台架装置转让专利
申请号 : CN200780000632.6
文献号 : CN101326625B
文献日 : 2010-04-21
发明人 : 田中保三 , 汤山纯平 , 矢作充 , 南展史
申请人 : 株式会社爱发科
摘要 :
本发明的台架装置能分割而进行陆路运输、同时确保对被处理基板进行准确处理。台架装置(11)备有夹着设有被处理基板的基板支承面地相向配置的一对导架(13X1、13X2)、和可移动地支承在该对导架(13X1、13X2)上面的门形架(13Y)。该台架装置(11)由含有一方导架(13X1)的第1构造体(V1)、含有另一方导架(13X2)的第2构造体(V2)、和含有门形架(13Y)的第3构造体(V3)的结合体构成。这样，即使是大型的台架装置，也能自由分离成各构造体(V1～V3)，从而能进行陆路运输。另外，由于在门形架(13Y)的移动路径上没有接缝，故不损害门形架(13Y)的移送精度，可确保准确的基板处理。
权利要求 :
1.一种台架装置，其备有：
支承被处理基板的载置台；
第1构造体，所述第1构造体含有在第1方向延伸的第1导架、支承所述第1导架和所述载置台的第1架台；
第2构造体，所述第2构造体含有在第1方向延伸并夹着所述载置台与所述第1导架平行地设置的第2导架、和支承所述第2导架和所述载置台的第2架台；
第3构造体，所述第3构造体含有横跨在所述第1及第2导架之间延伸并可相对于所述第1及第2导架自由移动地受到支承的门形架、和设置在所述门形架上的基板处理单元；
所述第1架台和所述第2架台在相对于所述第1方向正交的方向能够分离。
2.一种台架装置，其备有：
支承被处理基板的载置台；
门形架，所述门形架具有第1脚部、第2脚部、用于对所述被处理基板进行处理或检查的基板处理单元，在所述第1脚部和所述第2脚部之间移动自由地支承所述基板处理单元；
第1架台，所述第1架台具有第1引导部，所述第1引导部移动自由地支承所述第1脚部，并在第1方向延伸；
第2架台，所述第2架台具有第2引导部，所述第2引导部移动自由地支承所述第2脚部，并在第1方向延伸；
所述第1架台和所述第2架台在相对于所述第1方向正交的方向能够分离。
说明书 :
技术领域
本发明涉及门形架移动型的台架装置，具体地说，涉及例如对液晶板用的玻璃基板涂敷密封剂或液晶材料、含有间隔基的树脂等各种膏状材时使用的台架装置，或者在采用照相机的表面检查或表面不平度计测等时使用的台架装置。
背景技术
已往，例如在对液晶板用的玻璃基板涂敷密封剂或液晶材料、含有间隔基的树脂等各种膏状材的涂敷工序中，或者在采用照相机的表面检查工序等中，要使用门形架移动型的台架装置，该门形架移动型的台架装置使喷出膏状材的喷嘴或照相机沿玻璃基板的面内两个方向移动(例如见专利文献1)。
图4是表示此种已往台架装置的概略构造的平面图。图示的已往台架装置1备有：在XY面内支承被处理基板的载置台2，夹着该载置2设置并沿X轴方向延伸的一对导架3X、3X，在该一对导架3X、3X之间延伸的门形架3Y，设在该门形架3Y上的基板处理单元4。
门形架3Y能沿着导架3X、3X移动地安装在该导架3X、3X的上面。基板处理单元4由喷出密封剂或液晶材料、含有间隔基的树脂等各种膏状材的喷嘴、或者观察基板表面的照相机单元等构成，能沿着门形架3Y的下面自由移动地安装在该门形架3Y上。门形架3Y和基板处理单元4被线性马达等的驱动源驱动，分别沿着导架3X、3X和门形架3Y移动。
在上述构造的已往的台架装置1中，基板处理单元4与支承在载置台2上的被处理基板表面相向地被移送，对被处理基板表面进行上述各种膏状材的涂敷、或表面性状的摄影等。而且，使基板处理单元4分别沿着X轴、Y轴移动，用该基板处理单元4连续地或间歇地对被处理基板整个区域进行预定的处理动作。
另外，在这种台架装置中，为了将被处理基板运入、运出载置台2，或者为了基板处理单元4的维护、检修等，导架3X设有作业区域R1和非作业区域R2，该作业区域R1规定出进行基板处理所必需的门形架3Y的移动路径。非作业区域R2用于使门形架3Y避开载置台2正上方位置。即，导架3X按照能形成作业区域R1和非作业区域R2的长度构成。
专利文献1：日本特许第3701882号公报
专利文献2：日本特开2006-12911号公报
发明要解决的课题
近年来，被处理基板有日益大型化的倾向，随之，对被处理基板进行处理的台架装置，也必须大型化。
但是，随着台架装置的大型化，存在不能运输该台架装置的问题。例如，当被处理基板的尺寸为3000mm×2800mm时，台架装置的短边必须在3500mm以上，这样的尺寸在现有的道路上是不能实现陆路运输的。
为了解决这一问题，已往提出了将台架装置分割成若干部分的方法(参照例如专利文献2)。但是，在图4所示那样的门形架移动型的台架装置1中，如果在门形架3Y的移动路径上有导架3X的接缝，则在通过该接缝时，会诱发门形架3Y的振动或使移动速度变化，这样，基板处理单元4就不能准确地进行基板处理。
图4是表示此种已往台架装置的概略构造的平面图。图示的已往台架装置1备有：在XY面内支承被处理基板的载置台2，夹着该载置2设置并沿X轴方向延伸的一对导架3X、3X，在该一对导架3X、3X之间延伸的门形架3Y，设在该门形架3Y上的基板处理单元4。
门形架3Y能沿着导架3X、3X移动地安装在该导架3X、3X的上面。基板处理单元4由喷出密封剂或液晶材料、含有间隔基的树脂等各种膏状材的喷嘴、或者观察基板表面的照相机单元等构成，能沿着门形架3Y的下面自由移动地安装在该门形架3Y上。门形架3Y和基板处理单元4被线性马达等的驱动源驱动，分别沿着导架3X、3X和门形架3Y移动。
在上述构造的已往的台架装置1中，基板处理单元4与支承在载置台2上的被处理基板表面相向地被移送，对被处理基板表面进行上述各种膏状材的涂敷、或表面性状的摄影等。而且，使基板处理单元4分别沿着X轴、Y轴移动，用该基板处理单元4连续地或间歇地对被处理基板整个区域进行预定的处理动作。
另外，在这种台架装置中，为了将被处理基板运入、运出载置台2，或者为了基板处理单元4的维护、检修等，导架3X设有作业区域R1和非作业区域R2，该作业区域R1规定出进行基板处理所必需的门形架3Y的移动路径。非作业区域R2用于使门形架3Y避开载置台2正上方位置。即，导架3X按照能形成作业区域R1和非作业区域R2的长度构成。
专利文献1：日本特许第3701882号公报
专利文献2：日本特开2006-12911号公报
发明要解决的课题
近年来，被处理基板有日益大型化的倾向，随之，对被处理基板进行处理的台架装置，也必须大型化。
但是，随着台架装置的大型化，存在不能运输该台架装置的问题。例如，当被处理基板的尺寸为3000mm×2800mm时，台架装置的短边必须在3500mm以上，这样的尺寸在现有的道路上是不能实现陆路运输的。
为了解决这一问题，已往提出了将台架装置分割成若干部分的方法(参照例如专利文献2)。但是，在图4所示那样的门形架移动型的台架装置1中，如果在门形架3Y的移动路径上有导架3X的接缝，则在通过该接缝时，会诱发门形架3Y的振动或使移动速度变化，这样，基板处理单元4就不能准确地进行基板处理。
发明内容
本发明是鉴于上述问题而做出的，其目的是提供一种台架装置，该台架装置能分割而适应陆路运输，并且能确保对被处理基板进行准确的处理。
解决课题的技术方案
为了解决上述课题，本发明的台架装置，备有：支承被处理基板的基板支承面；夹着基板支承面地相向配置的一对导架；在一对导架之间延伸并可移动地支承在该一对导架上的门形架；设置在门形架上的基板处理单元；其特征在于，由含有一对导架中的一方导架的第1构造体、含有一对导架中的另一方导架的第2构造体、和含有门形架的第3构造体的结合体构成。
上述构造的本发明台架装置中，由于门形架、和引导该门形架移动的一对导架的各导架是分割的构造，所以，可以将台架装置缩短到能陆路运输的长度。另外，由于各导架本身不是分割构造，所以，在门形架的移动路径上没有接缝。因此，在门形架上不会产生振动或移动速度的变化，可以确保对被处理基材进行准确的处理。
另外，本发明的另一个台架装置，设置着被处理基板，使门形架在该被处理基板上移动，对被处理基板进行处理或检查；其特征在于，备有将门形架的两脚部可移动地支承着的一对引导部，该一对引导部构成为可以分离地进行运输。
上述一对引导部，例如相当于引导门形架直线移动的线性引导件。把该一对引导部设置在能彼此分离的导架上，可得到与上述同样的作用效果。
发明效果
如上所述，根据本发明，由于把引导门形架移动的一对导架或引导部做成为可相互分离的构造，所以，可将台架装置缩短到能陆路运输的长度。另外，由于导架的分割位置不在门形架的作业区域内，所以，门形架不产生振动及移动速度的变化，可确保对被处理基板进行准确的处理。
解决课题的技术方案
为了解决上述课题，本发明的台架装置，备有：支承被处理基板的基板支承面；夹着基板支承面地相向配置的一对导架；在一对导架之间延伸并可移动地支承在该一对导架上的门形架；设置在门形架上的基板处理单元；其特征在于，由含有一对导架中的一方导架的第1构造体、含有一对导架中的另一方导架的第2构造体、和含有门形架的第3构造体的结合体构成。
上述构造的本发明台架装置中，由于门形架、和引导该门形架移动的一对导架的各导架是分割的构造，所以，可以将台架装置缩短到能陆路运输的长度。另外，由于各导架本身不是分割构造，所以，在门形架的移动路径上没有接缝。因此，在门形架上不会产生振动或移动速度的变化，可以确保对被处理基材进行准确的处理。
另外，本发明的另一个台架装置，设置着被处理基板，使门形架在该被处理基板上移动，对被处理基板进行处理或检查；其特征在于，备有将门形架的两脚部可移动地支承着的一对引导部，该一对引导部构成为可以分离地进行运输。
上述一对引导部，例如相当于引导门形架直线移动的线性引导件。把该一对引导部设置在能彼此分离的导架上，可得到与上述同样的作用效果。
发明效果
如上所述，根据本发明，由于把引导门形架移动的一对导架或引导部做成为可相互分离的构造，所以，可将台架装置缩短到能陆路运输的长度。另外，由于导架的分割位置不在门形架的作业区域内，所以，门形架不产生振动及移动速度的变化，可确保对被处理基板进行准确的处理。
附图说明
图1是本发明实施方式的台架装置的概略构造图，A是表示组装后状态的整体立体图，B是表示组装前状态的整体立体图。
图2是本发明实施方式的台架装置的从X轴方向看时的断面图。
图3是表示本发明实施方式的台架装置的可动部概略构造的断面立体图。
图4是表示已往的台架装置构造的概略平面图。
附图标记说明
11 台架装置
12 载置台
13X1、13X2 导架
13Y 门形架
14 基板处理单元
16、16a、16b 架台
17 线性引导件
17a 导轴(第1、第2引导部)
17b 引导轴承
18 磁铁
19 电枢线圈
20 可动部
21 位置检测传感器
22 直线标尺
图2是本发明实施方式的台架装置的从X轴方向看时的断面图。
图3是表示本发明实施方式的台架装置的可动部概略构造的断面立体图。
图4是表示已往的台架装置构造的概略平面图。
附图标记说明
11 台架装置
12 载置台
13X1、13X2 导架
13Y 门形架
14 基板处理单元
16、16a、16b 架台
17 线性引导件
17a 导轴(第1、第2引导部)
17b 引导轴承
18 磁铁
19 电枢线圈
20 可动部
21 位置检测传感器
22 直线标尺
具体实施方式
下面，参照附图说明本发明的实施方式。但本发明并不局限于该实施方式，在本发明技术思想的范围内，可作各种变型。
图1A、B是表示本发明实施方式的台架装置11的概略构造的整体立体图，A表示组装后的状态，B表示组装前的状态。图2是从X轴方向看台架装置11的断面图。
本实施方式的台架装置11备有：支承玻璃基板等被处理基板W的载置台12、夹着该载置12设置并沿X轴方向延伸的一对导架13X1、13X2、在该一对导架13X1、13X2之间延伸的门形架13Y、设在该门形架13Y上的基板处理单元14。
载置台12具有在XY面内支承被处理基板W的基板支承面。载置台12设置在架台16的上面，该架台16用于使一对导架13X1、13X2保持相互平行并且具有一定间隔地相向配置。另外，载置台12备有例如利用真空吸附等方式将被处理基板W保持在基板支承面上的机构。在图1A、B中未示出载置台12。另外，架台16的一部分也可以构成上述的基板支承面。
一对导架13X1、13X2通过架台16固定成一体。导架13X1、13X2形成为这样的长度，即，该长度构成了规定出基板处理所必需的门形架13Y的作业区域的移动路径、和规定出使门形架13Y避开被处理基板W正上方位置的非作业区域的移动路径。
门形架13Y沿着与导架13X1、13X2的延伸方向(X轴方向)交叉的方向、在本实施方式中是正交的方向(Y轴方向)延伸。门形架13Y的两脚部，通过可动部20，相对于导架13X1、13X2可沿该导架13X1、13X2的上面自由移动地受到支承。
基板处理单元14，由对支承在载置台12上的被处理基板W的表面喷出密封剂、液晶材料、含有间隔基的树脂等各种膏状材的喷嘴、或者观察基板表面的照相机单元等构成。该基板处理单元14，相对于门形架13Y可沿该门形架13Y的下面自由移动地受到支承。
门形架13Y和基板处理单元14，以线性马达作为驱动源，分别沿着导架13X1、13X2和门形架13Y移动。图3表示设在导架13X1与门形架13Y之间的可动部20的一例构造。下述的构造也同样地适用于导架13X2与门形架13Y之间以及门形架13Y与基板处理单元14之间。
如图3所示，可动部20备有线性引导件17、磁铁18、和电枢线圈19。线性引导件17由敷设在导架13X1上面的一对导轴17a、17a、和设置在门形架13Y的脚部下面的一对引导轴承17b、17b构成。磁铁18在一对导轴17a、17a之间呈直线地设置在导架13X1的上面。电枢线圈19与磁铁18隔开间隔相向地安装在门形架13Y的脚部下面。由这些磁铁18和电枢线圈19构成了线性马达。
在可动部20上，还设有用于检测门形架13Y相对于导架13X1的相对位置的位置检测传感器21。位置检测传感器21光学地检测设置在导架13X1侧面的直线标尺22，进行门形架13Y的位置检测。
另外，台架装置11还备有控制部(图未示)，该控制部接受上述位置检测传感器的检测输出，进行门形架13Y及基板处理单元14的移动控制，该控制部的说明从略。
借助门形架13Y相对于导架13X1、13X2的X轴方向的水平移动、以及基板处理单元14相对于门形架13Y的Y轴方向的水平移动，可以在XY面内的两个方向上，将基板处理单元14与支承在载置台12上的被处理基板W的表面整个区域相向地配置。这样，台架装置11作为XY台架构成，可以用基板处理单元14对被处理基板W连续地或间歇地进行预定的基板处理动作(本例中是密封剂或液晶材料、含间隔基的树脂的涂敷处理、或表面检查)。
另外，在本实施方式的台架装置11中，如图1B所示，是由含有一侧导架13X1的第1构造体V1、含有另一侧导架13X2的第2构造体V2、和含有门形架13Y的第3构造体V3的结合体构成的。因此，台架装置11在导架13X1、导架13X2和门形架13Y之间是可分离的。
第1构造体V1由导架13X1和架台16的一部分16a等构成，第2构造体V2由导架13X2和架台16的一部分16b等构成。在导架13X1、13X2上，也可以预先敷设线性引导件的导轴17a或磁铁18等。另外，分别敷设在导架13X1及导架13X2上的导轴17a，相当于本发明中的“一对引导部”。
第3构造体V3由门形架13Y、基板处理单元14等构成，也可以把可动部20的一部分设置在门形架13Y的两脚部。另外，载置台12可相对于架台16自由装卸，在导架13X1、13X2的组装后，再安装在架台16上。
如上所述，根据本实施方式，导架13X1、13X2在与其延伸方向直交的方向上分离自如，这样，可以把台架装置11的架部分在Y轴方向分割成两部分，从而进行运输。
例如，即使台架装置11具有X轴方向长度尺寸为5500mm以上、Y轴方向的宽度尺寸为4500mm以上的大小时，只要把台架装置11在Y轴方向分割成两部分，对于每个分割构造体单位，短边的长度尺寸可抑制在3500mm以下。这样，可以避免道路状况等的限制，实现台架装置11的陆路运输。
这里，一方导架13X1侧与另一方导架13X2侧之间的交界线D(图1A)，设定在连接该一对导架13X1、13X2的架台16的Y轴方向大致中央部。分割后的架台16a、16b如图1B所示，分别固定在导架13X1和导架13X2上，在台架的组装时，各架台16a、16b的端部相互接合。
另外，交界线D的位置、即架台16的分割位置，并不限定于上述例子。另外，架台16的分割面构成为其法线方向是Y轴方向。但是，分割面的法线方向也可以是与Y轴交叉的方向。另外，也可以将导架13X1、13X2在其对角线位置上分割。
另外，由于各导架13X1、13X2本身不是分割构造，所以，在门形架13Y的移动路径上不存在接缝。因此，门形架13Y上不会产生振动及移动速度的变化，可确保对被处理基材W进行准确的处理。另外，可确保能得到门形架13Y的所需的移送精度的设计精度，导架13X1、13X2的制作和设置作业容易。
这里，所说的门形架13Y的移送精度，包含门形架13Y的移动面的刚性、平坦度、门形架13Y的等速移动性等。为了得到这些特性，导架13X1、13X2是采用花岗岩、大理石等的石材、SiC等的硬质陶瓷那样加工精度高的材料。
另外，由于导架13X1、13X2在其延伸方向不分割，所以，可以在把线性引导件(引导部)或直线标尺敷设在导架13X1、13X2上并进行了直动引导调节的状态下装货运出。这样，可以简化现场的设置作业以及调节作业，提高作业性。
图1A、B是表示本发明实施方式的台架装置11的概略构造的整体立体图，A表示组装后的状态，B表示组装前的状态。图2是从X轴方向看台架装置11的断面图。
本实施方式的台架装置11备有：支承玻璃基板等被处理基板W的载置台12、夹着该载置12设置并沿X轴方向延伸的一对导架13X1、13X2、在该一对导架13X1、13X2之间延伸的门形架13Y、设在该门形架13Y上的基板处理单元14。
载置台12具有在XY面内支承被处理基板W的基板支承面。载置台12设置在架台16的上面，该架台16用于使一对导架13X1、13X2保持相互平行并且具有一定间隔地相向配置。另外，载置台12备有例如利用真空吸附等方式将被处理基板W保持在基板支承面上的机构。在图1A、B中未示出载置台12。另外，架台16的一部分也可以构成上述的基板支承面。
一对导架13X1、13X2通过架台16固定成一体。导架13X1、13X2形成为这样的长度，即，该长度构成了规定出基板处理所必需的门形架13Y的作业区域的移动路径、和规定出使门形架13Y避开被处理基板W正上方位置的非作业区域的移动路径。
门形架13Y沿着与导架13X1、13X2的延伸方向(X轴方向)交叉的方向、在本实施方式中是正交的方向(Y轴方向)延伸。门形架13Y的两脚部，通过可动部20，相对于导架13X1、13X2可沿该导架13X1、13X2的上面自由移动地受到支承。
基板处理单元14，由对支承在载置台12上的被处理基板W的表面喷出密封剂、液晶材料、含有间隔基的树脂等各种膏状材的喷嘴、或者观察基板表面的照相机单元等构成。该基板处理单元14，相对于门形架13Y可沿该门形架13Y的下面自由移动地受到支承。
门形架13Y和基板处理单元14，以线性马达作为驱动源，分别沿着导架13X1、13X2和门形架13Y移动。图3表示设在导架13X1与门形架13Y之间的可动部20的一例构造。下述的构造也同样地适用于导架13X2与门形架13Y之间以及门形架13Y与基板处理单元14之间。
如图3所示，可动部20备有线性引导件17、磁铁18、和电枢线圈19。线性引导件17由敷设在导架13X1上面的一对导轴17a、17a、和设置在门形架13Y的脚部下面的一对引导轴承17b、17b构成。磁铁18在一对导轴17a、17a之间呈直线地设置在导架13X1的上面。电枢线圈19与磁铁18隔开间隔相向地安装在门形架13Y的脚部下面。由这些磁铁18和电枢线圈19构成了线性马达。
在可动部20上，还设有用于检测门形架13Y相对于导架13X1的相对位置的位置检测传感器21。位置检测传感器21光学地检测设置在导架13X1侧面的直线标尺22，进行门形架13Y的位置检测。
另外，台架装置11还备有控制部(图未示)，该控制部接受上述位置检测传感器的检测输出，进行门形架13Y及基板处理单元14的移动控制，该控制部的说明从略。
借助门形架13Y相对于导架13X1、13X2的X轴方向的水平移动、以及基板处理单元14相对于门形架13Y的Y轴方向的水平移动，可以在XY面内的两个方向上，将基板处理单元14与支承在载置台12上的被处理基板W的表面整个区域相向地配置。这样，台架装置11作为XY台架构成，可以用基板处理单元14对被处理基板W连续地或间歇地进行预定的基板处理动作(本例中是密封剂或液晶材料、含间隔基的树脂的涂敷处理、或表面检查)。
另外，在本实施方式的台架装置11中，如图1B所示，是由含有一侧导架13X1的第1构造体V1、含有另一侧导架13X2的第2构造体V2、和含有门形架13Y的第3构造体V3的结合体构成的。因此，台架装置11在导架13X1、导架13X2和门形架13Y之间是可分离的。
第1构造体V1由导架13X1和架台16的一部分16a等构成，第2构造体V2由导架13X2和架台16的一部分16b等构成。在导架13X1、13X2上，也可以预先敷设线性引导件的导轴17a或磁铁18等。另外，分别敷设在导架13X1及导架13X2上的导轴17a，相当于本发明中的“一对引导部”。
第3构造体V3由门形架13Y、基板处理单元14等构成，也可以把可动部20的一部分设置在门形架13Y的两脚部。另外，载置台12可相对于架台16自由装卸，在导架13X1、13X2的组装后，再安装在架台16上。
如上所述，根据本实施方式，导架13X1、13X2在与其延伸方向直交的方向上分离自如，这样，可以把台架装置11的架部分在Y轴方向分割成两部分，从而进行运输。
例如，即使台架装置11具有X轴方向长度尺寸为5500mm以上、Y轴方向的宽度尺寸为4500mm以上的大小时，只要把台架装置11在Y轴方向分割成两部分，对于每个分割构造体单位，短边的长度尺寸可抑制在3500mm以下。这样，可以避免道路状况等的限制，实现台架装置11的陆路运输。
这里，一方导架13X1侧与另一方导架13X2侧之间的交界线D(图1A)，设定在连接该一对导架13X1、13X2的架台16的Y轴方向大致中央部。分割后的架台16a、16b如图1B所示，分别固定在导架13X1和导架13X2上，在台架的组装时，各架台16a、16b的端部相互接合。
另外，交界线D的位置、即架台16的分割位置，并不限定于上述例子。另外，架台16的分割面构成为其法线方向是Y轴方向。但是，分割面的法线方向也可以是与Y轴交叉的方向。另外，也可以将导架13X1、13X2在其对角线位置上分割。
另外，由于各导架13X1、13X2本身不是分割构造，所以，在门形架13Y的移动路径上不存在接缝。因此，门形架13Y上不会产生振动及移动速度的变化，可确保对被处理基材W进行准确的处理。另外，可确保能得到门形架13Y的所需的移送精度的设计精度，导架13X1、13X2的制作和设置作业容易。
这里，所说的门形架13Y的移送精度，包含门形架13Y的移动面的刚性、平坦度、门形架13Y的等速移动性等。为了得到这些特性，导架13X1、13X2是采用花岗岩、大理石等的石材、SiC等的硬质陶瓷那样加工精度高的材料。
另外，由于导架13X1、13X2在其延伸方向不分割，所以，可以在把线性引导件(引导部)或直线标尺敷设在导架13X1、13X2上并进行了直动引导调节的状态下装货运出。这样，可以简化现场的设置作业以及调节作业，提高作业性。