料浆转印装置以及电子零件安装装置

摘要

提供一种料浆转印装置，其用于向从零件供给部取出的电子零件上转印助熔剂并安装在基板上的电子零件安装装置，其中，用移动构件将具有由无杆工作缸通过驱动传递销往复驱动，助熔剂的成膜/刮离用的第一刮板、第二刮板的刮板保持头绕摆动支承销摆动自如地保持，并且用板簧构件通过规定的制动力制动移动构件。由此，在使刮板移动方向反转时，刮板保持头摆动，可以不设置专用的驱动机构而自动地切换第一刮板和第二刮板。

权利要求

1.一种料浆转印装置，其向电子零件上转印料浆，其包括：基体部，该基体部具有在其上表面形成使上述电子零件接触的料浆膜的平滑的膜形成面，移动构件，其可以沿着上述基体部水平移动，刮板保持部，其可以绕摆动支点摆动地与上述移动构件结合，与上述移动构件一起往复运动，第一刮板以及第二刮板，它们在上述往复运动的方向上隔开并装配在上述刮板保持部上，以夹着上述摆动支点在上述往复运动方向上的位置，往复运动机构，其以上述刮板保持部上的从上述摆动支点隔开的位置作为驱动作用点，传递往复驱动力，制动机构，其以克服上述刮板保持部在摆动时的摆动阻力的大小的制动阻力，将上述移动构件向上述往复运动机构的驱动方向的相反方向制动，在上述移动构件进行去动时，使上述第一刮板或第二刮板之中的任一个刮板一边与上述基体部接触一边移动，在上述移动构件进行回动时，使另一个刮板一边与上述基体部接触一边移动。

2.如权利要求1所述的料浆转印装置，其中，上述第一刮板是在上述膜形成面上形成预先确定的膜厚的料浆膜的成膜用的刮板，上述第二刮板是将在上述膜形成面上存在的料浆刮离的刮离用的刮板。

3.如权利要求2所述的料浆转印装置，其中，在上述成膜用的刮板上的与上述基体部的接触部分设有与上述膜厚对应的深度的缺口部，上述刮离用的刮板形成为与上述基体部的上述膜形成面接触。

4.如权利要求2所述的料浆转印装置，其中，在上述基体部的上表面设有凹部，该凹部的底面作为上述膜形成面起作用，且该凹部具有与上述膜厚对应的深度，上述刮离用的刮板形成为与上述凹部的底面接触。

5.如权利要求1所述的料浆转印装置，其中，在上述第一刮板和第二刮板之间具有料浆储存部，其储存从上述膜形成面刮离的料浆。

6.一种电子零件安装装置，其包括：

安装头，其保持电子零件并将其安装到基板上，基板保持部，其保持上述基板，

头移动装置，其使上述安装头相对于上述基板保持部移动并进行上述安装头相对于上述基板保持部的定位，权利要求1～5中任一项所述的料浆转印装置，其配置在由上述头移动装置形成的上述安装头的移动路径上，将料浆转印到由上述安装头保持的上述电子零件上。

说明书

料浆转印装置以及电子零件安装装置

技术领域

[0001] 本发明涉及一种通过转印在电子零件上涂敷料浆的料浆转印装置，以及浆利用这样的料浆转印装置转印了料浆的电子零件安装在基板上的电子零件安装装置。 背景技术

[0002] 在将电子零件向基板上安装时，存在需要向电子零件和基板的接合面上转印涂敷助熔剂(flux)或膏状焊锡等料浆状的接合辅助材料或者接合材料的情况。 该料浆的转印(涂敷)用各种方法进行，例如，在涂敷助熔剂的例子中，大多采用如下方法，使从零件供给部拾起的电子零件相对于由助熔剂以预定膜厚成膜了的工作台下降，通过使助熔剂接触到电子零件的下表面来进行转印。 一直以来，作为用于这种用途的电子零件安装装置，公知的是具备以规定膜厚形成了助熔剂膜的助熔剂转印装置的装置(例如参考专利文献1或2)。

[0003] 在专利文献1所示的例子中，通过使刮离用和膜形成用的两个刮板在平坦的转印台上往复动作，交替反复进行准备规定膜压的助熔剂膜的成膜动作和使电子零件接触于助熔剂膜，刮离并回收转印涂敷之后的表面变粗糙的助熔剂膜的刮离动作。 另外，在专利文献2所示的例子中，在旋转的滚子的外周面上形成助熔剂膜。 [0004] 专利文献1：日本特开2000—188498号公报

[0005] 专利文献2：日本特开2000—22394号公报

[0006] 但是在上述现有技术的例子中，在使电子零件安装装置高效率且紧凑化方面，存在如下这样的问题。 首先，在专利文献1所示的现有技术中，除了使两个刮板沿着转印台往复运动的往复运动机构以外，还需要切换成膜用和刮离用的两个刮板的刮板切换机构。 因此，助熔剂转印装置的机构 简化困难，妨碍了用于实现紧凑的零件安装装置的布局最佳化。 尤其在电子零件安装装置中，不仅考虑缩小助熔剂转印装置的平面的设置面积，还考虑使安装头等通过助熔剂转印装置的上方，在高度方向上也要求紧凑。 [0007] 另外，在专利文献2所示的现有技术中，存在如下这样的缺点，其一是虽然通过采用滚子方式可以实现紧凑化，但很难控制膜厚，其二是由于不具有平坦的转印面，所以并不适于以带焊盘的电子零件为对象想要同时进行助熔剂涂敷和焊盘的调平的用途。 这样在现有技术的例子中，存在难以通过紧凑的装置精度良好地进行助熔剂等的料浆的转印的问题。

发明内容

[0008] 因此，本发明的目的在于解决上述问题，提供一种能够用紧凑的装置精度良好地进行助熔剂等料浆的转印的料浆转印装置以及电子零件安装装置。 [0009] 为了达成上述目的，本发明构成如下。

[0010] 根据本发明的第一方式，提供一种料浆转印装置，其向电子零件上转印料浆，其包括：

[0011] 基体部，该基体部具有在其上表面形成使上述电子零件接触的料浆膜的平滑的膜形成面，

[0012] 移动构件，其可以沿着上述基体部水平移动，

[0013] 刮板保持部，其可以绕摆动支点摆动地与上述移动构件结合，与上述移动构件一起往复运动，

[0014] 第一刮板以及第二刮板，它们在上述往复运动的方向上隔开并装配在上述刮板保持部上，以夹着上述摆动支点在上述往复运动方向上的位置，

[0015] 往复运动机构，其以上述刮板保持部上的从上述摆动支点隔开的位置作为驱动作用点，传递往复驱动力，

[0016] 制动机构，其以克服上述刮板保持部在摆动时的摆动阻力的大小的制动阻力，将上述移动构件向上述往复运动机构的驱动方向的相反方向制动，

[0017] 在上述移动构件进行去动时，使上述第一刮板或第二刮板之中的任一个刮板一边与上述基体部接触一边移动，在上述移动构件进行回动时，使另一个刮板一边与上述基体部接触一边移动。

[0018] 根据本发明的第二方式，提供第一方式所述的料浆转印装置，其中， [0019] 上述第一刮板是在上述膜形成面上形成预先确定的膜厚的料浆膜的成膜用的刮板，

[0020] 上述第二刮板是将在上述膜形成面上存在的料浆刮离的刮离用的刮板。 [0021] 根据本发明的第三方式，提供第二方式所述的料浆转印装置，其中， [0022] 在上述成膜用的刮板上的与上述基体部的接触部分设有与上述膜厚对应的深度的缺口部，

[0023] 上述刮离用的刮板形成为与上述基体部的上述膜形成面接触。 [0024] 根据本发明的第四方式，提供第二方式所述的料浆转印装置，其中， [0025] 在上述基体部的上表面设有凹部，该凹部的底面作为上述膜形成面起作用，且该凹部具有与上述膜厚对应的深度，上述刮离用的刮板形成为与上述凹部的底面接触。 [0026] 根据本发明的第五方式，提供第一方式所述的料浆转印装置，其中， [0027] 在上述第一刮板和第二刮板之间具有料浆储存部，其储存从上述膜形成面刮离的料浆。

[0028] 根据本发明的第六方式，提供一种电子零件安装装置，其包括： [0029] 安装头，其保持电子零件并将其安装到基板上，

[0030] 基板保持部，其保持上述基板，

[0031] 头移动装置，其使上述安装头相对于上述基板保持部移动并进行上述安装头相对于上述基板保持部的定位，

[0032] 第一方式～第五方式中任一项所述的料浆转印装置，其配置在由上述头移动装置形成的上述安装头的移动路径上，将料浆转印到由上述安装头保持的上述电子零件上。

[0033] 发明效果

[0034] 根据本发明，在由两个刮板交替进行料浆的膜形成和刮离的构成中，利用使刮板水平移动的往复运动机构的驱动力，进行刮板的切换，通过采用这样的方式，不再需要一直以来使用的另外具有驱动源的刮板切换机构，可以用小型装置精度良好地实现助熔剂等料浆的转印涂敷。

[0035] 附图说明

[0036] 本发明的这些以及其他目的和特征基于与附图中的优选实施方式相关的下述记载可以更明确，在这些图中，

[0037] 图1是本发明的一实施方式的电子零件安装装置的俯视图；

[0038] 图2是本实施方式的电子零件安装装置的立体图；

[0039] 图3A是表示本实施方式的电子零件安装装置中的助熔剂转印单元的构成的模式俯视图；

[0040] 图3B是图3A的电子零件安装装置的模式侧视图；

[0041] 图4是本实施方式的电子零件安装装置中的助熔剂转印单元的局部俯视图； [0042] 图5是本实施方式的电子零件安装装置中的助熔剂转印单元的局部侧视图； [0043] 图6是本实施方式的电子零件安装装置中的助熔剂转印单元的局部剖面图； [0044] 图7A是本实施方式的电子零件安装装置中的助熔剂转印单元的成膜用刮板以及转印台的形状说明图；

[0045] 图7B是本实施方式的助熔剂转印单元的刮离用刮板以及转印台的形状说明图； [0046] 图7C是本实施方式的变形例的助熔剂转印单元的成膜用刮板以及转印台的形状说明图；

[0047] 图7D是本实施方式的变形例的助熔剂转印单元的刮离用刮板以及转印台的形状说明图；

[0048] 图8A是本实施方式的电子零件安装装置中的助熔剂转印单元的刮板保持头的动作说明图，是表示成膜状态的图；

[0049] 图8B是本实施方式的电子零件安装装置中的助熔剂转印单元的刮板保持头的动作说明图，是表示刮离状态的图；

[0050] 图9是表示本实施方式的电子零件安装装置的控制系统的结构的框图； [0051] 图10A是本实施方式的电子零件安装装置中的助熔剂转印单元的动 作说明图； [0052] 图10B是本实施方式的电子零件安装装置中的助熔剂转印单元的动作说明图； [0053] 图11A是本实施方式的电子零件安装装置中的助熔剂转印单元的动作说明图，是表示即将转印料浆之前的状态的图；

[0054] 图11B是本实施方式的电子零件安装装置中的助熔剂转印单元的动作说明图，是表示转印料浆之后不久的状态的图；

[0055] 图12A是本实施方式的电子零件安装装置中的助熔剂转印单元的动作说明图； [0056] 图12B是本实施方式的电子零件安装装置中的助熔剂转印单元的动作说明图。 具体实施方式

[0057] 在继续本发明的记述之前，在附图中对于相同零件标注相同参考符号。 [0058] 以下，基于附图详细说明本发明的实施方式。

[0059] 首先，利用图1所示的本发明的一实施方式的电子零件安装装置1的模式俯视图和电子零件安装装置1的模式立体图，说明电子零件安装装置1的构造。 在图1中，在基台1a的上表面在X方向(基板搬运方向)上配置有搬运路2。 搬运路2搬运从上游侧搬入的基板3，保持并定位于以下说明的零件安装机构的安装位置。因此，搬运路2为保持基板3并对其进行定位的基板保持部。 在电子零件安装装置1上设有同一构造的两个零件安装机构4A、4B，相对于被保持在搬运路2的各个安装位置上的基板3，由零件安装机构4A、4B安装电子零件。

[0060] 如图2所示，零件安装机构4A、4B分别具有零件供给部5A、5B，在零件供给部5A、5B保持货盘6，货盘6上安装了多个零件托盘6a，多个零件托盘6a以格子排列方式收容多个电子零件7。 安装了零件托盘6a的货盘6被托盘供给器15A、15B供给向零件供给部5A、5B，取出电子零件7之后的空的零件托盘6a和货盘6一起被回收到托盘供给器15A、15B。

[0061] 在基台1a的上方配置有XY机器人8A、8B，将搬运路2以及零件供给部5A、5B包含在移动范围内。 XY机器人8A、8B都是使X轴工作台9X、Y轴工作台9Y正交而组合的构造，在X轴工作台9X装配有安装头10，安装头10具有多个吸附嘴单元11。
通过驱动XY机器人8A、8B，各个安装头10在X方向、Y方向水平移动。 [0062] 因此，XY机器人8A、8B为头移动装置，使安装头10在零件供给部5A、5B和设于搬运路2上的基板保持部之间移动。通过该头移动，安装头10利用在吸附嘴单元11上装配的吸附嘴11a(参考图11A或图11B)从零件供给部5A、5B取出电子零件7，安装到在搬运路2保持的基板3上。

[0063] 在从零件供给部5A、5B取出了电子零件7的安装头10向基板3移动的移动路径上，配置有识别部12A、12B以及作为头转印装置的一个例子的助熔剂转印单元13。 识别部12A、12B具有线路照相机(line camera)，通过进行由各吸附嘴单元11保持了电子零件7的安装头10在识别部12A、12B的上方朝向规定方向移动的扫描动作，从下方对保持在安装头10上的状态下的电子零件7进行摄像。 然后通过识别处理通过摄像得到的图像，进行从零件供给部5A、5B取出的电子零件7的识别、即电子零件7的识别或错位的检测。

[0064] 在被两个识别部12A、12B夹着的位置上配置有助熔剂转印单元13。 助熔剂转印单元13具有在从零件供给部5A、5B取出的电子零件7的焊盘7a(参考图11A或图11B)上通过转印涂敷作为料浆的一个例子的焊接接合用的助熔剂的功能，并且具备刮板往复运动机构14，该刮板往复运动机构14驱动形成转印用的助熔剂涂膜的转印工作台13a、13b以及膜形成用的刮板(或涂刷器)。

[0065] 转印工作台13a、13b在X方向上串联配置，使得分别在XY机器人8A、8B的作用下移动的两个安装头10可以在不发生干涉的情况下接近。 而且，刮板往复运动机构14为将用于使刮板在这些转印工作台13a、13b上移动的驱动机构组装成一体的结构。即，助熔剂转印单元13具有作为料浆转印装置的功能，其配置在头移动机构使安装头10移动的移动路径上，通过转印(即通过使其接触)而将作为料浆的助熔剂涂敷在由设于安 装头10上的作为零件保持部的吸附嘴11a保持的电子零件7上。

[0066] 在此，图3A表示助熔剂转印单元13的模式俯视图，图3B表示其模式侧视图。如图3A以及图3B所示，助熔剂转印单元13具有的结构是将转印工作台13a、13b在X方向串联配置，转印工作台13a、13b以基体部17为主体，基体部17具有平滑的膜形成面17a，膜形成面17a用于在上面形成助熔剂18的涂膜，沿着转印工作台13a、13b配置刮板往复运动机构14。 在转印工作台13a、13b的上方，刮板保持头20被保持配置于从刮板往复运动机构14分别延伸出的托架22a、22b上。 刮板保持头20构成为在水平的支架20a的两端部将都是板状的第一刮板21a、第二刮板21b在垂直姿势下使接触端部朝向下方来进行保持。 而且，在侧视图中，省略了在转印工作台13b上配置的刮板保持头20的图示。

[0067] 刮板往复运动机构14具有如下结构：在Y方向上并列配置第一驱动机构14a、第二驱动机构14b，第一驱动机构14a、第二驱动机构14b分别用于使保持刮板保持头20的托架22a、22b各自在X方向上水平往复运动。 第一驱动机构14a、第二驱动机构14b以在水平的基体机架16的上面配置的无杆工作缸23为驱动源。 而且，在无杆工作缸23作用下托架22a、22b的水平运动由导轨24通过移动构件25引导。

[0068] 第一驱动机构14a、第二驱动机构14b为了达成在细长形状的转印工作台13a、13b上使刮板移动的机构的目的，必然形成为细长形状。而且，如上所述，在将转印工作台13a、13b串联配置的情况下，当将第一驱动机构14a、第二驱动机构14b串联配置时，长度方向的占有面积增大，妨碍装置布局的紧凑化。 对此，如本实施方式所示，通过使第一驱动机构14a、第二驱动机构14b在Y方向上并列，可以减小助熔剂转印单元13的占有面积，可以实现装置紧凑化。

[0069] 其次，参考表示助熔剂转印单元13的局部俯视图的图4、表示局部侧视图的图5、以及表示局部剖面图的图6，说明助熔剂转印单元13的详细构造。 此外，转印工作台13a、13b以及第一驱动机构14a、第二驱动机构14b虽然各自具有的托架22a、22b的形状有些不同，但基本上是相同结构，因此在此，仅说明转印工作台13a以及用于驱动在转印工作台13a上移动的刮板保持头20的第一驱动机构14a的构造。

[0070] 在图4、图5中，在立起设置于基体板16的纵机架26的侧面，在X方向上配置导轨24。 滑动自如地嵌在导轨24上的滑块24a被固定在移动构件25上(参考图6)，移动构件25被导轨24引导，在X方向上水平移动自如地配置。

[0071] 如图5所示，移动构件25形成为左端部的上侧部分向左侧延伸出的形状，在该延伸部通过摆动支承销28将摆动连杆27支承为在XZ面内摆动自如。 摆动连杆27固定于托架22a的下面，通过摆动连杆27绕作为摆动支点的摆动支承销28摆动，与托架22a结合的支架20a也同样与第一刮板21a、第二刮板21b一起一体摆动。另外，通过移动构件25在X方向往复运动，支架20a与第一刮板21a、第二刮板21b一起一体往复运动。 [0072] 因此，支架29a、托架22a以及摆动连杆27结合于移动构件25且能够绕摆动支点进行摆动，构成与移动构件25一起往复运动的刮板保持部。 而且，第一刮板21a、第二刮板21b形成为在该刮板保持部的支架20a上夹着摆动支点、即夹着摆动支点的往复运动的方向上的位置，在往复运动的方向上相隔开安装的形态。 而且，在助熔剂转印单元13进行助熔剂涂膜形成动作中，在第一刮板21a和第二刮板21b之间的空间，储存从膜形成面17a刮离的助熔剂18。 此外，这样的空间为助熔剂的储存部(料浆储存部)。 [0073] 在摆动连杆27中在从摆动支承销28向下方隔开的位置上设有驱动传递销29，在允许驱动传递销29的绕轴的相对旋转变位的状态下，驱动传递销29结合摆动连杆27和连结构件30。 连结构件30结合于在基体机架16上在X方向配置的无杆工作缸23的移动块31，通过驱动无杆工作缸23使移动块31在X方向上滑动，向摆动连杆27通过连结构件30以及驱动传递销29传递X方向的水平驱动力。 因此，无杆工作缸23、移动块
31、连结构件30构成往复运动机构，该机构以从摆动支点即摆动支承销28的位置隔开的驱动传递销29的位置作为驱动作用点，将往复驱动力传递给刮板保持部。 [0074] 如图4所示，在移动构件25的侧面结合有由弹簧钢等材料制作的板簧构件
32(作为弹性构件的一个例子)，在板簧构件32的前端部安装有由树脂等弹性体制作的滑动构件33。 滑动构件33抵接于导轨24的侧面，在 该安装状态下，滑动构件33在板簧构件32的弹性力的作用下对导轨24按压规定的按压力F。 利用该按压力F，在移动构件25向X方向移动时，作用与滑动构件33和导轨24的摩擦系数相对应的大小的制动力f。

[0075] 在此，采用的结构是，在刮板保持头20整体绕摆动支承销28摆动时，相比于摆动阻力，滑动构件33和导轨24的摩擦引起的制动力f变大。 即，通过适当设定板簧构件32的按压力F和滑动构件33的材质以及与导轨24滑动接触部分的表面性状，可得到希望的制动力f。即，板簧构件32以及滑动构件33构成制动机构，该制动机构利用克服刮板保持部的摆动时的摆动阻力的大小的制动阻力，将移动构件25向与往复运动机构的驱动方向的相反方向进行制动。 而且，如后所述，通过该制动力f作用在驱动方向的相反方向上，可以自动进行助熔剂涂膜形成时以及助熔剂刮离时的第一刮板21a、第二刮板21b的切换。

[0076] 而且，在本实施方式中，如图5所示，说明了夹着摆动支点(摆动支承销28)将两个刮板21a以及21b装配在支架20a上、进而在摆动支点的图示上方位置配置支架20a，在摆动支点的图示下方位置配置驱动作用点的方式，但本实施方式并不仅限定于这样的方式。 还可以取代这样的情况，例如可以采用在驱动作用点的上方位置配置支架，在支架的上方位置配置摆动支点这样的方式。 但是，在电子零件安装装置1中，考虑使安装头10通过助熔剂转印单元13的上方，优选将助熔剂转印单元13的单元高度限制得更低。 为此，相比于在支架的上方位置配置摆动支点的方式，如本实施方式那样，在摆动支点的上方位置配置支架的方式，由于可以较低地限制单元高度，所以优选。 [0077] 在此，参考图7A以及图7B，对于基体部17以及第一刮板21a、第二刮板21b的形状进行说明。 第一刮板21a是在膜形成面17a上形成规定膜厚的料浆膜的成膜用的刮板，第二刮板21b是将在膜形成面17a上存在的料浆刮离的刮离用的刮板。 [0078] 如图7A以及图7B所示，在转印工作台13a上设有具备表面平滑的膜形成面17a的基体部17。 在第一刮板21a的下端部，在与膜形成面17a接触的接触端部设有与规定的助熔剂膜厚t对应的缺口部21c，在使第一刮板21a的下端部接触于膜形成面17a的状态下，通过使第一刮板21a水平 移动，在膜形成面17a上形成膜厚t的助熔剂18的涂膜。 [0079] 第二刮板21b具有不存在缺口的平的下端部，在使其下端部的整面接触于膜形成面17a的状态下，即通过使下端部接触并使第二刮板21b水平移动，可以将在膜形成面
17a上存在的助熔剂涂膜刮离。 即，在此所示的例子中，在第一刮板21a的与基体部17的接触面上设有与助熔剂18的规定膜厚对应的深度的缺口部21c，另外，第二刮板21b形成为与膜形成面17a接触的方式。

[0080] 而且，同样地，在基体部17上形成助熔剂18的涂膜，另外作为用于刮离助熔剂18的涂膜的构成，还可以采用如图7C以及图7D所示那样的刮板形状以及基体部17的表面形状。 即，在此所示的例子中，作为膜形成用的第一刮板121a，采用在下端部没有缺口部的形状的刮板，在转印工作台13a的膜形成面17a上，设有与上述膜厚t对应的深度的凹部17b，将凹部17b的底面作为膜形成面17c使用。 而且，在使第一刮板121a的下端部接触于基体部17的上表面的状态下使第一刮板21a水平移动，在膜形成面17c上形成膜厚t的助熔剂18的涂膜。

[0081] 另外，在第二刮板121b上设有可以嵌入凹部17b内的凸部21d，在使凸部21d嵌入凹部17b内而使下端部接触于膜形成面17c的状态下，使第二刮板121b水平移动，可以将在膜形成面17c上存在的助熔剂的涂膜刮离。 即，在图7C以及图7D所示的例子中，在基体部17的上表面设有凹部17b，凹部17b的底面作为膜形成面17c起作用，凹部17b的深度与助熔剂的涂膜的规定膜厚相对应，另外，第二刮板121b成为与凹部17b的底面接触的形态。

[0082] 下面参考图8A以及图8B，对于料浆涂膜形成时以及料浆刮离时的第一刮板21a、第二刮板21b的切换动作进行说明。 在助熔剂转印单元13不进行作业的停止状态下，如图5所示，摆动连杆27直立，第一刮板21a、第二刮板21b都处于远离膜形成面
17a的中立状态，在该状态下，在第一刮板21a和第二刮板21b之间的空间、即助熔剂储存部储存助熔剂18。

[0083] 图8A表示从上述状态开始成膜动作时的状态。 即，驱动无杆工作缸23使刮板保持头20整体向成膜方向(箭头a方向)移动。 此时，移动构件25在所述制动机构作用下被朝向驱动方向的相反方向制动，且该制动 力f被设定成克服绕摆动支承销28摆动时的摆动阻力的大小。因此，当以驱动传递销29作为驱动作用点传递驱动力时，首先，摆动连杆27绕摆动支承销28向箭头b方向摆动。 由此，第一刮板21a的下端部抵接于膜形成面17a。 进而通过经驱动传递销29传递驱动力，在第一刮板21a接触于膜形成面17a的状态下，刮板保持头20整体开始向箭头a方向水平移动。

[0084] 图8B表示从刮板保持头20移动到移动端头而上述成膜动作完成的状态，开始进行刮离动作时的状态。 即，将无杆工作缸23向反方向驱动，使刮板保持头20整体向刮离方向(箭头c方向)移动。 此时，在所述制动机构的作用下，首先，摆动连杆27绕摆动支承销28向箭头d方向摆动。 由此，第二刮板21b的下端部抵接于膜形成面17a。 进而，通过经驱动传递销29传递驱动力，在第二刮板21b接触到膜形成面17a的状态下，刮板保持头20整体开始向箭头c方向水平移动。

[0085] 即，在本实施方式所示的助熔剂转印单元13中，在以无杆工作缸23作为往复驱动源而使刮板保持头20与移动构件25一起往复运动的结构中，在移动构件25去动时，一边使第一刮板21a或第二刮板21b中的任一个刮板接触于基体部17，一边移动，在回动时，通过上述的刮板切换动作，一边使另一个刮板接触于基体部17一边移动。而且，在刮板保持头20的往复运动中，将哪一个作为去动的方向是任意的，另外第一刮板21a、第二刮板21b的安装位置也是任意的。 基于助熔剂转印单元的规格或形态，在设计时决定最佳条件。

[0086] 下面参考图9所示的电子零件安装装置的控制系统的框图，说明控制系统的构成。 在图9中，控制部19控制构成零件安装机构4A、4B的各要素的动作。 即，控制XY机器人8A、8B、安装头10、零件供给部5A、5B、助熔剂转印单元13、识别部12A、12B。 此时，基于识别部12A、12B的识别结果，控制XY机器人8A、8B，由此修正电子零件的错位。

[0087] 下面，参考图10A、图10B、图11A、图11b、图12A以及图12B所示的模式说明图，说明助熔剂转印单元13的动作。图10A表示图8A所示的状态、即使第一刮板21a抵接于膜形成面17a而可进行成膜动作的状态。 而且，从该状态，如图10B所示，驱动无杆工作缸23，和移动块31一起使刮板保持头20整体向成膜动作方向移动，由此，在膜形成面17a 上通过第一刮板21a形成规定膜厚t的助熔剂18的涂膜。

[0088] 接下来，执行助熔剂的转印动作。即，如图11A所示，使由各吸附嘴单元11的吸附嘴11a保持了电子零件7的安装头10，在预先于基体部17上形成了助熔剂18的涂膜的转印工作台13a或者转印工作台13b的上方移动。 然后，使吸附嘴单元11进行升降动作，使电子零件7相对于基体部17下降，使在电子零件7的下表面形成的焊盘7a接触于助熔剂18。 接着通过使吸附嘴单元11上升，由此向电子零件7的各焊盘7a的下面侧通过转印供给规定量的助熔剂18。 通过该转印动作，基体部17上的助熔剂18的涂膜表面变成粗糙状态，由于如果保持该状态不变则无法正常进行下面的转印动作，所以执行助熔剂18的刮离动作。

[0089] 即，如图12A所示，通过使无杆工作缸23的驱动方向反转，刮板保持头20形成图8B所示状态、即第二刮板21b抵接于膜形成面17a而可以进行刮离动作的状态。 然后，从该状态，如图12B所示，通过驱动无杆工作缸23使移动块31和刮板保持头20整体一起向刮离动作方向移动，膜形成面17a上的助熔剂18被第二刮板21b刮离，形成可以进行新的成膜动作的状态。

[0090] 如上述说明，本发明在由两个刮板交替进行料浆的膜形成和刮离的构成中，利用使刮板水平移动的往复运动机构的驱动力，执行进行两个刮板的切换的方式。 通过采用这样的结构，不再需要一直以来使用的另外具有驱动源的刮板切换机构，实现机构简化和紧凑化。 另外，由于是以在安装头10上安装的多个吸附嘴11a同时一起能够转印的尺寸将具有平滑膜形成面17a的转印工作台13a、13b与各个安装头10对应的结构，因此能够高效且高精度地将规定量的助熔剂转印涂敷到电子零件7的焊盘7a上。 [0091] 如此，根据本实施方式，能够用小型装置精度良好地进行助熔剂等料浆的转印涂敷。 而且，在上述实施方式中，被转印的料浆虽然例示了助熔剂，但作为通过转印涂敷的对象，还可以是膏状焊锡或树脂粘接剂等助熔剂以外的料浆状的粘性体。 [0092] 本发明的电子零件安装装置，具有可以用小型装置精度良好地进行助熔剂等料浆的转印涂敷的效果，在通过转印将料浆涂敷在由安装头保持的电子零件上之后将该零件安装到基板上的用途中有用。

[0093] 此外，通过适当组合上述各种实施方式之中的任意的实施方式，可以起到各自所具有的效果。

[0094] 本发明参考附图对与优选实施方式有关内容进行了充分记载，但对于本领域熟练的人员明白可以进行各种变形或修正。 这样的变形或修正只要不脱离附上的权利要求书限定的本发明的范围，就应理解为被包含在本发明中。

[0095] 2006年3月15日申请的日本国专利申请No.2006—070616号公报说明书、附图以及权利要求书公开的内容，作为整体参考引入本说明书中。