一种微机械感测装置包括可相对于基板运动的质量块。质量块包括第一至第三部分，第二部分与第一部分分离，第三部分连接第一部分与第二部分。框体设置于基板上并围绕质量块。多个弹簧连接质量块与框体。多个第一电极与第二电极从框体延伸出。多个第三电极从质量块的第一部分延伸出，并分别插入相邻的第一电极之间。多个第四电极从质量块的第二部分延伸出，并分别插入相邻的第二电极之间。第一支撑梁从框体延伸出，并伸入质量块的第一部分与第二部分之间。多个第七电极与第八电极从第一支撑梁延伸出。多个第五电极从质量块的第一部分延伸出，并分别插入相邻的第七电极之间。多个第六电极从质量块的第二部分延伸出，并分别插入相邻的第八电极之间。
质量块，可相对于该基板运动，该质量块包括第一部分、第二部分和第三部分，其中所述第二部分与所述第一部分分离，所述第三部分则连接所述第一部分和所述第二部分；
多个第三电极，从所述质量块的第一部分延伸出，并分别插入相邻的所述第一电极之间；
多个第四电极，从所述质量块的第二部分延伸出，并分别插入相邻的所述第二电极之间；
第一支撑梁，从所述框体延伸出，并伸入至所述质量块的第一部分与第二部分之间的区域内；
多个第五电极，从所述质量块的第一部分延伸出，并分别插入相邻的所述第七电极之间；及多个第六电极，从所述质量块的第二部分延伸出，并分别插入相邻的所述第八电极之间。
2. 根据权利要求1所述的微机械感测装置，还包括：第二支撑梁，从所述框体延伸出，并伸入至所述质量块的第一部分与第二部分之间的区域内，其中所述第一支撑梁与第二支撑梁相互成一直线，并被所述质量块的第三部分所分隔；
多个第九电极，从所述第二支撑梁延伸出，并分别插入相邻的所述第五电极之间；及多个第十电极，从所述第二支撑梁延伸出，并分别插入相邻的所述第六电极之间。
3. 根据权利要求1所述的微机械感测装置，其中所述框体具有两个相对侧，所述微机械感测装置还包括：两个第三固定部，分别连接至所述框体的两个相对侧，并固定在所述基板上，其中所述第三固定部与所述第一支撑梁成一直线排列。
4. 根据权利要求2所述的微机械感测装置，其中所述框体具有两个相对侧，所述微机械感测装置还包括：两个第三固定部，分别连接至所述框体的两个相对侧，并固定在所述基板上，其中所述第三固定部与所述第一支撑梁及第二支撑梁成一直线排列。
5. 根据权利要求1所述的微机械感测装置，还包括：第一固定部，固定于所述基板上，并与所述第一支撑梁的末端连接。
6. 根据权利要求2所述的微机械感测装置，还包括：第一固定部，固定于所述基板上，并与所述第一支撑梁的末端连接；及第二固定部，固定于所述基板上，并与所述第二支撑梁的末端连接。
7. 根据权利要求4所述的微机械感测装置，还包括：第一固定部，固定于所述基板上，并与所述第一支撑梁的末端连接；及第二固定部，固定于所述基板上，并与所述第二支撑梁的末端连接。
8. 根据权利要求1所述的微机械感测装置，还包括：第一电路，布设在所述第一支撑梁上，用以将所述第五电极与第七电极之间的电容变化的信号传送至外部电路。
9. 根据权利要求2所述的微机械感测装置，还包括：第一电路，布设在所述第一支撑梁上，用以将所述第五电极与第七电极之间的电容变化的信号传送至外部电路；及第二电路，布设在所述第二支撑梁上，用以将所述第五电极与第九电极之间的电容变化的信号传送至外部电路。
质量块，可相对于该基板运动，该质量块包括第一部分、第二部分、第三部分、第四部分和第五部分，其中所述第三部分设于所述第一部分与第二部分之间，所述第四部分连接所述第一部分和第三部分，所述第五部分连接所述第二部分和第三部分；
多个第二电极，从所述质量块的第一部分延伸出，并分别插入相邻的所述第一电极之间；
多个第十一电极，从所述质量块的第二部分延伸出，并分别插入相邻的所述第十二电极之间；
第一支撑梁，从所述框体延伸出，并伸入至所述质量块的第一部分与第三部分之间的区域内；
第二支撑梁，从所述框体延伸出，并伸入至所述质量块的第二部分与第三部分之间的区域内；
多个第四电极，从所述第一支撑梁延伸出，并分别插入相邻的所述第三电极之间；
多个第五电极，从所述第一支撑梁延伸出，并分别插入相邻的所述第六电极之间；
多个第八电极，从所述第二支撑梁延伸出，并分别插入相邻的所述第七电极之间；及多个第九电极，从所述第二支撑梁延伸出，并分别插入相邻的所述第十电极之间。
11. 根据权利要求10所述的微机械感测装置，还包括：第三支撑梁，从所述框体延伸出，并伸入至所述质量块的第一部分与第三部分之间的区域内，其中所述第一与第三支撑梁相互成一直线，并被所述质量块的第四部分所分隔；
第四支撑梁，从所述框体延伸出，并伸入至所述质量块的第二部分与第三部分之间的区域内，其中所述第二与第四支撑梁相互成一直线，并被所述质量块的第五部分所分隔；
多个第十三电极，从所述第三支撑梁延伸出，并分别插入相邻的所述第三电极之间；
多个第十四电极，从所述第三支撑梁延伸出，并分别插入相邻的所述第六电极之间；
多个第十五电极，从所述第四支撑梁延伸出，并分别插入相邻的所述第七电极之间；及多个第十六电极，从所述第四支撑梁延伸出，并分别插入相邻的所述第十电极之间。
12. 根据权利要求10所述的微机械感测装置，其中所述框体具有两个相对侧，所述微机械感测装置还包括：两个第五固定部，分别连接至所述框体的两个相对侧，并固定在所述基板上，其中所述第五固定部与所述质量块的第三部分成一直线排列。
13. 根据权利要求11所述的微机械感测装置，其中所述框体具有两个相对侧，所述微机械感测装置还包括：两个第五固定部，分别连接至所述框体的两个相对侧，并固定在所述基板上，其中所述第五固定部与该质量块的第三部分成一直线排列。
14. 根据权利要求10所述的微机械感测装置，还包括：第一固定部，固定于所述基板上，并与所述第一支撑梁的末端连接；及第二固定部，固定于所述基板上，并与所述第二支撑梁的末端连接。
15. 根据权利要求11所述的微机械感测装置，还包括：第一固定部，固定于所述基板上，并与所述第一支撑梁的末端连接；
第二固定部，固定于所述基板上，并与所述第二支撑梁的末端连接；
第三固定部，固定于所述基板上，并与所述第三支撑梁的末端连接；及第四固定部，固定于所述基板上，并与所述第四支撑梁的末端连接。
16. 根据权利要求13所述的微机械感测装置，还包括：第一固定部，固定于所述基板上，并与所述第一支撑梁的末端连接；
第二固定部，固定于所述基板上，并与所述第二支撑梁的末端连接；
第三固定部，固定于所述基板上，并与所述第三支撑梁的末端连接；及第四固定部，固定于所述基板上，并与所述第四支撑梁的末端连接。
17. 根据权利要求10所述的微机械感测装置，还包括：第一电路，布设在所述第一支撑梁上，用以将所述第三电极与第四电极之间的电容变化的信号传送至外部电路；及第二电路，布设在所述第二支撑梁上，用以将所述第九电极与第十电极之间的电容变化的信号传送至外部电路。
18. 根据权利要求11所述的微机械感测装置，还包括：第一电路，布设在所述第一支撑梁上，用以将所述第三电极与第四电极之间的电容变化的信号传送至外部电路；及第二电路，布设在所述第二支撑梁上，用以将所述第九电极与第十电极之间的电容变化的信号传送至外部电路；
第三电路，布设在所述第三支撑梁上，用以将所述第三电极与第十三电极之间的电容变化的信号传送至外部电路；及第四电路，布设在所述第四支撑梁上，用以将所述第十电极与第十六电极之间的电容变化的信号传送至外部电路。
微机械感测装置
技术领域
[0001] 本发明涉及一种微机械装置，更具体地，涉及一种电容式微机械感测装置。
背景技术
[0002] 一般来说，现有的微机械制造技术包括通过薄膜沉积以及蚀刻技术在基板层上进行一连串的增加以及移除若干材料层，一直到所要的结构形成为止。因此，微机械组件通常与其在大尺度下的对应结构有着相同的作用原理，但与其大尺度下的对应结构相比较，微机械组件在设计上、性能上以及成本上具有优势。此外，由于批量制造技术可应用于微机械组件，每单元的制造成本得以大量的降低。
[0003] 微机械结构经常用于例如加速度计或陀螺仪等的微机电惯性传感器中。利用差动电容来侦测加速度的微机电加速度计通常包括三个主要的微机械组件：质量块、电容板以及支撑弹簧。参考图1，现有的差动电容式微机电加速度计100包括可动的质量块102，该质量块102由支撑弹簧104所支撑。质量块102包括有多个电极108，由质量块102垂直向外延伸，并分别插入多个由支撑梁112垂直延伸出的电极110的间隙内。上述组件利用常用的蚀刻技术形成在基板118上的一个凹部116内，并可固定在下方的基板118上，或者是固定在由基板118伸出的悬臂结构。电极108与110通常是由多晶硅(polysilicon)或多层膜材料所组成，例如二氧化硅及铝所形成，由此在每一对相邻的电极108、110上，制造出个别的平行板电容器。在运作的时候，当加速度计100被加速时，电极108会相对于电极110运动，以改变电极108、110间的距离，电极108、110间的电容则会因此产生变化。电极
108、110间的电容值能够由与连接器120连接的电路所确定，这些连接器120通过支撑梁
112连接至电极110。
[0004] 上述微机电加速度计100的灵敏度取决于某些参数，例如质量块102的质量、弹簧104的弹性系数以及电极108、110间的电容。一般来说，质量块102的质量越大，感测装置的惯性越好，这是因为对于某一给定的加速度，较大的质量块102将施加较大的力。因此，当质量块102的质量增加时，将会因此增加质量块102与加速度计100的其它组件保持无相对运动的趋势。然而，由于一般的微机电加速度计需要周围电路的配合方能运作，使得在加速度计大小一定的情况下，可得到的质量块102的大小受到实际上的限制。此外，电极
108与110间的总电容值越大，加速度计100的灵敏度也越好，而电极108与110间的总电容值正比于电极108与110间的总重叠面积。一种增加电极108与110间的总重叠面积的方法为增加电极108与110的数目。然而，增加电极108与110的数目通常需要增加质量块102的侧边面积，以容纳额外的电极108与110。如前所述，在加速度计大小一定的情况下，可得到的质量块102的大小受到实际上的限制。
[0005] 因此，需要提供一种微机械感测装置，以解决上述问题。
发明内容
[0006] 本发明的目的在于提供一种微机械感测装置，该装置通过增加电极数目来提高灵敏度。
[0007] 为达上述目的，本发明第一实施例的微机械感测装置包括一质量块，可相对于一基板运动，包括有一第一部分、一第二部分与一第三部分，其中第二部分与第一部分分离，第三部分则连接第一部分与第二部分。一框体设置于基板上，并围绕质量块。多个弹簧连接质量块与框体，多个第一电极与第二电极从框体延伸出。多个第三电极从质量块的第一部分延伸出，并分别插入相邻的第一电极之间，而多个第四电极从质量块的第二部分延伸出，并分别插入相邻的第二电极之间。一第一支撑梁从框体延伸出，并伸入至质量块的第一部分与第二部分之间的区域内。多个第七与第八电极从第一支撑梁延伸出。多个第五电极从质量块的第一部分延伸出，并分别插入相邻的第七电极之间，而多个第六电极从质量块的第二部分延伸出，并分别插入相邻的第八电极之间。
[0008] 本发明第二实施例的微机械感测装置则另包括一第二支撑梁，从框体延伸出，并伸入至质量块的第一部分与第二部分之间的区域内，其中第一支撑梁与第二支撑梁相互成一直线，并被质量块的第三部分所分隔。多个第九电极从第二支撑梁延伸出，并分别插入相邻的第五电极之间，而多个第十电极从第二支撑梁延伸出，并分别插入相邻的第六电极之间。
[0009] 本发明第三实施例的微机械感测装置包括一质量块，可相对于基板运动，包括有一第一部分、一第二部分、一第三部分、一第四部分与一第五部分，其中第三部分设于第一部分与第二部分之间，第四部分连接第一部分与第三部分，第五部分连接第二部分与第三部分。一框体设置于基板上，并围绕质量块。多个弹簧连接质量块与框体，多个第一电极与十二电极则从框体延伸出。多个第二电极从质量块的第一部分延伸出，并分别插入相邻的第一电极之间，而多个第十一电极，从质量块的第二部分延伸出，并分别插入相邻的第十二电极之间。多个第三电极从质量块的第一部分延伸出，多个第十电极则从质量块的第二部分延伸出，而多个第六电极与第七电极，从质量块的第三部分延伸出。一第一支撑梁从框体延伸出，并伸入至质量块的第一部分与第三部分之间的区域内，而一第二支撑梁从框体延伸出，并伸入至质量块的第二部分与第三部分之间的区域内。多个第四电极从第一支撑梁延伸出，并分别插入相邻的第三电极之间，而多个第五电极则从第一支撑梁延伸出，并分别插入相邻的第六电极之间。多个第八电极从第二支撑梁延伸出，并分别插入相邻的第七电极之间，而多个第九电极，从第二支撑梁延伸出，并分别插入相邻的第十电极之间。一第三支撑梁从框体延伸出，并伸入至质量块的第一部分与第三部分之间的区域内，其中第一支撑梁与第三支撑梁相互成一直线，并被质量块的第四部分所分隔，而一第四支撑梁则从框体延伸出，并伸入至质量块的第二部分与第三部分之间的区域内，其中第二支撑梁与第四支撑梁相互成一直线，并被质量块的第五部分所分隔。多个第十三电极从第三支撑梁延伸出，并分别插入相邻的第三电极之间，而多个第十四电极则从第三支撑梁延伸出，并分别插入相邻的第六电极之间。多个第十五电极从第四支撑梁延伸出，并分别插入相邻的第七电极之间，而多个第十六电极则从第四支撑梁延伸出，并分别插入相邻的第十电极之间。
[0010] 为了更清楚地解释本发明的上述和其它目的、特征和优点，在下文中对本发明的实施例，并配合附图，进行详细说明如下。
附图说明
[0011] 图1为现有的差动电容式微机电加速度计的顶视图；
[0012] 图2为本发明第一实施例的微机械感测装置的顶视图；
[0013] 图3为本发明第二实施例的微机械感测装置的顶视图；
[0014] 图4为本发明第三实施例的微机械感测装置的顶视图。
[0015] 主要组件符号说明
[0016] 100微机电加速度计 102质量块
[0017] 104支撑弹簧 108电极
[0018] 110电极 112支撑梁
[0019] 116凹部 118基板
[0020] 120连接器 200微机械感测装置
[0021] 210基板 220质量块
[0022] 221第一部分 221a纵向侧
[0023] 221b纵向侧 222第二部分
[0024] 222a纵向侧 222b纵向侧
[0025] 223第三部分 231a电极
[0026] 231b电极 232a电极
[0027] 232b电极 240框体
[0028] 241纵向侧 242纵向侧
[0029] 243横向侧 244横向侧
[0030] 251电极 252电极
[0031] 253a弹簧 253b弹簧
[0032] 254a弹簧 254b弹簧
[0033] 260支撑梁 261纵向侧
[0034] 262纵向侧 271电极
[0035] 272电极 282固定部
[0036] 284固定部 286固定部
[0037] 300微机械感测装置 371电极
[0038] 372电极 388固定部
[0039] 390支撑梁 391纵向侧
[0040] 392纵向侧 400微机械感测装置
[0041] 410基板 420质量块
[0042] 421第一部分 421a纵向侧
[0043] 421b纵向侧 422第二部分
[0044] 422a纵向侧 422b纵向侧
[0045] 423第三部分 423a纵向侧
[0046] 423b纵向侧 424第四部分
[0047] 425第五部分 431a电极
[0048] 431b电极 432a电极
[0049] 432b电极 433a电极
[0050] 433b电极 440框体
[0051] 441纵向侧 442纵向侧
[0052] 443横向侧 444横向侧
[0053] 451电极 452电极
[0054] 453a弹簧 453b弹簧
[0055] 453c弹簧 454a弹簧
[0056] 454b弹簧 454c弹簧
[0057] 461支撑梁 461a纵向侧
[0058] 461b纵向侧 462支撑梁
[0059] 462a纵向侧 462b纵向侧
[0060] 463支撑梁 463a纵向侧
[0061] 463b纵向侧 464支撑梁
[0062] 464a纵向侧 464b纵向侧
[0063] 471a电极 471b电极
[0064] 472a电极 472b电极
[0065] 473a电极 473b电极
[0066] 474a电极 474b电极
[0067] 481固定部 482固定部
[0068] 483固定部 484固定部
[0069] 486固定部 488固定部
具体实施方式
[0070] 参考图2，本发明第一实施例的微机械感测装置200包括可相对于一基板210运动的一质量块220。质量块220包括有一第一部分221、一第二部分222与一第三部分223，其中第二部分222与第一部分221分离，第三部分223连接第一部分221与第二部分222。多个电极231a由第一部分221的一纵向侧221a垂直延伸出，同样地，多个电极232a由第二部分222的一纵向侧222a垂直延伸出。一框体240具有两个相对的纵向侧241、242与两个相对的横向侧243、244，设置于基板210上，并围绕质量块220。一固定部284连接至框体240的横向侧243，并固定在基板210上，而另一固定部286则连接至框体240的横向侧244，并固定在基板210上。多个电极251则由框体240的纵向侧241延伸出，并分别插入相邻的电极231a之间。多个电极252由框体240的纵向侧242延伸出，并分别插入相邻的电极232a之间。一弹簧253a连接质量块220的第一部分221与框体240的横向侧243，而另一弹簧253b则连接质量块220的第二部分222与框体240的横向侧243。另外，弹簧
254a与254b则连接质量块220的第三部分223与框体240的横向侧244。
[0071] 为了增加微机械感测装置200的灵敏度，一支撑梁260由框体240的横向侧243垂直延伸出，并伸入至质量块220的第一部分221与第二部分222之间的区域内。一固定部282固定于基板210上，而支撑梁260的纵向侧261、262的末端则连接至固定部282上。多个电极271由支撑梁260的一纵向侧261垂直延伸出，并分别插入由第一部分221的另一纵向侧221b垂直延伸出的多个电极231b的间隙内。多个电极272由支撑梁260的另一纵向侧262垂直延伸出，并分别插入由第二部分222的另一纵向侧222b垂直延伸出的多个电极232b的间隙内。在运作的时候，当感测装置200被加速时，电极231a、231b、232a与232b将分别相对于电极251、271、252与272运动，从而改变电极间的距离，电极231a、
231b、232a、232b与251、271、252、272间的电容则会因此产生变化。电极对231b与271间以及电极对232b与272间的电容变化的信号能够通过布设在支撑梁260上的电路被送至外部电路(未显示)，这些电极与其相对电极之间的电容变化能够用来确定微机械感测装置200的加速度。由于电极对231b与271以及电极对232b与272的引入可增加感测装置
200的总电容，本发明的感测装置200的灵敏度因此比现有的感测装置100的灵敏度更好。
[0072] 应注意的是，当微机械感测装置200以CMOS制程形成时，较高的残余应力将会留存在框体240上，因此框体240容易发生翘曲，该翘曲会造成电极与其相对电极间发生不匹配的情形，从而降低感测装置200的灵敏度。当微机械感测装置200以CMOS或其它制程形成时，为避免对感测装置200造成不良的影响，固定部282、284与286优选地彼此成一直线排列。
[0073] 请参考图3，图3表示本发明第二实施例的微机械感测装置300，其中相同的标号标示着相同的组件，因此，相同组件的进一步说明将在此省略。微机械感测装置300实质上与微机械感测装置200相同，两者的差异在于感测装置300的质量块220实质上呈H形，且其第三部分223实质上连接至第一部分221的纵向侧221b的中央与第二部分222的纵向侧222b的中央。感测装置300的弹簧254a与254b则分别连接质量块220的第一部分221与第二部分222至框体240的横向侧244。感测装置300另包括一支撑梁390，该支撑梁390由框体240的横向侧244垂直延伸出，并伸入至质量块220的第一部分221与第二部分222之间的区域内。一固定部388固定于基板210上，而支撑梁390的纵向侧391、392的末端则连接至固定部388上。两个支撑梁260与390相互成一直线，并被质量块220的第三部分223所分隔。多个电极371由支撑梁390的一纵向侧391垂直延伸出，并分别插入由第一部分221的纵向侧221b垂直延伸出的多个电极231b的间隙内。多个电极372由支撑梁
390的另一纵向侧392垂直延伸出，并分别插入由第二部分222的纵向侧222b垂直延伸出的多个电极232b的间隙内。同样地，当感测装置300被加速时，电极371与372将分别相对于电极231b与232b运动，电极371、372与其相对电极231b、232b间的电容将因此产生变化。电极对231b与371间以及电极对232b与372间的电容变化的信号能够通过布设在支撑梁390上的电路被送至外部电路(未显示)。这些电极与其相对电极之间的电容变化能够用来确定微机械感测装置300的加速度。同样地，如前所述，当微机械感测装置300以CMOS或其它制程形成时，为避免对感测装置300造成不良的影响，固定部388优选地与固定部282、284与286成一直线排列。
[0074] 参考图4，本发明第三实施例的微机械感测装置400包括可相对于一基板410运动的一质量块420。质量块420包括有一第一部分421、一第二部分422、一第三部分423、一第四部分424与一第五部分425，其中第三部分423设于第一部分421与第二部分422之间，第四部分424连接第一部分421与第三部分423，而第五部分425则连接第二部分422与第三部分423。多个电极431a由第一部分421的一纵向侧421a垂直延伸出，而多个电极431b则由第一部分421的另一纵向侧421b垂直延伸出。多个电极432a由第二部分422的一纵向侧422a垂直延伸出，而多个电极432b则由第二部分422的另一纵向侧422b垂直延伸出。多个电极433a由第三部分423的一纵向侧423a垂直延伸出，而多个电极433b则由第三部分423的另一纵向侧423b垂直延伸出。一框体440具有两个相对的纵向侧441、442与两个相对的横向侧443、444，设置于基板410上，并围绕质量块420。一固定部486连接至框体440的横向侧443，并固定在基板410上，而另一固定部488则连接至框体440的横向侧444，并固定在基板410上。多个电极451由框体440的纵向侧441延伸出，并分别插入相邻的电极431a之间。多个电极452则由框体440的纵向侧442延伸出，并分别插入相邻的电极432a之间。弹簧453a、453b与453c分别连接质量块420的第一部分421、第二部分422与第三部分423至框体440的横向侧443，而弹簧454a、454b与454c则分别连接质量块420的第一部分421、第二部分422与第三部分423至框体440的横向侧444。
[0075] 为了增加微机械感测装置400的灵敏度，一支撑梁461由框体440的横向侧443垂直延伸出，并伸入至质量块420的第一部分421与第三部分423之间的区域内。一固定部481固定于基板410上，而支撑梁461的纵向侧461a、461b的末端则连接至固定部481上。多个电极471a由支撑梁461的纵向侧461a垂直延伸出，并分别插入电极431b的间隙内，而多个电极471b由支撑梁461的纵向侧461b垂直延伸出，并分别插入电极433a的间隙内。一支撑梁462由框体440的横向侧443垂直延伸出，并伸入至质量块420的第二部分422与第三部分423之间的区域内。一固定部482固定于基板410上，而支撑梁462的纵向侧462a、462b的末端则连接至固定部482上。多个电极472a由支撑梁462的纵向侧462a垂直延伸出，并分别插入电极433b的间隙内，而多个电极472b由支撑梁462的纵向侧
462b垂直延伸出，并分别插入电极432b的间隙内。一支撑梁463由框体440的横向侧444垂直延伸出，并伸入至质量块420的第一部分421与第三部分423之间的区域内。两个支撑梁461与463相互成一直线，并被质量块420的第四部分424所分隔。一固定部483固定于基板410上，而支撑梁463的纵向侧463a、463b的末端则连接至固定部483上。多个电极473a由支撑梁463的纵向侧463a垂直延伸出，并分别插入电极431b的间隙内，而多个电极473b由支撑梁463的纵向侧463b垂直延伸出，并分别插入电极433a的间隙内。一支撑梁464由框体440的横向侧444垂直延伸出，并伸入至质量块420的第二部分422与第三部分423之间的区域内。两个支撑梁462与464相互成一直线，并被质量块420的第五部分425所分隔。一固定部484固定于基板410上，而支撑梁464的纵向侧464a、464b的末端则连接至固定部484上。多个电极474a由支撑梁464的纵向侧464a垂直延伸出，并分别插入电极433b的间隙内，而多个电极474b由支撑梁464的纵向侧464b垂直延伸出，并分别插入电极432b的间隙内。同样地，当感测装置400被加速时，电极431a、431b、433a、
433b、432a与432b将分别相对于各自的相对电极运动，电极431a、431b、433a、433b、432a、
432b与其相对电极间的电容将因此产生变化。布设在支撑梁461、462、463与464上的电路(未显示)能够将这些电极与其相对电极间的电容变化的信号送出至外部电路，使得感测装置400的加速度能够根据这些信号来确定。
[0076] 虽然本发明已通过上述优选实施例得以说明，然所述实施例并非用以限定本发明，任何本领域普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，可作出各种更动与修改。因此本发明的保护范围应由本发明的权利要求书所限定的范围为准。
