胶质码盘/码尺的制作方法

摘要

本发明公开了一种胶质码盘/码尺的制作方法，其使用透光性90％以上，耐高温至120℃的胶质板片为基材；唯其厚度小于0.5mm，且以聚酯(PET)或聚碳酸酯(PC)的材料制成为佳；首先在其表面上蒸镀上一层厚约1μm以下的铬铝质薄膜；再于铬铝质薄膜上涂布光阻剂，而形成一层厚约1～3μm的光阻膜；然后把经光绘机绘好码盘/码尺的光栅图案的菲林母版覆盖于光阻膜上，再进行以平行光的曝光照射使之感光；之后洗去未感光的光阻膜；然后以刻蚀液对胶质板片进行约数十秒时间的浸滞刻蚀，刻蚀完毕再洗去感光部份的光阻膜，至此码盘/码尺的光栅图案刻制完成；然后置于光学冲压机中，作自动对准位置冲下，而成圆盘状的码盘或长条状的码尺，以供编码器或光学尺使用。