灰尘除去装置转让专利
申请号 : CN200680050456.2
文献号 : CN101356017B
文献日 : 2010-07-28
发明人 : 中田厚纪 , 大山纯志
申请人 : 尼柯斯有限公司
摘要 :
本发明公开了一种灰尘除去装置，其包括：旋转刷，用于除去附于工件的灰尘；工件搬送单元，用于沿着与旋转刷的轴方向交叉的方向搬送工件；刷子旋转单元，使旋转刷以其轴心为中心旋转；以及刷子进退单元，使旋转刷沿其轴方向进退。灰尘除去装置还包括作为刷子旋转单元和刷子进退单元共同的驱动源的电动机。刷子旋转单元具有将电动机的动力传递给旋转刷并作为旋转刷的旋转运动的动力传递单元，刷子进退单元具有将电动机的动力转换为旋转刷的进退运动并传递给旋转刷的动力传递单元。
权利要求 :
1.一种灰尘除去装置，包括：
旋转刷，用于除去附于工件的灰尘；
工件搬送单元，用于沿着与所述旋转刷的轴方向交叉的方向搬送所述工件；
刷子旋转单元，与所述工件搬送单元同步，使所述旋转刷以其轴心为中心旋转；
刷子进退单元，与所述工件搬送单元同步，使所述旋转刷沿其轴方向进退；以及电动机，作为所述刷子旋转单元和所述刷子进退单元共同的驱动源，其中，所述刷子旋转单元具有将所述电动机的动力传递给所述旋转刷作为所述旋转刷的旋转运动的动力传递单元，所述刷子进退单元具有将所述电动机的动力转换为所述旋转刷的进退运动并传递给所述旋转刷的动力传递单元，所述刷子进退单元的动力传递单元具有凸轮机构，
所述凸轮机构包括：凸轮从动件；以及柱状凸轮，所述柱状凸轮具有导向所述凸轮从动件的凸轮部，同时通过所述电动机的动力进行旋转，所述柱状凸轮以与所述旋转刷一体地同轴旋转并且进退的方式连接于所述旋转刷，所述凸轮从动件固定于不动的位置，使得当所述电动机旋转时，在允许所述柱状凸轮旋转的同时将所述柱状凸轮的旋转转换为所述柱状凸轮的进退运动。
2.根据权利要求1所述的灰尘除去装置，还包括：
底座，用于将所述凸轮从动件固定在所述不动的位置；以及旋转轴，用于将所述柱状凸轮与所述旋转刷连接，并且与所述柱状凸轮和所述旋转刷一体地旋转并且进退，其中，所述旋转轴插通所述柱状凸轮的内部并固定于所述柱状凸轮的内部，并且所述旋转轴的从所述柱状凸轮的内部沿轴方向向外侧突出的部分被可旋转地并可进退地支撑在所述底座上。
3.根据权利要求2所述的灰尘除去装置，其中，所述旋转轴包括相互同轴设置的两个旋转轴，并且所述两个旋转轴插通所述柱状凸轮的内部并固定于所述柱状凸轮的内部。
4.根据权利要求1所述的灰尘除去装置，其中，所述凸轮从动件具有销钉状。
5.根据权利要求1所述的灰尘除去装置，其中，所述凸轮部被设定成使得所述柱状凸轮的转数与所述柱状凸轮在进退方向的振幅数相同。
6.根据权利要求1所述的灰尘除去装置，其中，所述柱状凸轮由塑料制成，所述凸轮从动件由金属制成。
7.根据权利要求1所述的灰尘除去装置，其中，所述柱状凸轮和所述凸轮从动件由金属制成。
8.根据权利要求1所述的灰尘除去装置，其中，所述旋转刷被构造成旋转一次就进行一次进退方向的往复运动。
9.根据权利要求1所述的灰尘除去装置，其中，所述旋转刷包括第一端部以及第二端部，其中，用于旋转运动的动力被从所述刷子旋转单元的动力传递单元输入到所述第一端部，用于进退运动的动力被从所述刷子进退单元的动力传递单元输入到所述第二端部。
10.根 据权利要求9所述的灰尘除去装置，其中，所述第一端部和所述第二端部位于所述旋转刷的轴心。
11.根据权利要求1所述的灰尘除去装置，其中，所述电动机具有与所述旋转刷同轴的输出轴。
12.根据权利要求11所述的灰尘除去装置，其中，所述输出轴通过所述刷子旋转单元的动力传递单元连接于所述旋转刷的轴心。
13.根据权利要求11所述的灰尘除去装置，其中，所述刷子旋转单元的动力传递单元包括：连接于所述输出轴的主轴、与所述主轴一体形成的花键凸起、嵌合于所述花键凸起的花键轴、以及将所述花键轴与所述旋转刷连接的联轴器。
14.根据权利要求1所述的灰尘除去装置，其中，所述工件搬送单元沿着与所述旋转刷的轴方向垂直的方向搬送所述工件。
15.根据权利要求1所述的灰尘除去装置，其中，所述旋转刷被构成为能够与所述工件接触。
16.根据权利要求1所述的灰尘除去装置，其中，所述旋转刷具有由导电性纤维构成的植入部分，并且所述植入部分与所述工件的表面旋转接触。
17.根据权利要求1所述的灰尘除去装置，还包括高度调整机构，所述高度调整机构被构造成根据所述工件的厚度来调整所述旋转刷的高度。
18.根据权利要求1所述的灰尘除去装置，其中，所述工件为印刷配线板、液晶玻璃基板、柔性基板、陶瓷基板、塑料板、液晶显示面板、真空盘、透镜、导光板、以及薄膜中的至少一种。
19.根据权利要求1所述的灰尘除去装置，其中，所述工件的整体外形为矩形。
说明书 :
技术领域
本发明涉及一种将附于玻璃基板等工件的灰尘除去的灰尘除去装置。
背景技术
目前，已知有一种灰尘除去装置，其通过将旋转刷与被搬送的工件接触，以刮擦的方式除去附于工件的灰尘(特开2003-334499号公报以及特开2005-211722号公报)。特开2005-211722号公报中记载的灰尘除去装置使旋转刷通过旋转专用电动机围绕其轴心旋转，同时使旋转刷通过进退专用电动机沿其轴方向进退，从而提高灰尘的除去效果。作为使旋转刷进退的机构，使用滑块曲柄机构。
但是，在现有的灰尘除去装置中，滑块曲柄机构的设置空间较大，难以实现小型化。而且，由于设置有用于旋转刷的旋转以及进退的两个专用电动机，从而使得装置整体大型化，并且使得成本增加。
但是，在现有的灰尘除去装置中，滑块曲柄机构的设置空间较大，难以实现小型化。而且，由于设置有用于旋转刷的旋转以及进退的两个专用电动机，从而使得装置整体大型化，并且使得成本增加。
发明内容
本发明的目的在于提供一种灰尘除去装置，其能够有效地进行灰尘的除去，并能够使装置整体小型化以及使成本减少。
本发明的灰尘除去装置包括：旋转刷，用于除去附于工件的灰尘；工件搬送单元，用于沿着与所述旋转刷的轴方向交叉的方向搬送所述工件；刷子旋转单元，与所述工件搬送单元同步，使所述旋转刷以其轴心为中心旋转；刷子进退单元，与所述工件搬送单元同步，使所述旋转刷沿其轴方向进退；以及电动机，作为所述刷子旋转单元和所述刷子进退单元共同的驱动源。其中，所述刷子旋转单元具有将所述电动机的动力传递给所述旋转刷作为所述旋转刷的旋转运动的动力传递单元，所述刷子进退单元具有将所述电动机的动力转换为所述旋转刷的进退运动并传递给所述旋转刷的动力传递单元。
根据这种构成，由于旋转刷的旋转和进退都使用一个电动机，因此与分别设置专用的电动机的情况相比，能够使装置整体小型化并使成本减少。
这里，作为工件的种类，例如包括：印刷配线板、液晶玻璃基板、柔性基板、陶瓷基板、塑料板、液晶显示面板、真空盘、透镜、导光板、薄膜、以及纸等。工件的外形形状可以是矩形，也可以是例如晶片(稍候描述)的圆盘状。
优选地，所述刷子进退单元的动力传递单元具有凸轮机构，所述凸轮机构包括：凸轮从动件；以及柱状凸轮，所述柱状凸轮具有导向所述凸轮从动件的凸轮部，同时通过所述电动机的动力进行旋转。所述柱状凸轮以与所述旋转刷一体地同轴旋转并且进退的方式连接于所述旋转刷。所述凸轮从动件固定于不动的位置，使得当所述电动机旋转时，在允许所述柱状凸轮旋转的同时将所述柱状凸轮的旋转转换为所述柱状凸轮的进退运动。
根据这种构成，当电动机旋转时，旋转刷和柱状凸轮旋转，同时柱状凸轮通过凸轮从动件与旋转刷一体地进退。这样，通过这种简单的机构(例如使用柱状凸轮的凸轮机构)，能够利用单一的电动机进行旋转刷的旋转和进退。而且，凸轮部可以是形成在柱状凸轮的周围表面上的槽，也可以是附于柱状凸轮的周围表面的突起。
优选地，本发明的灰尘除去装置还包括：底座，用于将所述凸轮从动件固定在所述不动的位置；以及旋转轴，用于将所述柱状凸轮与所述旋转刷连接，并且与所述柱状凸轮和所述旋转刷一体地旋转并且进退。所述旋转轴插通所述柱状凸轮的内部并固定于所述柱状凸轮的内部，并且所述旋转轴的从所述柱状凸轮的内部沿轴方向向外侧突出的部分被可旋转地并可进退地支撑在所述底座上。
根据这种构成，通过有效地利用固定凸轮从动件的底座，能够可旋转地并且可进退地支撑旋转轴。而且，通过被支撑的旋转轴，能够可旋转地支撑柱状凸轮。
在这种情况下，优选的是所述旋转轴包括相互同轴设置的两个旋转轴，并且所述两个旋转轴插通所述柱状凸轮的内部并固定于所述柱状凸轮的内部。
根据这种构成，由于旋转轴包括两个旋转轴，从而能够容易组装旋转轴、柱状凸轮、以及旋转刷。而且，由于两个旋转轴固定于柱状凸轮的内部，从而能够有效地利用柱状凸轮作为连接两个旋转轴的联轴器。
优选地，凸轮从动件具有销钉状。优选地，凸轮部被设定成使得所述柱状凸轮的旋转数与所述柱状凸轮在进退方向的振幅数相同。优选地，柱状凸轮由塑料制成，所述凸轮从动件由金属制成。或者，柱状凸轮和所述凸轮从动件由金属制成。
优选地，所述旋转刷被构造成旋转一次就进行一次进退方向的往复运动。优选地，所述旋转刷包括第一端部以及第二端部，其中，用于旋转运动的动力被从所述刷子旋转单元的动力传递单元输入到所述第一端部，用于进退运动的动力被从所述刷子进退单元的动力传递单元输入到所述第二端部。优选地，所述第一端部和所述第二端部位于所述旋转刷的轴心。优选地，所述电动机具有与所述旋转刷同轴的输出轴。优选地，所述输出轴通过所述刷子旋转单元的动力传递单元连接于所述旋转刷的轴心。或者，所述刷子旋转单元的动力传递单元包括：连接于所述输出轴的主轴、与所述主轴一体形成的花键凸起、嵌合于所述花键凸起的花键轴、以及将所述花键轴与所述旋转刷连接的联轴器。
优选地，所述工件搬送单元沿着与所述旋转刷的轴方向垂直的方向搬送所述工件。优选地，所述旋转刷被构成为能够与所述工件接触。优选地，所述旋转刷具有由导电性纤维构成的植入部分，并且所述植入部分与所述工件的表面旋转接触。优选地，本发明的灰尘除去装置还包括高度调整机构，所述高度调整机构被构造成根据所述工件的厚度来调整所述旋转刷的高度。
根据本发明的另一优选实施例，所述刷子进退单元的动力传递单元具有凸轮机构。所述凸轮机构包括：凸轮从动件；以及柱状凸轮，所述柱状凸轮具有导向所述凸轮从动件的凸轮部，同时通过所述电动机的动力进行旋转。所述柱状凸轮的轴方向被设置成与所述旋转刷的轴方向平行。所述凸轮从动件以在所述电动机旋转时与所述旋转刷一体进退的方式连接于所述旋转刷。
根据这种构成，当电动机旋转时，旋转刷和柱状凸轮旋转，通过柱状凸轮的旋转，凸轮从动件(从动结点)与旋转刷一体地并且与旋转刷平行地进行往复运动(进退运动)。这样，通过这种简单的机构(例如使用柱状凸轮的凸轮机构)，能够利用单一的电动机进行旋转刷的旋转和进退。而且，凸轮部可以是形成在柱状凸轮的周围表面上的槽，也可以是附于柱状凸轮的周围表面的突起。
根据达到本发明的另一观点，本发明的灰尘除去装置不仅可以适用于被搬送的工件，而且还可以适用于被旋转的工件。
即，灰尘除去装置包括：旋转刷，用于除去附于圆盘状的工件的表面的灰尘；工件旋转单元，使工件以其轴心为中心旋转；刷子旋转单元，与所述工件旋转单元同步，使所述旋转刷以其轴心为中心旋转；刷子进退单元，与所述工件旋转单元同步，使所述旋转刷沿工件的直径方向进退；以及电动机，作为所述刷子旋转单元和所述刷子进退单元共同的驱动源。所述刷子旋转单元具有将所述电动机的动力传递给所述旋转刷并作为所述旋转刷的旋转运动的动力传递单元。所述刷子进退单元具有将所述电动机的动力转换为所述旋转刷的进退运动并传递给所述旋转刷的动力传递单元。
而且，作为圆盘状的工件，例如包括晶片、CD(光盘)等圆盘介质等。
根据本发明的灰尘除去装置，能够有效地进行灰尘的除去，并且能够使装置整体小型化并使成本减少。
本发明的灰尘除去装置包括：旋转刷，用于除去附于工件的灰尘；工件搬送单元，用于沿着与所述旋转刷的轴方向交叉的方向搬送所述工件；刷子旋转单元，与所述工件搬送单元同步，使所述旋转刷以其轴心为中心旋转；刷子进退单元，与所述工件搬送单元同步，使所述旋转刷沿其轴方向进退；以及电动机，作为所述刷子旋转单元和所述刷子进退单元共同的驱动源。其中，所述刷子旋转单元具有将所述电动机的动力传递给所述旋转刷作为所述旋转刷的旋转运动的动力传递单元，所述刷子进退单元具有将所述电动机的动力转换为所述旋转刷的进退运动并传递给所述旋转刷的动力传递单元。
根据这种构成，由于旋转刷的旋转和进退都使用一个电动机，因此与分别设置专用的电动机的情况相比，能够使装置整体小型化并使成本减少。
这里，作为工件的种类，例如包括：印刷配线板、液晶玻璃基板、柔性基板、陶瓷基板、塑料板、液晶显示面板、真空盘、透镜、导光板、薄膜、以及纸等。工件的外形形状可以是矩形，也可以是例如晶片(稍候描述)的圆盘状。
优选地，所述刷子进退单元的动力传递单元具有凸轮机构，所述凸轮机构包括：凸轮从动件；以及柱状凸轮，所述柱状凸轮具有导向所述凸轮从动件的凸轮部，同时通过所述电动机的动力进行旋转。所述柱状凸轮以与所述旋转刷一体地同轴旋转并且进退的方式连接于所述旋转刷。所述凸轮从动件固定于不动的位置，使得当所述电动机旋转时，在允许所述柱状凸轮旋转的同时将所述柱状凸轮的旋转转换为所述柱状凸轮的进退运动。
根据这种构成，当电动机旋转时，旋转刷和柱状凸轮旋转，同时柱状凸轮通过凸轮从动件与旋转刷一体地进退。这样，通过这种简单的机构(例如使用柱状凸轮的凸轮机构)，能够利用单一的电动机进行旋转刷的旋转和进退。而且，凸轮部可以是形成在柱状凸轮的周围表面上的槽，也可以是附于柱状凸轮的周围表面的突起。
优选地，本发明的灰尘除去装置还包括：底座，用于将所述凸轮从动件固定在所述不动的位置；以及旋转轴，用于将所述柱状凸轮与所述旋转刷连接，并且与所述柱状凸轮和所述旋转刷一体地旋转并且进退。所述旋转轴插通所述柱状凸轮的内部并固定于所述柱状凸轮的内部，并且所述旋转轴的从所述柱状凸轮的内部沿轴方向向外侧突出的部分被可旋转地并可进退地支撑在所述底座上。
根据这种构成，通过有效地利用固定凸轮从动件的底座，能够可旋转地并且可进退地支撑旋转轴。而且，通过被支撑的旋转轴，能够可旋转地支撑柱状凸轮。
在这种情况下，优选的是所述旋转轴包括相互同轴设置的两个旋转轴，并且所述两个旋转轴插通所述柱状凸轮的内部并固定于所述柱状凸轮的内部。
根据这种构成，由于旋转轴包括两个旋转轴，从而能够容易组装旋转轴、柱状凸轮、以及旋转刷。而且，由于两个旋转轴固定于柱状凸轮的内部，从而能够有效地利用柱状凸轮作为连接两个旋转轴的联轴器。
优选地，凸轮从动件具有销钉状。优选地，凸轮部被设定成使得所述柱状凸轮的旋转数与所述柱状凸轮在进退方向的振幅数相同。优选地，柱状凸轮由塑料制成，所述凸轮从动件由金属制成。或者，柱状凸轮和所述凸轮从动件由金属制成。
优选地，所述旋转刷被构造成旋转一次就进行一次进退方向的往复运动。优选地，所述旋转刷包括第一端部以及第二端部，其中，用于旋转运动的动力被从所述刷子旋转单元的动力传递单元输入到所述第一端部，用于进退运动的动力被从所述刷子进退单元的动力传递单元输入到所述第二端部。优选地，所述第一端部和所述第二端部位于所述旋转刷的轴心。优选地，所述电动机具有与所述旋转刷同轴的输出轴。优选地，所述输出轴通过所述刷子旋转单元的动力传递单元连接于所述旋转刷的轴心。或者，所述刷子旋转单元的动力传递单元包括：连接于所述输出轴的主轴、与所述主轴一体形成的花键凸起、嵌合于所述花键凸起的花键轴、以及将所述花键轴与所述旋转刷连接的联轴器。
优选地，所述工件搬送单元沿着与所述旋转刷的轴方向垂直的方向搬送所述工件。优选地，所述旋转刷被构成为能够与所述工件接触。优选地，所述旋转刷具有由导电性纤维构成的植入部分，并且所述植入部分与所述工件的表面旋转接触。优选地，本发明的灰尘除去装置还包括高度调整机构，所述高度调整机构被构造成根据所述工件的厚度来调整所述旋转刷的高度。
根据本发明的另一优选实施例，所述刷子进退单元的动力传递单元具有凸轮机构。所述凸轮机构包括：凸轮从动件；以及柱状凸轮，所述柱状凸轮具有导向所述凸轮从动件的凸轮部，同时通过所述电动机的动力进行旋转。所述柱状凸轮的轴方向被设置成与所述旋转刷的轴方向平行。所述凸轮从动件以在所述电动机旋转时与所述旋转刷一体进退的方式连接于所述旋转刷。
根据这种构成，当电动机旋转时，旋转刷和柱状凸轮旋转，通过柱状凸轮的旋转，凸轮从动件(从动结点)与旋转刷一体地并且与旋转刷平行地进行往复运动(进退运动)。这样，通过这种简单的机构(例如使用柱状凸轮的凸轮机构)，能够利用单一的电动机进行旋转刷的旋转和进退。而且，凸轮部可以是形成在柱状凸轮的周围表面上的槽，也可以是附于柱状凸轮的周围表面的突起。
根据达到本发明的另一观点，本发明的灰尘除去装置不仅可以适用于被搬送的工件，而且还可以适用于被旋转的工件。
即，灰尘除去装置包括：旋转刷，用于除去附于圆盘状的工件的表面的灰尘；工件旋转单元，使工件以其轴心为中心旋转；刷子旋转单元，与所述工件旋转单元同步，使所述旋转刷以其轴心为中心旋转；刷子进退单元，与所述工件旋转单元同步，使所述旋转刷沿工件的直径方向进退；以及电动机，作为所述刷子旋转单元和所述刷子进退单元共同的驱动源。所述刷子旋转单元具有将所述电动机的动力传递给所述旋转刷并作为所述旋转刷的旋转运动的动力传递单元。所述刷子进退单元具有将所述电动机的动力转换为所述旋转刷的进退运动并传递给所述旋转刷的动力传递单元。
而且，作为圆盘状的工件，例如包括晶片、CD(光盘)等圆盘介质等。
根据本发明的灰尘除去装置，能够有效地进行灰尘的除去，并且能够使装置整体小型化并使成本减少。
附图说明
图1是根据第一实施例的灰尘除去装置的正面图；
图2是图1示出的灰尘除去装置的平面图；
图3是图1示出的灰尘除去装置的主要部分的放大的示意性截面图；
图4是与图3相同的示意性截面图，(a)是初期状态的视图，(b)是从初期状态到电动机旋转1/4时的视图，(c)是从初期状态到电动机旋转2/4时的视图，(d)是从初期状态到电动机旋转3/4时的视图；
图5是根据第二实施例的灰尘除去装置的主要部分的放大的示意性截面图；以及
图6是根据第三实施例的灰尘除去装置的主要部分的放大的示意性截面图。
图2是图1示出的灰尘除去装置的平面图；
图3是图1示出的灰尘除去装置的主要部分的放大的示意性截面图；
图4是与图3相同的示意性截面图，(a)是初期状态的视图，(b)是从初期状态到电动机旋转1/4时的视图，(c)是从初期状态到电动机旋转2/4时的视图，(d)是从初期状态到电动机旋转3/4时的视图；
图5是根据第二实施例的灰尘除去装置的主要部分的放大的示意性截面图；以及
图6是根据第三实施例的灰尘除去装置的主要部分的放大的示意性截面图。
具体实施方式
下面参照附图，对根据本发明优选实施例的灰尘除去装置进行说明。该灰尘除去装置通过刷子将附于工件(各种基板)表面(上面)的废物、灰尘、尘土等除去。以下将废物、灰尘、尘土统称为灰尘进行说明。
第一实施例
图1是灰尘除去装置的主要部分的正面图，图2是灰尘除去装置的主要部分的平面图。
灰尘除去装置1在架台(未示出)上具有下底座2，在下底座2的上侧构成了对工件W(基板)进行灰尘除去动作的工件处理区域。
作为工件W的种类，例如包括：印刷配线板、液晶玻璃基板、柔性基板、陶瓷基板、塑料板、液晶显示面板、真空盘、透镜、导光板、薄膜、以及纸等。这里，使用外形为矩形的工件W。
在下底座2上，设置有左右隔开配置的第一支撑架3和第二支撑架4。上底座5在第一支撑架3与第二支撑架4之间的上部上延伸。上底座5具有沿左右方向延伸的主体底座51。右垂直底座52、中央垂直底座53、以及左垂直底座54从主体底座51的下面下垂。右垂直底座52和左垂直底座54可相对于第一支撑架3和第二支撑架4上下滑动。
第一支撑架3和第二支撑架4分别具有安装在上端部的高度调整机构6、6。高度调整机构6、6通过右垂直底座52和左垂直底座54使上底座5沿上下方向移动。这样，能够根据工件W的厚度，调整组装在上底座5上的各种部件(例如，后述的旋转刷11)的上下方向的位置。
在工件处理区域中配置有：旋转刷11，用于除去附于工件W的灰尘；工件搬送单元12，用于沿一个方向搬送工件W；刷子旋转单元13，与工件搬送单元12同步，用于使旋转刷11以其轴心为中心旋转；以及刷子进退单元14，与工件搬送单元12同步，用于使旋转刷11沿其轴方向进退。刷子旋转单元13和刷子进退单元14具有作为共同的驱动源的电动机15。
旋转刷11的轴方向(即，旋转刷11的进退方向)与工件W的搬送方向垂直。但是，这两个方向也可以以90度以外的角度交叉。
通过灰尘除去装置1执行灰尘除去动作，其中对于被搬送的工件W的一部分，使旋转刷11从上侧旋转，同时使该旋转刷11沿轴方向进退。这样，灰尘被从工件W的整个表面除去。而且，在灰尘的除去动作期间，利用吹风机(未示出)对工件W吹入空气，并且吹入的空气与灰尘一起被吸引排出到工件处理区域外。
旋转刷11由所谓的导电刷构成，并且在大致圆柱形的刷子主体的周围表面上植入具有例如数十μm直径的导电性纤维。旋转刷11的植入部分与工件W的表面旋转接触，以刮擦的方式除去附于工件W的灰尘，同时除去工件W的表面的静电。
旋转刷11通过上述高度调整机构6、6对高度(间隙)进行调整，并且能够应对不同厚度的工件W。而且，旋转刷11沿左右方向延长，以便能够应对宽度较宽的工件W。而且，刷子旋转单元13的旋转动力输入到旋转刷11的突起状的右端部41，刷子进退单元14的往复运动的动力输入到旋转刷11的突起状的左端部42。右端部41和左端部42位于旋转刷11的轴心。
工件搬送单元12具有对被搬送的工件W的两侧面进行导向的左右一对导向件34、34。工件搬送单元12包括：一对带式运送机(未示出)，用于支撑工件W的两端下部，同时搬送工件W；以及驱动电动机，用于驱动各个带式运送机。一对带式运送机搬送面对上方的旋转刷11的工件W，使得工件W与旋转刷11接触，同时通过旋转刷。
工件搬送单元12具有工件宽度调整机构，其由设置在下底座2上的前后一对轨道36、36构成。通过工件宽度调整机构，一对带式运送机能够在利用一对导向件34、34导向工件W的同时搬送宽度不同的各种工件W。
电动机15由带有整流器或刷子的DC电动机或步进电动机构成。电动机15的输出轴61与旋转刷11同轴，通过后述的动力传递单元70连接于旋转刷11的轴心。在灰尘除去动作时，电动机15与工件搬送单元12的驱动电动机同步旋转。
电动机15安装于托架63，托架63以贯穿第一支撑架3的方式固定于上底座5的右垂直底座52。因此，当上底座5为了调整间隙而上下移动时，电动机15与旋转刷11一体上下移动。
图3是图1示出的灰尘除去装置1的主要部分的放大的示意性截面图。
刷子旋转单元13具有动力传递单元70，用于将电动机15的动力传递给旋转刷11，作为旋转刷11的旋转运动。
刷子进退单元14具有动力传递单元80，用于将电动机15的动力转换为旋转刷11的进退运动，并传递给旋转刷11。
动力传递单元70由连接于电动机15的输出轴61的主轴72、与主轴72一体形成的花键凸起73、以及嵌合于花键凸起73的花键轴74构成。花键凸起73通过轴承76被上底座5的右垂直底座52可旋转地支撑。花键轴74通过联轴器77连接于旋转刷11的右端部41。
由花键凸起73和花键轴74构成的方形花键通过电动机15的旋转而一体旋转。旋转刷11(被传递有电动机15的旋转力)通过该方形花键而旋转，并允许旋转刷11在旋转期间能够沿轴方向进退。当然，也可以使用滚珠花键来代替方形花键。
动力传递单元80具有包括柱状凸轮81和凸轮从动件82的凸轮机构。在柱状凸轮81的周围表面上形成有导向凸轮从动件82的凸轮槽(凸轮部)83。而且，代替凸轮槽83，也可以在柱状凸轮81的周围表面上设置对凸轮从动件82进行导向的突起。
柱状凸轮81与旋转刷11同轴设置。旋转轴91插通柱状凸轮81的轴心的内部。旋转轴91包括相互同轴设置的两个旋转轴91a、91b，并且两个旋转轴91a、91b固定于柱状凸轮81的内部。即，柱状凸轮81具有联轴器的作用，并且使两个旋转轴91a、91b彼此连接。
旋转轴91a的一端从右侧插入柱状凸轮81的内部并且固定于柱状凸轮81，另一端通过联轴器92连接于旋转刷11的左端部。而且，沿轴方向从柱状凸轮81的内部向外侧延伸的旋转轴91a的中间部通过轴套93被可旋转并可进退地支撑于中央垂直底座53。
旋转轴91b的一端从左侧插入柱状凸轮81的内部并且固定于柱状凸轮81。而且，沿轴方向从柱状凸轮81的内部向外侧延伸的另一端侧的部位通过轴套94被可旋转并可进退地支撑于左垂直底座54。而且，插通轴套94的旋转轴91b的另一端被构造成能够贯通第二支撑架4。
通过这样的结构，旋转轴91(旋转轴91a、91b)使柱状凸轮81与旋转刷11连接，并且与柱状凸轮81和旋转刷11一体地旋转并且进退。如本实施例，旋转轴91由两个旋转轴91a、91b构成，从而旋转轴91、柱状凸轮81、以及旋转刷11组装容易。
具体来说，在柱状凸轮81设置在中央垂直底座53与左垂直底座54之间，并且旋转轴91通过轴套93、94被这些垂直底座53、54支撑的情况下，能够提高操作性。而且，能够提高旋转刷11与旋转轴91通过联轴器92连接时的操作性。而且，中央垂直底座53和左垂直底座54具有用于保持轴套93、94的轴套保持器的作用，并且与主体底座51一体或分开构成。
凸轮从动件82具有销钉状。凸轮从动件82以面向下的方式安装于固定于主体底座51的下面的安装件101。这样，凸轮从动件82固定于不动的位置，以便于电动机15旋转时，凸轮从动件82不移动。当电动机15旋转时，凸轮从动件82沿着凸轮槽83被导向，在允许柱状凸轮81旋转的同时将柱状凸轮81的旋转转换为柱状凸轮81的进退运动。
即，当电动机15旋转时，通过位于固定位置的凸轮从动件82，柱状凸轮81和旋转刷11沿轴方向一体地进退并且旋转。而且，本实施例的凸轮槽83被设定为柱状凸轮81的旋转数与进退方向的振幅数(往复次数)相同，柱状凸轮81和旋转刷11旋转一次就进行一次进退方向的往复运动。
这里，作为柱状凸轮81和凸轮从动件82的材料，可以应用硬质的树脂或各种金属。例如，柱状凸轮81和凸轮从动件82都可以由尼龙等塑料制成，其中一个可以由不锈钢等金属制成。当材料中使用塑料时，能够减小装置的工作声音。但是，从抑制凸轮槽83的磨损的观点来看，柱状凸轮81和凸轮从动件82优选都由不锈钢形成。
图4是与图3相同的示意性截面图，示出了旋转刷11随着时间的进退运动。
在图4(a)示出的初期状态中，当电动机15旋转1/4时，旋转刷11和柱状凸轮81在旋转的同时向左方向前进，向图4(b)示出的位置移动。当电动机15继续旋转1/4时，旋转刷11和柱状凸轮81在旋转的同时向左方向最大限度地前进，向图4(c)示出的位置移动。接着，当电动机15继续旋转1/2时，旋转刷11和柱状凸轮81在旋转的同时开始向右方向前进，经过图4(d)示出的位置之后，向右方向最大限度地前进，并返回到图4(a)示出的位置。
如上所述，根据本实施例的灰尘除去装置1，由于旋转刷11与被搬送来的工件W的表面旋转接触，同时使旋转刷11沿其轴方向进退，因此能够更好地除去附于工件W的灰尘。特别地，旋转刷11的进退数(往复次数)与其旋转数相同，因此能够有效地除去灰尘。
而且，由于能够用一个电动机15进行旋转刷11的旋转和进退，因此与设置有旋转用和进退用的专用电动机的情况相比，能够减少电动机的数量，并且能够减少成本。此外，由于采用具有柱状凸轮81的凸轮机构，因此能够实现用于使旋转刷11进退的简单的机构，并且能够实现设置空间的减小以及装置整体的小型化。
而且，代替本实施例的搬送工件W的结构，可以将工件W以不动的状态设定在预定的位置，并且可以在使旋转刷11相对于工件W进退的同时使旋转刷11沿着与其进退方向垂直的方向移动。在这种情况下，例如，可以设置一体支撑刷子旋转单元13和刷子进退单元14的移动底座，并且与刷子旋转单元13和刷子进退单元14同步，该移动底座可以通过滚珠螺钉驱动等沿一个方向(上述工件W的搬送方向)移动。
第二实施例
下面参照图5，以与第一实施例不同的地方为重点，对根据本发明第二实施例的灰尘除去装置1进行说明。与第一实施例的不同点为改变了刷子进退单元14的动力传递单元80。而且，旋转刷11、工件搬送单元12、刷子旋转单元13、以及电动机15与第一实施例相同，从而标记与第一实施例相同的标号并省略其说明。
动力传递单元80具有包括柱状凸轮121和凸轮从动件122的凸轮机构。在柱状凸轮121的周围表面上形成有导向凸轮从动件122的凸轮槽(凸轮部)123。而且，代替凸轮槽123，也可以在柱状凸轮121的周围表面上设置对凸轮从动件122进行导向的突起。
柱状凸轮121的轴方向与旋转刷11的轴方向平行。支撑轴130插通柱状凸轮121的轴心的内部。支撑轴130被可旋转地保持在中央垂直底座53和左垂直底座54的下侧部分上。用于旋转支撑轴130而输入动力的齿轮140固定于支撑轴130的一端。
驱动齿轮141固定于电动机15的输出轴61。驱动齿轮141通过例如三个齿轮142、143、144组成的齿轮列、传动轴145、以及齿轮146将动力传递给啮合于该齿轮146的齿轮140。通过这样的结构，柱状凸轮121通过电动机15的动力而旋转。
凸轮从动件122通过安装件101安装于进退轴150。进退轴150与旋转刷11同轴放置，并且向左右方向延伸。进退轴150的一端侧的部位通过轴套94被可进退地支撑于左垂直底座54。进退轴150的另一端连接于接头部160。
接头部160将进退轴150与旋转轴170同轴连接，并被构成为阻挡从旋转轴170向进退轴150的旋转力的传递。即，即使旋转轴170旋转，进退轴150也不会旋转。另一方面，在进退轴150向左右方向进退的情况下，旋转轴170与接头部160和进退轴150一体地向左右方向进退。
旋转轴170的一端连接于接头部160，另一端连接于联轴器92。旋转刷11的左端部42连接于联轴器92。而且，旋转轴170的中间部分通过轴套93被可旋转并可进退地支撑于中央垂直底座53。
通过上述结构，当电动机15旋转时，旋转刷11、旋转轴170、以及柱状凸轮121旋转。此时，通过沿着凸轮槽123导向凸轮从动件122，凸轮从动件122和进退轴150向左右方向进退。该进退运动通过接头部160和旋转轴170等传递给旋转刷11。因此，当电动机15旋转时，旋转刷11在旋转的同时与凸轮从动件122一体地进退。
因此，本实施例的灰尘除去装置1能够产生与第一实施例相同的作用和效果。特别地，根据本实施例，通过设定各种齿轮(140、141、142、143、144、146)的齿轮齿数比，能够改变旋转刷11的旋转数与进退方向的振幅数(往复次数)，并能够将两者设定为不同的数。而且，柱状凸轮121和凸轮从动件122的材料可以应用与第一实施例相同的材料。
第三实施例
下面参照图6，以与第一实施例不同的地方为重点，对根据本发明第三实施例的灰尘除去装置1进行说明。本实施例中使用的工件W的外形形状为圆盘状，例如，硅半导体晶片或CD(光盘)等圆盘介质。因此，在第三实施例中具有使工件W围绕其轴心173旋转的工件旋转单元171，来代替第一实施例的工件搬送单元12。而且，工件W和工件旋转单元171以外的其他结构与第一实施例相同，从而标记与第一实施例相同的标号并省略其说明。
工件旋转单元171具有与工件W的中心轴173同轴设置的旋转轴(未示出)、以及安装在旋转轴的前端部的旋转台(未示出)，工件W能够安装在旋转台上。而且，旋转刷11设置在工件旋转单元171的上方，上述刷子旋转单元13和刷子进退单元14连接于旋转刷11。而且，刷子旋转单元13和刷子进退单元14具有作为共同的驱动源的电动机15。
在利用本实施例的灰尘除去装置1进行的灰尘除去动作中，电动机15与利用工件旋转单元171的工件W的旋转同步旋转。这样，相对于旋转中的工件W，旋转刷11以轴心为中心进行旋转的同时沿其轴方向进退，此时，旋转刷11接触工件W，并将附于工件W的表面的灰尘除去。因此，本实施例能够产生与第一实施例相同的作用和效果。
而且，在上述各实施例中，虽然使旋转刷11与工件W的表面直接接触，但是即使在旋转刷11与工件W的表面处于非接触的状态下，即在旋转刷11与工件W的表面之间存在微小的间隙的情况下，也能够通过旋转刷11除去工件W的表面的灰尘。
第一实施例
图1是灰尘除去装置的主要部分的正面图，图2是灰尘除去装置的主要部分的平面图。
灰尘除去装置1在架台(未示出)上具有下底座2，在下底座2的上侧构成了对工件W(基板)进行灰尘除去动作的工件处理区域。
作为工件W的种类，例如包括：印刷配线板、液晶玻璃基板、柔性基板、陶瓷基板、塑料板、液晶显示面板、真空盘、透镜、导光板、薄膜、以及纸等。这里，使用外形为矩形的工件W。
在下底座2上，设置有左右隔开配置的第一支撑架3和第二支撑架4。上底座5在第一支撑架3与第二支撑架4之间的上部上延伸。上底座5具有沿左右方向延伸的主体底座51。右垂直底座52、中央垂直底座53、以及左垂直底座54从主体底座51的下面下垂。右垂直底座52和左垂直底座54可相对于第一支撑架3和第二支撑架4上下滑动。
第一支撑架3和第二支撑架4分别具有安装在上端部的高度调整机构6、6。高度调整机构6、6通过右垂直底座52和左垂直底座54使上底座5沿上下方向移动。这样，能够根据工件W的厚度，调整组装在上底座5上的各种部件(例如，后述的旋转刷11)的上下方向的位置。
在工件处理区域中配置有：旋转刷11，用于除去附于工件W的灰尘；工件搬送单元12，用于沿一个方向搬送工件W；刷子旋转单元13，与工件搬送单元12同步，用于使旋转刷11以其轴心为中心旋转；以及刷子进退单元14，与工件搬送单元12同步，用于使旋转刷11沿其轴方向进退。刷子旋转单元13和刷子进退单元14具有作为共同的驱动源的电动机15。
旋转刷11的轴方向(即，旋转刷11的进退方向)与工件W的搬送方向垂直。但是，这两个方向也可以以90度以外的角度交叉。
通过灰尘除去装置1执行灰尘除去动作，其中对于被搬送的工件W的一部分，使旋转刷11从上侧旋转，同时使该旋转刷11沿轴方向进退。这样，灰尘被从工件W的整个表面除去。而且，在灰尘的除去动作期间，利用吹风机(未示出)对工件W吹入空气，并且吹入的空气与灰尘一起被吸引排出到工件处理区域外。
旋转刷11由所谓的导电刷构成，并且在大致圆柱形的刷子主体的周围表面上植入具有例如数十μm直径的导电性纤维。旋转刷11的植入部分与工件W的表面旋转接触，以刮擦的方式除去附于工件W的灰尘，同时除去工件W的表面的静电。
旋转刷11通过上述高度调整机构6、6对高度(间隙)进行调整，并且能够应对不同厚度的工件W。而且，旋转刷11沿左右方向延长，以便能够应对宽度较宽的工件W。而且，刷子旋转单元13的旋转动力输入到旋转刷11的突起状的右端部41，刷子进退单元14的往复运动的动力输入到旋转刷11的突起状的左端部42。右端部41和左端部42位于旋转刷11的轴心。
工件搬送单元12具有对被搬送的工件W的两侧面进行导向的左右一对导向件34、34。工件搬送单元12包括：一对带式运送机(未示出)，用于支撑工件W的两端下部，同时搬送工件W；以及驱动电动机，用于驱动各个带式运送机。一对带式运送机搬送面对上方的旋转刷11的工件W，使得工件W与旋转刷11接触，同时通过旋转刷。
工件搬送单元12具有工件宽度调整机构，其由设置在下底座2上的前后一对轨道36、36构成。通过工件宽度调整机构，一对带式运送机能够在利用一对导向件34、34导向工件W的同时搬送宽度不同的各种工件W。
电动机15由带有整流器或刷子的DC电动机或步进电动机构成。电动机15的输出轴61与旋转刷11同轴，通过后述的动力传递单元70连接于旋转刷11的轴心。在灰尘除去动作时，电动机15与工件搬送单元12的驱动电动机同步旋转。
电动机15安装于托架63，托架63以贯穿第一支撑架3的方式固定于上底座5的右垂直底座52。因此，当上底座5为了调整间隙而上下移动时，电动机15与旋转刷11一体上下移动。
图3是图1示出的灰尘除去装置1的主要部分的放大的示意性截面图。
刷子旋转单元13具有动力传递单元70，用于将电动机15的动力传递给旋转刷11，作为旋转刷11的旋转运动。
刷子进退单元14具有动力传递单元80，用于将电动机15的动力转换为旋转刷11的进退运动，并传递给旋转刷11。
动力传递单元70由连接于电动机15的输出轴61的主轴72、与主轴72一体形成的花键凸起73、以及嵌合于花键凸起73的花键轴74构成。花键凸起73通过轴承76被上底座5的右垂直底座52可旋转地支撑。花键轴74通过联轴器77连接于旋转刷11的右端部41。
由花键凸起73和花键轴74构成的方形花键通过电动机15的旋转而一体旋转。旋转刷11(被传递有电动机15的旋转力)通过该方形花键而旋转，并允许旋转刷11在旋转期间能够沿轴方向进退。当然，也可以使用滚珠花键来代替方形花键。
动力传递单元80具有包括柱状凸轮81和凸轮从动件82的凸轮机构。在柱状凸轮81的周围表面上形成有导向凸轮从动件82的凸轮槽(凸轮部)83。而且，代替凸轮槽83，也可以在柱状凸轮81的周围表面上设置对凸轮从动件82进行导向的突起。
柱状凸轮81与旋转刷11同轴设置。旋转轴91插通柱状凸轮81的轴心的内部。旋转轴91包括相互同轴设置的两个旋转轴91a、91b，并且两个旋转轴91a、91b固定于柱状凸轮81的内部。即，柱状凸轮81具有联轴器的作用，并且使两个旋转轴91a、91b彼此连接。
旋转轴91a的一端从右侧插入柱状凸轮81的内部并且固定于柱状凸轮81，另一端通过联轴器92连接于旋转刷11的左端部。而且，沿轴方向从柱状凸轮81的内部向外侧延伸的旋转轴91a的中间部通过轴套93被可旋转并可进退地支撑于中央垂直底座53。
旋转轴91b的一端从左侧插入柱状凸轮81的内部并且固定于柱状凸轮81。而且，沿轴方向从柱状凸轮81的内部向外侧延伸的另一端侧的部位通过轴套94被可旋转并可进退地支撑于左垂直底座54。而且，插通轴套94的旋转轴91b的另一端被构造成能够贯通第二支撑架4。
通过这样的结构，旋转轴91(旋转轴91a、91b)使柱状凸轮81与旋转刷11连接，并且与柱状凸轮81和旋转刷11一体地旋转并且进退。如本实施例，旋转轴91由两个旋转轴91a、91b构成，从而旋转轴91、柱状凸轮81、以及旋转刷11组装容易。
具体来说，在柱状凸轮81设置在中央垂直底座53与左垂直底座54之间，并且旋转轴91通过轴套93、94被这些垂直底座53、54支撑的情况下，能够提高操作性。而且，能够提高旋转刷11与旋转轴91通过联轴器92连接时的操作性。而且，中央垂直底座53和左垂直底座54具有用于保持轴套93、94的轴套保持器的作用，并且与主体底座51一体或分开构成。
凸轮从动件82具有销钉状。凸轮从动件82以面向下的方式安装于固定于主体底座51的下面的安装件101。这样，凸轮从动件82固定于不动的位置，以便于电动机15旋转时，凸轮从动件82不移动。当电动机15旋转时，凸轮从动件82沿着凸轮槽83被导向，在允许柱状凸轮81旋转的同时将柱状凸轮81的旋转转换为柱状凸轮81的进退运动。
即，当电动机15旋转时，通过位于固定位置的凸轮从动件82，柱状凸轮81和旋转刷11沿轴方向一体地进退并且旋转。而且，本实施例的凸轮槽83被设定为柱状凸轮81的旋转数与进退方向的振幅数(往复次数)相同，柱状凸轮81和旋转刷11旋转一次就进行一次进退方向的往复运动。
这里，作为柱状凸轮81和凸轮从动件82的材料，可以应用硬质的树脂或各种金属。例如，柱状凸轮81和凸轮从动件82都可以由尼龙等塑料制成，其中一个可以由不锈钢等金属制成。当材料中使用塑料时，能够减小装置的工作声音。但是，从抑制凸轮槽83的磨损的观点来看，柱状凸轮81和凸轮从动件82优选都由不锈钢形成。
图4是与图3相同的示意性截面图，示出了旋转刷11随着时间的进退运动。
在图4(a)示出的初期状态中，当电动机15旋转1/4时，旋转刷11和柱状凸轮81在旋转的同时向左方向前进，向图4(b)示出的位置移动。当电动机15继续旋转1/4时，旋转刷11和柱状凸轮81在旋转的同时向左方向最大限度地前进，向图4(c)示出的位置移动。接着，当电动机15继续旋转1/2时，旋转刷11和柱状凸轮81在旋转的同时开始向右方向前进，经过图4(d)示出的位置之后，向右方向最大限度地前进，并返回到图4(a)示出的位置。
如上所述，根据本实施例的灰尘除去装置1，由于旋转刷11与被搬送来的工件W的表面旋转接触，同时使旋转刷11沿其轴方向进退，因此能够更好地除去附于工件W的灰尘。特别地，旋转刷11的进退数(往复次数)与其旋转数相同，因此能够有效地除去灰尘。
而且，由于能够用一个电动机15进行旋转刷11的旋转和进退，因此与设置有旋转用和进退用的专用电动机的情况相比，能够减少电动机的数量，并且能够减少成本。此外，由于采用具有柱状凸轮81的凸轮机构，因此能够实现用于使旋转刷11进退的简单的机构，并且能够实现设置空间的减小以及装置整体的小型化。
而且，代替本实施例的搬送工件W的结构，可以将工件W以不动的状态设定在预定的位置，并且可以在使旋转刷11相对于工件W进退的同时使旋转刷11沿着与其进退方向垂直的方向移动。在这种情况下，例如，可以设置一体支撑刷子旋转单元13和刷子进退单元14的移动底座，并且与刷子旋转单元13和刷子进退单元14同步，该移动底座可以通过滚珠螺钉驱动等沿一个方向(上述工件W的搬送方向)移动。
第二实施例
下面参照图5，以与第一实施例不同的地方为重点，对根据本发明第二实施例的灰尘除去装置1进行说明。与第一实施例的不同点为改变了刷子进退单元14的动力传递单元80。而且，旋转刷11、工件搬送单元12、刷子旋转单元13、以及电动机15与第一实施例相同，从而标记与第一实施例相同的标号并省略其说明。
动力传递单元80具有包括柱状凸轮121和凸轮从动件122的凸轮机构。在柱状凸轮121的周围表面上形成有导向凸轮从动件122的凸轮槽(凸轮部)123。而且，代替凸轮槽123，也可以在柱状凸轮121的周围表面上设置对凸轮从动件122进行导向的突起。
柱状凸轮121的轴方向与旋转刷11的轴方向平行。支撑轴130插通柱状凸轮121的轴心的内部。支撑轴130被可旋转地保持在中央垂直底座53和左垂直底座54的下侧部分上。用于旋转支撑轴130而输入动力的齿轮140固定于支撑轴130的一端。
驱动齿轮141固定于电动机15的输出轴61。驱动齿轮141通过例如三个齿轮142、143、144组成的齿轮列、传动轴145、以及齿轮146将动力传递给啮合于该齿轮146的齿轮140。通过这样的结构，柱状凸轮121通过电动机15的动力而旋转。
凸轮从动件122通过安装件101安装于进退轴150。进退轴150与旋转刷11同轴放置，并且向左右方向延伸。进退轴150的一端侧的部位通过轴套94被可进退地支撑于左垂直底座54。进退轴150的另一端连接于接头部160。
接头部160将进退轴150与旋转轴170同轴连接，并被构成为阻挡从旋转轴170向进退轴150的旋转力的传递。即，即使旋转轴170旋转，进退轴150也不会旋转。另一方面，在进退轴150向左右方向进退的情况下，旋转轴170与接头部160和进退轴150一体地向左右方向进退。
旋转轴170的一端连接于接头部160，另一端连接于联轴器92。旋转刷11的左端部42连接于联轴器92。而且，旋转轴170的中间部分通过轴套93被可旋转并可进退地支撑于中央垂直底座53。
通过上述结构，当电动机15旋转时，旋转刷11、旋转轴170、以及柱状凸轮121旋转。此时，通过沿着凸轮槽123导向凸轮从动件122，凸轮从动件122和进退轴150向左右方向进退。该进退运动通过接头部160和旋转轴170等传递给旋转刷11。因此，当电动机15旋转时，旋转刷11在旋转的同时与凸轮从动件122一体地进退。
因此，本实施例的灰尘除去装置1能够产生与第一实施例相同的作用和效果。特别地，根据本实施例，通过设定各种齿轮(140、141、142、143、144、146)的齿轮齿数比，能够改变旋转刷11的旋转数与进退方向的振幅数(往复次数)，并能够将两者设定为不同的数。而且，柱状凸轮121和凸轮从动件122的材料可以应用与第一实施例相同的材料。
第三实施例
下面参照图6，以与第一实施例不同的地方为重点，对根据本发明第三实施例的灰尘除去装置1进行说明。本实施例中使用的工件W的外形形状为圆盘状，例如，硅半导体晶片或CD(光盘)等圆盘介质。因此，在第三实施例中具有使工件W围绕其轴心173旋转的工件旋转单元171，来代替第一实施例的工件搬送单元12。而且，工件W和工件旋转单元171以外的其他结构与第一实施例相同，从而标记与第一实施例相同的标号并省略其说明。
工件旋转单元171具有与工件W的中心轴173同轴设置的旋转轴(未示出)、以及安装在旋转轴的前端部的旋转台(未示出)，工件W能够安装在旋转台上。而且，旋转刷11设置在工件旋转单元171的上方，上述刷子旋转单元13和刷子进退单元14连接于旋转刷11。而且，刷子旋转单元13和刷子进退单元14具有作为共同的驱动源的电动机15。
在利用本实施例的灰尘除去装置1进行的灰尘除去动作中，电动机15与利用工件旋转单元171的工件W的旋转同步旋转。这样，相对于旋转中的工件W，旋转刷11以轴心为中心进行旋转的同时沿其轴方向进退，此时，旋转刷11接触工件W，并将附于工件W的表面的灰尘除去。因此，本实施例能够产生与第一实施例相同的作用和效果。
而且，在上述各实施例中，虽然使旋转刷11与工件W的表面直接接触，但是即使在旋转刷11与工件W的表面处于非接触的状态下，即在旋转刷11与工件W的表面之间存在微小的间隙的情况下，也能够通过旋转刷11除去工件W的表面的灰尘。