一种硅棒夹具的放置结构转让专利

申请号 : CN200910004308.2

文献号 : CN101474832B

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法律信息:

相似专利:

发明人 : 陈世强陶凌

申请人 : 无锡市奥曼特科技有限公司

摘要 :

本发明提供了一种硅棒夹具的放置结构,当夹持有已切割成硅片的硅棒夹具放置于上并在行进输送过程中,能有效地起到保护硅片的作用,同时提高了工作效率。其包括支架,其特征在于:所述支架上安装有搁板,所述支架底部安装有调节装置,所述搁板下方、调节装置上方设置有限位装置。

权利要求 :

1.一种硅棒夹具的放置结构,其包括支架,其特征在于:所述支架上安装有搁板,所述支架底部安装有调节装置,所述搁板下方、调节装置上方设置有限位装置;所述调节装置包括调节板和圆管;所述调节板安装于所述支架底部两端;所述圆管设置有两根;所述两根圆管的两端卡接于所述调节板的调节孔内;所述限位装置包括上层、下层;所述上层限位装置包括上层限位板,所述上层限位板两端固定于所述支架上;所述上层限位板上开有插槽,所述插槽内设置有挡板;所述下层限位装置包括下层限位板和螺杆,所述下层限位板设置有两块,所述两块下层限位板套装于所述螺杆,所述螺杆两端通过蝶形螺母固定于所述支架上;所述圆管和螺杆外部裹覆有软硅胶。

说明书 :

一种硅棒夹具的放置结构

技术领域

[0001] 本发明涉及硅片清洗工装领域,具体为一种硅棒夹具的放置结构。

背景技术

[0002] 以往硅片切割的自动化生产程度较低,在生产过程中,原料硅棒、半成品硅片的输送多为人工输送,其生产效率低,且在输送过程中容易发生碰撞损坏,从而大大提高了生产成本。

发明内容

[0003] 针对上述问题,本发明提供了一种硅棒夹具的放置结构,当夹持有已切割成硅片的硅棒夹具放置于上并在行进输送过程中,能有效地起到保护硅片的作用,同时提高了工作效率。
[0004] 其技术方案是这样的:其包括支架,其特征在于:所述支架上安装有搁板,所述支架底部安装有调节装置,所述搁板下方、调节装置上方设置有限位装置。
[0005] 其进一步特征在于:所述调节装置包括调节板和圆管;所述调节板安装于所述支架底部两端;所述圆管设置有两根;所述两根圆管的两端分别卡接于所述调节板的调节孔内;所述限位装置包括上层、下层;所述上层限位装置包括上层限位板,所述上层限位板两端固定于所述支架上;所述上层限位板上开有插槽,所述插槽内设置有挡板;所述下层限位装置包括下层限位板和螺杆,所述下层限位板设置有两块,所述两块下层限位板套装于所述螺杆,所述螺杆两端通过蝶形螺母固定于所述支架上;所述圆管和螺杆外部裹覆有软硅胶。
[0006] 使用本发明的硅棒夹具放置结构,其能保证硅片切割后清洗生产的自动化流程,同时,保证硅棒、硅片的安全。

附图说明

[0007] 图1为本发明主视的结构示意图;
[0008] 图2为图1的A-A向剖视图;
[0009] 图3为本发明俯视结构示意图。

具体实施方式

[0010] 见图1、图2、图3,本发明其包括支架2,支架2上安装有搁板5,支架2底部安装有调节装置,搁板5下方、调节装置上方设置有限位装置。调节装置包括调节板1和圆管7;调节板1安装于支架2底部两端;圆管7设置有两根;两根圆管7两端分别卡接于调节板
1的调节孔内;限位装置包括上、下两层;上层限位装置包括上层限位板4,其两端固定于支架2上;上层限位板4上开有插槽;插槽内设置有挡板13;下层限位装置包括下层限位板3和螺杆9;下层限位板3设置有两块;两块下层限位板3套装于螺杆9上;螺杆9两端通过蝶形螺母11固定于支架2上;圆管7和螺杆9外部分别裹覆有软硅胶10和12。图中,6为把柄,8为圆杆。
[0011] 本发明在使用时,将硅棒夹具的圆杆放置在所述搁板5上,上下两层限位装置可以保证硅棒夹具上夹持的已切割好的硅片不发生相互碰撞,调节装置根据硅棒的外径调节距离,圆管7和螺杆9外的软硅胶10和12起到缓冲保护硅片作用。