配合结构

摘要

保持器(7)的接合部分(7a)与金属垫片(6)接合，垫片(6)容纳在管状部分(7b)中，并且管状部分(7b)装配在连接管(1a)的台阶(5a)中。然后，另一连接管(1b)靠近并面对连接管(1a)设置，连接管(1a)通过保持器(7)保持垫片(6)，中心环(9)安装成围绕凸缘(2a，2b)的外周。随后，具有限定两侧的斜面(3a，3b)的梯形部分插入槽(14)中，分段(10a-10c)相互靠近形成环形。穿过分段(10a)的切口(12)的螺栓(11)拧入分段(10c)的螺纹孔(13)中。螺栓的拧入导致具有限定两侧的斜面(3a，3b)的梯形部分插入槽(14)的插入量增加。结果，凸缘(2a，2b)之间的距离减小，并且凸起(4a，4b)对垫片(6)的两侧的接触压力增加。

权利要求

1.一种用于连接一对连接管的配合结构，每个所述连接管具有凸缘，所述凸缘在引导端部分设置有环形凸起，所述配合结构包括：平坦的环形金属垫片，在所述一对连接管的所述凸缘彼此相对的状态下，所述金属垫片从两侧被每个凸起挤压；

保持器，所述保持器具有与所述金属垫片的至少一部分接合的接合部分，并且被所述连接管中的一个保持；

中心环，在所述一对连接管的所述凸缘横过所述金属垫片彼此相对的状态下，所述中心环能够安装成围绕所述两个凸缘的外周；和夹紧环，所述夹紧环包括多个分段，所述多个分段依次设置并且连接成相邻的分段彼此枢转地附接，用于当定位在所述多个分段的一端处的分段与定位在另一端处的分段通过紧固构件彼此固定时，通过所有所述分段来限定环形，以便覆盖和保持横过所述金属垫片彼此相对的所述凸缘的整个外周，所述配合结构的特征在于：

所述每个凸缘具有斜面，所述斜面分别从所述每个凸缘的外周朝与所述引导端相对的一侧向下倾斜，并且所述夹紧环的每个所述分段在内周上具有与所述每个凸缘的所述斜面分别对应的对应斜面。

2.根据权利要求1的配合结构，其中在所述夹紧环限定环形以便覆盖和保持横过所述金属垫片彼此相对的所述凸缘的整个外周的状态下，当所述紧固构件使一端处的所述分段与另一端处的所述分段彼此更靠近时，所述夹紧环的每个所述分段在径向方向上朝内移动，用于使所述凸缘彼此更紧密地保持，同时所述每个对应斜面沿所述每个凸缘的所述每个斜面滑动。

3.一种用于连接连接管的配合结构，所述配合结构包括：

配合主体，所述配合主体在其引导端部分整体地设置有配合主体侧凸缘构件，并且所述配合主体在其内周上具有插入部分，所述连接管从引导端侧插入所述插入部分中；

连接管侧凸缘构件，所述连接管侧凸缘构件设置在所述连接管的外周上；

套圈，所述套圈保持在所述连接管的外周上；

中心环，在所述连接管侧凸缘构件的引导端与所述配合主体侧凸缘构件的引导端相对的状态下，所述中心环能够安装成围绕所述两种凸缘构件的外周；

夹紧环，所述夹紧环包括多个分段，所述多个分段依次设置并且连接成相邻的分段彼此枢转地附接，用于当定位在所述多个分段的一端处的分段与定位在另一端处的分段通过紧固构件彼此固定时，通过所有所述分段来限定环形，以便覆盖和保持具有彼此相对的引导端的所述凸缘构件的整个外周，所述配合结构的特征在于：

所述每个凸缘构件具有斜面，所述斜面从所述每个凸缘的外周朝与所述引导端相对的一侧向下倾斜，所述夹紧环的每个所述分段在内周上具有与所述每个凸缘构件的所述斜面分别对应的对应斜面，并且所述套圈从所述连接管侧凸缘构件的引导端部分的内周延伸到所述配合主体侧凸缘构件的引导端部分的内周。

4.根据权利要求3的配合结构，其中另一连接管从所述配合主体的与所述配合主体侧凸缘构件相对的一侧插入，并且所述连接管通过所述配合主体的内部空间连接到所述另一连接管。

5.一种用于连接一对连接管的配合结构，所述配合结构包括：

配合主体，所述配合主体在两端部分整体地设置有配合主体侧凸缘构件，并且所述配合主体在内周上具有一对插入部分，用于从两侧插入所述一对连接管；

一对连接管侧凸缘构件，所述一对连接管侧凸缘构件分别设置在所述一对连接管的外周上；

一对套圈，所述一对套圈分别保持在所述连接管的外周上；

一对中心环，所述一对中心环分别设置在所述配合主体的两端部分，并且在所述每个连接管侧凸缘构件的引导端与所述每个配合主体侧凸缘构件的引导端相对的状态下，所述中心环能够安装成围绕所述两个凸缘构件的外周；和一对夹紧环，每个所述夹紧环包括多个分段，所述多个分段依次设置并且连接成相邻的分段彼此枢转地附接，用于当定位在所述多个分段的一端处的分段与定位在另一端处的分段通过紧固构件彼此固定时，通过所有所述分段来限定环形，以便覆盖和保持具有彼此相对的引导端的所述凸缘构件的整个外周，所述配合结构的特征在于：

所述每个凸缘构件具有斜面，所述斜面分别从所述每个凸缘构件的外周朝与所述引导端相对的一侧向下倾斜，所述夹紧环的每个所述分段在内周上具有与所述每个凸缘构件的所述斜面分别对应的对应斜面，所述套圈从所述连接管侧凸缘构件的引导端部分的内周延伸到所述配合主体侧凸缘构件的引导端部分的内周，并且分别在所述配合主体的两端部分建立连接结构，用于通过所述配合主体侧凸缘构件和所述连接管侧凸缘构件来连接所述连接管和所述配合主体，在所述配合主体侧凸缘构件的引导端和所述连接管侧凸缘构件的引导端彼此相对的状态下，所述配合主体侧凸缘构件和所述连接管侧凸缘构件通过所述中心环和所述夹紧环保持，因而使得所述一对连接管通过所述配合主体的内部空间被连接。

6.根据权利要求3-5中任一项的配合结构，其中所述套圈包括前套圈和后套圈，所述前套圈具有用于与所述配合主体侧凸缘构件的内周上的切口面接合的第一接合面和具有定位在与所述第一接合面相对的一侧上的第二接合面，所述后套圈具有用于与所述连接管侧凸缘构件的内周上的切口面接合的第一接合面和具有定位在与所述第一接合面相对的一侧上的第二接合面，所述后套圈的第二接合面能够与所述前套圈的所述第二接合面紧密结合。

7.根据权利要求6的配合结构，其中：

当从所述后套圈观看时，所述前套圈的所述第二接合面和所述后套圈的所述第二接合面相对于所述连接管的纵向方向所形成的角度大于所述前套圈的所述第一接合面和所述配合主体侧凸缘构件的内周上的所述切口面相对于所述连接管的纵向方向所形成的角度，并且当从所述后套圈观看时，所述后套圈的所述第一接合面和所述连接管侧凸缘构件的内周上的所述切口面相对于所述连接管的纵向方向形成钝角。

8.根据权利要求3-5中任一项的配合结构，其中在所述夹紧环限定环形以便覆盖和保持彼此相对的所述凸缘构件的所述每个引导端部分的整个外周的状态下，当所述紧固构件使一端处的所述分段与另一端处的所述分段彼此更靠近时，所述夹紧环的每个所述分段在径向方向上朝内移动，同时所述每个对应斜面沿所述每个凸缘构件的所述每个斜面滑动，以使得所述凸缘构件的引导端彼此更靠近，从而通过所述套圈来提高密封的气密性。

9.根据权利要求1-5中任一项的配合结构，其中所述紧固构件是螺栓，用于将一端处的所述分段拧接到另一端处的所述分段上，并且当所述螺栓更深地拧入时所述紧固构件能够使前述两个分段彼此更靠近。

10.根据权利要求9的配合结构，其中所述螺栓的头部分和所述分段中的用于接合所述螺栓的所述头部分的分段具有相应的接触部分，所述相应的接触部分形成为球形。

11.根据权利要求1-5中任一项的配合结构，其中所述紧固构件是有眼螺栓，所述有眼螺栓包括：止动部分，所述止动部分附接到定位在所述夹紧环的每侧的两个分段中的一个上；螺纹部分，所述螺纹部分从所述止动部分延伸；和螺母，所述螺母与所述螺纹部分啮合并且与定位在所述夹紧环的每侧的所述两个分段中的另一个接合，其中当所述螺纹部分更深地拧入所述螺母时，与所述螺母接合的所述分段能够更靠近止动部分附接的所述分段。

12.根据权利要求11的配合结构，其中分段中的所述另一个分段和所述螺母具有相应的接触面，所述相应的接触面形成为球形。

说明书

配合结构

技术领域

[0001] 本发明涉及一种用于连接管的连接的配合结构(fittingstructure)。 背景技术

[0002] 在半导体制造设备、通常的工业机器等中，包括连接管的导管构造用于传送空气、纯净水、调节温度的冷却水或热水、有机化学液体等流体。这种导管构造包括使连接管与另一构件连接的配合结构，例如，另一个连接管、或设备的壳的流体入口/出口。 [0003] 传统上，例如，作为使一对连接管彼此连接的配合结构，在一种构造中，相应连接管的端面保持成彼此紧密接触。在该情况下，橡胶O型圈插入两个端面之间用于提高气密性。每个端面形成有槽用于保持O型圈。这样，在一些情况中凸缘分别形成在相应连接管的端面上。

[0004] 然而，今年来，例如，在半导体制造设备中，即使在供应气体到反应室的气体供应部分中的流体中混入微量杂质或者即使小的压力波动，可能会导致不能使用的无效产品的故障。因此，设置在该位置的导管构造需要比以前更高等级的气密性。如上所述，包括O型圈的构造难以实现很高的气密性，由于O型圈的材料本质上是橡胶，由于橡胶更容易随时间可靠性降低。此外，无人可以否认流动气体和橡胶的化学反应会导致特性变化。 [0005] 因此，日本专利公开的审查专利申请No.62756/90提出一种用于把金属垫片夹持在连接管(配合的元件)的端面中间的构造，而不是O型圈。在该构造中，每个端面设置有环形密封条(凸起)，从而使得这些密封条分别与垫片的两侧接触。此外，该构造采用连接螺母，其包括与一个连接管的外周上的阳螺纹啮合的阴螺纹，并且包括与另一个连接管接合的接合部分。通过把连接螺母的阳螺纹深深地拧入连接管的阴螺纹中，两个端面上的相应密封条从两侧强力地挤压垫片以便实现高气密性。

[0006] 此外，在一些情况中可使用不锈钢等金属制连接管和不锈钢等金属制配合结构。作为金属制配合结构，已经使用双套圈型配合结构(请参见Swagelok公司于2004年8月公开的“(Gaugeable)Tube Fittings andAdapter Fittings”的说明书)或单套圈型配合TM
结构(请参见ParkerHannifin公司于2000年2月公开的“CPI Tube Fittings catalog
4230revised in February 2000”)。

[0007] 如图1所示，在Swagelok公司的产品说明的构造中，其是双套圈型，包括：配合主体44，该配合主体44的外周上具有阳螺纹41并且内周上具有用于金属连接管42的插入部分43；螺母47，该螺母47具有与配合主体44的阳螺纹41啮合的阴螺纹46；和设置在由配合主体44的末端部分的内周和螺母47的末端部分的内周限定的空间内的前套圈45和后套圈48。前套圈45的第一接合面45a与设置在配合主体44的末端部分的内部的切口面44a接合。后套圈48的第一接合面48a与设置在螺母47的末端部分的内部的切口面47a接合。然后，前套圈45的第二接合面45b和后套圈48的第二接合面48b彼此接合。 [0008] 因此，连接管42插入配合主体44的插入部分43中，并且阳螺纹41与阴螺纹46啮合，同时定位在连接管42的外周上的螺母47朝配合主体44移动。在该情况下，当螺母
47朝配合主体44移动时，前套圈45靠近后套圈48，从而使得它们彼此紧密接触。然后，后套圈48的第二接合面48b的末端部分挤压进和钻进连接管42的外周表面中。这样，后套圈48的末端部分把连接管42保持成钻进连接管42的外周面中。

[0009] 尽管未图示，Parker Hannifin公司的产品说明书也公开一种配合结构，其包括单套圈，该单套圈具有与设置在配合主体的末端部分的内部的切口面接合的接合面和与设置在螺母的末端部分的内部的切口面接合的接合面，其中，每个接合面的末端部分挤压在连接管的外周上并钻进连接管的外周中。

[0010] 因此，在上述任一构造中，在使用例如两个扳手等工具固定另一个的同时，配合主体44或螺母47中的任一个旋转，从而使配合主体44的阳螺纹41与螺母47的阴螺纹46啮合。

发明内容

[0011] 在日本专利公开的审查专利申请No.62756/90所公开的构造中，通过一个连接管的阳螺纹深深地拧入连接螺母的阴螺纹中来实现高气密性，其中在拧入期间，由于摩擦力，另一连接管也随连接螺母一起旋转。在该情况下，旋转连接管的密封条和与密封条接触并挤压的垫片之间产生摩擦，导致金属粒子浮起。这些粒子变成杂质被引导到流动气体中。此外，不仅出现粒子，而且连接管的旋转损坏密封表面，导致泄漏增加。

[0012] 即使装配完成时不产生粒子或完成组装后立刻去除粒子，但是在长期使用过程中仍会出现粒子。具体地，如上所述，当另一连接管随连接螺母一起旋转时，另一连接管的引导端部分可保持扭曲状态。在该情况下，由于排挤力，连接管能够在消除扭曲状态的方向上逐渐移动。可选地，由于温度波动导致连接管的膨胀或收缩会使一对连接管彼此紧固的紧固力减小，连接管会在消除扭曲状态的方向上移动。结果，密封条和垫片之间出现摩擦，可能导致金属粒子浮起。此外，除了出现这些粒子，一对连接管彼此紧固的紧固力被减小，因此保持力被减小，这容易导致泄漏。

[0013] 如上所述，根据日本专利公开的审查专利申请No.62756/90的构造，尽管能够实现配合结构相对于外部的高气密性，但是在配合结构的内部会产生金属粒子，这些粒子构成杂质，能够被引导进流通过配合结构的流体中。具体地，当该配合结构用于半导体制造设备的气体供应部分中时，在密封条和金属垫片之间引入的摩擦导致的作为杂质的粒子会导致严重问题，这会使理想的半导体发生故障。

[0014] 另一方面，在Swagelok公司的产品说明公开的双套圈型配合结构中，前套圈45与后套圈48紧密接触，从而通过把配合主体44的阳螺纹深深地拧入螺母47的阴螺纹46中来密封，因而实现高气密性。相似地，在Parker Hannifin公司的产品说明公开的单套圈型配合结构中，通过把配合主体的阳螺纹深深地拧入螺母的阴螺纹中，来使套圈的两端部分强力地钻进连接管的外周中，因而实现高气密性。因此，阳螺纹需要充分地拧入阴螺纹中，即需要充分数量的旋转以便使两个螺纹41，46充分地紧固，以便实现高气密性。 [0015] 然而，在拧入期间，对于前述情况，由于摩擦力，定位在螺母47的 内周侧上的连接管42随螺母47一起旋转，从而使得连接管42的引导端部分在一些情况中保持扭曲状态。在该情况下，就不能进行充分数量的旋转以便使两个螺纹41，46充分地紧固，导致螺母47与配合主体44的连接的气密性不够，并且导致泄漏可能性高。

[0016] 当不能保证充分地紧固螺纹41，46的旋转数量，希望相对地旋转配合主体44和螺母47直至达到紧固用的预定数量的旋转，但是有时，没有用于操作工具的充分空间，例如用于紧固的扳手的空间。具体地，在通过把配合主体44的阳螺纹41拧入螺母47的阴螺纹46中，已经完成配合结构的状态下，在配合结构的周围不能获得充分宽的空间，而是，各种构件，包括常出现的导管、设备的壳的一部分等。此外，半导体制造设备等可设置有多个导管构造，其中前述配合结构可包括在相应导管中。在该情况下，操作员难以自由使用扳手等工具。具体地，在图1所示的构造中，需要使用两个扳手，即，一个扳手用于固定配合主体44从而使得配合主体44不旋转，另一个扳手用于旋转螺母47。此外，优选地，在操作期间为扳手确保大的行程，以便施加相对大的力，用于有效和可靠地紧固。在该情况下，除非配合结构的周围存在充分自由的空间，否则操作员在使用两个扳手的操作中会经历很多困难，可能导致不能提供充分的紧固力。此外，当已经完成紧固后紧固松开时，再紧固操作特别困难。

[0017] 本发明的一个目的是提供一种配合结构，其能够防止连接管保持成扭曲状态，与采用金属垫片的构造相比能够使连接管以高气密性和高可靠性地连接，并且不会导致在内部出现金属粒子。

[0018] 本发明的一方面，提供一种用于连接一对连接管的配合结构，每个所述连接管具有凸缘，所述凸缘在一个引导端部分设置有环形凸起，所述配合结构包括： [0019] 平坦的环形金属垫片，在所述一对连接管的所述凸缘彼此相对的状态下，所述金属垫片从两侧被每个凸起挤压；

[0020] 保持器，所述保持器具有与所述金属垫片的至少一部分接合的接合部分，并且被所述连接管中的一个保持；

[0021] 中心环，在所述一对连接管的所述凸缘横过所述金属垫片彼此相对的状态下，所述中心环能够安装成围绕所述凸缘的外周；和

[0022] 夹紧环，所述夹紧环包括多个分段，所述多个分段依次设置并且连接成相邻的分段彼此枢转地附接，用于当定位在所述多个分段的一端处的分段与定位在另一端处的分段通过紧固构件彼此固定时，通过所有所述分段来限定环形，以便覆盖和保持横过所述金属垫片彼此相对的所述凸缘的整个外周，其中，

[0023] 所述每个凸缘具有斜面，所述斜面分别从所述每个凸缘的外周朝与所述引导端相对的一侧向下倾斜，并且

[0024] 所述夹紧环的每个所述分段的内周上具有与所述每个凸缘的所述斜面分别对应的对应斜面。

[0025] 在所述夹紧环限定环形以便覆盖和保持横过所述金属垫片彼此相对的所述凸缘的整个外周的状态下，当所述紧固构件使一端处的所述分段与另一端处的所述分段彼此更靠近时，所述夹紧环的每个所述分段在径向方向上朝内移动，用于使所述凸缘彼此更紧密地保持，同时所述每个对应斜面沿所述每个凸缘的所述每个斜面滑动。

[0026] 根据该构造，因为使用金属垫片密封而不是橡胶O型圈，因此气密性高，此外，由于组装期间连接管不扭曲，连接管的凸起和金属垫片之间不产生摩擦，因而消除了产生粒子的可能。

[0027] 根据本发明的另一方面，提供一种用于连接连接管的配合结构，所述配合结构包括：

[0028] 配合主体，所述配合主体在其引导端部分整体地设置有配合主体侧凸缘构件，并且所述配合主体在其内周上具有插入部分，所述连接管从引导端侧插入所述插入部分中； [0029] 连接管侧凸缘构件，所述连接管侧凸缘构件设置在所述连接管的外周上； [0030] 套圈，所述套圈保持在所述连接管的外周上；

[0031] 中心环，在所述连接管侧凸缘构件的引导端与所述配合主体侧凸缘构件的引导端相对的状态下，所述中心环能够安装成围绕所述凸缘构件的外周；

[0032] 夹紧环，所述夹紧环包括多个分段，所述多个分段依次设置并且连接成相邻的分段彼此枢转地附接，用于当定位在所述多个分段的一端处的分 段与定位在另一端处的分段通过紧固构件彼此固定时，通过所有所述分段来限定环形，以便覆盖和保持具有彼此相对的引导端的所述凸缘构件的整个外周，其中，

[0033] 所述每个凸缘构件具有斜面，所述斜面从所述每个凸缘的外周朝与所述引导端相对的一侧向下倾斜，其中

[0034] 所述夹紧环的每个所述分段的内周上具有与所述每个凸缘构件的所述斜面分别对应的对应斜面，并且其中

[0035] 所述套圈从所述连接管侧凸缘构件的引导端部分的内周延伸向所述配合主体侧凸缘构件的引导端部分的内周。

[0036] 在该情况下，另一连接管可从所述配合主体的与所述配合主体侧凸缘构件相对的一侧插入，并且所述连接管通过所述配合主体的内部空间连接到所述另一连接管。 [0037] 根据本发明的另一方面，提供一种用于连接一对连接管的配合结构，所述配合结构包括：

[0038] 配合主体，所述配合主体在两端部分整体地设置有配合主体侧凸缘构件，并且所述配合主体在内周上具有一对插入部分，用于从两侧插入所述一对连接管； [0039] 一对连接管侧凸缘构件，所述一对连接管侧凸缘构件分别设置在所述一对连接管的外周上；

[0040] 一对套圈，所述一对套圈分别保持在所述连接管的外周上；

[0041] 一对中心环，所述一对中心环分别设置在所述配合主体的两端部分，并且在所述每个连接管侧凸缘构件的引导端与所述每个配合主体侧凸缘构件的引导端相对的状态下，所述中心环能够安装成围绕所述凸缘构件的外周；和

[0042] 一对夹紧环，每个所述夹紧环包括多个分段，所述多个分段依次设置并且连接成相邻的分段彼此枢转地附接，用于当定位在所述多个分段的一端处的分段与定位在另一端处的分段通过紧固构件彼此固定时，通过所有所述分段来限定环形，以便覆盖和保持具有彼此相对的引导端的所述凸缘构件的整个外周，其中

[0043] 所述每个凸缘构件具有斜面，所述斜面分别从所述每个凸缘构件的外 周朝与所述引导端相对的一侧向下倾斜，其中

[0044] 所述夹紧环的每个所述分段的内周上具有与所述每个凸缘构件的所述斜面分别对应的对应斜面，其中

[0045] 所述套圈从所述连接管侧凸缘构件的引导端部分的内周延伸向所述配合主体侧凸缘构件的引导端部分的内周，并且其中

[0046] 分别在所述配合主体的两端部分建立连接结构，用于通过所述配合主体侧凸缘构件和所述连接管侧凸缘构件来连接所述连接管和所述配合主体，在所述配合主体侧凸缘构件和所述连接管侧凸缘构件的引导端彼此相对的状态下，所述配合主体侧凸缘构件和所述连接管侧凸缘构件通过所述中心环和所述夹紧环保持，因而使得所述一对连接管通过所述配合主体的内部空间被连接。

[0047] 在这些构造中，由于螺母不与配合主体啮合，以便把连接管固定到配合主体用于气密封，因此在组装期间连接管不会扭曲。因此，当温度和湿度发生变化和波动时，该连接不会松弛。结果，能够实现高气密性连接。

[0048] 该套圈可包括前套圈和后套圈，所述前套圈具有用于与所述配合主体侧凸缘构件的内周上的切口面接合的第一接合面和具有定位在与所述第一接合面相对的一侧上的第二接合面，所述后套圈具有用于与所述连接管侧凸缘构件的内周上的切口面接合的第一接合面和具有定位在与所述第一接合面相对的一侧上的第二接合面，所述后套圈的第二接合面能够与所述前套圈的所述第二接合面紧密结合。然后，当从所述后套圈观看时，所述前套圈的所述第二接合面和所述后套圈的所述第二接合面相对于所述连接管的纵向方向所形成的角度大于所述前套圈的所述第一接合面和所述配合主体侧凸缘构件的内周上的所述切口面相对于所述连接管的纵向方向所形成的角度，并且当从所述后套圈观看时，所述后套圈的所述第一接合面和所述连接管侧凸缘构件的内周上的所述切口面相对于所述连接管的纵向方向可形成钝角。

[0049] 在所述夹紧环限定环形以便覆盖和保持彼此相对的所述凸缘构件的所述每个引导端部分的整个外周的状态下，当所述紧固构件使一端处的所述分段与另一端处的所述分段彼此更靠近时，所述夹紧环的每个所述分段在径向方向上朝内移动，同时所述每个对应斜面沿所述每个凸缘构件的所 述每个斜面滑动，以导致所述凸缘构件的引导端彼此更靠近，从而通过所述套圈来提高密封的气密性。

[0050] 所述紧固构件可以是螺栓，用于把一端处的所述分段拧接到另一端处的所述分段上，并且当所述螺栓更深地拧入时所述紧固构件能够使前述两个分段彼此更靠近。在该情况下，所述螺栓的头部分和所述分段中的用于连接所述螺栓的所述头部分的分段具有相应的接触部分，所述相应的接触部分形成为球形。

[0051] 此外，所述紧固构件可以是有眼螺栓，所述有眼螺栓包括：止动部分，所述止动部分附接到一端处的所述分段和另一端处的所述分段中的一个分段上；螺纹部分，所述螺纹部分从所述止动部分延伸；和螺母，所述螺母与所述螺纹部分啮合并且与另一个分段接合，其中当所述螺纹部分更深地拧入所述螺母时，与所述螺母接合的所述另一个分段能够更靠近所述一个分段。在该情况下，优选地，分段中的所述另一个分段和所述螺母具有相应的接触面，所述相应的接触面形成为球形。

[0052] 根据本发明的配合结构，由于连接管不再保持成扭曲状态，因此能够以简单构造确保相对于配合的外部的高气密性。然后，在实现相对于配合的外部的高气密性的同时，还防止在配合的内部出现粒子杂质。

[0053] 此外，根据本发明，紧固构件可以紧密地紧固，以便提高连接的可靠性。具体地，例如，当使用螺栓和螺母或有眼螺栓作为紧固构件时，可使用螺丝刀或扳钳等方便地旋转，而不使用多个扳手。与整个配合的尺寸相比，螺栓和螺母或者有眼螺栓可相对小，此外不需要象扳手那样的大行程。因此，即使设置多个导管结构并且每个导管包括配合结构时，也能够高工作效率地执行连接操作，以便提高连接可靠性。

[0054] 附图说明

[0055] 图1是传统的配合结构的前剖视图；

[0056] 图2A是本发明的第一实施例的配合结构前剖视图；

[0057] 图2B是本发明的第一实施例的配合结构的侧视图；

[0058] 图3是显示本发明的第一实施例的配合结构的组装步骤的前剖视图； [0059] 图4是显示本发明的第一实施例的配合结构的图3之后的组装步骤的 前剖视图；

[0060] 图5是在去除紧固构件并且配合结构打开的状态下，本发明的第一实施例的配合结构中使用的夹紧环的立体图；

[0061] 图6A是显示本发明的第一实施例的配合结构在图4之后的组装步骤的前剖视图；

[0062] 图6B是显示本发明的第一实施例的配合结构在图4之后的组装步骤的侧视图； [0063] 图7是本发明的第二实施例的配合结构的侧视图；

[0064] 图8A是本发明的第三实施例的配合结构的前剖视图；

[0065] 图8B是本发明的第三实施例的配合结构的侧视图；

[0066] 图9是在拆卸状态下，本发明的第三实施例的除了夹紧环外的配合结构的前视图；

[0067] 图10A是组装期间本发明的第三实施例的配合结构中的套圈的一部分的放大剖视图；

[0068] 图10B是在完成状态下本发明的第三实施例的配合结构中的套圈的局部放大前剖视图；

[0069] 图11是本发明的第四实施例的配合结构的侧视图；

[0070] 图12是在完成状态下本发明的第五实施例的配合结构中的套圈的一部分的放大前剖视图；

[0071] 图13是本发明的第六实施例的配合结构的前剖视图。

[0072] 具体实施方式

[0073] 下面，将参考附图来说明本发明的实施例。

[0074] [第一实施例]

[0075] 图2A，2B显示本发明的第一实施例的处于完整状态的配合结构。本实施例的配合结构用于气密封地连接一对连接管1a，1b。这些连接管1a，1b的末端部分上分别形成有凸缘2a，2b。凸缘2a，2b分别具有斜面3a，3b，该斜面3a，3b从它们的外周朝与连接管1a，1b的引导端相对的一侧向下倾斜。凸缘2a，2b的相对表面(连接管1a，1b的端面)形成有环形凸起(密封条)4a，4b。两个凸缘2a，2b的相应凸起4a，4b以相同的形状和 相同的尺寸形成。每个斜面3a，3b设置在与凸缘2a，2b的每个相对面相对的一侧(与连接管1a，1b的每个端面相对的一侧)上，从而使得两个连接管1a，1b接近地设置成两个端面彼此相对。因此，形成梯形部分(该部分具有梯形截面形状)，该梯形部分具有限定两侧面的斜面3a，3b。在该情况下，凸起4a，4b的引导端(leading ends)彼此相对。凸缘2a，2b的每个相对表面上形成有台阶5a，5b。这些台阶5a，5b限定小直径的圆筒，稍后说明的保持器7的管状部分7b装配在前述圆筒上。在这一点上，连接管1a，1b可以是允许流体流通的长管的部分，或者可以是通过焊接等连接到这种长管的端部的连接构件(所谓的密封管)。 [0076] 平坦的环形金属垫片6设置在连接管1a和1b之间。在图2A，2B显示的完整状态下，金属垫片6与凸起4a，4b接触并且从两侧被凸起4a，4b挤压。

[0077] 保持器7保持在一个连接管1a上，金属垫片6通过该保持器7保持在一个连接管1a上。如图3，4所示，保持器7包括径向朝内延伸的爪形接合部分(craw-shaped engagement section)7a，该爪形接合部分7a设置在管状部分7b的一个端部。管状部分7b的形状和尺寸允许管状部分7b装配到连接管1a上形成的台阶5a。接合部分7a的内直径小于金属垫片6的外直径，从而使得接合部分7a能够与金属垫片6接合。这样，接合部分7a与金属垫片6的外周接合，金属垫片6容纳在保持器7内，并且管状部分7b装配在连接管1a的台阶5a上。这样，保持器7和金属垫片6保持在连接管1a中。在该情况下，金属垫片6具有被接合部分7a终止的一个表面和邻接到连接管1a的凸起4a的引导端的另一个端面。这样，接合部分7a可设置在管状部分7b的一个端部的整个圆周上，或者可仅沿管状部分7b的内周的一部分形成。

[0078] 连接管1b设置成与连接管1a相对，并且凸起4b邻接金属垫片6的一个表面，该金属垫片6被保持器7保持在连接管1a处，如上所述。中心环9安装成围绕连接管1a的彼此相对的每个凸缘2a，2b的外周。这样，两个凸缘2a，2b具有相同形状和相同尺寸，并且基本无任何间隙地装配在中心环9中。

[0079] 在上述构造中，包括连接管1a，1b，金属垫片6，保持器7，和中心环9的组件被夹紧环10保持。如图5所示，夹紧环10包括连接成直线的多个分段(在本实施例中为三个分段)10a-10c。相邻分段彼此枢转地连接成它们能够绕轴15彼此相对枢转。每个轴15彼此平行并且与每个分段10a-10c打开和闭合的方向垂直。具体地，中心分段10b的一端枢转地连接到分段10a，另一端枢转地连接到分段10c，从而使得它们能够绕轴15彼此相对枢转。因此，当分段枢转使一端的分段10a靠近另一端的分段10c时，能够形成图2B所示的环形。

[0080] 每个分段10a-10c的内周设置有槽14，槽14具有与连接管1a，1b的斜面3a，3b对应的对应斜面14a，14b。如上所述，当连接管1a，1b设置成彼此相对靠近以便彼此相对时，槽14具有容纳梯形部分的形状和尺寸，该梯形部分具有斜面3a，3b限定的两侧面。 [0081] 一端处的分段10a容纳螺栓11的螺纹部分11a，螺栓11为紧固构件，并且一端处的分段10a设置有槽形切口12，该槽形切口12的尺寸不允许头部分11b通过。切口12包括用于容纳螺栓11的头部分11b的扩大部分12a。另一端的分段10c设置有螺纹孔13，螺栓11的螺纹部分11a拧入螺纹孔13中。这样，在每个附图中，在说明中省略了阳螺纹和阴螺纹。

[0082] 在环形件构造有上述每个分段10a-10c的状态下，螺栓11的头部分11a容纳在一端的分段10a的切口12的扩大部分12a中并且终止，螺纹部分11b通过切口12插入另一端的分段10c的螺纹孔13中并且拧入螺纹孔13中。这样，每个分段10a-10c能够彼此固定。在图2A，2B所示的完整状态下，凸缘2a，2b设置在每个分段10a-10c的内部并且横过金属垫片6和保持器7彼此相对，具有被两个斜面3a，3b限定的两侧面的梯形部分插入槽14中。然后，如上所述，螺栓11通过切口12插入另一端的分段10c的螺纹孔13中并且拧入螺纹孔13中用于固定。在该结构中，当螺栓11更深地拧入螺纹孔13中时，对应的斜面
14a，14b在斜面3a，3b上滑动以便驱动梯形部分以楔形方式更深地进入槽14中，导致连接管1a，1b的凸缘2a，2b彼此更靠近。结果，凸起4a，4b给金属垫片6施加更大的接触压力。
结果，由于金属垫片6紧密接触凸起4a，4b，因此增加气密性。利用该原理，通过适当地调节螺栓11拧入螺纹孔13的量，来提供期望的气密性。这样，构成了图2A，2B所示的本实施例的配合结构。

[0083] 接下来，将说明该配合结构的组装方法。

[0084] 首先，如图3所示，保持器7的接合部分7a接合在金属垫片6的外周上，金属垫片6插入管状部分7b中。在该状态下，管状部分7b装配在一个连接管1a的台阶5a上。这样，金属垫片6通过保持器7被连接管1a保持。这样，通过以高精度形成保持器7、金属垫片6和台阶5a，能够使金属垫片6的位置精确并且能够使金属垫片6被连接管1a牢固地保持。这样，通过使用保持器7，金属垫片6能够与连接管1a平齐。

[0085] 接下来，如图4所示，连接管1b设置成与连接管1a相对并靠近连接管1a，凸起4a，4b分别与金属垫片6的两侧接触。在该状态下，中心环9安装成围绕连接管1a，1b的凸缘
2a，2b的外周。这样，连接管1b能够与连接管1a对齐，连接管1a将金属垫片6精确地保持在适当位置，从而使金属垫片6不会在与连接管1a，1b纵向垂直的方向上移动。然而，此时，尽管每个构件大致处于适当的位置关系中，但是每个构件还没有固定，从而还没有实现高气密性。

[0086] 然后，用夹紧环10牢固地固定每个构件，以便提高连接管1a和1b的连接的气密性。在图5所示的打开状态的每个分段10a-10c闭合，以便形成环形，把每个连接管1a，1b的凸缘2a，2b包围在内部。在该情况下，如图6A，6B所示，具有被凸缘2a，2b的斜面3a，3b限定的两侧的梯形部分插入槽14中。然后，如上所述，螺栓11通过切口12插入另一端的分段10c的螺纹孔13中，并且拧入螺纹孔13中用于固定。

[0087] 如图6A，6B所示，在螺栓11少量插入螺纹孔13中时，一端的分段10a和另一端的分段10c之间的空间还没有被充分地减小。换言之，相应分段10a-10c限定的环形(槽14限定的环形)的内直径还没有充分减小。因此，具有被凸缘2a，2b的斜面3a，3b限定的两侧面的梯形部分少量插入槽14中。由于该原因，当从连接管1a，1b的纵向方向观看时，凸缘2a和2b还没有彼此接近。在图6A，6B所示的状态下，尽管凸起4a，4b与金属垫片6的两侧接触，但是它们的接触压力低，还没有形成足够的气密性来防止气体流通，从而使得配合结构仍不满意。

[0088] 因此，螺栓11更进一步地拧入螺纹孔13中。然后，当螺栓11大量拧入螺纹孔13时，如图2A，2B所示，一端的分段10a和另一端的分段10c之间的空间充分地减小。然后，相应分段10a-10c限定的环形(槽14限定的环形)的内直径充分减小。因此，具有被凸缘2a，2b的斜面3a，3b限定的两侧的梯形部分大量插入槽14中。结果，当从连接管1a，1b的纵向方向观看时，凸缘2a和2b之间的空间充分减小。在该状态下，凸起4a，4b以大的接触压力与金属垫片6的两侧接触，因此能够防止气体流通。因此，能够在配合结构中实现足够的气密性。

[0089] 可通过预先试验等来确定螺栓11拧入螺纹孔13以获得足够气密性的所需拧入量。可选地，在配合结构的装配步骤的任何时间(在螺栓11拧入螺纹孔13的操作期间)都可以监控气密性，然后，当获得足够气密性时可停止拧入操作。

[0090] 如图2A，2B所示，在螺栓11已足够量地拧入螺纹孔13中时，切口12与螺纹孔13对齐，从而使得螺栓11水平地保持。然后，螺栓11的头部分11b稳定地保持在切口12的扩大部分12a中。然而，在拧入操作期间，即，在拧入量还不足够的阶段，切口12不与螺纹孔13对齐，如图6A，6B所示，从而使得螺栓11保持成相对于切口12倾斜。此时，螺栓11的头部分11b与切口12的扩大部分12a的内壁部分且不均衡地接触。因此，在本实施例中，头部分11b和切口12的扩大部分12a的相应接触部分形成具有大致相同曲率半径的对应球形。这样，因为头部分11b或切口12中没有角落，因此头部分11b或切口12不会被损坏并且防止螺栓前进，无论头部分11b或切口12的接触部分的任何部分彼此以任何方式形成不均衡接触。

[0091] 这样，在本实施例中，不仅连接管1a设置有台阶5a，而且连接管1b也设置有台阶5b。尽管对于该结构台阶5b不是必要的，但是本实施例采用了具有台阶5b的连接管1b，因为采用具有精确的相同结构的一对连接管1a，1b能够减小制造成本和劳动力。 [0092] 尽管本实施例采用的凸缘2a，2b具有相对厚的形状，并且以复杂的方式加工，但是凸缘可以简单形状形成，即仅具有连接管1a，1b的延伸端面。然而，仍设置斜面3a，3b，用于限定插入槽14中的梯形部分，以便产生如上所述的楔形效果。

[0093] [第二实施例]

[0094] 图7显示本发明的配合结构的第二实施例。与第一实施例相似的元件采用相同的参考标记表示，并且省略它们的说明。

[0095] 在本实施例中，用于有眼螺栓16代替螺栓11。有眼螺栓16包括螺纹部分16a和利用销钉17枢转地附接到分段10c的止动部分16b。螺纹部分16a能够插入分段10a的切口12中。然后，螺母18与螺纹部分16a啮合，并且螺母18与切口12的扩大部分12a接合。螺母18和切口12的扩大部分12a的相应接触部分形成具有大致相同曲率半径的对应球形。

[0096] 本实施例的配合结构能够实现与第一实施例相似的效果，但是采用有眼螺栓16简化了装配操作。

[0097] 根据本发明的上述第一和第二实施例的配合结构，能够通过使凸缘2a，2b的凸起4a，4b与金属垫片6的两侧接触，来实现高气密性。此外，当采用夹紧环10固定凸缘2a，2b时，不施加力来旋转连接管1a，1b本身，从而使得连接管1a，1b不会扭曲。结果，金属垫片
6和凸起4a，4b之间不发生摩擦，从而不出现粒子。即使长时间使用，或者即使由于温度波动每个构件稍微膨胀或收缩时，连接管1a，1b不相对于金属垫片6旋转，不会导致摩擦，从而不会出现粒子。根据该配合结构，不仅能够实现对外部的高气密性，而且防止内部出现杂质。当流体需要以极高的流量流动时这是适当的，特别是在半导体制造设备的气体供应部分中。

[0098] [第三实施例]

[0099] 接下来，将说明本发明的第三实施例。与第一和第二实施例相似的元件用相同的参考标记表示，并且省略它们的说明。

[0100] 图8A，8B显示本实施例的处于完整状态的配合结构。图9显示除了夹紧环10之外的配合结构的分解图。本实施例的配合结构用于把连接管21a密封地连接到另一构件，例如，双点划线表示的另一连接管21b。该配合结构包括配合主体23、连接管侧凸缘构件24、前套圈25和后套圈26、中心环9和夹紧环10，前述配合主体23具有配合主体侧凸缘构件22，配合主体侧凸缘构件22整体地设置在配合主体23的引导端部分。

[0101] 配合主体23设置有用于把连接管21a插入配合主体23的插入部分27a。此外，倾斜切口面28形成在配合主体23的配合主体侧凸缘构件22的引导端部分的内周上。 [0102] 连接管侧凸缘构件24是中空构件，连接管21a能够通过连接管侧凸缘构件24延伸，并且连接管侧凸缘构件24的引导端部分的内周上形成有倾斜切口面29，连接管侧凸缘构件24设置成它的引导端与配合主体侧凸缘构件22的引导端相对。

[0103] 本实施例的套圈是包括前套圈25和后套圈26的双套圈结构，用作定位在连接管21a的外周上的密封环。前套圈25和后套圈26设置在配合主体侧凸缘构件22的引导端部分的内周和连接管侧凸缘构件24的引导端部分的内周所限定的空间内，前套圈25和后套圈26设置成引导端彼此相对。前套圈25是楔形的，具有第一接合面25a和第二接合面
25b，第二接合面25b在与第一接合面25a相对的一侧上。第一接合面25a是斜面，该斜面的倾斜角与配合主体23的配合主体侧凸缘构件22的切口面28的倾斜角大致相同，并且能够与切口面28接合。然而，第一接合面25a大于配合主体23的配合主体侧凸缘构件22的切口面28。另一方面，后套圈26也是楔形的，具有第一接合面26a和第二接合面26b，第二接合面26b在与第一接合面26a相对的一侧上。第一接合面26a是斜面，该斜面的倾斜角与连接管侧凸缘构件24的切口面29的倾斜角大致相同，并且能够与切口面29接合。 [0104] 在本实施例中，每个接合面和切口面的角度以下面的方式限定。如图10A所示，当从后套圈26观看时，配合主体23的配合主体侧凸缘构件22的切口面28和与切口面28接合的前套圈25的第一接合面25a中的每个与连接管21a的纵向方向形成角度“a”。当从后套圈26观看时，前套圈25的第二接合面25b和与第二接合面25b接合的后套圈26的第二接合面26b中的每个与连接管21a的纵向方向形成角度“b”。在该情况下，角度“a”小于角度“b”，并且角度“a”是锐角。另一方面，当从后套圈26观看时，连接管侧凸缘构件24的切口面29和与切口面29接合的后套圈26的第一接合面26a中的每个与连接管21a的纵向方向形成角度“c”，角度“c”是大于90度的钝角。因此，更靠近第一接合面25a的前套圈25的部分产生楔形效果，从而防止它穿入配合主体23的配合主体侧凸缘构件22的切口中。更靠近第一接合面26a的后套圈26的部分具有楔形效果，从而防止它穿入连接管侧凸缘构件24的切口中。此外，更靠近第二接合面26b的后套圈26的部分具有楔形效果，从而防止它穿入更靠近第二接合面25b的前套圈25的部分的内部。

[0105] 如图8A所示，配合主体侧凸缘构件22和连接管侧凸缘构件24分别具有斜面22a，24a，斜面22a，24a从每个外周朝与引导端相对的一侧向下倾斜。配合主体侧凸缘构件22和连接管侧凸缘构件24的斜面22a，24a设置在与相应凸缘构件22a，24a的相对面相对的一侧上。然后，以与图2A-6B所示的第一实施例相似的方式，两个凸缘构件22，24接近地设置成它们的引导端表面彼此相对，产生具有被斜面22a，24a限定的两侧面的梯形部分。中心环9安装成围绕两个凸缘构件22，24，两个凸缘构件22，24接近地设置成它们的引导端表面彼此相对。这样，凸缘构件22，24具有相同外直径尺寸，并且基本无任何间隙地装配在中心环9中。

[0106] 如上所述，配合主体23的配合主体侧凸缘构件22和连接管侧凸缘构件24设置成它们的引导端彼此相对。然后，连接管21a通过连接管侧凸缘构件24插入配合主体侧凸缘构件22的插入部分27a。前套圈25和后套圈26设置在凸缘构件22，24的引导端部分的内周所限定的空间内。中心环9安装成围绕凸缘构件22，24的外周。然后，夹紧环10附接到中心环9的外侧。夹紧环10的结构与第一实施例的夹紧环相同(参见图5)。

[0107] 如上所述，当配合主体侧凸缘构件22的引导端更靠近连接管侧凸缘构件24的引导端时，前套圈25首先与凸缘构件22，24的引导端部分的内周限定的空间内的后套圈26紧密接触，如图10A所示。具体地，配合主体侧凸缘构件22的切口面28挤压第一接合面25a，导致前套圈25朝连接管21a移动(朝图10A中的右侧)，并且连接管侧凸缘构件24的切口面29挤压第一接合面26a，导致后套圈26朝配合主体23移动(朝图10A中的左侧)。
结果，前套圈25和后套圈26彼此紧密接触，第二接合面25a和26b彼此接合。然后，当配合主体侧凸缘构件22的引导端更靠近连接管侧凸缘构件24的引导端时，切口面28挤压第一接合面25a，导致前套圈25进一步朝连接管21a移动(朝图10A中的右侧)，如图10B所示，并且切口面29挤压第一接合面26a，导致后套圈26朝配合主体23移动(朝图10A中的右侧)，并且连接管侧凸缘构件24的切口面29挤压第一接合面26a，导致后套圈26朝配合主体23移动(朝图10A中的左侧)。结果，前套圈25和后套圈26彼此紧密接触，第二接合面25a和26b彼此接合。然后，当配合主体侧凸缘构件22的引导端更靠近连接管侧凸缘构件24的引导端时，切口面28挤压第一接合面25a，导致前套圈25进一步朝连接管21a移动(朝图10A中的右侧)，如图10B所示，并且切口面29挤压第一接合面26a，导致后套圈26朝配合主体23移动(朝图 10A中的左侧)。结果，切口面28和切口面29之间的空间的长度变得短于前套圈25和后套圈26的总长度。在该情况下，由于前套圈25和后套圈26由金属制成，因此难以压缩，前套圈25和后套圈26在第二接合面25b，26b的被接合部分处彼此相对滑动，因此被保持在该空间中，同时具有一定挤压力。然而，前套圈25和后套圈26的顶点的运动受到连接管侧凸缘构件24的引导端部分处的切口的上表面24b限制。这样，后套圈26的第二接合面26b的端部朝内移动，并且钻入连接管21a的外周。这样，前套圈
25和后套圈26稳定地保持在该空间中。这样，利用钻入连接管21a的外周的后套圈26的一个端部分，前套圈25和后套圈26用作密封环，该密封环与连接管21a的外周紧密接触，以便使连接管21a和配合主体23的连接部分与外界气密封地密封。而且，利用钻入连接管
21a的外周的后套圈26的一个端部分，能够防止连接管21a脱离凸缘构件22，24。 [0108] 计算前套圈25和后套圈26的相应角度“a”，“b”，“c”的相对大小和硬度、尺寸、形状等，并且考虑连接管21a的硬度、凸缘构件22，24的硬度和切口的形状，如上所述，从而使得后套圈26的一个端部分钻入连接管21a的外周，在夹紧环10的作用下凸缘构件22，24接近。

[0109] 这样，构造出图8A中所示的本实施例的配合结构。这样，连接管21a，21b可以是允许流体流通的长管的部分，或者可以是通过焊接等连接到该长管的端部的连接构件(所谓的密封管)。此外，本实施例构造成允许连接管21b插入配合主体23的插入部分27b，作为与连接管21a连接的另一构件的实例。然而，具有管状形状或孔形状的出口/入口部分设置在供应或排放气体的设备的壳内，该出口/入口部分可作为与连接管21a连接的另一构件，配合主体23可安装在该出口/入口部分上。

[0110] 下面将说明该配合结构的组装方法，待连接的连接管21a插入配合主体23的插入部分27a中。然后，前套圈25、后套圈26和连接管侧凸缘构件24设置在连接管21a的外周上，位于连接管21a的插入部分之前或之后。然后，配合主体23的配合主体侧凸缘构件22的引导端部分处的切口面28设置成与连接管侧凸缘构件24的引导端部分处的切口面29相对，横过前套圈25和后套圈26接近。在该状态下，中心环9安装成围绕凸缘构件22，24的外周。以与第一实施例相似的方式，凸缘构件22，24 通过中心环9彼此对齐，从而在与连接管21a的纵向方向垂直的方向上不移动。随后，使用夹紧环10牢固地固定每个构件以便通过前套圈25和后套圈6来提高连接的气密性。当螺栓11充分拧入螺纹孔13时，当沿连接管21a的纵向方向观看时，凸缘构件22，24的引导端之间的空间变得充分小。在该情况下，如图10B所示，前套圈25和后套圈26彼此强力地挤压，从而使得后套圈26充分地钻入连接管21a的外周中。这样，能够防止连接管21a脱离，并且前套圈25和后套圈26用作密封环，因此能够防止气体与配合结构的外部连通。结果，能够在配合结构中实现充分的气密性。

[0111] 尽管省略了前述说明，在任意时刻，连接到连接管21a的另一构件在与配合主体侧凸缘构件22相对的一侧上连接到配合主体23。具体地，在图8A所示的实例中，作为另一构件的额外连接管21b插入插入部分27b中。额外连接管21b等其它构件可以通过螺纹连接、焊接等方法固定到配合主体23。这样，本发明的配合结构能够通过配合主体23的内部空间(中空部分)把连接管21a连接到额外连接管21b等另一构件。当然，在本实施例的配合结构中，与连接管21a连接的配对物不局限于额外连接管21b，可以使用各种形式的构件，只要其能够用作部分设置在壳内的具有管状形状或孔形状的出口/入口部分。 [0112] 根据该配合结构，前套圈25和后套圈26彼此压力接触，导致后套圈26的一个端部分钻入连接管21a的外周，因而能够防止连接管21a脱离并且实现高气密性。此外，当使用夹紧环10固定凸缘构件22，24时，没有施加力旋转连接管21a本身，从而连接管21a不会扭曲。结果，即使长期使用，或者即使由于温度波动导致每个构件稍微膨胀或收缩，连接管21a将不会相对配合主体23旋转，并且进一步提高气密性。当流体需要以极高的流量流动时这是适当的，特别是在半导体制造设备的气体供应部分中。

[0113] [第四实施例]

[0114] 接下来，将说明第四实施例，第四实施例是第三实施例的变化例。在本实施例中，如图11所示，螺栓11被有眼螺栓16代替，该有眼螺栓16 与图7的第二实施例相似。在该情况下，通过使用有眼螺栓16能够简化组装工作。其余的构造和有益效果与第三实施例相同，因此省略它们的说明。

[0115] [第五实施例]

[0116] 图12显示本发明的第五实施例的配合结构的主要部分。在本实施例中，采用单个套圈结构，而不是第三实施例中的双套圈结构。具体地，如图12所示，单个套圈30设置在配合主体侧凸缘构件22的引导端部分的内周和连接管侧凸缘构件24的引导端部分的内周所限定的空间内。然后，该套圈30的一个接合面与连接管侧凸缘构件24的引导端部分的内周的切口面28接合。该套圈30有点柔性。因此，当凸缘构件22，24的切口面28，29从两侧挤压套圈30时，套圈30柔性地变形，从而稍微弯曲，套圈30的两个端部分钻入连接管21a的外周，因此使配合结构与外部气密地密封。

[0117] [第六实施例]

[0118] 图13显示本发明的第六实施例的配合结构。与第三实施例相似的部件采用相同的参考标记表示，并且省略它们的说明。

[0119] 本实施例的配合结构用于使一对连接管21a，21b彼此连接，并且包括两个上述第三实施例的配合结构，该两个配合结构左右对称设置。本实施例的配合主体31包括分别整体地设置在两端部分的配合主体侧凸缘构件22。连接管21a，21b分别从配合主体31的两侧插入一对插入部分27a中，并且前套圈25、后套圈26和连接管侧凸缘构件24分别设置在连接管21a，21b的外周上。然后，在配合主体31的两侧上，中心环9和夹紧环10分别安装在凸缘构件22，24的外部，并且用螺栓11固定夹紧环10。在该情况下，前套圈25和后套圈26在夹紧环10内彼此紧密接触，导致后套圈26的一个端部分钻入连接管21a，21b的外周中(参见图10B)。结果，能够防止连接管21a，21b脱离，连接管21a和连接管21b能够通过配合主体31的内部空间(中空部分)以气密封状态连接。本实施例的配合结构特别适用于连接连接管21a和21b的中间构件。