本发明公开了一种红外探测器微型杜瓦组件性能测试用排气装置，其结构主要由微型吸附泵、双通二位快速转换真空阀门，过渡管、高气密真空对接接头、红外探测器杜瓦组件组成。本发明是利用低温介质对无电源微型吸附泵内的活性炭进行制冷，低温下的活性炭对红外探测器杜瓦组件进行排气，双通二位快速转换真空阀门可以实现微型吸附泵与多个红外探测器杜瓦组件之间快速高气密的交替连接，来获得红外探测器微型杜瓦组件高真空排气夹封前性能测试的所需要真空度。本发明避免了排气装置对红外探测器杜瓦组件性能测试的电磁干扰，解决了处于低温红外探测器突然暴露空气会导致红外探测器芯片和其相应的光学元件被污染的问题，提高了测试效率。
1.一种红外探测器微型杜瓦组件性能测试用排气装置，它由微型吸附泵(1)、双通二位快速转换真空阀门(2)，过渡管(3)、高气密真空对接接头(4)和红外探测器杜瓦组件(5)组成，其特征在于：所述的排气装置构建方法是将所述的微型吸附泵(1)的排气端(101)与所述的双通二位快速转换真空阀门(2)的阀门副头(206)连接，再将所述的红外探测器杜瓦组件(5)的排气管(501)通过所述的高气密真空对接接头(4)与所述的过渡管(3)的金属铜管(301)连接，最后将所述的双通二位快速转换真空阀门(2)的阀门主头(201)与所述的过渡管(3)的金属接头(302)连接到一起。
2.根据权利要求1所述的一种红外探测器微型杜瓦组件性能测试用排气装置，其特征在于：所说的双通二位快速转换真空阀门(2)由阀门主头(201)、二个螺帽口(202)、二个橡皮卷环(203)、拉杆(204)、二个橡皮圈(205)、阀门副头(206)、阀体(207)、二个阀体前密封圈(208)、二个阀体后密封圈(209)和手柄(210)组成，阀体(207)为一中空圆柱体，其一端为阀门主头(201)、阀门副头(206)径向焊接在阀体(207)的中部，阀体(207)中空部分装有两端分别由二个阀体前密封圈(208)和二个阀体后密封圈(209)密封的连杆(204)，连杆(204)被螺纹金属环压紧在阀体(207)中，其一端与活塞(303)相连，另一端与手柄(210)相连。
3.根据权利要求1所述的一种红外探测器微型杜瓦组件性能测试用排气装置，其特征在于：所说的过渡管(3)由金属铜管(301)、金属接头(302)、带有内螺纹(303)的气塞(304)和橡皮圈(305)组成，气塞(304)通过橡皮圈(305)与金属接头(302)之间实现密封连接。
4.根据权利要求2所述的一种红外探测器微型杜瓦组件性能测试用排气装置，其特征在于：所说的二个橡皮圈(205)是氟橡胶O型密封圈。
5.根据权利要求2所述的一种红外探测器微型杜瓦组件性能测试用排气装置，其特征在于：所说的二个阀体前密封圈(208)是氟橡胶O型密封圈。
6.根据权利要求2所述的一种红外探测器微型杜瓦组件性能测试用排气装置，其特征在于：所说的二个阀体后密封圈(209)是氟橡胶O型密封圈。
7.根据权利要求2所述的一种红外探测器微型杜瓦组件性能测试用排气装置，其特征在于：所说的拉杆(204)的一端有可以和气塞(304)内螺纹(303)相连接的外螺纹。
8.根据权利要求2所述的一种红外探测器微型杜瓦组件性能测试用排气装置，其特征在于：所说的拉杆(204)的一端与手柄(210)固联，旋转手柄(210)可以使拉杆(204)另一端与气塞(304)内螺纹(303)相互连接或相互脱离。
9.根据权利要求3所述的一种红外探测器微型杜瓦组件性能测试用排气装置，其特征在于：所说的橡皮圈(305)是氟橡胶O型密封圈。
10.一种权利要求1所述的装置的工作步骤，其特征在于工作步骤如下：
1)将微型吸附泵(1)、双通二位快速转换真空阀门(2)，过渡管(3)、高气密真空对接接头(4)、红外探测器杜瓦组件(5)按权利要求1所述的构建方法连接安装；
2)对微型吸附泵(1)的内腔(102)内注满低温介质液氮，待液面平静后开始下步操作；
3)旋转双通二位快速转换真空阀门(2)的手柄(210)，让拉杆(204)上的外螺纹与过渡管(3)的气塞(304)上内螺纹(303)配合相连，再拉动双通二位快速转换真空阀门(2)的手柄(210)后，拉杆(204)、二个阀体前密封圈和过渡管(3)的气塞(304)及其上面套着的橡皮圈(305)也随其一起运动，当运动到排气位置时，微型吸附泵(1)开始对红外探测器杜瓦组件进行排气；
4)微型吸附泵(1)的内腔(102)内的低温介质液面再次平静后，往红外探测器杜瓦组件(5)的冷指内腔(502)内注入低温介质液氮后即可以进行测试；
5)测试完成后，推动双通二位快速转换真空阀门(2)的手柄(210)后，拉杆(204)、二个阀体前密封圈(208)和过渡管(3)的气塞(304)及其上面套着的橡皮圈(305)也随其一起运动，当运动到初始位置时，微型吸附泵(1)停止对红外探测器杜瓦组件排气；
6)旋转双通二位快速转换真空阀门(2)的手柄(210)，让拉杆(204)端的外螺纹与过渡管(3)的气塞(304)上的内螺纹(303)相互脱离，让气塞(304)停在过渡管(3)的金属接头(302)内后，通过旋转双通二位快速转换真空阀门(2)的与过渡管(3)相连的螺帽口(202)，让双通二位快速转换真空阀门(2)与过渡管(3)脱离；
7)换上另一个红外探测器杜瓦组件(5)，将另外一个过渡管(3)、另外一个高气密真空对接接头(4)与红外探测器杜瓦组件(5)安装连接，再按步骤6)相反的操作让其与已经连接在一起的双通二位快速转换真空阀门(2)和微型吸附泵(1)连接起来；
8)按照步骤3)-6)进行对另一个红外探测器杜瓦组件(5)的排气。
一种红外探测器微型杜瓦组件性能测试用排气装置
技术领域
[0001] 本发明涉及红外探测器测试技术，具体是指一种用于红外探测器微型杜瓦组件高真空排气夹封前性能测试的排气装置。
背景技术
[0002] 真空寿命是红外探测器杜瓦组件的重要性能指标之一。为了获得长的真空寿命，红外探测器杜瓦封装技术的最后一个工艺往往是对红外探测器组件进行长时间(超过半-6个月)的烘烤和高真空(真空度优于10 Pa)排气。为了对红外探测器杜瓦组件的性能进行筛选和检测，提高红外探测器杜瓦组件的成品率和降低成本，在红外探测器杜瓦组件高真空排气夹封前，需要对红外探测器杜瓦组件的探测器性能进行一次测试。此时测试具有如下特点；1)红外探测器杜瓦组件的探测器性能测试时，红外探测器需要在深低温工作，这就要求测试过程中红外探测器杜瓦组件杜瓦内有一定的真空度；2)红外探测器性能测试属于微弱信号检测，很容易受到干扰。
[0003] 一般来说，在测量过程中，对红外探测器杜瓦组件的冷指内注入某种低温介质(如液氮或液氩等)来提供红外探测器工作所需要的低温。由于红外探测器杜瓦组件的冷指容纳低温介质的体积较小，希望杜瓦内的真空度越高越好，这样可以降低由于对流传导所导致的低温介质的损耗。杜瓦内的真空度则需要某种排气装置对红外探测器杜瓦组件进行排气。有人采用机械泵或者机械泵与分子泵组合排气机组，通过橡胶管两头分别与红外探测器杜瓦组件和排气装置连接，对杜瓦组件进行动态排气来实现，这种方法简单易行，但存在如下问题：1)橡皮管的流导和放气较大，杜瓦组件腔体内能获得的真空度受到一定限制；2)更为重要的一点，无论是机械泵还是机械泵与分子泵组合机组，它们对红外探测器杜瓦组件性能测试都会造成一定的电磁干扰；3)测试完成后，由于红外探测器仍然处于低温，突然暴露空气导致红外探测器芯片和其相应的光学元件被污染，只有等其完全回到室温后才能调换另一个红外探测器杜瓦组件进行测试。当杜瓦冷平台上热容量大时，此问题更加突出；4)对每一个红外探测器杜瓦组件进行测试时，排气机组都需要开关一次。因此有必要对红外探测器微型杜瓦组件高真空排气夹封前性能测试所需排气方式进行设计，既要获得较高的真空度又要将排气装置对红外探测器杜瓦组件性能测试的干扰降到最低。
发明内容
[0004] 本发明的目的就是要提供一种用于红外探测器微型杜瓦组件高真空排气夹封前性能测试的排气装置，它既能向红外探测器杜瓦组件测试提供较高的真空度，又避免了排气装置对红外探测器杜瓦组件性能测试的电磁干扰。
[0005] 本发明的一种用于红外探测器微型杜瓦组件高真空排气夹封前性能测试的排气装置如附图1所示，主要由微型吸附泵1、双通二位快速转换真空阀门2，过渡管3、高气密真空对接接头4、红外探测器杜瓦组件5组成。先将微型吸附泵1的排气端101与双通二位快速转换真空阀门2的阀门副头206连接，再将红外探测器杜瓦组件5的排气管501通过高气密真空对接接头4与过渡管3的金属铜管301连接，最后将双通二位快速转换真空阀门2的阀门主头201与过渡管3的金属接头302连接到一起。
[0006] 微型吸附泵1如专利200420082697所叙述，其是由外壳体和内胆构成中间夹有真空夹层的杜瓦瓶，它的外壳体侧面上部有二个分别用于通过二个二通钥匙与微型杜瓦和真空泵联接的抽气口101，内胆102内腔里装有液氮，在真空夹层中，有一套在内胆的外下部内装有活性炭的炭罩，炭罩壁上开有多个用于吸附残留气体的小孔，炭罩内壁衬有防止活性炭从小孔散落的金属网。它的工作原理是通过在内胆102内腔加入低温介质(如液氮或液氩)来对活性炭制冷，低温下活性炭大量吸附气体。
[0007] 双通二位快速转换真空阀门2如附图2所示，其主要由阀门主头201、2个螺帽口202、2个橡皮卷环203、拉杆204、2个橡皮圈205、阀门副头206、阀体207、2个阀体前密封圈208、2个阀体后密封圈209和手柄210组成。其中：橡皮卷环203选用黄铜材料；橡皮圈205、阀体前密封圈208和阀体后密封圈均选用氟橡胶“O”型圈；其它均采用不锈钢。螺帽口202的外形加工为外六角型。阀门副头206为中空圆柱体，阀门副头206通过钎焊工艺径向焊接到阀体207上。阀门主头201与阀体207为一体成型的中空圆柱体，它们的中空腔内安装有拉杆204。拉杆204的前段有与过渡管3的气塞304上的内螺纹303配合的外螺纹，稍后一定的位置上的两个紧靠的矩形槽内安装两个阀体前密封圈208。当拉杆处于不同的移动位置时，阀体前密封圈208来实现阀门主头201与阀门副头206之间的气路的开关。在拉杆204装配好后，在阀体207的后端安装上两个阀体后密封圈209，在两个阀体后密封圈209之间用金属环隔开，再用螺纹金属环压紧。两个阀体后密封圈209用来确保双通二位快速转换真空阀门2内的气路管道与外界的密封隔离。手柄210通过螺钉固定在拉杆204扁平的后端。阀门主头201和阀门副头206的外形都加工成一个阶梯形状，其小阶梯的端面与橡皮圈205连接，要求平整和光滑，在大阶梯的外圆加工出外螺纹。先将外形加工为六角型的螺帽口202和橡皮卷环203套到微型吸附泵1的抽气口101或过渡管3的金属接头302上，然后将橡皮圈205套到微型吸附泵1的抽气口101或过渡管3的金属接头302上的半圆形凹槽内，再将微型吸附泵1的抽气口101或过渡管3的金属接头302的外圆插入双通二位快速转换真空阀门2的阀门副头206或阀门主头201的中空腔内，最后旋转螺帽口202，通过螺帽口202的内螺纹与阀门副头206和阀门主头201的外螺纹配合让橡皮圈205变形，实现双通二位快速转换真空阀门2与微型吸附泵1或过渡管3之间的真空连接。橡皮卷环203的作用是防止螺帽口202与阀门主头201或阀门副头206之间相对旋转而使橡皮圈205损伤而影响密封效果。附图2(a)所示为阀门主头前端气路开、阀门副头后端气路开；附图2(b)所示为阀门主头前端气路关、阀门副头后端气路关。
[0008] 过渡管3如附图1所示，主要包括：金属铜管301、金属接头302、带有内螺纹303的气塞304和橡皮圈305。金属铜管301采用无氧铜材料，并进行退火处理，这有利于金属铜管301与高高气密真空对接接头4的气密连接。金属接头302采用不锈钢材料，内腔加工为“工”型阶梯孔，下面一头与金属铜管配合，上面的孔内圆要求机械抛光。金属接头302的外圆为圆柱体，其上有一半圆形的凹槽。先将退火金属铜管301焊接到金属接头302上，然后将橡皮圈305套到气塞304外圆的凹槽内，最后将气塞304插入金属接头302内腔内。通过带橡皮圈305的气塞304是否在金属接头302的上面的中空腔内来实现与金属铜管那边的气路的开关。
[0009] 高气密真空对接接头4如附图3所示，它由2个六角螺帽401、2个锥形后卡套402、2个锥形前卡套403和一个接头体404组成，整个接头均用不锈钢材料制成。高气密真空对接接头4与红外探测器杜瓦组件5的排气管501或过渡管3的金属铜管301密封连接方法如下：螺帽401外壳和接头体404的中间外壳做成六角体，通过螺帽401上的内螺纹与接头体404上外螺纹相对旋转运动，从而让后卡套402推动前卡套403向前运动，由于前卡套
403和红外探测器杜瓦组件的排气管或过渡管3的金属铜管301局部受力变形而得到密封结构I和II。
[0010] 本发明的一种用于红外探测器微型杜瓦组件高真空排气夹封前性能测试的排气装置的操作方法如下：
[0011] 1)将微型吸附泵1、双通二位快速转换真空阀门2，过渡管3、高气密真空对接接头4、红外探测器杜瓦组件5按附图1所示连接安装；
[0012] 2)对微型吸附泵1的内腔102内注满低温介质，待液面平静后开始下步操作；
[0013] 3)旋转双通二位快速转换真空阀门2的手柄210，让拉杆204上的外螺纹与过渡管3的气塞304上内螺纹303配合相连。再拉动双通二位快速转换真空阀门2的手柄210后，拉杆204、2个阀体前密封圈和过渡管3的气塞304和其上面套着的橡皮圈305也随其一起运动，当运动到如附图2(a)所示的位置时，微型吸附泵1开始对红外探测器杜瓦组件进行排气；
[0014] 4)微型吸附泵1的内腔102内的低温介质液面再次平静后，往红外探测器杜瓦组件5的冷指内腔502内注入低温介质后即可以进行测试；
[0015] 5)测试完成后，推动双通二位快速转换真空阀门2的手柄210后，拉杆204、2个阀体前密封圈208和过渡管3的气塞304和其上面套着的橡皮圈305也随其一起运动，当运动到如附图2(b)所示的位置时，微型吸附泵1停止对红外探测器杜瓦组件排气；
[0016] 6)旋转双通二位快速转换真空阀门2的手柄210，让拉杆204前面的外螺纹与过渡管3的气塞304上的内螺纹303脱离，让气塞304停在过渡管3的金属接头302内后，通过旋转双通二位快速转换真空阀门2的与过渡管3相连的螺帽口202，让双通二位快速转换真空阀门2与过渡管3脱离；
[0017] 7)换上另一个红外探测器杜瓦组件5，将另外一个过渡管3、另外一个高气密真空对接接头4与红外探测器杜瓦组件5按附图1所示安装连接，再按步骤6相反的操作让其与已经连接在一起的双通二位快速转换真空阀门2和微型吸附泵1连接起来；
[0018] 8)按照步骤3-6进行对另一个红外探测器杜瓦组件5的排气。
[0019] 本发明的优点如下：
[0020] 1.本发明结构简单、操作方便，实现成本低廉；
[0021] 2.本发明的排气管道采用金属管道，这有利于红外探测器杜瓦组件内较高真空的获得；
[0022] 3.本发明采用了无电源的微型吸附泵，避免了排气装置对杜瓦组件性能测试的电磁干扰；
[0023] 4.通过备有多个过渡管和多个高气密真空对接接头，就可以快速实现多个红外探测器杜瓦组件的交换测试，解决了处于低温红外探测器突然暴露空气会导致红外探测器芯片和其相应的光学元件被污染的问题，提高了测试效率。
[0024] 5、在红外探测器杜瓦组件交换测试的过程中，双通二位快速转换真空阀门可以实现对微型吸附泵的真空保护，避免了真空资源的浪费。
附图说明
[0025] 图1为本发明的用于红外探测器微型杜瓦组件高真空排气夹封前性能测试的排气装置结构示意图，
[0026] 图中：1-微型吸附泵；
[0027] 101-抽气口；
[0028] 102-内胆；
[0029] 2-双通二位快速转换真空阀门；
[0030] 201-阀门主头；
[0031] 202-螺帽口；
[0032] 203-橡皮卷环；
[0033] 204-拉杆；
[0034] 205-橡皮圈；
[0035] 206-阀门副头；
[0036] 207-阀体；
[0037] 208-阀体前密封圈；
[0038] 209-阀体后密封圈；
[0039] 210-手柄
[0040] 3-过渡管；
[0041] 301-金属铜管；
[0042] 302-金属接头；
[0043] 303-气塞上的内螺纹；
[0044] 304-气塞；
[0045] 305-橡皮圈；
[0046] 4-高气密真空对接接头
[0047] 401-六角螺帽；
[0048] 402-锥形后卡套；
[0049] 403-锥形前卡套；
[0050] 404-接头体；
[0051] 5-红外探测器杜瓦组件
[0052] 501-排气管；
[0053] 502-冷指内腔。
[0054] 图2双通二位快速转换真空阀门结构示意图，其中(a)阀门主头前端气路开、阀门副头后端气路开示意图；(b)阀门主头前端气路关、阀门副头后端气路关示意图。
[0055] 图3高气密真空对接接头结构示意图，其中(a)受力前结构示意图；(b)受力后结构示意图
具体实施方式
[0056] 下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步的详细说明：
[0057] 实施例是某航天项目用红外探测器微型杜瓦组件高真空排气夹封前性能测试的排气装置，下面详细阐述：
[0058] 1、微型吸附泵的制备：
[0059] 微型吸附泵1如专利200420082697所叙述，其是由外壳体和内胆构成中间夹有真空夹层的杜瓦瓶。它的外壳体侧面上部分别通过有二个分别用于通过二个二通钥匙与微型杜瓦和真空泵联接的抽气口101，在真空夹层中，有一套在内胆的外下部内装有活性炭的炭罩，炭罩壁上开有多个用于吸附残留气体的小孔，炭罩内壁衬有防止活性炭从小孔散落的金属网。它的工作原理是通过在内胆102内腔加入液氮来对活性炭制冷，低温下活性炭大量吸附气体。设计时有如下要求：(1)为了降低内胆材料的固体传导漏热，选用热导率并且低价格便宜的不锈钢材料。同时将内胆102加工为厚度为0.25mm的不锈钢圆筒；(2)整个微型吸附泵的主要框架材料采用选用不锈钢，面向真空的表面进行机械抛光，所有需要气-10 3密连接处采用氩弧焊接，并严格检漏，要求漏率优于1×10 Pa.m/S；(3)微型吸附泵1内的活性炭在装配前进行高温烘烤，并在微型吸附泵1加工完成进行长时间高真空排气和高温烘烤；(4)微型吸附泵1内的活性炭的数量按照红外探测器杜瓦组件内腔体积、测试所需要的压强、活性炭吸附系数和一定的余量进行设计选取。
[0060] 2、双通二位快速转换真空阀门的制备：
[0061] 双通二位快速转换真空阀门2如附图2所示，其主要由阀门主头201、2个螺帽口202、2个橡皮卷环203、拉杆204、2个橡皮圈205、阀门副头206、阀体207、2个阀体前密封圈
208、2个阀体后密封圈209和手柄210组成。其中：橡皮卷环选用黄铜材料；橡皮圈205、阀体前密封圈208和阀体后密封圈均选用氟橡胶“O”型圈；其它均采用不锈钢。螺帽口202的外形加工为外六角型。阀门副头通过温度为1055℃、铁镍合金浆状焊料进行钎焊而成，并进行气密性检查。阀内腔面向真空的部分进行机械抛光。阀门主头201与阀体207为一体成型的中空圆柱体，它们的中空腔内安装有拉杆204。拉杆204的前段有与过渡管3的气塞304上的内螺纹303配合的外螺纹，稍后一定的位置上的两个紧靠的矩形槽内安装两个阀体前密封圈208。在拉杆204装配好后，在阀体207的后端安装上两个阀体后密封圈
209，在两个阀体后密封圈209之间用金属环隔开，再用螺纹金属环压紧。手柄210通过螺钉固定在拉杆204扁平的后端。阀门主头201和阀门副头206的外形都加工成一个阶梯形状，其小阶梯的端面与橡皮圈205连接，在大阶梯的外圆加工出外螺纹。先将外形加工为六角型的螺帽口202和橡皮卷环203套到微型吸附泵1的抽气口101或过渡管3的金属接头
302上，然后将橡皮圈205套到微型吸附泵1的抽气口101或过渡管3的金属接头302上的半圆形凹槽内，再将微型吸附泵1的抽气口101或过渡管3的金属接头302的外圆插入双通二位快速转换真空阀门2的阀门副头206或阀门主头201的中空腔内，最后旋转螺帽口
202，通过螺帽口202的内螺纹与阀门副头206和阀门主头201的外螺纹配合让橡皮圈205变形，实现双通二位快速转换真空阀门2与微型吸附泵1或过渡管3之间的真空连接。
[0062] 3、过渡管的制备：
[0063] 过渡管3主要包括：金属铜管301、金属接头302、带有内螺纹303的气塞304和橡皮圈305。先将退火金属铜管301通过温度为1055℃、铁镍合金浆状焊料钎焊焊接到金属接头302上，然后将橡皮圈305套到气塞304外圆凹槽内，最后将气塞304插入金属接头302内腔内。金属接头302内腔和气塞304的外圆柱需要机械抛光处理。
[0064] 4、高气密真空对接接头的制备：
[0065] 高气密真空对接接头4由2个六角螺帽401、2个锥形后卡套402、2个锥形前卡套403和一个接头体404组成，整个接头均用不锈钢材料制成。螺帽401外壳和接头体404的中间外壳做成六角体。
[0066] 5、本发明的结构连接和操作步骤如下：
[0067] 1)先将微型吸附泵1、双通二位快速转换真空阀门2附图1所示连接安装后，对微型吸附泵的另外一个抽气口101通过一定工装进行高真空排气，使得微型吸附泵真空夹层-3内真空度优于10 Pa。再将过渡管3、高气密真空对接接头4、红外探测器杜瓦组件5按附图1所示连接安装；
[0068] 2)对微型吸附泵1的内腔102内注满液氮，待液面平静后开始下步操作；
[0069] 3)旋转双通二位快速转换真空阀门2的手柄210，让拉杆204上的外螺纹与过渡管3的气塞304上内螺纹303配合相连。再拉动双通二位快速转换真空阀门2的手柄210后，拉杆204、2个阀体前密封圈和过渡管3的气塞304和其上面套着的密封圈也随其一起运动，当运动到如附图2(a)所示的位置时，微型吸附泵1开始对红外探测器杜瓦组件进行排气；
[0070] 4)当微型吸附泵1的内腔102内的液氮液面再次平静后，往红外探测器杜瓦组件5的冷指内腔502内注入液氮后即可以进行测试；
[0071] 5)当测试完成后，推动双通二位快速转换真空阀门2的手柄210后，拉杆204、2个阀体前密封圈和过渡管3的气塞304和其上面套着的橡皮圈305也随其一起运动，当运动到如附图2(b)所示的位置时，微型吸附泵1停止对红外探测器杜瓦组件排气；
[0072] 6)旋转双通二位快速转换真空阀门2的手柄210，让拉杆204前面的外螺纹与过渡管3的气塞304上的内螺纹303脱离，让气塞304停在过渡管3的金属接头302内后，通过旋转双通二位快速转换真空阀门2的与过渡管3相连的螺帽口202，让双通二位快速转换真空阀门2与过渡管3脱离；
[0073] 7)换上另一个红外探测器杜瓦组件5，将另外一个过渡管3、另外一个高气密真空对接接头4、红外探测器杜瓦组件5按附图1所示安装连接，再按步骤6相反的操作让其与已经连接在一起的双通二位快速转换真空阀门2和微型吸附泵1连接起来；
[0074] 8)按照步骤3-6进行对另一个红外探测器杜瓦组件5的排气。
[0075] 以上就完成了本发明的排气装置的安装连接以及其对红外探测器微型杜瓦组件高真空排气夹封前性能测试排气的操作。
