带隔壁图案基板的制造方法

摘要

本发明的目的在于提供能够形成没有混色、露白不良、并且各像素平坦且均匀的着色层的带隔壁图案基板及其制造方法。本发明提供一种带隔壁图案基板，其具有基板、以及在所述基板上的规定位置上形成的由含有氟化合物的材料形成的隔壁图案，所述隔壁的上部表面采用飞行时间型二次离子质谱仪(TOF-SIMS)进行负离子分析时，F-碎片离子(M/Z＝19)的检测强度占全部负离子的检测强度的比率为25％～60％。

权利要求

1.一种带隔壁图案基板的制造方法，

包括以下工序：

在基板上的规定位置上通过曝光、显影方法来形成隔壁图案的工序，该隔壁图案由含有氟化合物的隔壁材料制作；

对所述隔壁图案照射电离放射线的工序；

将照射电离放射线后的隔壁图案在180℃以下进行加热固化，形成隔壁的工序；

并且通过上述工序使得所形成的隔壁的上部表面，在采用飞行时间型二次离子质谱仪TOF-SIMS进行负离子分析时，M/Z＝19的F-碎片离子的检测强度占全部负离子的检测强度的比率为25％～60％。

2.根据权利要求1所述的带隔壁图案基板的制造方法，其特征在于，形成的所述隔壁中，距所述基板侧的高度为90％以下的部分，采用飞行时间型二次离子质谱仪TOF-SIMS进行负离子分析时，M/Z＝19的F-碎片离子的检测强度占全部负离子的检测强度的比率为

10％以下。

3.根据权利要求1所述的带隔壁图案基板的制造方法，其特征在于，在形成隔壁的工序之后还具有采用着色油墨来形成着色层的工序。

4.根据权利要求1所述的带隔壁图案基板的制造方法，其特征在于，在形成隔壁的工序之后还具有采用着色油墨来形成着色层的工序，并且隔壁图案上没有附着着色油墨。

5.根据权利要求1所述的带隔壁图案基板的制造方法，其特征在于，还包括：在形成隔壁的工序之后，采用着色油墨来形成着色层的工序；以及在形成所述隔壁和着色层后进行表面清洗处理的工序。

6.根据权利要求1所述的带隔壁图案基板的制造方法，其特征在于，还包括：在形成隔壁的工序之后，采用着色油墨来形成着色层的工序；以及在形成所述隔壁和着色层后进行表面清洗处理的工序；并且，表面清洗处理后的隔壁的上部表面，采用飞行时间型二次离子质谱仪TOF-SIMS进行负离子分析时，M/Z＝19的F-碎片离子的检测强度占全部负离子的检测强度的比率为

20％以下。

7.根据权利要求1所述的带隔壁图案基板的制造方法，其特征在于，还包括：在形成隔壁的工序之后，采用着色油墨来形成着色层的工序；以及在形成所述隔壁和着色层后进行表面清洗处理的工序；并且，表面清洗处理后的所述隔壁中，距所述基板侧的高度为90％以下的部分，采用飞行时间型二次离子质谱TOF-SIMS仪进行负离子分析时，M/Z＝19的F-碎片离子的检测强度占全部负离子的检测强度的比率为10％以下。

说明书

带隔壁图案基板的制造方法

技术领域

[0001] 本发明涉及液晶显示装置、场致发光显示装置等中使用的带隔壁图案基板及其制造方法。更详细来说，涉及通过喷墨方式而印刷有各像素的带隔壁图案基板及其制造方法。 背景技术

[0002] 彩色液晶显示装置等中使用的滤色器是彩色液晶显示装置等中不可或缺的部件，具有提高液晶显示装置的画质、或对各像素赋予各种原色色彩的作用。以往，对该滤色器的制造方法反复进行了各种研究，作为代表的方法，已知光刻方式、喷墨方式等。在光刻方式中，在整个基板上形成各色的感光性树脂层的涂膜，然后除去涂膜中不需要的部分，将残留图案作为各色像素。在该方法中，由于涂膜的很多部分为不需要，因此在制造滤色器时大量颜料等材料被浪费。此外，由于要对每个颜色像素进行曝光、显影工序，因此工序数变多。由此，采用光刻方式的滤色器制造在成本、环境方面均存在问题。在这一点上，近年来喷墨方式受到了重视。采用喷墨方式的滤色器制造将R、G、B这3色的着色树脂组合物作为油墨使用，能够同时印刷各颜色。因此，材料的浪费也少，而且由于像素形成工序缩短，因此可以期待环境负荷的减少和成本的大幅降低。

[0003] 专利文献1：特开平6-347637号公报

[0004] 专利文献2：特开平7-035915号公报

[0005] 专利文献3：特开平7-035917号公报

[0006] 专利文献4：特开平7-248413号公报

[0007] 作为使用喷墨方式的滤色器基板的制造方法，提出了专利文献1～4中记载的方法。在专利文献1(特开平6-347637号公报)中记载，为了防止油墨向玻璃基板上所需的着色层区域以外扩散，通过形成如下隔 壁，即，使区划各像素间的黑色隔壁部(黑色矩阵)中含有氢氟酸系防水、防油剂，隔壁的临界表面张力小于35达因，间隙的被印刷面的临界表面张力为35达因以上，并且油墨的表面张力与隔壁和间隙的被印刷面的临界表面张力具有5达因以上的差的隔壁，从而使油墨仅固定在着色区域内。此外，在专利文献2(特开平7-35915号公报)、专利文献3(特开平7-35917号公报)、专利文献4(特开平7-248413号公报)中记载，作为用于防止着色层形成工序中的油墨洇渗、混色的间隔壁的隔壁，是含有含氟化合物和/或含硅化合物的黑色树脂层，其在水中的后退接触角为40°以上、或者在用于形成像素的着色油墨中的后退接触角为20°以上。这些方法由于使用含有具有防油墨性的氟化合物的黑色树脂组合物来形成隔壁，因此不需要对形成的隔壁图案赋予防油墨性的工序、对被印刷面赋予亲油墨性的工序等，工序数少，能够降低环境负荷和制造成本，可以说是非常优选的方法。

[0008] 作为其他方法，有在基板上将隔壁材料图案化而形成隔壁图案后，进行防油墨性表面处理的方法，但是工序数增加一个，而且难以控制上部、侧面的防油墨性程度。 [0009] 此外，还有在基板上设置隔壁材料，经防油墨处理后进行图案化的方法，但在该情况下，仅能对上部赋予防油墨性，而且有时在图案化工序中还会失去防油墨性，因此难以赋予所需的防油墨性。

发明内容

[0010] 但是，对于上述以往的方法，在使用有机溶剂系的颜料分散型着色油墨、通过喷墨进行印刷的情况下，产生如下问题，即，在邻接的像素间油墨之间越过隔壁而混合，产生混色不良，或者相反着色层露白。而且，虽然隔壁表面对用于形成像素的着色油墨具有充分的防油墨性，但是在形成隔壁图案时的煅烧工序、进行喷墨印刷前的清洗工序中，有时防油墨剂分解而飞散，或者防油墨剂渗出到隔壁外。由此，由隔壁围成的开口部的基板表面被防油墨剂污染，产生所述的着色层露白、像素形状变得不平坦等问题，难以形成无混色、露白且平坦的像素。

[0011] 此外，为了设置无混色等的平坦像素，必须控制隔壁的防油墨性，但是如果隔壁上部为防油墨性，则在其上设置罩面层、导电层等功能层 时，隔壁与功能层的密合性不充分，存在功能层产生不均、膜剥离等问题。

[0012] 为了避免这一点，考虑形成无防油墨性的隔壁，然而这时，虽然隔壁与功能层的密合性达到充分，但却会发生混色、露白，不能形成平坦的像素。

[0013] 即，难以兼顾无混色、露白且平坦的像素与无不均、膜剥离的功能层。

[0014] 本发明为解决上述问题点而完成，其课题在于，提供能够形成没有混色、露白不良、并且各像素平坦且均匀的着色层的带隔壁图案基板及其制造方法。

[0015] 此外，提供在隔壁上设有功能层时，功能层没有不均，而且与功能层具有高密合性的带隔壁图案基板及其制造方法。

[0016] 以下，示出用于解决上述课题的本申请的构成。

[0017] 第1发明是，一种带隔壁图案基板，其特征在于，具有基板、以及在所述基板上的规定位置上形成的由含有氟化合物的材料形成的隔壁图案，所述隔壁的上部表面，采用飞行时间型二次离子质谱仪(TOF-SIMS)进行负离子分析时，F-碎片离子(M/Z＝19)的检测强度占全部负离子的检测强度的比率为25％～60％。

[0018] 第2发明是，上述第1发明所述的带隔壁图案基板，其特征在于，被所述隔壁包围的基板表面，采用飞行时间型二次离子质谱仪(TOF-SIMS)进行负离子分析时，F-碎片离子(M/Z＝19)的检测强度占全部负离子的检测强度的比率为10％以下。

[0019] 第3发明是，一种带隔壁图案基板，其特征在于，具有基板、以及在所述基板上的规定位置上形成的由含有氟化合物的材料形成的隔壁图案，所述隔壁中，距所述基板侧的高度为90％以下的部分，采用飞行时间型二次离子质谱仪(TOF-SIMS)进行负离子分析时，F-碎片离子(M/Z＝19)的检测强度占全部负离子的检测强度的比率为10％以下。

[0020] 第4发明是，上述第3发明所述的带隔壁图案基板，其特征在于， 被所述隔壁包围的基板表面，采用飞行时间型二次离子质谱仪(TOF-SIMS)进行负离子分析时，F-碎片离子(M/Z＝19)的检测强度占全部负离子的检测强度的比率为10％以下。

[0021] 第5发明是，一种带隔壁图案基板，其特征在于，具有基板、在所述基板上的规定位置上形成的由含有氟化合物的材料形成的隔壁图案、以及在被所述隔壁图案包围的区域采用着色油墨而形成的着色层，所述隔壁的上部表面，采用飞行时间型二次离子质谱仪(TOF-SIMS)进行负离子分析时，F-碎片离子(M/Z＝19)的检测强度占全部负离子的检测强度的比率为20％以下，并且所述隔壁上没有附着着色油墨。

[0022] 第6发明是，上述第5发明所述的带隔壁图案基板，其特征在于，在所述隔壁和着色层上，具有功能层。

[0023] 第7发明是，一种带隔壁图案基板，其特征在于，具有基板、在所述基板上的规定位置上形成的由含有氟化合物的材料形成的隔壁图案、以及在被所述隔壁图案包围的区域采用着色油墨而形成的着色层，所述隔壁中，距所述基板侧的高度为90％以下的部分，采用飞行时间型二次离子质谱仪(TOF-SIMS)进行负离子分析时，F-碎片离子(M/Z＝19)的检测强度占全部负离子的检测强度的比率为10％以下，并且所述隔壁上没有附着着色油墨。 [0024] 第8发明是，上述第7发明所述的带隔壁图案基板，其特征在于，在所述隔壁和着色层上，还具有功能层。

[0025] 第9发明是，一种带隔壁图案基板的制造方法，包括以下工序。

[0026] 在基板上的规定位置上形成含有氟化合物的隔壁材料的图案的工序；

[0027] 对所述隔壁材料的图案照射电离放射线的工序；

[0028] 将照射电离放射线后的隔壁材料的图案在180℃以下进行加热固化，形成隔壁的工序。

[0029] 第10发明是，上述第9发明所述的带隔壁图案基板的制造方法，其特征在于，形成的隔壁的上部表面，采用飞行时间型二次离子质谱仪(TOF-SIMS)进行负离子分析时，F-碎片离子(M/Z＝19)的检测 强度占全部负离子的检测强度的比率为25％～60％。

[0030] 第11发明是，上述第9发明所述的带隔壁图案基板的制造方法，其特征在于，形成的所述隔壁中，距所述基板侧的高度为90％以下的部分，采用飞行时间型二次离子质谱仪(TOF-SIMS)进行负离子分析时，F-碎片离子(M/Z＝19)的检测强度占全部负离子的检测强度的比率为10％以下。

[0031] 第12发明是，第9发明所述的带隔壁图案基板的制造方法，其特征在于，具有在形成隔壁的工序之后，采用着色油墨来形成着色层的工序。

[0032] 第13发明是，第9发明所述的带隔壁图案基板的制造方法，其特征在于，具有在形成隔壁的工序之后，采用着色油墨来形成着色层的工序，并且隔壁图案上没有附着着色油墨。

[0033] 第14发明是，第9发明所述的带隔壁图案基板的制造方法，其特征在于，包括：在形成隔壁的工序之后，采用着色油墨来形成着色层的工序；以及在形成着色层后，在形成所述隔壁和着色层后进行表面清洗处理的工序。

[0034] 第15发明是，第9发明所述的带隔壁图案基板的制造方法，其特征在于，包括：在形成隔壁的工序之后，采用着色油墨来形成着色层的工序；以及在形成着色层后，在形成所述隔壁和着色层后进行表面清洗处理的工序；并且，

[0035] 表面清洗处理后的隔壁的上部表面，采用飞行时间型二次离子质谱仪(TOF-SIMS)进行负离子分析时，F-碎片离子(M/Z＝19)的检测强度占全部负离子的检测强度的比率为20％以下。

[0036] 第16发明是，第9发明所述的带隔壁图案基板的制造方法，其特征在于，包括：在形成隔壁的工序之后，采用着色油墨来形成着色层的工序；以及在形成着色层后，在形成所述隔壁和着色层后进行表面清洗处理的工序；并且，

[0037] 表面清洗处理后的所述隔壁中，距所述基板侧的高度为90％以下的部分，采用飞行时间型二次离子质谱仪(TOF-SIMS)进行负离子分 析时，F-碎片离子(M/Z＝19)的检测强度占全部负离子的检测强度的比率为10％以下。

[0038] 第17发明是，一种带隔壁图案基板的制造方法，包括以下工序。在基板上的规定位置上形成含有氟化合物的隔壁材料的图案的工序；在被所述隔壁图案包围的区域中填充着色油墨，形成着色层的工序；以及在形成所述隔壁和着色层后进行表面清洗处理的工序。 [0039] 第18发明是，第17发明所述的带隔壁图案基板的制造方法，其特征在于，在采用着色油墨形成着色层的工序后的隔壁图案上没有附着着色油墨。

[0040] 第19发明是，第17发明所述的带隔壁图案基板的制造方法，其特征在于，表面清洗处理工序后的所述隔壁的上部表面，采用飞行时间型二次离子质谱仪(TOF-SIMS)进行负离子分析时，F-碎片离子(M/Z＝19)的检测强度占全部负离子的检测强度的比率为20％以下。

[0041] 第20发明是，第17发明所述的带隔壁图案基板的制造方法，其特征在于，表面清洗处理工序后的所述隔壁中，距所述基板侧的高度为90％以下的部分，采用飞行时间型二次离子质谱仪(TOF-SIMS)进行负离子分析时，F-碎片离子(M/Z＝19)的检测强度占全部负离子的检测强度的比率为10％以下。

[0042] 可以提供能够形成没有混色、露白不良、并且各像素平坦且均匀的着色层的带隔壁图案基板。

附图说明

[0043] 图1是本发明的带隔壁图案基板的说明图。

[0044] 图2是表示本发明的带隔壁图案基板制法的一例的说明图。

[0045] 图3是表示本发明的带隔壁图案基板制法的一例的说明图。

具体实施方式

[0046] 以下，边参照附图边对本发明进一步进行详细说明。

[0047] 图1是表示本发明的带隔壁图案基板剖面的一例的剖面图。图示出保护层1、隔壁2、基材3、着色层(像素)4。

[0048] 图2表示本发明的带隔壁图案基板形成方法的一例。在图2中，具有：(a)在基材整个面上设置隔壁材料的工序；(b)将隔壁图案化的工序；(c)设置着色层时，在隔壁的开口部设置着色层的工序。这里，将设置于隔壁之间的各开口部中的各个着色层作为像素。 [0049] 在本发明中，研究了在被隔壁图案所包围的区域采用着色油墨来形成着色层时发生混色、露白不良的主要因素，结果发现，最优选使氟系化合物在隔壁的上部表面偏析而赋予防油墨性，此外，通过使隔壁的上部表面采用飞行时间型二次离子质谱仪(TOF-SIMS)进行负离子分析的结果，即通过使F-碎片离子(M/Z＝19)的检测强度占全部负离子的检测强度的比率在特定的范围内，可不发生混色和露白，使像素的平坦性提高。

[0050] 即，形成的隔壁的上部表面，采用飞行时间型二次离子质谱仪(TOF-SIMS)进行负离子分析时，F-碎片离子(M/Z＝19)的检测强度占全部负离子的检测强度的比率优选为25％～60％。如果是上部表面在该范围的隔壁图案，在填充着色油墨而形成着色层时，可以制成没有混色和露白、并且平坦性高的像素。

[0051] 此外，优选对被隔壁包围的基板表面采用飞行时间型二次离子质谱仪(TOF-SIMS)进行负离子分析的结果，F-碎片离子(M/Z＝19)的检测强度占全部负离子的检测强度的比率在10％以下。在该范围时，在填充着色油墨而形成着色层时，可以制成没有露白的像素。

[0052] 进而，所述隔壁中，距所述基板侧的高度为90％以下的部分，采用飞行时间型二次离子质谱仪(TOF-SIMS)进行负离子分析时，F-碎片离子(M/Z＝19)的检测强度占全部负离子的检测强度的比率优选为10％以下。隔壁的上部表面以外优选防油墨性不太高。这是因为填充有油墨时会产生露白等问题。此外，如果隔壁内部的防油墨性高，则隔壁与基板的密合性下降，因此从这一点出发也优选在上述范围内。此外，内添了防油墨剂的隔壁由于具有在制造过程中在上部偏析的性质，因此，F-碎片离子(M/Z＝19)的检测强度占基板附近全部负离子的检测强度的比率，比所述隔壁中距所述基板侧的高度为90％以下的部分中的值低。

[0053] 此外，如果完全没有防油墨性，则后述的着色层的形状可能会变为凹状，优选F-碎片离子(M/Z＝19)的检测强度占所述全部负离子的检测强度的比率在0.1％～5％为好。

[0054] 在该范围内时没有混色，作为确认方法之一，有着色油墨附着在隔壁上的确认。 [0055] 作为具体的确认方法，对于隔壁上部，分析在着色油墨中含有、但在隔壁中不含有的成分即可。作为成分，可以列举元素、有机官能基等，但并不限于这些。

[0056] 对于分析方法，只要能够进行成分确认就可以是任意的分析方法，可以列举例如TOF-SIMS、EDX(能量分散型荧光X射线分析)、XPS(X射线电子分光分析)、ICP发光分析等。

[0057] 例如在隔壁中不含Cu元素、而使用含有Cu元素的着色油墨时，可以通过进行隔壁上部的Cu元素分析来确认。

[0058] 此外，例如隔壁中不含苯环、而使用含有苯环的着色油墨时，可以通过进行有无苯环的分析来确认。

[0059] 此外，虽然形成着色层时优选隔壁的上部表面具有一定程度的防油墨性，但是优选形成着色层之后的隔壁的上部表面的防油墨性低。在隔壁层上设置罩面层、导电层等功能层时，如果隔壁的上部表面的防油墨性高，则功能层会产生不均，或者由于隔壁与功能层的密合性变低而发生功能层的膜剥离等。

[0060] 即，形成着色层之后的隔壁上部表面，采用飞行时间型二次离子质谱仪(TOF-SIMS)进行负离子分析时，F-碎片离子(M/Z＝19)的检测强度占全部负离子的检测强度的比率优选为20％以下，更优选为3～20％。

[0061] 此外，所述隔壁中，距所述基板侧的高度为90％以下的部分，采用飞行时间型二次离子质谱仪(TOF-SIMS)进行负离子分析时，F-碎片离子(M/Z＝19)的检测强度占全部负离子的检测强度的比率为10％以下，优选在0.1～5％的范围内。这是因为，如果内部的防油墨性过高，则隔壁与基板的密合性下降。

[0062] 这里，着色层可以由红(R)、绿(G)、蓝(B)等着色材料构成的油墨形成，也可以由红(R)、绿(G)、蓝(B)等发光材料构成的油墨形成。

[0063] 采用由着色材料构成的油墨形成时，可以作为液晶显示装置或场致发光显示装置中使用的滤色器来使用。

[0064] 此外，采用由发光材料构成的油墨形成时，可以作为场致发光显示装置来使用。 [0065] 此外，所述着色材料，发光材料可以是除了红(R)、绿(G)、蓝(B)以外的青、品红、黄、紫等其它颜色，也可以适当组合。

[0066] 作为液晶显示装置用时，可以在隔壁和着色层上进一步依次层叠透明导电层、取向膜层。例如，使与形成有薄膜晶体管之类的电极的相对基板相对配置，并隔着液晶层，构成液晶显示装置。此外，还可以根据需要在所述滤色器上设置保护层4。

[0067] 场致发光显示装置也同样可以在隔壁和着色层上层叠导电层、保护层等。 [0068] 基板可以使用玻璃基板、石英基板、塑料基板等公知的基板材料。优选使用透明性基板，其中玻璃基板的透明性、强度、耐热性、耐候性优异。

[0069] 以下，对于隔壁及其形成方法进行详细说明。在本发明中，隔壁的膜厚(高度)优选为1.0μm以上。进一步更优选为1.5μm～5μm。隔壁的高度小于1.0μm时，易发生混色，隔壁的高度过高时，难以形成精细的隔壁，而且与着色层高度差增大，因而是不优选的。 [0070] 隔壁优选由含有防油墨剂的树脂组合物形成。作为防油墨剂，可以列举硅系材料、氟系材料等，优选使用氟化合物。

[0071] 特别是后述的用光刻法形成隔壁的情况，可以使用感光性树脂组合物来形成。 [0072] 此外，用于显示装置时，优选使其具有遮光性。具体来说，可以通过在隔壁材料中混入遮光性材料来赋予遮光性。

[0073] 在本发明中，隔壁的形成方法没有特别限定，可以通过光刻法、印刷 法、转印法等以往公知的方法来形成。从生产率、隔壁的形成性等方面出发，优选光刻法。

[0074] 此外，隔壁2可以是1层或2层以上的多层结构。此外，为1层时，工序少至一个、而且无需位置对合等，因而优选。

[0075] 这里，重要的是，隔壁上部表面、所述隔壁中距所述基板侧高度为90％以下的部分或者隔壁开口部的F-碎片离子在前述的范围内。

[0076] 隔壁的F-碎片离子检测强度的调整在下述的实施例中示出，可以通过隔壁的形成用组合物中含氟化合物量的调节、隔壁形成时的煅烧工序时的减压度和氧浓度或煅烧温度的调节等来进行。此外，基板表面的F-碎片离子检测强度的调整可以列举如下的方法：调节隔壁形成时的煅烧工序时的减压度或煅烧温度；使煅烧气氛为惰性气氛；设置紫外线固化工序；调节清洗工序等的条件等。

[0077] 其次，对于使用光刻法的隔壁形成法的一例进行说明。

[0078] 在将上述含有赋予防油墨性的材料的感光性树脂组合物涂布在基板上的工序中，在适当清洗过的基板上，使用狭缝口模涂布机、旋涂机等公知的涂布装置，均匀涂布后述的含有防油墨剂的负型感光性树脂组合物(参照图3(a))。然后，为了除去溶剂成分，可以根据需要进行减压干燥处理、预焙处理。这时，使用氟系防油墨剂时，分散在涂膜中的防油墨剂具有缓慢地在涂膜表面偏析的性质，根据从涂布至溶剂挥发而涂膜完全固化为止的时间及其条件的不同，防油墨剂的偏析状态发生变化。因此，在得到均匀性能的隔壁方面，较理想的是，使本工序中从涂布至减压干燥或预焙为止的时间间隔及它们的条件保持均匀。 [0079] 在形成隔壁图案的工序中，可以使用曝光装置和光掩模，通过以往公知的曝光、显影方法来形成隔壁图案(参照图3(b))。

[0080] 在对所述隔壁图案照射紫外线而使之固化的工序中，可以在从基板的上面通过电离放射线使隔壁固化之后，使之热固化(参照图3(c))。作为电离放射线，例如可以照射200～500nm的紫外线等使隔壁固化。作为照射的光源，由于感光性树脂大多在200～400nm的波长范围具有感光性，因此特别优选在该波长范围至少具有一个以上分光峰。此外，包含促进防 油墨剂分解的波长(例如200nm以下)的光源，会使隔壁表面的防油墨降低，而且分解的防油墨剂会污染开口部的基板表面，因此是不优选的。作为光源，特别优选高压汞灯或金属卤化物灯。关于照射的曝光量，如果隔壁的紫外线交联不充分，则形成着色层时着色油墨对溶剂的耐受性不足，有时会在隔壁表面产生龟裂，因此较理想的是，在
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254nm时为100mJ/cm 以上、在365nm时为500mJ/cm 以上。在本发明中，在该工序中，通过极力抑制防油墨剂因热分解所致的飞散、渗出，并在形成着色层时，使隔壁充分固化直至隔壁表面不产生龟裂，从而可以防止采用喷墨来形成着色层时的像素的混色、露白、颜色不均。 [0081] 此外，由上述含有防油墨剂的感光性树脂组合物形成的隔壁是具有遮光性的遮光层时，通过上述采用高压汞灯或金属卤化物灯的紫外线照射，虽然隔壁的表面固化，但是由于遮光而无法固化至内部。这时，可以设置在小于180℃的温度进行加热处理来热固化的工序(参照图3(d))。作为加热方法，可以利用采用对流烘箱、热板、卤素加热器、IR烘箱的加热等，没有特别限制。

[0082] 但是，在180℃以上的温度加热时，即使在前工序中采用高压汞灯或金属卤化物灯使隔壁表面紫外线固化，也在隔壁开口部的基板表面上可见防油墨剂因热分解所致的飞散、渗出，在采用喷墨来形成着色层时，导致露白、平坦性恶化，因此是不优选的，用于热固化的加热温度较理想的是抑制为小于180℃。

[0083] 此外，不含紫外线照射工序时，虽然根据树脂组成的不同而不同，但为了固化必须进行180℃以上的高温加热，在隔壁开口部的基板表面上可能发生防油墨剂因热分解所致的飞散、渗出等。

[0084] 作为感光性树脂组合物，可以使用例如负型的感光性树脂组合物，可以适当组合下述的各成分，以设计为在照射的光波长范围内具有感光性。主要成分包括粘合剂树脂、具有自由基聚合性的化合物、光聚合引发剂、溶剂、防油墨剂、以及根据需要的遮光性材料。 [0085] 首先，作为粘合剂树脂，优选碱可溶性的热固化性树脂，具体来说，可以列举甲酚-线型酚醛树脂、聚乙烯基苯酚树脂、丙烯酸类树脂、甲基丙烯酸类树脂等。这些粘合剂树脂可以单独使用，也可以混合2种以上。 此外，为了促进低温下的固化性，除了这些树脂之外，还可以含有三聚氰胺衍生物和光致酸发生剂。作为三聚氰胺衍生物，只要是具有羟甲基或甲氧基甲基的化合物即可，特别优选在溶剂中溶解性大的三聚氰胺衍生物。

[0086] 光致酸发生剂通过在进行曝光时产生的酸的作用，来促进三聚氰胺衍生物与粘合剂树脂的脱水反应和交联反应，光致酸发生剂中，也特别优选在溶剂中溶解性大的光致酸发生剂。作为一例，具体来说，可以列举二苯基碘鎓、二甲苯基碘鎓、苯基(4-茴香基)碘鎓、双(3-硝基苯基)碘鎓、双(4-叔丁基苯基)碘鎓、双(4-氯苯基)碘鎓、双(4-正十二烷基苯基)碘鎓、4-异丁基苯基(4-甲苯基)碘鎓、4-异丙基(イソピル)苯基(4-甲苯基)碘鎓等二芳基碘鎓、或三苯基锍等三芳基锍等三芳基锍的氯化物、溴化物、或者氟硼酸盐、六氟磷酸盐、六氟砷酸盐、芳香族磺酸盐、四(五氟苯基)硼酸盐、二苯基苯甲酰甲基锍(正丁基)三苯基硼酸酯等的锍有机硼配合物盐、或者2-甲基-4，6-双(三氯甲基)
三嗪、2-(4-甲氧基苯基)-4，6-双(三氯甲基)三嗪、2-{2-(5-甲基呋喃-2-基)乙烯
基}-4，6-双(三氯甲基)-均三嗪等三嗪化合物、或者1，2-二叠氮基萘醌、1，2-二叠氮基萘醌-4-磺酸钠、1，2-二叠氮基萘醌-5-磺酸钠、1，2-二叠氮基萘醌-4-磺酸酯衍生物、1，
2-二叠氮基萘醌-5-磺酸酯衍生物等重氮萘醌化合物等。

[0087] 在本发明中，具有自由基聚合性的化合物可以使用例如具有乙烯基或烯丙基的单体、寡聚物、末端或侧链中具有乙烯基或烯丙基的聚合物。具体来说，可以列举(甲基)丙烯酸及其盐、(甲基)丙烯酸酯类、(甲基)丙烯酰胺类、马来酸酐、马来酸酯、衣康酸酯、苯乙烯类、乙烯基醚类、乙烯基酯类、N-乙烯基杂环类、烯丙基醚类、烯丙基酯类以及它们的衍生物。作为优选的化合物，可以列举例如季戊四醇三丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二(三羟甲基丙烷)四丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯及二季戊四醇六丙烯酸酯等较低分子量的多官能丙烯酸酯等，但并不限于此。这些具有自由基聚合性的化合物可以单独使用，也可以混合2种以上。具有自由基聚合性的化合物的量，相对于粘合剂树脂100重量份，可以为1～200重量份的范围，优选为10～150重量份。

[0088] 在本发明中，光聚合引发剂通过曝光产生自由基，通过具有自由基聚合性的化合物，使粘合剂树脂交联。作为光聚合引发剂的例子，具体来说， 可以列举二苯甲酮、4，4’-双(二甲基氨基)二苯甲酮、4，4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮等二苯甲酮化合物、1-羟基环己基苯乙酮、2，2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮、以及2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉代丙烷-1-酮等苯乙酮衍生物、噻吨酮、2，4-二乙基噻吨酮、2-异丙基噻吨酮、2-氯噻吨酮等噻吨酮衍生物、2-甲基蒽醌、2-乙基蒽醌、2-叔丁基蒽醌、氯代蒽醌等蒽醌衍生物、苯偶姻甲基醚、苯偶姻乙基醚、苯偶姻苯基醚等苯偶姻醚衍生物、苯基双-(2，4，6-三甲基苯甲酰基)-氧化膦等酰基膦衍生物、2-(邻氯苯基)-4，5-双(4’-甲基苯基)咪唑基二聚体等洛粉碱二聚体、N-苯基氨基乙酸等N-芳基氨基乙酸类、4，4’-二叠氮基查尔酮等有机叠氮化物类、3，3’，4，4’-四(叔丁基过氧化羧基)二苯甲酮、含有醌二叠氮基的化合物等。这些光聚合引发剂可以单独使用，也可以混合2种以上。光聚合引发剂的量，相对于粘合剂树脂100重量份，可以为0.1～50重量份的范围，优选为1～20重量份。

[0089] 此外，遮光性材料对隔壁赋予遮光性，提高显示装置的显示品质。作为遮光性材料，可以使用黑色颜料、黑色染料、炭黑、苯胺黑、石墨、氧化铁黑、氧化钛、无机颜料和有机颜料。这些遮光性材料可以单独使用，也可以混合2种以上。

[0090] 进而，本发明中使用的防油墨剂对隔壁赋予对着色油墨的防油墨性。防油墨剂可以预先添加在用于形成隔壁的树脂组合物中使用。作为防油墨剂，可以使用氟系化合物或硅系化合物，特别优选使用氟系化合物。作为所述氟系化合物的例子，在本发明中，在兼顾隔壁表面的防油墨性与开口部基材表面的亲油墨性的方面，特别优选重均分子量为10,000～100,000的含氟共聚物。

[0091] 此外，用于形成隔壁的树脂组合物中，还可以根据需要加入具有相溶性的添加剂，例如流平剂、链转移剂、稳定剂、增感色素、表面活性剂、偶联剂等。

[0092] 这里，采用飞行时间型二次离子质谱仪(TOF-SIMS)进行的负离子分析，优选使用PHI/EVANS公司制TRIFT-II装置，测定条件为，作为1次离子使用Ga+，在加速电压18kV、试样电流2nA、测定面积180μm□(RAW形式测定时)、测定质量M/Z＝1.7～2000、测定时间2分钟下进行，以全部数据取得形式(RAW形式)测定包括隔壁上部表面或开口部 的基板表面的区域，由绘图中提取出隔壁上部表面21或开口部的基板表面的谱图，算出F-碎片离子(M/Z＝19)的检测强度占全部负离子的检测强度的比率。

[0093] 此外，所述隔壁中，距所述基板侧的高度为90％以下部分的负离子分析，在将隔壁整体中上部10％的部分(或超过10％的部分)通过研磨等除去后，用与上述方法同样的方法进行测定，计算得出。

[0094] 在本发明中，隔壁的线宽与一般的滤色器、EL元件中使用的隔壁的线宽对应，具体来说，优选为5～100μm。线宽小于5μm时，即便使隔壁上部表面中含有大量的氟，也难以防止混色的发生，而且可以说隔壁的图案形成本身凭借以往的技术也是困难的。另一方面，隔壁的线宽超过100μm时，作为液晶显示装置的品质下降，因而不优选。

[0095] 这里，飞行时间型二次离子质谱仪(TOF-SIMS)即使在小于μm～数μm的区域也能够分解能力良好地进行分析，作为线宽仅数十μm的隔壁上部表面的分析方法，可以说是尤为合适的方法。

[0096] 在本发明中，根据隔壁图案的形状、开口宽、隔壁膜厚、线宽、着色油墨种类、环境温度等，隔壁上部表面和开口部的基板表面的氟比率优选在上述范围内进行调整。 [0097] 着色层可以用喷墨法、印刷法、转印法、电极沉积法等公知的方法来形成，但从生产率等的观点出发，优选使用喷墨法(参照图3(e))。

[0098] 着色层中使用的着色油墨可以使用着色剂、热固化性树脂、溶剂等公知的材料，根据需要，可以添加分散剂等添加剂进行制备。作为着色剂，可以使用染料、颜料，但从耐热性、耐候性等可靠性的观点出发，特别优选颜料分散型。此外，作为溶剂，可以利用水系和有机溶剂系，但从对广泛的树脂组合物具有高溶解性、即使高固体成分浓度下也能够喷出喷墨的观点出发，特别优选使用有机溶剂。

[0099] 制成滤色器时，作为着色层中使用的着色剂，可以使用着色颜料。作为着色颜料的具体例，可以列举Pigment Red 9、19、38、43、97、122、123、144、149、166、168、177、179、180、192、215、216、208、216、217、220、223、224、226、227、228、240、Pigment Blue 15、15:6、16、
22、29、60、64、Pigment Green 7、36、Pigment Red 20、24、86、93、108、109、110、117、125、
137、138、139、147、148、153、154、166、168、185、Pigment Orange 36、Pigment Violet 23等，可以单独或将2种以上混合使用。

[0100] 作为所述的着色油墨中使用的溶剂，可以优选使用其表面张力在适于喷墨方式的范围、例如40mN/m以下、且沸点在130℃以上的溶剂。表面张力超过40mN/m时，存在对喷墨喷出时的点形状的稳定性产生显著不良影响的倾向，此外，沸点小于130℃时，喷嘴附近的干燥性显著变得过高，存在导致喷嘴堵塞等不良状况发生的倾向。

[0101] 作为优选的溶剂，可以列举例如2-甲氧基乙醇、2-乙氧基乙醇、2-丁氧基乙醇、乙酸2-乙氧基乙酯、乙酸2-丁氧基乙酯、乙酸2-甲氧基乙酯、2-乙氧基乙基醚、2-(2-乙氧基乙氧基)乙醇、2-(2-丁氧基乙氧基)乙醇、乙酸2-(2-乙氧基乙氧基)乙酯、乙酸2-(2-丁氧基乙氧基)乙酯、2-苯氧基乙醇和二乙二醇二甲基醚等，根据需要，可以单独或将二种以上混合使用。溶剂除了要求溶解性之外，还要求经时稳定性和干燥性等，可与使用的着色剂及粘合剂树脂的特性相应地适当选择。

[0102] 所述着色油墨中可以配合以下列举的粘合剂树脂。作为所述着色油墨的粘合剂树脂，可以列举酪蛋白、明胶、聚乙烯醇、羧甲基乙缩醛、聚酰亚胺树脂、丙烯酸类树脂、环氧树脂和三聚氰胺树脂等，可以根据使用的着色剂适当选择。例如，要求耐热性、耐光性时优选丙烯酸类树脂。

[0103] 为了提高色素在所述着色油墨的粘合剂树脂中的分散，可以添加分散剂。作为分散剂，可以列举非离子性表面活性剂、例如聚氧乙烯烷基醚等，此外，作为离子性表面活性剂，可以列举例如烷基苯磺酸钠、聚脂肪酸盐、脂肪酸盐烷基磷酸盐及四烷基铵盐等，除此之外，还可以列举有机颜料衍生物及聚酯等。分散剂可以单独或将二种以上混合使用。 [0104] 作为场致发光用时，作为着色层中使用的着色剂，可以使用发光材料。作为发光材料，有无机化合物的发光材料、有机化合物的发光材料，有机化合物的发光材料有低分子型和高分子型。

[0105] 这些发光材料可以使用公知的材料。

[0106] 此外，还可以适当使用溶剂、其它添加物等。

[0107] 此外，各色着色层可以根据隔壁的高度等进行调整。优选的是，各色着色层，相对于隔壁的高度，像素的平均膜厚优选在80～120％的范围内，更优选在90～110％的范围内。此外，在像素内，进一步优选像素膜厚均匀。例如，在一个像素内，像素任意一部分的膜厚优选相对于该像素或该颜色的同一颜色的所有像素的平均膜厚在80～120％的范围内，更优选在90～110％的范围内。

[0108] 在形成着色层后，可以在隔壁层和着色层上设置功能层。作为功能层，可以列举罩面层、保护层、导电层、电极等。

[0109] 这里，在隔壁和着色层上形成功能层时，如果防油墨性强，则功能层会产生不均，或由于功能层与隔壁之间的密合性弱而功能层产生膜剥离。因此，F-碎片离子优选在前述范围内。

[0110] 为了达到此目的，优选在形成着色层后，通过表面清洗处理来除去隔壁上部表面附近的氟化合物(参照图3(f))。

[0111] 作为表面清洗，可以列举紫外线照射处理、等离子体照射处理、电晕放电处理、紫外线照射臭氧处理等干式处理方法以及使用洗剂、溶剂、碱等的湿式处理方法。其中，优选紫外线照射臭氧处理。由于采用包含波长185nm的低压汞灯、包含波长172nm的氙准分子灯的UV照射处理，能够在无需供给臭氧的情况下进行紫外线照射臭氧处理，因而是特别优选的。采用低压汞灯时，灯与基板间的距离为5～20mm，采用氙准分子灯时，灯与基板间的2
距离为1～3mm，优选以曝光量500～4000mJ/cm 进行照射处理，更优选以曝光量1000～
2
3000mJ/cm 进行照射处理，从而可以将隔壁表面的防油墨剂分解除去，达到上述的F-碎片离子范围。

[0112] 通过这样进行，能够使着色层(像素)没有露白、混色并确保平坦性，并且确保隔壁与功能层的密合性，并形成没有不均的功能层。

[0113] 实施例

[0114] 以下，通过实施例和比较例来更详细地说明本发明，但本发明并限于下述例子。 [0115] <实施例1>

[0116] (隔壁的制作)

[0117] 作为含有氟系防油墨剂的感光性树脂组合物，使用以下述组成比配合并用三联辊进行充分混炼而成的组合物。作为基板，使用无碱玻璃(“#1737”CORNING公司制)，在其上涂布该感光性树脂组合物，在90℃预焙2分钟，形成膜厚2.0μm的被膜。

[0118] [感光性树脂组合物]

[0119] 甲酚-线型酚醛树脂“EP4050G”(旭有机材公司制)20重量份

[0120] 环己酮80重量份

[0121] 碳颜料“MA-8”(Mitsubishi Materials公司制)23重量份

[0122] 分散剂“Solsperse#5000”(Zeneca公司制)1.4重量份

[0123] 具有自由基聚合性的化合物“三羟甲基丙烷三丙烯酸酯”(大阪有机公司制)5重量份

[0124] 光聚合引发剂“IRUGACURE 369”(汽巴精化公司制)2重量份

[0125] 含氟化合物“F179”(大日本油墨化学公司制、重均分子量10000)0.5重量份 [0126] 然后，使用线宽35μm的格子状图案的光掩模，用超高压汞灯进行100mJ/cm2的紫2
外线曝光，进行显影处理。接着，用高压汞灯进行1000mJ/cm 的紫外线照射处理后，在热风式煅烧炉内在温度160℃进行加热处理20分钟，得到实施例1的带隔壁基板。

[0127] <实施例2>

[0128] 在所述实施例1中，不对进行了显影处理并形成了格子图案的基板进行紫外线照射处理，在使炉内充满氮并使氧浓度为10％的惰性气体环境的热风式煅烧炉内，在温度230℃进行加热处理20分钟，除此以外与实施例1同样地进行，得到实施例2的带隔壁基板。

[0129] <实施例3>

[0130] 在所述实施例1中，不对进行了显影处理并形成了格子图案的基板进行紫外线照射处理，在将内部用干式泵减压并使减压真空度达75000Pa的腔内，用热板在温度160℃进行加热处理20分钟，除此以外与实施例1同样地进行，得到实施例3的带隔壁基板。 [0131] <实施例4～6>

[0132] 在所述实施例1中，将感光性树脂组合物的含氟化合物“F179”(大日本油墨化学公司制、重均分子量10000)的使用量变为0.3重量份，除此之外与实施例1～3同样地进行，得到实施例4～6的带隔壁基板。

[0133] <比较例1>

[0134] 在所述实施例1中，不对进行了显影处理并形成了格子图案的基板进行紫外线照射处理，在热风式煅烧炉内，在温度230℃进行加热处理20分钟，除此以外与实施例1同样地进行，得到比较例1的带隔壁基板。

[0135] <比较例2>

[0136] 在所述实施例1中，使感光性树脂组合物的含氟化合物“F179”(大日本油墨化学公司制、重均分子量10000)为0.1重量份，除此以外与实施例1同样地进行，得到比较例2的带隔壁基板。

[0137] 接着，对于实施例1～6和比较例1～2的带隔壁基板，对隔壁上部表面和成为被印刷面的开口部的玻璃表面，采用TOF-SIMS进行负离子分析，算出F-碎片离子(M/Z＝19)的检测强度占全部负离子的检测强度的比率(F-％)，示于表1。

[0138] 此外，使用SAICAS NN型(DAIPLA WINTES制)，削去隔壁中上部膜厚10％的部分，使隔壁内部露出。对于该表面也同样进行分析。

[0139] (着色油墨的调整)

[0140] 将下述组合物在氮气氛下加入偶氮双异丁腈0.75重量份，在70℃、5小时的条件下使之反应，得到丙烯酸类共聚物树脂。

[0141] 甲基丙烯酸20重量份

[0142] 甲基丙烯酸甲酯10重量份

[0143] 甲基丙烯酸丁酯55重量份

[0144] 甲基丙烯酸羟基乙酯15重量份

[0145] 乳酸丁酯300重量份

[0146] 用丙二醇单甲基醚乙酸酯稀释，使所得到的丙烯酸类共聚物树脂相对于整体达到10重量％，得到丙烯酸类共聚物树脂的稀释液。

[0147] 向该稀释液80.1g中，添加着色颜料19.0g、作为分散剂的聚氧乙烯烷基醚0.9g，用三联辊进行混炼，得到红色、绿色、蓝色的各着色清漆。此外，作为红色颜料，使用Pigment Red 177(蒽醌系)，作为绿色颜料，使用Pigment Green36(铜酞菁系)，作为蓝色颜料，使用Pigment Blue15(铜酞菁系)。

[0148] 向得到的各着色清漆中分别添加丙二醇单甲基醚乙酸酯，调整其颜料浓度为12～15重量％，粘度为15cps，得到红色、绿色和蓝色着色油墨。

[0149] (滤色器的制作)

[0150] 在所述隔壁的开口部，作为颜料使用上述3色的着色油墨，采用搭载了12pl、180dpi头的喷墨印刷装置，形成红色着色层(R)、绿色着色层(G)、蓝色着色层(B)各自的像素图案。

[0151] 喷出着色油墨后，首先用热板在90℃加热2分钟，使溶剂蒸发。然后用热风式煅烧炉，在230℃加热处理30分钟，使油墨固化，从而形成像素图案。

[0152] 这样形成的实施例1～6的滤色器，是没有着色层的混色、露白且具有平坦着色层的没有颜色不均的良好滤色器。另一方面，比较例1的滤色器发生着色层的露白不良，着色层的形状也为凸形状，可见颜色不均。此外，比较例2中，混色不良多发。

[0153] 此外，进行了隔壁上着色油墨成分的分析。在分别随机选择的5处 隔壁上进行TOF-SIMS分析，确认是否检测出表示绿、蓝油墨存在的Cu+碎片离子、和表示红油墨存在的C28H16O4N2碎片离子。结果示于表2。

[0154] [表1]

[0155]隔壁上部表面 的F-(％) 基板表面的F- (％) 隔壁削去10％后 内部的F-(％) 滤色器的品质
实施例1 43 6 5 良好
实施例2 48 5 4 良好
实施例3 53 7 4 良好
实施例4 32 2 2 良好
实施例5 35 2 2 良好
实施例6 39 3 2 良好
比较例1 52 13 4 发生露白，着 色层为凸形状
比较例2 22 1 1 发生混色

[0156] [表2]

[0157]Cu C28H16O4N2
实施例1 无 无
实施例2 无 无
实施例3 无 无
实施例4 无 无
实施例5 无 无
实施例6 无 无
比较例1 无 无
比较例2 有 有

[0158] (功能层的制作)2

[0159] 形成着色层后，采用低压汞灯，对实施例的样品进行基板间距离10mm、3000mJ/cm的紫外线照射处理，使隔壁上部的防油墨性降低。

[0160] 然后采用狭缝口模涂布机涂布丙烯酸类树脂系热固化型(酸-环氧固化型)保护剂，在230℃烘箱中加热30分钟，形成膜厚2μm的罩面层。

[0161] 采用TOF-SIMS，对罩面层形成前的隔壁上部和削去10％的内部进行负离子分析，算出F-碎片离子(M/Z＝19)的检测强度占全部负离子 的检测强度的比率(F-％)，示于表3。

[0162] 此外，将功能层有无不均的结果示于表3。

[0163] [表3]

[0164]隔壁上部表面 的F-(％) 隔壁削去10％后 内部的F- (％) 功能层的不均
实施例1 12 5 无
实施例2 15 4 无
实施例3 17 4 无
实施例4 6 2 无
实施例5 8 2 无
实施例6 8 2 无
比较例1 52 4 多数有
比较例2 22 1 一部分有

[0165] 实施例1～6的滤色器，既没有功能层不均，而且也没有膜剥离。

[0166] 可以提供具有没有混色、露白不良、并且各像素平坦且均匀的着色层的带隔壁基板及其制造方法，在彩色液晶显示装置等中使用的滤色器、EL显示装置等中有用。