一种高透过率三维亚波长金属结构透镜转让专利
申请号 : CN200810101935.3
文献号 : CN101281297B
文献日 : 2010-06-09
发明人 : 杜春雷 , 段媛 , 周崇喜 , 陈艳中 , 史立芳
申请人 : 中国科学院光电技术研究所
摘要 :
权利要求 :
1.一种高透过率三维亚波长金属结构透镜,其特征在于步骤如下:(1)确定入射波长λ、基底材料以及金属材料;
(2)确定基底材料口径为L,金属层的厚度为h,基底放置于xy平面且中心在原点处,假设入射光垂直于基底沿z轴正方向入射;
(3)在金属板上坐标(x,y)处制作边长为a的空气孔,根据公式(1)得到该点出射面的相位跟金属孔边长之间的关系
其中表示该点的相位,λ表示入射波长,h表示金属层的厚度,a表示金属板上空气孔的边长,通过在金属板上制作空气孔,完成该点处所需的相位调制;
(4)在金属板上并行排列两个空气孔,其边长分别为a1和a2,其中心间距为d,计算得到d=0.95λ两孔出射面的最大能量,即最大透过率;
(5)由所设计的透镜焦距f,通过衍射理论求得表面任意点(x,y)处的相位该相位与该点位置以及入射波长之间的关系为:
其中m为任意整数,选取m值,使得相位处于-π到π之间;
(6)在金属板上进行取样,取样间隔为0.95λ,取样点按正方形排布,根据步骤(5)中的公式(2)计算得到每个抽样点的相位延迟,然后根据步骤(3)中的公式(1)计算得到每一取样点所对应空气孔的大小,从而在金属板中嵌入不同大小的空气孔结构,从而完成大视场金属结构透镜的设计;
(7)利用现有加工方法对上述设计所得的透镜进行制作,得到高透过率三维亚波长金属结构透镜。
2.根据权利要求1所述的高透过率三维亚波长金属结构透镜,其特征在于:所述步骤(1)中的基底材料为:红外材料硅或锗、或可见光材料石英、或玻璃。
3.根据权利要求1所述的高透过率三维亚波长金属结构透镜,其特征在于:所述步骤(1)中的金属材料为金、或银、或铜、或铝。
4.根据权利要求1所述的高透过率三维亚波长金属结构透镜,其特征在于:所述步骤(2)中的金属层厚度h为1.6λ~2λ,其中λ为入射波长。
5.根据权利要求1所述的高透过率三维亚波长金属结构透镜,其特征在于:所述步骤(3)中的空气孔的边长和步骤(6)中的空气孔的大小均小于入射波长,即为亚波长量级。
说明书 :
技术领域
本发明涉及一种透镜设计方法,具体地说是一种高透过率三维亚波长金属结构透镜。
背景技术
发明内容
本发明的技术解决方案包括下列步骤:
(1)确定入射波长λ、基底材料以及金属材料。入射波长根据工作波长来确定,基底材料根据入射波长来确定,原则是要使入射波长透过,金属材料选择可以激发表面等离子体的材料:金、银、铜、铝。
(2)确定基底材料口径为L,金属层的厚度为h,基底放置于xy平面且中心在原点处,假设入射光垂直于基底沿z轴正方向入射。口径是根据具体系统中的需要而确定的,厚度是通过反复选取不同的深度值,然后再计算每一厚度下所需制作的孔的尺寸,选择能使得制作最方便的厚度值。
(3)在金属板上坐标(x,y)处制作边长为a的空气孔,根据公式(1)得到该点出射面的相位跟金属孔边长之间的关系
其中表示该点的相位,λ表示入射波长,h表示金属层的厚度,a表示金属板上空气孔的边长,通过在金属板上制作空气孔,完成该点处所需的相位调制;
(4)在金属板上并行排列两个空气孔,其边长分别为a1和a2,其中心间距为d,计算得到d=0.95λ两孔出射面的最大能量,即最大透过率。在金属板上并行排列两个空气孔,其边长分别为a1和a2,其中心间距为d,不断变换d的值,同时对每一个d值计算两孔出射面的能量,发现当d=0.95λ时出射面的能量最大,即此时的透过率最大,所以该间距数值可以作为抽样的标准,Sout,Sint分别代表在以该间距进行抽样的情况下,出射面的能量以及入射面的能量,∑Sout和∑Sin分别表示出射面和入射面能量之和。
(5)由所设计时透镜焦距f,通过衍射理论求得表面任意点(x,y)处的相位该相位与该点位置以及入射波长之间的关系为:
其中m为任意整数,选取m值,使得相位处于-π到π之间。m值的选取首先利用公式计算得到相位值,如果该相位值不在-π到π之间,比如其值为3.5π,那么此时选择m的值为-2,使得等于-0.5π,在-π到π之间,使得相位处于-π到π之间。
(6)在金属板上进行取样,取样间隔为0.95λ,取样点按正方形排布,根据步骤(5)中的公式(2)计算得到每个抽样点的相位延迟,然后根据步骤(1)中的公式(1)计算得到每一取样点所对应空气孔的大小,从而在金属板中嵌入不同大小的空气孔结构,从而完成大视场金属结构透镜的设计;
(7)利用现有加工方法对上述设计所得的透镜进行制作,得到高透过率三维亚波长金属结构透镜。
所述步骤(1)中的基底材料为:红外材料硅或锗、或可见光材料石英,或玻璃。
所述步骤(1)中的金属材料为金、或银。
所述步骤(2)中的金属层厚度h可以为1.6λ~2λ。
所述步骤(3)、(6)中的空气孔边长均小于入射波长,即为亚波长量级。
本发明与现有技术相比的有益效果在于:
(1)按照本发明设计所得的三维亚波长金属结构透镜透射效率高,可以比原来提高近30%,因为两孔中心间距的变化可以使得两孔出射面的耦合作用增强,从而增大了透射效率。
(2)本发明在一块金属层上面即可以完成透镜的设计,设计过程简单,并且制作简单。
附图说明
图2为本发明实施例中透过率跟两孔间距之间的关系曲线,其中横坐标表示两孔间距,单位为λ,纵坐标表示透过率,为任意单位;
图3表示本发明实施例中设计所得的金属结构透镜示意图。
具体实施方式
实施例:
本发明实施例的具体实现步骤如下:
(1)确定入射波长λ=10.6um,基底材料为硅,金属采用银。入射波长是根据实际需要而确定的,因为是红外波段,所以采用硅可以透光,金属采用银,因为银是一种很好的可以激发表面等离子体的金属。
(2)确定基底材料口径为110um,金属层的厚度h为19.08um。口径是根据实际需要而确定的,金属层的厚度选为1.8λ,此时可以保证最终设计的正方形空气孔边长在0.53λ到0.9λ之间,这样制作上比较方便。基底放置于xy平面且中心在原点处,假设入射光垂直于基底沿z轴正方向入射;
(3)如果在金属板上(x,y)制作边长为a的空气孔,那么根据公式(1)可以得到该点的相位跟空气孔边长之间的关系
其中表示该点的相位,λ表示工作波长,a表示金属板上空气孔的边长,通过在金属板上制作合适边长的空气孔,可以完成所需的该点处的相位调制,如图1所示;
(4)在金属板上并行排列两个空气孔,其边长分别为a1等于7.42um和a2等于8.48um,其中心间距为d,应用软件FDTD进行仿真计算得到中心间距d=0.95λ即d为10.07um时两孔出射面的能量最大,即透过率最大,如图2所示;
(5)由所设计的透镜焦距f,通过衍射理论可以求得表面任意点(x,y)处的相位该相位与位置以及入射波长之间的关系为:
其中m为任意整数,选取合适的m值(每一个抽样点处m的取值都是根据该点相位而确定的,因为本实施例的抽样点共121个,所以需要121个m值),使得相位处于-π到π之间;
(6)在金属板上进行取样,取样间隔为10.07um,取样点按正方形排布,根据公式(2)计算得到每个抽样点的相位延迟,然后根据公式(1)计算可以得到每一取样点所对应的空气孔大小,
第一排空气孔大小分别为(单位为微米):
5.77 6.35 7.22 8.41 5.53 5.59 5.52 8.39 7.20 6.33 5.76
第二排空气孔大小分别为(单位为微米):
6.35 7.55 5.53 5.74 5.95 6.05 5.96 5.76 5.55 7.51 6.43
第三排空气孔大小分别为(单位为微米):
7.22 5.83 5.65 6.20 6.64 6.75 6.66 6.22 5.67 5.81 7.25
第四排空气孔大小分别为(单位为微米):
8.41 5.74 6.20 6.76 7.31 7.67 7.35 6.72 6.22 5.76 8.40
第五排空气孔大小分别为(单位为微米):
5.53 5.94 6.54 7.31 8.12 8.67 8.15 7.33 6.50 6.00 5.56
第六排空气孔大小分别为(单位为微米):
5.59 6.05 6.75 7.67 8.67 9.39 8.65 7.62 6.70 6.09 5.62
第七排空气孔大小分别为(单位为微米):
5.53 5.94 6.54 7.31 8.12 8.67 8.15 7.33 6.50 6.00 5.56
第八排空气孔大小分别为(单位为微米):
8.41 5.74 6.20 6.76 7.31 7.67 7.35 6.72 6.22 5.76 8.40
第九排空气孔大小分别为(单位为微米):
7.22 5.83 5.65 6.20 6.64 6.75 6.66 6.22 5.67 5.81 7.25
第十排空气孔大小分别为(单位为微米):
6.35 7.55 5.53 5.74 5.95 6.05 5.96 5.76 5.55 7.51 6.43
第十一排空气孔大小分别为(单位为微米):
5.77 6.35 7.22 8.41 5.53 5.59 5.52 8.39 7.20 6.33 5.76
从而在金属板中嵌入不同大小的空气孔结构,该高透过率的金属结构透镜设计完成,如图3所示;
(7)利用现有加工手段,如深刻蚀工艺方法即可实现对上述设计所得的透镜进行制作,从而得高透过率,如可达64%的三维亚波长金属结构透镜。