[0154] 控制栅电极的材料可以与第一实施方案类似地改变。
[0155] 同样当电极间绝缘薄膜由LaAlSiON制成时,组成比设置在0.06
[0156] 隧道绝缘薄膜由介电常数小于电极间绝缘薄膜的绝缘薄膜的单层或叠层形成,例如,材料诸如SiN、SiON和Al2O3。
[0157] 在该实施方案中,因为电极间绝缘薄膜不与包含Si的材料接触,不需要提供阻挡层(Al2O3)。
[0158] (8)其他
[0159] 在上述第一至第七实施方案中,虽然存储单元在硅衬底上形成,它可以在SOI(绝缘体上硅)或者在多晶硅层上形成。
[0160] 此外,存储单元可以是鳍(Fin)型。
[0161] 5.应用实例
[0162] 本发明可以应用于通过电荷到电荷存储层的输入以及电荷从电荷存储层的输出来存储数据的一般非易失性半导体存储器。这里,将描述它的典型实例。
[0163] (1)NAND型闪速存储器
[0164] 图9显示NAND单元的电路图。图10显示NAND单元的器件结构。
[0165] n型阱区11b和p型阱区11c形成在p型半导体衬底11a中。包括本发明的存储单元的NAND单元形成在p型阱区11c中。
[0166] NAND单元由包括串联的几个存储单元MC以及整个地连接到其两端的两个选择栅极晶体管ST的NAND串形成。
[0167] 存储单元MC和选择栅极晶体管ST的每个由两个n型扩散区12之间的沟道区域上的栅极绝缘薄膜13、栅极绝缘薄膜13上的浮栅电极14、浮栅电极14上的电极间绝缘薄膜15,以及电极间绝缘薄膜15上的控制栅电极16和17形成。
[0168] 选择栅极晶体管ST具有与存储单元MC相同的结构,除了浮栅电极14通过提供在电极间绝缘薄膜15中的孔电连接到控制栅电极16和17之外。
[0169] 选择栅极晶体管ST的一个连接到源极线SL而另一个连接到位线BL。
[0170] (2)NOR型闪速存储器
[0171] 图11显示NOR单元的电路图。图12显示NOR单元的器件结构。
[0172] n型阱区11b和p型阱区11c形成在p型半导体衬底11a中。包括本发明的存储单元的NOR单元形成在p型阱区11c中。
[0173] NOR单元由连接在位线BL与源极线SL之间的一个存储单元(MIS晶体管)MC形成。
[0174] 存储单元MC由两个n型扩散区12之间的沟道区域上的栅极绝缘薄膜13、栅极绝缘薄膜13上的浮栅电极14、浮栅电极14上的电极间绝缘薄膜15,以及电极间绝缘薄膜15上的控制栅电极16和17形成。
[0175] (3)2-Tr单元闪速存储器
[0176] 图12显示2-Tr单元单位(unit)的电路图。图13显示2-Tr单元单位的器件结构。
[0177] 2-Tr单元最近研制为一种将NAND单元和NOR单元的特性结合在一起的新的单元结构。
[0178] n型阱区11b和p型阱区11c形成在p型半导体衬底11a中。包括本发明的存储单元的2-Tr单元单位形成在p型阱区11c中。
[0179] 2-Tr单元单位由串联的一个存储单元MC和一个选择栅极晶体管ST形成。
[0180] 存储单元MC和选择栅极晶体管ST的每个由两个n型扩散区12之间的沟道区域上的栅极绝缘薄膜13、栅极绝缘薄膜13上的浮栅电极14、浮栅电极14上的电极间绝缘薄膜15,以及电极间绝缘薄膜15上的控制栅电极16和17形成。
[0181] 选择栅极晶体管ST具有与存储单元MC相同的结构,除了浮栅电极14通过提供在电极间绝缘薄膜15中的孔电连接到控制栅电极16和17之外。
[0182] 选择栅极晶体管ST连接到源极线SL而存储单元MC连接到位线BL。
[0183] (4)其他
[0184] 本发明可以应用于AND型、DINOR型和ORNAND型的非易失性半导体存储器。
[0185] 6.制造方法
[0186] 将描述根据本发明的非易失性半导体存储器应用于NAND型闪速存储器时的制造方法。
[0187] 首先,如图15中所示,厚度为大约4-8nm的隧道氧化物薄膜13形成在硅衬底11的表面上,杂质通过热氧化掺杂。此外,厚度为大约60nm的磷掺杂多晶硅层14′根据CVD(化学汽相沉积)方法形成在隧道氧化物薄膜13上。
[0188] 连续地,掩膜元件(刻蚀停止层)21根据CVD方法形成在磷掺杂多晶硅层14′上。抗蚀剂图案形成在掩膜元件21上。
[0189] 通过使用该抗蚀剂图案作为掩膜,根据RIE(反应离子刻蚀)方法顺序刻蚀掩膜元件21、多晶硅层14′、隧道氧化物薄膜13和硅衬底11。结果,形成从掩膜元件21的顶面起大约100nm深的隔离凹槽22。
[0190] 如图16中所示,完全填充隔离凹槽22的氧化硅薄膜23根据CVD方法形成在掩膜元件21上。
[0191] 根据CMP(化学机械抛光)抛光氧化硅薄膜23以便将氧化硅薄膜23仅留在隔离凹槽22内部。据此,形成由氧化硅薄膜23形成的STI(浅槽隔离)结构的元件隔离区。
[0192] 这里,掩膜元件21用来防止多晶硅层14′在CMP中被抛光,同时控制氧化硅薄膜23的抛光量。也就是,隔离凹槽22内部的氧化硅薄膜23的顶面与掩膜元件21的顶面一起形成平坦表面。
[0193] 然后,去除掩膜元件21。
[0194] 如图17中所示,稀释氢氟酸溶液用来刻蚀(通过刻蚀而平面化)氧化硅薄膜23以便沿着列方向将多晶硅层14′的侧面暴露到一定程度。
[0195] 电极间绝缘薄膜15形成在多晶硅层14′和氧化硅薄膜23上,以便覆盖多晶硅层14′的顶面和侧面。
[0196] 导电材料形成在电极间绝缘薄膜15上,并且以抗蚀剂图案用作掩膜,使用RIE刻蚀导电材料、电极间绝缘薄膜15、多晶硅层14′,以及隧道氧化物薄膜13。
[0197] 结果,如图18中所示,完成浮栅电极14与控制栅电极16和17的层叠栅极结构。
[0198] 接下来,如图19中所示,覆盖浮栅电极14与控制栅电极16和17的氧化硅薄膜24通过热氧化形成。
[0199] 离子根据离子注入方法通过自对准注入到半导体衬底11中,浮栅电极14与控制栅电极16和17用作掩膜,以形成源极/漏极扩散区12,从而获得本发明的存储单元。
[0200] 然后,根据CVD方法,形成覆盖本发明存储单元的层间绝缘薄膜25,并且根据众所周知的方法形成布线层,从而完成非易失性半导体存储器。
[0201] 这里,例如以与上述实施方案的每种相对应的下面方法形成电极间绝缘薄膜15以及控制栅电极16和17。
[0202] ·对于第一和第二实施方案(图2和图3)
[0203] 作为电极间绝缘薄膜的LaAlSiO通过使用分子束外延(MBE)方法通过同时提供La、Al和Si形成。
[0204] 作为选择,铝酸镧(LaAlO)和包含Si的材料(例如Si、SiO2等)可以层叠在一起,并且两种材料可以在高温下通过热处理混合,从而形成添加有Si的铝酸镧。
[0205] 当在电极间绝缘薄膜15上面和下面形成阻挡层(Al2O3)时,根据ALD(原子层沉积)方法形成阻挡层。
[0206] 作为控制栅电极的Si/WSi通过以W(CO)6用作材料气体根据CVD方法在多晶硅(Si)上形成钨(W),然后通过在加热过程中将多晶硅的一个与钨反应以将其转化成WSi而制成。
[0207] LaAlSiO可以根据CVD、ALD、溅射、汽相沉积或激光消融方法形成。W可以根据MBE、ALD、溅射、汽相沉积或激光消融方法形成。
[0208] ·对于第三实施方案(图4)
[0209] 作为电极间绝缘薄膜的LaAlSiO根据分子束外延(MBE)通过同时提供La、Al和Si形成。
[0210] 作为选择,铝酸镧(LaAlO)和包含Si的材料(例如Si、SiO2等)可以层叠在一起,并且两种材料可以在高温下通过热处理混合,从而形成添加有Si的铝酸镧。
[0211] 当仅在电极间绝缘薄膜15下面形成阻挡层(Al2O3)时,根据ALD方法形成阻挡层。
[0212] 作为控制栅电极的TaC根据溅射方法形成。
[0213] 作为控制栅电极的WSi通过以W(CO)6用作材料气体根据CVD方法在多晶硅(Si)上形成钨(W),然后通过在加热过程中将整个多晶硅与钨反应以将其转化成WSi而制成。
[0214] LaAlSiO可以根据CVD、ALD、溅射、汽相沉积或激光消融方法形成。W可以根据MBE、ALD、溅射、汽相沉积或激光消融方法形成。
[0215] ·对于第四和第五实施方案(图5和图6)
[0216] 因为第四和第五实施方案是MONOS型,以电荷存储层代替浮栅电极14并且以阻挡绝缘薄膜代替电极间绝缘薄膜15是必需的。
[0217] 作为阻挡绝缘薄膜的LaAlSiO根据分子束外延(MBE)方法通过同时提供La、Al和Si形成。
[0218] 作为选择,铝酸镧(LaAlO)和包含Si的材料(例如Si、SiO2等)可以层叠在一起,并且两种材料可以在高温下通过热处理混合,从而形成添加有Si的铝酸镧。
[0219] 当在阻挡绝缘薄膜上面和下面形成阻挡层(Al2O3)时,根据ALD方法形成阻挡层。
[0220] 作为电荷存储层的SiN以DCS(二氯甲硅烷)和NH3作为原材料根据LPCVD方法形成。SiN可以通过使用NH3氮化物或基本氮化物氮化多晶硅或者以DCS和NH3作为原材料根据ALD方法形成。
[0221] 作为控制栅电极的Si/WSi通过以W(CO)6用作材料气体根据CVD方法在多晶硅(Si)上形成钨(W),然后通过在加热过程中将多晶硅的一个与钨反应以将其转化成WSi而制成。
[0222] LaAlSiO可以根据CVD、ALD、溅射、汽相沉积或激光消融方法形成。W可以根据MBE、ALD、溅射、汽相沉积或激光消融方法形成。
[0223] ·对于第六实施方案(图7)
[0224] 因为第六实施方案也是MONOS型,以电荷存储层代替浮栅电极14并且以阻挡绝缘薄膜代替电极间绝缘薄膜15是必需的。
[0225] 作为阻挡绝缘薄膜的LaAlSiO根据分子束外延(MBE)方法通过同时提供La、Al和Si形成。
[0226] 作为选择,铝酸镧(LaAlO)和包含Si的材料(例如Si、SiO2等)可以层叠在一起,并且两种材料可以在高温下通过热处理混合,从而形成添加有Si的铝酸镧。
[0227] 当仅在阻挡绝缘薄膜上面形成阻挡层(Al2O3)时,根据ALD方法形成阻挡层。
[0228] 作为电荷存储层的AlOx根据ALD方法形成。
[0229] 作为控制栅电极的Si/WSi通过以W(CO)6用作材料气体根据CVD方法在多晶硅(Si)上形成钨(W),然后通过在加热过程中将多晶硅的一个与钨反应以将其转化成WSi而制成。
[0230] LaAlSiO可以根据CVD、ALD、溅射、汽相沉积或激光消融方法形成。W可以根据MBE、ALD、溅射、汽相沉积或激光消融方法形成。
[0231] ·对于第七实施方案(图8)
[0232] 因为第七实施方案也是MONOS型,以电荷存储层代替浮栅电极14并且以阻挡绝缘薄膜代替电极间绝缘薄膜15是必需的。
[0233] 作为阻挡绝缘薄膜的LaAlSiO根据分子束外延(MBE)方法通过同时提供La、Al和Si形成。
[0234] 作为选择,铝酸镧(LaAlO)和包含Si的材料(例如Si、SiO2等)可以层叠在一起,并且两种材料可以在高温下通过热处理混合,从而形成添加有Si的铝酸镧。
[0235] 作为电荷存储层的AlOx根据ALD方法形成。
[0236] 作为控制栅电极的TaC根据溅射方法形成。
[0237] 作为控制栅电极的WSi通过以W(CO)6用作材料气体根据CVD方法在多晶硅(Si)上形成钨(W),然后通过在加热过程中将整个多晶硅与钨反应以将其转化成WSi而制成。
[0238] LaAlSiO可以根据CVD、ALD、溅射、汽相沉积或激光消融方法形成。W可以根据MBE、ALD、溅射、汽相沉积或激光消融方法形成。
[0239] 7.结论
[0240] 通过以包含La、Al和Si的绝缘体的单层或层叠形成浮栅存储单元的电极间绝缘薄膜和MONOS型存储单元的阻挡绝缘薄膜,本发明可以保持上述薄膜非晶,即使在高温下的加热处理之后,从而抑制由薄膜结晶引起的电特性的退化。
[0241] 因此,它可以通过增加电极间绝缘薄膜或阻挡绝缘薄膜中的高介电常数来提高耦合比,同时它可以降低电极间绝缘薄膜或阻挡绝缘薄膜中的泄露电流特性,同时维持相对于热量的稳定性。
[0242] 本发明的另外目的和优点将在说明书中陈述,并且部分地将从说明书中显然,或者可以通过本发明的实践而学习。本发明的目的和优点可以借助于特别在文中指出的手段和组合实现和获得。