于头阵列32G中的喷嘴阵列的接缝g2的位置时，在滤色衬底10中产生上述条纹的情形下，这两个条纹在待制造的滤色衬底10中重叠，从而这些条纹变得明显。另一方面，由于微滴喷射设备1这样构造，使得头阵列
31G中的喷嘴阵列的接缝G1和头阵列32G中的喷嘴阵列的接缝g2在从Y轴方向看时关于彼此移动，所以这两个条纹分散在待制造的滤色衬底10中接缝g1和接缝g2的位置处。因此，可能使得这样的条纹变得不明显。

[0142] 接着，将对包括用于喷射蓝液体材料111B的第一至第四微滴喷射头21B至24B的四个微滴喷射头2的位置关系进行描述。包括用于喷射绿液体材料111B的第一至第四微滴喷射头21B至24B的四个微滴喷射头2的位置关系类似于包括用于喷射红液体材料111R的第一至第四微滴喷射头21R至24R的四个微滴喷射头2的位置关系。为此，此后，将简化对这种位置关系的描述。

[0143] 第一微滴喷射头21B和第二微滴喷射头22B以连续方式排列在平行于每个喷嘴阵列的X轴方向上，且经由从垂直于每个喷嘴阵列(即X方向)的Y轴方向看的第一和第二微滴喷射头21B和22B的两个相邻喷嘴阵列之间的接缝b1排列第一和第二微滴喷射头21B和22B的两个喷嘴阵列，使其喷嘴25是连续的。在此情形下，第一和第二微滴喷射头21B和22B的两个喷嘴阵列充当长喷嘴阵列。将由以此位置关系排列的第一和第二微滴喷射头21B和22B构成的头阵列称为头阵列31B。

[0144] 以类似方式，第三微滴喷射头23B和第四微滴喷射头24B以连续的方式排列在平行于每个喷嘴阵列的X轴方向上，且经由从垂直于每个喷嘴阵列(即，X轴方向)的Y轴方向观看时第三和第四微滴喷射头23B和24B的两个相邻喷嘴阵列之间的接缝b2排列第三和第四微滴喷射头23B和24B的两个喷嘴阵列，使其喷嘴25是连续的。在此情形下，第三和第四微滴喷射头23B和24B的两个喷嘴阵列充当长喷嘴阵列。将由以此位置关系排列的第三和第四微滴喷射头23B和24B构成的头阵列称为头阵列32B。

[0145] 通过重叠由上述头阵列31B形成的长喷嘴阵列和由上述头阵列32B形成的长喷嘴阵列将这两个长喷嘴阵列排列起来，使得在从Y轴方向观看时接缝b1和b2在X轴方向上关于彼此移动。使用这种重叠，微滴喷射设备1可使液体材料以微滴形式通过多个不同的微滴喷射头2(在本实施例中，两个微滴喷射头2)的喷嘴25喷射到一个像素18B上。

[0146] 换句话说，在使用图8中用G1表示的区域使液体材料111B以微滴形式喷射到像素18B上的情形下，其中在所述区域中重叠第一和第三微滴喷射头21B和23B，通过第一微滴喷射头21B的喷嘴25喷射的微滴和通过第三喷射头23B的喷嘴25喷射的微滴供应到这里。

[0147] 并且，在使用图8中用B2表示的区域使液体材料111B以微滴形式喷射到像素18B上的情形下，其中在所述区域中重叠第一和第四微滴喷射头21B和24B，通过第一微滴喷射头21B的喷嘴25喷射的微滴和通过第四喷射头24B的喷嘴25喷射的微滴供应到这里。此外，在使用图8中用B3表示的区域使液体材料111B以微滴形式喷射到像素18B上的情形下，其中在所述区域中重叠第二和第四微滴喷射头22B和24B，通过第二微滴喷射头22B的喷嘴25喷射的微滴和通过第四喷射头24B的喷嘴25喷射的微滴供应到这里。

[0148] 也就是说，上面的描述也可描述如下。通过头单元103关于平台106(即，基板10A)的一次主扫描运动(即相互运动)从头单元103的多个微滴喷射头2以微滴形式喷射绿蓝液体材料111B至的区域分成(分隔成)多个子区域，这些子区域设置在垂直于主扫描方向(相互运动方向)的方向上，即X轴方向上。换句话说，通过经由边界的喷嘴阵列的接缝b1和b2将所述区域分成三个子区域，包括液体材料111B通过设置在图8中用B1表示的区域中的喷嘴阵列供给至的子区域(此后，称之为“B1子区域”)、液体材料111B通过设置在图8中用B2表示的区域中的喷嘴阵列供给至的子区域(此后，称之为“B2子区域”)、液体材料
111B通过设置在图8中用B3表示的区域中的喷嘴阵列供给至的子区域(此后，称之为“B3子区域”)。通过两个微滴喷射头2的不同组合的喷嘴25的液体材料111B供给上述子区域的每个中的像素18B上。即，多个微滴喷射头2排列在头单元103上，使得包括B1子区域、B2子区域、和B3子区域的多个子区域的每个的像素(喷射区)18B适于总是从多个微滴喷射头2中的两个或更多个微滴喷射头2的不同组合的喷嘴25接收微滴形式的液体材料111B。

[0149] 这样，微滴喷射设备1工作，使得液体材料111B以微滴形式通过多个不同微滴喷射头2的喷嘴25喷射到一个像素18B上。因此，即使在多个微滴喷射头2的喷射量存在改变(误差)的情形下，也可能使用微滴喷射设备1的头单元103防止有害的色差在从基板10A制造的滤色衬底10的表面中产生。换句话说，与本发明的微滴喷射设备1相比，在液体材料111B仅通过一个微滴喷射头2的喷嘴25供给一个像素18B上的情形下，微滴喷射头
2的喷射量的改变直接导致供给每个像素18B上的液体材料111B的量的改变(误差)，从而色差强烈地出现在滤色衬底10中。另一方面，在本发明的微滴喷射设备1中，由于待供给一个像素18B上的液体材料111B的量成为在扫描方向上重叠的多个微滴喷射头2(在本实施例中，两个微滴喷射头2)中的喷嘴25的喷射量，所以可能使供给每个像素18B上的液体材料111B的量均匀，从而可能防止色差发生。

[0150] 并且，由于将液体材料111B通过上述两个微滴喷射头2的不同组合的喷嘴25供给包括B1子区域、B2子区域、和B3子区域的三个子区域的每个，所以可能平衡(或平均)喷射到整个基板10A的每个像素18B上的量(或平均值)，而不会使液体材料111B的喷射量有偏差。因此，可能更确定地防止有害的色差在待制造的滤色衬底10的表面中产生。

[0151] 此外，用于供应液体材料111B到B1子区域中的像素18B上的两个微滴喷射头2的组合由第一微滴喷射头21B和第三微滴喷射头23B组成，而用于供应液体材料111B到邻近B1子区域的B2子区域中的像素18B上的两个微滴喷射头2的组合由第一微滴喷射头21B和第四微滴喷射头24B组成。两个微滴喷射头2的这些组合使用至少一个公共微滴喷射头2，即，第一微滴喷射头21B。

[0152] 以类似方式，用于供应液体材料111B到B2子区域中的像素18B上的两个微滴喷射头2的组合由第一微滴喷射头21B和第四微滴喷射头24B组成，而用于供应液体材料111B到邻近B2子区域的B3子区域中的像素18B上的两个微滴喷射头2的组合由第二微滴喷射头22B和第四微滴喷射头24B组成。两个微滴喷射头2的这些组合使用至少一个公共微滴喷射头2，即，第四微滴喷射头24B。

[0153] 这样，通过在用于以微滴形式喷射液体材料111R到一个子区域中的像素18B上的微滴喷射头2的组合中和在用于以微滴形式喷射液体材料111B到邻近所述一个子区域的另一子区域中的像素18B上的微滴喷射头2的组合中使用至少一个公共微滴喷射头2，可能减少相邻子区域边界处的液体材料111B的喷射量的误差。因此，可能更确定地防止色差(包括稍后描述的条纹)在基板10A上的每个子区域的边界处变得明显。

[0154] 并且，在微滴喷射设备1中，通过由第一和第二微滴喷射头21B和22B构成头阵列31B，第一和第二微滴喷射头21B和22B的喷嘴阵列充当长喷嘴阵列，同时通过由第三和第四微滴喷射头23B和24B构成头阵列32B，第三和第四微滴喷射头23B和24B的喷嘴阵列充当长喷嘴阵列。因此，可能扩大液体材料111B通过整个头单元103中的喷嘴25喷射到基板10A上的整个喷射宽度W(即，头单元103在X轴方向上的长度)。因此，可能减少喷射液体材料111B到整个基板10A上所需要的头单元103关于基板10A的主扫描运动的数量。
特别地，在基板10A的宽度小于整个喷射宽度W的情形下，可能通过一次主扫描运动喷射液体材料111B到整个基板10A上。

[0155] 此外，由于微滴喷射设备1这样构造，使得头阵列31B中的喷嘴阵列的接缝b1和头阵列32B中的喷嘴阵列的接缝b2在从Y轴方向看时关于彼此移动，所以微滴喷射设备1具有以下优点。

[0156] 与出现在设置在其它位置处的像素18B中相比，色差更容易出现在液体材料111B通过两个相邻喷嘴阵列的任何接缝附近的喷嘴25供给其上的像素18B中。以高精度控制两个相邻喷嘴阵列附近的喷嘴25的喷射量困难的原因在于，因为这种喷嘴25位于喷嘴阵列的每个的两端附近，所以可能得考虑接缝等处的喷嘴间距的误差。在由于喷嘴阵列的这种接缝造成色差的产生的情形下，其中色差沿微滴喷射头2的扫描方向(即，沿Y轴方向)延伸的像线一样的所谓条纹可能出现在待制造的滤色衬底10中。

[0157] 当头阵列31G中的喷嘴阵列的接缝b1的位置对应于头阵列32B中的喷嘴阵列的接缝b2的位置时，在滤色衬底10中产生上述条纹的情形下，这两个条纹在待制造的滤色衬底10中重叠，从而这些条纹变得明显。另一方面，由于微滴喷射设备1这样构造，使得头阵列
31B中的喷嘴阵列的接缝b1和头阵列32B中的喷嘴阵列的接缝b2在从Y轴方向看时关于彼此移动，所以这两个条纹分散在待制造的滤色衬底10中接缝b1和接缝b2的位置处。因此，可能使得这样的条纹变得不明显。

[0158] 在这种头单元103中，排列分别由用于喷射红液体材料111R的头阵列31R和32R形成的两个长喷嘴阵列、分别由用于喷射绿液体材料111G的头阵列31G和32G形成的两个长喷嘴阵列、和分别由用于喷射蓝液体材料111B的头阵列31B和32B形成的两个长喷嘴阵列，以便使在从Y轴方向观看时它们关于彼此重叠。这使得可能通过执行头单元103关于基板10A的扫描运动，分别供应红、绿、和蓝液体材料111R、111G、和111B到整个喷射宽度W上的像素18R、18G、和18B上一次。

[0159] 并且，在微滴喷射设备1中，排列用于喷射红液体材料111R头阵列31R和32R中的喷嘴阵列的接缝r1和r2、用于喷射绿液体材料111G的头阵列31G和32G中的喷嘴阵列的接缝g1和g2、以及用于喷射蓝液体材料111B的头阵列31B和32B中的喷嘴阵列的接缝b1和b2，以便使在从Y轴方向观看时它们关于彼此移动。

[0160] 换句话说，微滴喷射设备1的头单元103这样构造，使得R1子区域、R2子区域、和R3子区域与基板10A上的红像素18R的边界的位置、G1子区域、G2子区域、和G3子区域与基板10A上的绿像素18G的边界的位置、和B1子区域、B2子区域、和B3子区域与基板10A上的蓝像素18B的边界的位置不会彼此对应。

[0161] 这样，在待制造的滤色衬底10中，可能在任何红像素18R上产生的条纹、可能在任何绿像素18G上产生的条纹、和可能在任何蓝像素18B上产生的条纹可关于彼此分散。因此，可能更确定地防止这种条纹变得明显。特别地，在本实施例中，由于在从Y方向看时，喷嘴阵列的接缝r2、g2、b2、r1、g1、和b1以均匀间距设置，所以在条纹稍微变得明显的情形下可能使条纹有规则地均匀散开。因此，可能使得这些条件变得不明显。

[0162] 图9是平面图，示意性地示出本发明的微滴喷射设备1中的头单元103’的构造的另一实例。四个微滴喷射头51、52、53、和54设置在图9中所示的头单元103’中。微滴喷射头51、52、53和54的每个都包括多个喷嘴阵列(在本发明中，12个喷嘴阵列)，这些喷嘴阵列并排设置在Y轴方向上，使得在从Y轴方向看时多个微滴喷射头51、52、53、和54的每个中的12个喷嘴阵列的两端对准。这样，将四个微滴喷射头51、52、53、和54设置在头单元103’中。微滴喷射头51、52、53、和54的每个都与类似于上述头单元103的方式(见图8)设置。就此而言，为了简洁起见，微滴喷射头51、52、53、和54的每个在图9中用单个矩形表示。

[0163] 微滴喷射头51和微滴喷射头52以连续方式排列在平行于每个喷嘴阵列的X轴方向上，且经由从垂直于每个喷嘴阵列的Y轴方向看的这两个相邻的微滴喷射头51和52之间的接缝j1排列微滴喷射头51和52的24个喷嘴阵列，使其喷嘴25是连续的。在此情形下，这两个微滴喷射头51和52充当头组阵列61。

[0164] 以类似方式，微滴喷射头53和微滴喷射头54以连续方式排列在平行于每个喷嘴阵列的X轴方向上，且经由从垂直于每个喷嘴阵列的Y轴方向看的这两个相邻的微滴喷射头51和52之间的接缝j2排列微滴喷射头53和54的24个喷嘴阵列，使其喷嘴25是连续的。在此情形下，这两个微滴喷射头53和54充当头组阵列62。通过使头组阵列61和头组阵列62重叠排列这两个头组阵列，使得在从Y轴方向观看时接缝j1和接缝j2关于彼此移动。

[0165] 在设置有这种头单元103’的微滴喷射设备1中，将从这两个微滴喷射头(换句话说，两个微滴喷射头51和53、51和54、或53或54)供给像素18R、18G、或18B的每个上。这使得可能使供给基板10A的任何位置的像素18R、18G、或18B的每个上的液体材料111的量进一步均匀。因此，可能更确定地防止色差在待制造的滤色衬底10的表面中产生。

[0166] 并且，由于微滴喷射头51的喷射宽度W1和微滴喷射头52的喷射宽度W2起被连接的作用，微滴喷射头53的喷射宽度W3和微滴喷射头54的喷射宽度W4起被连接的作用，所以可能扩大液体材料111通过整个头单元103’中的喷嘴25喷射到基板10A上的头单元103’在X轴方向上的长度。

[0167] 此外，由于本实施例的微滴喷射设备1这样构造，使得在从Y轴方向看时头组阵列61中的喷嘴阵列的接缝j1和头组阵列61中的喷嘴阵列的接缝j2关于彼此移动，所以由于接缝j1产生的条纹和由于接缝j2产生的条纹可分散在待制造的滤色衬底10中的分离的点处。因此，可能更确定地防止条纹变得明显。

[0168] 上面已经描述的本发明不仅可应用于制造滤色衬底10的情形，而且可应用于制造例如电致发光显示器等其它类型的图像显示设备的情形。

[0169] 图10是示意性截面图，示出制造有机电致发光显示器30的方法。此后，将对使用本发明制造有机电致发光显示器30的方法的情形进行说明；然而，主要描述制造上述滤色衬底10的情形和制造有机电致发光显示器30的情形，且省略对类似说明的描述。

[0170] 图10中所示的基板30A是用于制造有机电致发光显示器30的衬底。基板30A具有以矩阵形式排列在其面的多个像素(即，多个喷射区)38R、38G、和38B。

[0171] 更具体地，基板30A包括支撑衬底32、在支撑衬底32上形成的电路元件层34、在电路元件层34上形成的多个像素电极36、和多个在多个像素电极36的相邻两个之间形成的围堰40。支撑衬底32对可见光(光波长)具有透光性，例如玻璃衬底等。多个像素电极36的每个也对可见光(光波长)具有透光性，例如ITO(铟锡氧化物)电极等。并且，多个像素电极36以矩阵形式排列在电路元件层34上，且每个像素电极36限定一个像素。每个围堰40都具有晶格结构，且多个像素电极36的每个都由预定围堰40围绕。此外，围堰40由形成在电路元件层34上的无机围堰40A和位于无机围堰40A上的有机围堰40B组成。

[0172] 电路元件层34是具有下述的层：多个扫描电极，分别向着支撑衬底32上的预定方向延伸；绝缘膜42，形成为覆盖多个扫描电极；多个信号电极，设置在绝缘膜42上，且分别向着垂直于多个扫描电极的每个都向着其延伸的预定方向的方向延伸；多个开关元件44，分贝设置在扫描电极和信号电极之间的交点附近；以及多个间层绝缘膜45，形成为覆盖多个开关电极44，例如聚酰亚胺等。每个开关电极44的门电极44G和源电极44S分别电连接至相应的扫描电极和相应的信号电极。多个像素电极36位于间层绝缘膜45上。多个通孔44V设置在相应于开关电极44的漏电极44D的部分，且开关元件44分别经由通孔44V电连接至相应的像素电极36。并且，开关电极44分别设置在相应于围堰44的位置。换句话说，当从图10中的上侧观看时，多个开关元件44的每个都设置为覆盖有相应围堰40。

[0173] 每个都由像素电极36和相应围堰40限定的凹部分别相应于像素38R、38G、和38B。像素38R是待形成发光层211FR的区域，其中波长在红波长范围内的光通过所述发光层211FR发射。像素38G是待形成发光层211FG的区域，其中波长在绿波长范围内的光通过所述发光层211FG发射。像素38B是待形成发光层211FB的区域，其中波长在蓝波长范围内的光通过所述发光层211FB发射。

[0174] 可能使用已知的成膜技术和图样化技术制造这样的基板30A。

[0175] 首先，在大气压力下利用氧等离子体工艺使得基板30A变成亲液的。每个都由像素电极36和围堰40限定的像素38R、38G、和38B中的像素电极36的表面、无机围堰40A的表面、和有机围堰40B的表面通过此工艺往往呈现亲液性。并且，接着对基板30A执行将CF4用作处理气体的等离子体工艺。通过使用CF4的等离子体工艺，使每个凹部中的有机围堰40B的表面氟化，且有机围堰40B的表面通过此工艺往往呈现非亲液性。就此而言，通过使用CF4的等离子体工艺，先前已经呈现亲液性的像素电极36的表面和无机围堰40A的表面稍微损失亲液性。然而，即使这样，这些表面也能保持亲液性。

[0176] 就此而言，根据像素电极36的材料、无机围堰40A的材料、和有机围堰40B的材料，无需进行上述表面处理，每个凹部的表面都可呈现理想的亲液性和非亲液性。在此情形下，该表面不必经受上述表面处理。

[0177] 并且，相应的孔传输层37R、37G、和37B可在这样经受表面处理的多个像素电极36的每个上形成。在孔传输层37R、37G、和37B分别位于像素电极36和发光层211FR、211FG、和211FB之间的情形下，可能提高电致发光显示器的发光效率。

[0178] 如图10(a)至10(c)中所示，分别将液体材料211R、211G、和211B供给基板30A上，其中类似于上述滤色衬底10的情形，使用本发明的微滴喷射设备1在所述基板30A上形成像素38R、38G、和38B。在此情形下，液体材料211R包括红色有机发光材料，液体材料211G包括绿色有机发光材料，且液体材料211B包括蓝色有机发光材料。

[0179] 接着将基板30A传送到烘干设备中。通过烘干供给像素38R、38G、和38B的每个上的液体材料211R、211G、和211B，在像素38R、38G、和38B的每个上获得发光层211FR、211FG、和211FB。

[0180] 接着，反电极46形成为覆盖发光层211FR、211FG、和211FB、以及围堰40。每个反电极46都充当负极。

[0181] 随后，通过使密封衬底48以其周缘部分结合到基板30A，获得图10(d)中所示的有机电致发光显示器30。

[0182] 在有机电致发光显示器30中，从发光层211FR、211FG、和211FB发射的光通过像素电极36、电路元件层34、和支撑衬底32发射到外部。将其中光以此方式通过电路元件层34发射的有机电致发光显示器称为底部发射型显示器。

[0183] 尽管已经基于图中所示的优选实施例描述了本发明应用于制造液晶显示器(滤色衬底)和有机电致发光显示器的情形，但是应指出，本发明不限于上述实施例。例如，可能将本发明应用于制造等离子体显示器、或设置有电子发射元件的图像显示器(也称之为SED(表面传导电子发射显示器))、或FED(场致发射显示器)的背衬底的方法。

[0184] <电子装置的实施例>

[0185] 可将使用上述方法制造的例如液晶显示器等设置有滤色衬底10的图像显示设备1000、和使用上述方法制造的有机电致发光显示器(即，本发明的电子设备)用作各种类型的电子设备的每个的显示部。

[0186] 图11是透视图，示出本发明的电子设备应用于的移动(或膝上型)个人计算机1100的结构。参看图11，个人计算机1100设置有具有键盘1102的本体1104、和显示单元
1106。显示单元1106经由铰链部可旋转地支撑在本体1104上。在此个人计算机1100中，显示单元1106设置有上述图像显示设备1000。

[0187] 图12是透视图，示出本发明的电子设备应用于的便携式电话(包括个人手提电话系统)1200的结构。参看图12，便携式电话1200设置有多个按钮1202、耳机1204、话筒1206、和显示部。所述显示部由上述图像显示设备1000构成。

[0188] 图13是透视图，示出本发明的电子设备应用于的数码相机1300的结构。在此图中，示意性地示出数码相机与其外部设备的连接。标准的相机根据对象的光学图像曝光银盐胶片，而数码相机1300通过利用电荷耦合器件(CCD)将对象的光学图像光电转换成成像信号。

[0189] 上述图像显示设备1000在数码相机1300的壳体(本体)1302背面上设置有显示部。图像显示设备1000响应于由CCD输出的成像信号显示图像，且充当用于显示作为电子图像的对象的取景器。电路板1308放在壳体1302内部。能储存这种成像信号的存储器放在电路板1308上。

[0190] 并且，包括光学透镜(成像光学系统)、CCD和类似物等的光接收单元1304设置在壳体1302的前表面侧中。当摄影师确定显示在显示部(即，图像显示设备1000)上的对象的图像并按下快门按钮1306时，此时的CCD的成像信号被传送给电路板1308的存储器，并储存在此存储器中。

[0191] 并且，视频信号输出终端1312和用于数据通信的输入/输出终端1314设置在数码相机1300中的壳体1302的侧表面上。如图13中所示，如果需要，电视监控器1430和个人计算机1440可分别连接至视频信号输出终端1312和用于数据通信的输入/输出终端1314。此外，储存在电路板1308的存储器中的成像信号通过预定操作输出到电视监控器
1430或个人计算机1440。

[0192] 就此而言，除了图19中所示的个人计算机(移动个人计算机)1100、图20中所示的便携式电话1200、和图21中所示的数码相机1300外，本发明的电子设备可适于用在例如电视、摄像机、取录器型或监控器直接观看型磁带录像机、膝上型个人计算机、车用导航装置、寻呼机、电子记事本、袖珍计算器、电子游戏装置、字处理机、工作站、电视电话、用于防止犯罪的电视监控器、电子双目镜、POS(销售点)终端、带有触摸屏的设备(例如，金融机构中的自动柜员机、自动售票机)、医学设备(例如，电子体温计、血压计、血糖计、心电图显示器、超声诊断装置、用于内诊镜的显示器)、鱼探仪、各种测量装置、量规(例如，用于车辆、飞机、轮船等的量规)、飞行模拟器、任何其它类型的监控器、例如投影机等投射型显示器。

[0193] 尽管已经根据附图中示出的实施例描述了根据本发明的图像显示设备和电子设备，但是应指出，本发明不限于这些实施例。根据本发明的头单元、微滴喷射设备、和电子设备的各个部分可用能以相同方式工作的任意布置替换。并且，可将任何其它的部件添加到根据本发明的头单元、微滴喷射设备、和电子设备中。