图案形成装置

摘要

提供一种图案形成装置，其对滑架周边的空气进行排气，并且使该滑架周边简化。沿着Y轴导轨(18)设置，并且进行从液滴喷头喷出的液滴的检查的扫描检查相机装置(80)，其中，在收容与检查相机(CA)电连接的电缆(87)的电缆支架管部(81B)的两端部设有排气口(P1)。另外，在相机移动台(81A)的两端部设有排气口(P2)。而且，从排气口(P1)以及排气口(P2)吸引空气。因此，通过从吸出孔(85)和引导孔(82)吸引滑架周边的空气并排气，可以向滑架周边导入液滴喷出装置周边的空气。其结果是抑制液滴喷头的温度上升，使功能液的温度一定，由此使液滴喷头的喷出量均匀。

权利要求

1.一种图案形成装置，其包括：

搬送台，其在主扫描方向往复移动而搬送载置的基板；

一对导轨，其在所述搬送台的移动路径的上方，在与所述主扫描方向垂直的副扫描方向上延伸形成；

滑架，其被支承于所述一对导轨，能够沿着该一对导轨在副扫描方向上往复移动；

液滴喷头，其在所述滑架的单元板上并排设置有多个，向所述基板喷出功能液的液滴，在该基板上描画图案；

检查相机，其对从所述液滴喷头喷出的液滴进行摄像；

相机基座，其固定设置所述检查相机；

线性电动机，其使所述相机基座在副扫描方向上往复移动；

电动机收容盒，其沿着所述一对导轨设置，收容所述线性电动机，并形成有沿副扫描方向引导所述相机基座的引导孔；

移动电缆，其与所述检查相机电连接；

电缆收容盒，其沿着所述电动机收容盒设置，收容所述移动电缆，并形成有开口窗，使得所述移动电缆的前端追随于所述检查相机的副扫描方向的往复移动，一边使载置了所述基板的搬送台在主扫描方向移动，一边从所述多个喷头将液滴向所述基板喷出，在该基板上描画图案，同时使所述检查相机在副扫描方向移动，对从所述各液滴喷头喷出的液滴进行摄像而检查液滴，所述图案形成装置的特征在于，

在所述电缆收容盒的两端部设置排气口，从所述电缆收容盒的开口窗对所述滑架的周边的空气进行吸引排气。

2.如权利要求1所述的图案形成装置，其特征在于，在所述电动机收容盒的两端部设置排气口，从所述电动机收容盒的引导孔对所述滑架周边的空气进行吸引排气。

3.如权利要求1或2所述的图案形成装置，其特征在于，设置有分隔板，该分隔板将所述电缆收容盒内划分成电缆收容室和管道通路室，所述电缆收容室配置所述移动电缆并具有所述开口窗，所述管道通路室使从所述开口窗吸引的空气通过，在所述分隔板上，设有使所述电缆收容室和所述管道通路室连通并且均等排列的通气孔。

4.如权利要求1或2所述的图案形成装置，其特征在于，所述开口窗形成为副扫描方向的中央部的开口面积最大的大致菱形形状。

5.一种图案形成装置，其包括：

搬送台，其在主扫描方向往复移动而搬送载置的基板；

一对导轨，其在所述搬送台的移动路径的上方，在与所述主扫描方向垂直的副扫描方向上延伸形成；

滑架，其被支承于所述一对导轨，能够沿着该一对导轨在副扫描方向上往复移动；

液滴喷头，其在所述滑架的单元板上并排设置有多个，向所述基板喷出功能液的液滴，在该基板上描画图案；

检查相机，其对从所述液滴喷头喷出的液滴进行摄像；

相机基座，其固定设置所述检查相机；

线性电动机，其使所述相机基座在副扫描方向上往复移动；

电动机收容盒，其沿着所述一对导轨设置，收容所述线性电动机，并形成有沿副扫描方向引导所述相机基座的引导孔；

移动电缆，其与所述检查相机电连接；

电缆收容盒，其沿着所述电动机收容盒设置，收容所述移动电缆，并形成有开口窗，使得所述移动电缆的前端追随于所述检查相机的副扫描方向的往复移动，一边使载置了所述基板的搬送台在主扫描方向移动，一边从所述多个喷头将液滴喷出向所述基板，在该基板上描画图案，并且使所述相机在副扫描方向移动，对从所述各液滴喷头喷出的液滴进行摄像而检查喷出的液滴，所述图案形成装置的特征在于，

使所述电动机收容盒以及所述电缆收容盒与所述导轨连通，并且在所述导轨设置排气口，从所述电动机收容盒的引导孔和所述收容盒的开口窗对所述滑架的周边的空气进行吸引排气。

说明书

图案形成装置

技术领域

[0001] 本发明涉及图案形成装置。

背景技术

[0002] 一般地说，作为使用功能液在基板上形成希望图案的图案形成装置，公知的是将功能液形成为液滴而喷出的喷墨装置，即液滴喷出装置。液滴喷出装置是通过一边使载置在工作台上的基板和将功能液形成为液滴而喷出的液滴喷头进行二维地相对移动，一边将从液滴喷头喷出的功能液的液滴配置在基板上的任意部位来形成图案。

[0003] 近年，在一个滑架上搭载多个液滴喷头，进而设有多个该滑架的液滴喷出装置开始实用化。这样的液滴喷出装置用于大画面滤色器(color filter)的制造等中，并排设置多个滑架，通过同时喷出液滴，提高其扫描速度。

[0004] 但是，液滴喷头在进行喷出时，其内部设置的驱动元件等因驱动而发热。由于该发热，导致滑架周边的空气或液滴喷头内的功能液的温度上升。伴随着该功能液温度的上升，功能液的粘度发生变化，由此来自液滴喷头的液滴的喷出量也发生变化，这是已知的。因此，为了使扫描中的基板周边保持清洁度，并且使室内温度一定，在被提供了从上侧调节的空气(下降流)的清洁室内配置液滴喷出装置来进行扫描。

[0005] 但是，上述搭载了多个滑架的液滴喷出装置，具有在两条导轨上能够移动地架设的滑架板，在该滑架板的下侧设有搭载了液滴喷头的滑架。因此，在滑架以及液滴喷头的周边，形成难以供给下降流的构造。即，由于液滴喷头的发热而温度上升了的空气停滞在滑架周边，导致液滴喷头的温度进一步上升，无法使喷出量均匀。在这样的遮挡了下降流的构造的装置中，提出一种在清洁室内做出水平方向的空气流的方法(例如，专利文献1)。

[0006] 专利文献1：日本特开平9—153530号公报

[0007] 但是，专利文献1的方法，水平方向的空气流流入液滴喷头和基板之间，对从液滴喷头喷出的液滴进行推压流动，存在无法得到液滴的正确的喷落位置的顾虑。另外，作为使滑架周边的空气排气的方法，还考虑了在滑架周边配置排气专用管道，但考虑到滑架的维护空间，难以实现。

发明内容

[0008] 本发明是为解决上述问题而提出的，其目的在于提供一种对滑架周边的空气进行排气，并且使该滑架周边简化的图案形成装置。

[0009] 本发明的图案形成装置，其包括：搬送台，其在主扫描方向往复移动而搬送载置的基板；一对导轨，其在所述搬送台的移动路径的上方，在与所述主扫描方向垂直的副扫描方向上延伸形成；滑架，其被支承于所述一对导轨，能够沿着该一对导轨在副扫描方向上往复移动；液滴喷头，其在所述滑架的单元板上并排设置有多个，向所述基板喷出功能液的液滴，在该基板上描画图案；检查相机，其对从所述液滴喷头喷出的液滴进行摄像；相机基座，其固定设置所述检查相机；线性电动机，其使所述相机基座在副扫描方向上往复移动；电动机收容盒，其沿着所述一对导轨设置，收容所述线性电动机，并形成有将所述相机基座向副扫描方向引导的引导孔；移动电缆，其与所述检查相机电连接；电缆收容盒，其沿着所述电动机收容盒设置，收容所述移动电缆，并形成有开口窗，使得所述移动电缆的前端追随于所述检查相机的副扫描方向的往复移动，一边使载置了所述基板的搬送台在主扫描方向移动，一边从所述多个喷头将液滴喷出向所述基板，在该基板上描画图案，并且使所述检查相机在副扫描方向移动，对从所述各液滴喷头喷出的液滴进行摄像而检查液滴，所述图案形成装置的特征在于，在所述电缆收容盒的两端部设置排气口，从所述电缆收容盒的开口窗对所述滑架的周边的空气进行吸引排气。

[0010] 根据该图案形成装置，可以使滑架周边的空气从现存的电缆收容盒的开口窗吸引排气。因此，不用在滑架周边配置排气专用的管道，可以吸引滑架周边的空气并将其排出。其结果是可以简化滑架周边的结构，并且可以减少零件数量。

[0011] 另外，通过吸引并对滑架周边的空气进行排气，滑架周边变成负压状态，可以导入液滴喷出装置周边的空气。因此，抑制液滴喷头的温度上升，可以将液滴喷头内的功能液的温度保持一定。其结果是可以使液滴喷头的喷出量均匀。

[0012] 而且，由于从液滴喷出装置周边向滑架周边导入的空气不会流入液滴喷头和基板之间，因此可以确保液滴的正确的喷落位置。

[0013] 该图案形成装置，还可以在所述电动机收容盒的两端部设置排气口，从所述电动机收容盒的引导孔对所述滑架周边的空气进行吸引排气。

[0014] 根据该图案形成装置，其还可以将滑架周边的空气从现存的电动机收容盒的引导孔吸引排气。因此，不用在滑架周边配置排气专用的管道，可以吸引滑架周边的空气并将其排出。其结果是可以简化滑架周边的结构，并且可以减少零件数量。

[0015] 另外，通过吸引并对滑架周边的空气进行排气，滑架周边变成负压状态，可以导入液滴喷出装置周边的空气。因此，抑制液滴喷头的温度上升，可以将液滴喷头内的功能液的温度保持一定。其结果是可以使液滴喷头的喷出量均匀。

[0016] 而且，由于从液滴喷出装置周边向滑架周边导入的空气不会流入液滴喷头和基板之间，因此可以确保液滴的正确的喷落位置。

[0017] 该图案形成装置，还可以设置有分隔板，该分隔板将所述电缆收容盒划分成电缆收容室和管道通路室，所述电缆收容室配置所述移动电缆并具有所述开口窗，所述管道通路室使从所述开口窗吸引的空气通过，在所述分隔板上，设有使所述电缆收容室和所述管道通路室连通并且均等排列的通气孔。

[0018] 根据该图案形成装置，从开口窗吸引的滑架周边的空气通过电缆收容室、通气孔、管道通路室被排气。在此，例如当在电缆收容盒的两端部设置排气管，吸引电缆收容盒内的空气时，越是排气管附近的通气孔流量变得越大。即，相比于开口窗的中央附近两端部的吸引量更大。在此，通过适当堵住通气孔，可以使来自开口窗的空气的吸引量一样。其结果是，可以有效地对滑架周边的空气进行排气。

[0019] 而且，由于从液滴喷出装置周边向滑架周边导入的空气不会流入液滴喷头和基板之间，因此可以确保液滴的正确的喷落位置。

[0020] 该图案形成装置还可以所述开口窗形成为副扫描方向的中央部的开口面积最大的大致菱形形状。

[0021] 根据该图案形成装置，例如在电缆收容盒的两端部设置排气管，吸引电缆收容盒内的空气时，在开口窗的空气的吸引量少的中央部将开口面积增大，在来自开口窗的空气的吸引量大的两端部将开口面积减小。其结果是可以使来自开口窗的空气的吸引量一样。

[0022] 本发明的图案形成装置，其包括：搬送台，其在主扫描方向往复移动而搬送载置的基板；一对导轨，其在所述搬送台的移动路径的上方，在与所述主扫描方向垂直的副扫描方向上延伸形成；滑架，其被支承于所述一对导轨，能够沿着该一对导轨在副扫描方向上往复移动；液滴喷头，其在所述滑架的单元板上并排设置有多个，向所述基板喷出功能液的液滴，在该基板上描画图案；检查相机，其对从所述液滴喷头喷出的液滴进行摄像；相机基座，其固定设置所述检查相机；线性电动机，其使所述相机基座在副扫描方向上往复移动；电动机收容盒，其沿着所述一对导轨设置，收容所述线性电动机，并形成有将所述相机基座向副扫描方向引导的引导孔；移动电缆，其与所述检查相机电连接；电缆收容盒，其沿着所述电动机收容盒设置，收容所述移动电缆，并形成有开口窗，使得所述移动电缆的前端追随于所述检查相机的副扫描方向的往复移动，一边使载置了所述基板的搬送台在主扫描方向移动，一边从所述多个喷头将液滴喷出向所述基板，在该基板上描画图案，并且使所述相机在副扫描方向移动，对从所述各液滴喷头喷出的液滴进行摄像而检查喷出的液滴，所述图案形成装置的特征在于，使所述电动机收容盒以及所述电缆收容盒与所述导轨连通，并且在所述导轨设置排气口，从所述电动机收容盒的引导孔和所述收容盒的开口窗对所述滑架的周边的空气进行吸引排气。

[0023] 根据本发明的图案形成装置，可以使滑架周边的空气从现存的电缆收容盒的开口窗和现存的电动机收容盒的引导孔吸引排气。因此，不用在滑架周边配置排气专用的管道，可以吸引滑架周边的空气并将其排出。其结果是可以简化滑架周边的结构，并且可以减少零件数量。

[0024] 另外，通过在导轨上连接排气管，确保大流量的排气路径，可以从电缆收容盒的开口窗和电动机收容盒的引导孔吸引更大量的空气。即，滑架周边变成负压状态，可以向滑架周边更多导入液滴喷出装置周边的空气。因此，抑制液滴喷头的温度上升，可以将液滴喷头内的功能液的温度保持一定。其结果是可以使液滴喷头的喷出量均匀。

[0025] 而且，由于从液滴喷出装置周边向滑架周边导入的空气不会流入液滴喷头和基板之间，因此可以确保液滴的正确的喷落位置。

附图说明

[0026] 图1是表示液滴喷出装置的概略结构的立体图；

[0027] 图2是表示滑架板和滑架的关系的俯视图；

[0028] 图3(a)是从基板工作台一侧观察液滴喷头的立体图，图3(b)是液滴喷头的泵部剖面图；

[0029] 图4是扫描检查相机装置的概略立体图；

[0030] 图5是在第一实施方式中，扫描检查相机装置和Y轴导轨的概略剖面图；

[0031] 图6是在第二实施方式中，扫描检查相机装置和Y轴导轨的概略剖面图；

[0032] 图7是在其他例子中，扫描检查相机装置的概略立体图；

[0033] 图中：

[0034] CA—检查相机；F—功能液；Fb—液滴；M1—X轴线性电动机；M2—Y轴线性电动机；P1—排气口；P2—排气口；P3—排气口；PZ—压电元件、S—连通路；W—CF基板；1—液滴喷出装置；2—基台；2a—上表面；11—X轴导轨；12—X轴移动板；14—基板工作台；16—工作台转动机构；18—Y轴导轨；19a—支柱；19b—支柱；21—滑架板；22—功能液供给单元；23—头用电装单元；25—悬吊机构；26—悬吊基板；27—悬吊转动框；28—悬吊支承框；30—滑架；31—滑架框；34—单元板；40—液滴喷头；40A—头本体；41—液体导入部；42—连接针；43—头基板；43A—头连接器；44—泵部；45—喷嘴板；45a—喷嘴形成面；46—喷出喷嘴；47—喷嘴列；48—凸缘部；49—螺纹孔；52—腔；53—振动板；80—扫描检查相机装置；81—基座框体；81A—相机移动台部；81B—电缆支架管(cablebearer duct)部；82—引导孔；83—臂；84—基座板；85—吸出孔；86—围臂；87—电缆；88—分隔板；88a—通气孔；89a—电缆收容室；89b—管道通路室

具体实施方式

[0035] (第一实施方式)

[0036] 以下，参考附图说明实施本发明的图案形成装置的一实施方式。

[0037] 图1表示作为用于在形成了黑底(black matrix)的玻璃基板上形成红、绿、蓝的滤色器的图案形成装置的液滴喷出装置1的概略结构。如图1所示，液滴喷出装置1在地面上设置沿主扫描方向(X轴方向)延伸的基台2，在其上表面2a将一对X轴导轨11铺设在主扫描方向(X轴方向)上，在该一对X轴导轨11上载置X轴移动板12。X轴移动板12沿着X轴导轨11能够在主扫描方向上移动地搭载。一对X轴导轨11具有X轴线性电动机M1，X轴线性电动机M1使在一对X轴导轨11上载置的X轴移动板12通过气动滑块(air slider)在X轴方向往复移动。

[0038] 而且，在图1中，将主扫描方向设为X轴方向，将与主扫描方向(X轴方向)垂直的副扫描方向设为Y轴方向，将与X轴方向以及Y轴方向垂直的方向(上下方向)设为Z轴方向，将绕Z轴方向的转动方向表记为θ方向。

[0039] 在X轴移动板12的上表面设有作为搬送台的基板工作台14。基板工作台14是真空吸附台，在其上表面吸附固定由玻璃基板构成的滤色器基板(称为CF基板)W，搬送该CF基板W。基板工作台14在设置于X轴移动板12和基板工作台14之间的由虚线表示的工作台转动机构16的作用下，被固定支承为相对于X轴移动板12能够向θ方向转动。

[0040] 因此，基板工作台14(CF基板W)与X轴移动板12一起在X轴方向(主扫描方向)移动。另外，基板工作台14(CF基板W)相对于X轴移动板12的平面(XY平面(水平面))平行地向θ方向转动。

[0041] 以在Y轴方向上跨过所述X轴导轨11的上方的方式，配置有作为引导轨道的一对Y轴导轨18。一对Y轴导轨18的一端的支柱19a立起设置在基台2的上表面2a的一侧，另一端的支柱19b立起设置在从基台2离开的地面上。一对Y轴导轨18在X轴方向上隔开预定的间隔平行配置。而且，在本实施方式中，在Y轴方向上平行延伸的一对Y轴导轨18中，将基台2的上方位置作为操作区域，并将从基台2离开的位置作为待机区域。

[0042] 在一对Y轴导轨18之间，以架设(差し渡す)方式配置有多个(在本实施方式中是六个)滑架板21。而且，各滑架板21被载置成沿着Y轴导轨18能够在副扫描方向(Y轴方向)上移动。在一对Y轴导轨18上，具有Y轴线性电动机M2，Y轴线性电动机M2使载置在一对Y轴导轨18上的各滑架板21分别通过气动滑块(未图示)在Y轴方向上往复移动。即，各滑架板21在Y轴导轨18上的操作区域和待机区域之间往复移动。

[0043] 在各滑架板21的上表面载置有功能液供给单元22和头用电装单元23。功能液供给单元22是用于储存规定量的功能液F(参考图3(b))，并向各液滴喷头40(参考图3(a)、图3(b))供给功能液F的供给回路装置。头用电装单元23是用于供给用于驱动各液滴喷头40的电信号的电路装置。

[0044] 另外，在此所谓的功能液F是向在CF基板W上形成的黑底的框内配置的红、绿、蓝的过滤器(filter)用墨。功能液F当被配置在形成于CF基板W上的黑底的框内之后被干燥时，形成红、绿、蓝的过滤器。

[0045] 如图2所示，在各滑架板21的下表面的中央位置设置悬吊机构25，在该悬吊机构25的下端部安装滑架30。

[0046] 悬吊机构25具有悬吊基板26、悬吊转动框27以及悬吊支承框28。悬吊基板26固定在滑架板21的下表面的中央位置，在其下端部连结有悬吊转动框27。悬吊转动框27在其下端部将悬吊支承框28连结支承为能够向θ方向转动。悬吊转动框27上具有θ轴转动电动机(未图示)，θ轴转动电动机使悬吊支承框28相对于悬吊基板26(滑架板21)向θ方向转动。在悬吊支承框28上支承固定滑架30，使在悬吊机构25上垂设的滑架30向θ方向转动。

[0047] 滑架30具有大致长方体形状的滑架框31。在滑架框31上在X轴方向以及Y轴方向的各自的两侧面设有开口部(X轴方向的各开口部省略图示)，周围的空气可以相对于滑架框31的内侧流入流出。另外，在滑架30的滑架框31的下端部，由未图示的螺钉等固定设有单元板34。在单元板34上，液滴喷头40可以装卸地且高精度地被定位固定安装。在本实施方式中，沿X轴方向并排设置的三个液滴喷头40与Y轴方向平行地安装有两列即合计六个液滴喷头40。此外，滑架框31的内侧虽然配置有配管或配线等，但由于表示繁琐，故省略图示。

[0048] (液滴喷头40)

[0049] 下面，参考图3说明在单元板34上安装的液滴喷头40。图3(a)是从基板工作台14一侧观察液滴喷头的外观立体图。该液滴喷头40包括：具有两个连接针42的液体导入部41、与液体导入部41的侧面相连的头基板43、与液体导入部41相连的泵部44、与泵部
44相连的喷嘴板45。

[0050] 液体导入部41的连接针42连接着与功能液供给单元22连通的未图示的配管连接部件。在头基板43上安装一对头连接器43A，通过该头连接器43A连接未图示的扰性扁平电缆，该未图示的扰性扁平电缆与头用电装单元23连接。

[0051] 一方面，通过泵部44和喷嘴板45构成方形的头本体40A。

[0052] 在喷嘴板45的喷嘴形成面45a上形成有两条喷嘴列47，该两条喷嘴列47由喷出液滴的喷出喷嘴46构成。两条喷嘴列47相互平行配置，各喷嘴列47由以等间距并排设置的180个(在图示中模式表示)的喷出喷嘴46构成。即，在头本体40A的喷嘴形成面45a上，隔着其中心线对称配置有两条喷嘴列47。

[0053] 图3(b)表示液滴喷头40的泵部44的内部，在各喷出喷嘴46的上侧分别具有腔52、振动板53以及压电元件PZ。各腔52分别通过配管连接部件与功能液供给单元22连接，收容来自该功能液供给单元22的功能液F(过滤器用墨)，将该过滤器用墨供给到喷出喷嘴46。振动板53通过在与各腔52相对的区域在Z方向上振动，使该腔52的容积扩大以及缩小，伴随于此，使喷出喷嘴46的月面振动。各压电元件PZ在分别接收规定的驱动波形信号时，通过在Z方向收缩伸张，使振动板53的各区域在Z方向振动。各腔52在各自的振动板53在Z方向振动时，将收容的功能液F(过滤器用墨)的一部分形成为规定重量的液滴Fb，并从喷出喷嘴46喷出。

[0054] 泵部44的基部侧即头本体40A的基部侧。为承受液体导入部41而形成有方形凸缘状的凸缘部48。该凸缘部48起到防脱落的作用，还起到用头固定螺钉(未图示)与单元板34连结固定的连结部的作用。在凸缘部48形成有一对将液滴喷头40固定于单元板34的小螺钉用的螺纹孔(阴螺纹)49。即，液滴喷头40使头本体40A贯穿在单元板34的规定位置形成的贯通孔(未图示)，被贯穿单元板34与螺纹孔49拧合的头固定螺钉(未图示)固定在单元板34上。

[0055] 图2以及图3所示的X轴、Y轴、Z轴与图1所示的X轴、Y轴、Z轴相同。即，在单元板34安装在液滴喷头1上的状态下，形成于液滴喷头40上的喷嘴列47(参考图3)构成为在Y轴方向延伸。

[0056] (扫描检查相机装置80)

[0057] 下面，说明对载置在基板工作台14上的CF基板W的对准标记进行摄像而测量CF基板W的位置，或对形成在CF基板W上的配置图案等进行摄像而检查扫描状态的扫描检查相机装置80。

[0058] 如图1以及图2所示，扫描检查相机装置80在一对Y轴导轨18的内侧分别沿着Y轴导轨18设置。图4是在图1以及图2中沿着右侧的Y轴导轨18设置的扫描检查相机装置80的整体立体图。而且，在另一方的Y轴导轨18上设置的扫描检查相机装置80只是配置位置不同，其结构相同，因此省略说明。

[0059] 在图4中，扫描检查相机装置80具有基座框体81。基座框体81沿着Y轴导轨18延伸，将其下半部分划分形成为作为电动机收容盒的相机移动台部81A、将其上半部分划分形成为作为电缆收容盒的电缆支架管部81B。

[0060] 基座框体81的下半部分的相机移动台部81A沿着Y轴方向形成有引导孔82，从引导孔82突出的臂83(参考图5)与固定设有检查相机CA的作为相机基座的基座板84连结。从引导孔82突出的臂83通过设置在相机移动台部81A内的未图示的相机扫描用的线性电动机，能够沿着引导孔82在Y轴方向移动。因此，固定设于基座板84的检查相机CA也在线性电动机的作用下能够沿着引导孔82在Y轴方向移动。

[0061] 其结果是，检查相机CA通过在Y轴方向移动，能够对在检查相机CA的Y轴方向移动的轨迹的正下方的CF基板W上扫描的配置图案进行摄像。

[0062] 基座框体81的上半部分的电缆支架管部81B的吸出孔85沿Y轴方向形成为大致长方形，从固定设有检查相机的基座板84延伸的拉回臂86贯穿在吸出孔85内，在基座板84(检查相机CA)的Y轴方向移动并沿吸出孔85移动。

[0063] 电缆支架管部81B内，为了进行检查相机CA的驱动电力的授受、数据信号的授受，以弯曲状态配置有作为移动电缆的电缆87。电缆87的前端与设置在拉回臂86上的连接器连结，并与检查相机CA电连接。而且，电缆87伴随着检查相机CA在Y轴方向移动，在电缆支架管部81B内使弯曲部分变化，追随检查相机CA的移动。

[0064] 电缆支架管部81B如图5所示，被分隔板88划分开，将吸出孔85侧作为电缆收容室89a、将Y轴导轨18侧作为管道通路室89b。分隔板88上以均等排列贯通形成有多个通气孔88a，多个通气孔88a的开口面积相同。

[0065] 另外，在管道通路室89b的Y轴一侧的侧壁上形成有排气口P1(参考图4)。排气口P1与未图示的吸引泵连接。因此，驱动吸引泵从排气口P1吸引空气时，从电缆支架管部81B的吸出孔85吸引外部(滑架30附近)的空气，该被吸引的空气通过通气孔88a、管道通路室89b从排气口P1被排气。

[0066] 同样地，在相机移动台部81A的两端部，如图4以及图5所示，设有排气口P2。排气口P2与未图示的吸引泵连接。因此，在驱动吸引泵从排气口P2吸引空气时，从相机移动台部81A的引导孔82吸引外部(滑架30周边)的空气，并从排气口P2被排气。

[0067] 上述实施方式可以得到以下这样的效果。

[0068] (1)根据上述实施方式，在扫描检查相机装置80的基座框体81上设置的电缆支架管部81B的管道通路室89b的各Y轴侧侧壁上，设置与未图示的吸引泵连接的排气口P1，吸引管道通路室89b的空气。另外，在相机移动台部81A的两端部设置与未图示的吸引泵连接的排气口P2，吸引相机移动台部81A内的空气。

[0069] 因此，可以将滑架30周边的空气从电缆支架管部81B的吸出孔85经通气孔88a、管道通路室89b从排气口P1排气。另外，可以将滑架30周边的空气经相机移动台部81A内从排气口P2排气。

[0070] 其结果是，不用配置对滑架30周边的空气进行排气的排气专用的管道，可以使滑架30周边的空气排气，因此可以简化滑架30周边的构造，并可以减少零件数量。

[0071] 另外，通过吸引滑架30周边的空气并进行排气，滑架30周边变成负压状态，可以导入液滴喷出装置1周边的空气。因此，抑制液滴喷头40的温度上升，可以将泵部44内的功能液F的温度保持为一定。其结果是，可以使液滴喷头40的喷出量均匀。

[0072] 而且，从液滴喷出装置1周边导入滑架30周边的空气不会流入液滴喷头40和CF基板W之间，因此可以得到液滴的正确的喷落位置。

[0073] (2)根据上述实施方式，在扫描检查相机装置80的基座框体81内，划分为电缆收容室89a和管道通路室89b，并且设有分隔板88，分隔板88上均等排列而形成了多个通气孔88a，并且所述通气孔88a的开口面积相同。

[0074] 在此，当从各排气口P1吸引空气时，对于通过各通气孔88a的空气的流量来说，相比于基座框体81的Y轴方向中央附近，在各排气口P1侧设置的通气孔88a的空气的流量更大。因此，用带膜的护线环(Grommet)等将在各排气口P1侧配置的通气孔88a适当堵住，由此可以使从吸出孔85吸引的空气的流量一样。其结果是，可以有效使滑架30周边的空气排气。

[0075] (第二实施方式)

[0076] 以下，参考图6说明将本发明具体化了的第二实施方式。而且，在本实施方式中，详细说明与第一实施方式的不同点，对于基本上相同的结构，为了方便省略其详细说明。

[0077] 如图6所示，在扫描检查相机装置80的基座框体81和Y轴导轨18上分别形成贯通孔，通过该贯通孔使基座框体81和Y轴导轨18连通的连通路S设有多个。在Y轴导轨18的各Y轴侧侧壁上设有排气口P3。排气口P3与未图示的吸引泵连接。而且，通过驱动吸引泵从排气口P3吸引Y轴导轨18内的空气，由此从电缆支架管部81B的吸出孔85吸引外部(滑架30附近)的空气，该被吸引了的空气通过通气孔88a、管道通路室89b、连通路S从排气口P3被排气。

[0078] 根据上述实施方式，除了第一实施方式的(1)以及(2)记载的效果以外，还可以得到以下这样的效果。

[0079] (3)根据上述实施方式，设有多个使扫描检查相机装置80的基座框体81和Y轴导轨18连通的连通路S。另外，在Y轴导轨18的各Y轴侧侧壁上，设有与吸引泵连接的排气口P3。然后，吸引Y轴导轨18内的空气。

[0080] 因此，通过将Y轴导轨18内作为排气管道利用，可以确保大流量的排气路径，可以吸引更大量的空气。即，可以有效地吸引滑架30周边的空气。其结果是，可以抑制液滴喷头40的温度上升，可以将泵部44内的功能液F的温度保持为一定。

[0081] 而且，上述实施方式还可以以下这样变更。

[0082] ·在上述第一以及第二实施方式中，在扫描检查相机装置80的基座框体81上设置的吸出孔85，被设置为大致长方形的形状。但是并不限定于此，例如，如图7所示，还可以是在Y轴方向的中央部开口面积最大的大致菱形。由此，由于基座框体81的Y轴方向中央部的开口面积变大，所以可以使来自吸出孔85的空气的吸引量一样。其结果是，可以有效使滑架30的周边的空气排气。另外，由于可以省去分隔板88，所以可以减少零件数。

[0083] ·在上述第一以及第二实施方式中，通过适当堵住在分隔板88上设置的开口面积相同的通气孔88a，可以使从吸出孔85吸引的空气的流量一样。但并不限定于此，还可以适当变更通气孔88a的开口面积以及排列，例如还可以通过使通气孔88a的开口面积的大小从基座框体81的Y轴方向两端部朝向中央附近变大，由此可以使来自吸出孔85的空气的吸引量一样。

[0084] ·在上述第一以及第二实施方式中，具体化为搭载了六个滑架的液滴喷出装置1，滑架搭载有六个液滴喷头40。但不限定于此，搭载在滑架上的液滴喷头的配置或数量以及搭载在液滴喷出装置上的滑架的数量可以适当变更。例如，还可以具体化为搭载了一个滑架的液滴喷出装置，滑架搭载了一个液滴喷头。

[0085] ·在上述第一以及第二实施方式中，具体化为喷出作为功能液F的过滤器用墨的液滴喷出装置1。但并不限定于此，例如，还可以是在包括传真机、复印机等印刷装置，或液晶显示器、EL显示器以及面发光显示器的制造等中使用的电极材料或色材料等的功能液。