一种工艺过程参数的可视化处理方法和装置

摘要

本发明提供了一种工艺过程参数的可视化处理方法，包括：针对已建立通信连接的多个工艺模块，建立相应的工艺过程参数接收线程及工艺过程参数绘制线程；所述工艺过程参数接收线程建立时的初始状态为开启，所述工艺过程参数绘制线程建立时的初始状态为未开启；所述工艺过程参数接收线程用于判断工艺模块是否处于工艺运行状态，若是，则获取所述工艺模块的工艺过程参数并保存到缓存区；接收用户针对某个工艺模块发起的工艺过程参数显示请求；依据所述请求，激活当前工艺模块所针对的工艺过程参数绘制线程，对缓存区的工艺过程参数进行可视化处理。本发明能够在占用少量系统资源的情况下同时可视化处理多个工艺模块，还能够扩大工艺模块的显示区域。

权利要求

1.一种工艺过程参数的可视化处理方法，其特征在于，包括：针对已建立通信连接的多个工艺模块，建立相应的工艺过程参数接收线程及工艺过程参数绘制线程；所述工艺过程参数接收线程建立时的初始状态为开启，所述工艺过程参数绘制线程建立时的初始状态为未开启；所述工艺过程参数接收线程用于判断相应工艺模块是否处于工艺运行状态，若是，则获取所述相应工艺模块的工艺过程参数并保存到缓存区；

接收用户针对某个工艺模块发起的工艺过程参数显示请求；

依据所述请求，激活这个工艺模块所针对的工艺过程参数绘制线程，对缓存区的工艺过程参数进行可视化处理。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：

当用户针对某个工艺模块发起的工艺过程参数显示请求结束时，将这个工艺模块对应的工艺过程参数绘制线程挂起；

当与某个工艺模块断开通信连接时，将相应的工艺过程参数接收线程关闭。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，当所述工艺过程参数接收线程判断相应工艺模块处于工艺运行状态时，所述激活步骤包括：当所述相应工艺模块对应的工艺过程参数绘制线程未开启时，将该线程开启。

4.如权利要求2所述的方法，其特征在于，当所述工艺过程参数接收线程判断相应工艺模块处于工艺运行状态时，所述激活步骤包括：当所述相应工艺模块对应的工艺过程参数绘制线程为开启状态下的挂起子状态时，将该线程唤醒。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，当所述工艺过程参数接收线程判断相应工艺模块处于工艺停止状态时，所述方法还包括：当所述相应工艺模块对应的工艺过程参数绘制线程开启时，将该线程挂起。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述工艺模块具有对应的显示界面，在激活绘制线程的步骤之前，还包括：切换至所述请求所针对的工艺模块的显示界面。

7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，还包括：

若未切换至所述显示界面，则在所述工艺模块对应的工艺过程参数绘制线程为开启时，将该线程挂起。

8.一种工艺过程参数的可视化处理装置，其特征在于，包括：通信建立模块，用于与多个工艺模块建立通信连接；

线程建立模块，用于针对所述多个工艺模块建立相应的工艺过程参数接收线程及工艺过程参数绘制线程；所述工艺过程参数接收线程建立时的初始状态为开启，所述工艺过程参数绘制线程建立时的初始状态为未开启；所述工艺过程参数接收线程用于判断相应工艺模块是否处于工艺运行状态，若是，则获取所述相应工艺模块的工艺过程参数并保存到缓存区；

请求处理模块，用于接收用户针对某个工艺模块发起的工艺过程参数显示请求；

绘制线程激活模块，用于依据所述请求，激活这个工艺模块所针对的工艺过程参数绘制线程，对缓存区的工艺过程参数进行可视化处理。

9.如权利要求8所述的装置，其特征在于，还包括：

线程中止模块，用于在用户针对某个工艺模块发起的工艺过程参数显示请求结束时，将所述工艺模块对应的工艺过程参数绘制线程挂起；

线程关闭模块，用于在与某个工艺模块断开通信连接时，将相应的工艺过程参数接收线程关闭。

10.如权利要求8所述的装置，其特征在于，当所述工艺过程参数接收线程判断工艺模块处于工艺运行状态时，所述绘制线程激活模块包括：线程开启子模块，用于在所述工艺模块对应的工艺过程参数绘制线程未开启时，将该线程开启。

11.如权利要求9所述的装置，其特征在于，当所述工艺过程参数接收线程判断相应工艺模块处于工艺运行状态时，所述绘制线程激活模块包括：线程唤醒子模块，用于在所述相应工艺模块对应的工艺过程参数绘制线程为开启状态下的挂起子状态时，将该线程唤醒。

12.如权利要求8所述的装置，其特征在于，当所述工艺过程参数接收线程判断相应工艺模块处于工艺停止状态时，所述的装置还包括：第一线程挂起模块，用于在所述相应工艺模块对应的工艺过程参数绘制线程置为开启时，将该线程挂起。

13.如权利要求8所述的装置，其特征在于，所述工艺模块具有对应的显示界面，所述的装置还包括：界面切换模块，用于切换至所述请求所针对的工艺模块的显示界面。

14.如权利要求13所述的装置，其特征在于，还包括：第二线程挂起模块，用于在未切换至所述显示界面时，在所述工艺模块对应的工艺过程参数绘制线程为开启的情况下，将该线程挂起。

说明书

一种工艺过程参数的可视化处理方法和装置

技术领域

[0001] 本发明涉及工艺过程自动化控制技术领域，特别是涉及一种工艺过程参数的可视化处理方法和一种工艺过程参数的可视化处理装置。

背景技术

[0002] 随着单个工艺技术的发展，以及工艺过程的日趋复杂、系统化程度越来越高，工艺过程自动化控制技术也应用得更加广泛。

[0003] 例如，为了全程监控工艺过程中的各项参数，分析出现硬件故障或不合格产品的原因，现有技术提出了分布式的数据采集分析架构。通过设置在具体生产加工设备上的工艺模块(PM)，从工艺制造过程的各个设备上采集各种过程参数，通过通讯卡等器件传输至工控机，在工控机端向技术人员进行相应过程参数的图像展示以便分析查看，也称之为可视化技术。

[0004] 相比于传统的参数数值展示，图像分析方法比较直观、便捷，在分析采集到的过程数据时，能够展示过程参数的变化范围和变化趋势，实现对实时数据的图像监控，便于技术人员发现工艺过程中各个参数出现的问题，进而对工艺过程或者设备进行准确控制或预警。

[0005] 现有技术中，对于工艺过程参数的可视化处理，通常是针对单个工艺模块进行的。即工控机接收到用户针对与其建立了通信连接的工艺模块发起的操作请求时，建立并维护相应的操作线程，以获取该工艺模块的工艺过程参数，并在当前显示界面进行绘制；当用户针对下一个已连接的工艺模块发起操作请求时，则需要关闭上一次操作的线程，重新针对当前请求建立并维护相应的操作线程，再进行相应处理。显然，这种处理方式效率极为低下。

[0006] 为解决上述效率低下的问题，现有技术还提出了一种改进的可视化处理方案，即同时针对多个工艺模块进行可视化处理。然而采用这种方 案，需要同时开启多个工艺模块的操作线程，在当前界面的不同显示区进行可视化处理，不仅系统资源占用很大，而且各个工艺模块的显示区域也非常小。

[0007] 因而，目前迫切需要本领域技术人员解决的一个技术问题就是：如何能够改进现有的工艺过程参数的可视化处理机制，以节约系统资源，并扩大工艺模块的显示区域。 [0008] 发明内容

[0009] 本发明所要解决的技术问题是提供一种工艺过程参数的可视化处理方法，能够在占用少量系统资源的情况下同时针对多个工艺模块进行可视化处理，能够扩大工艺模块的图像显示区域。

[0010] 本发明还提供了一种工艺过程参数的可视化处理装置，用以保证上述方法在实际中的实现及应用。

[0011] 为了解决上述问题，本发明公开了一种工艺过程参数的可视化处理方法，包括： [0012] 针对已建立通信连接的多个工艺模块，建立相应的工艺过程参数接收线程及工艺过程参数绘制线程；所述工艺过程参数接收线程建立时的初始状态为开启，所述工艺过程参数绘制线程建立时的初始状态为未开启；所述工艺过程参数接收线程用于判断相应工艺模块是否处于工艺运行状态，若是，则获取所述相应工艺模块的工艺过程参数并保存到缓存区；

[0013] 接收用户针对某个工艺模块发起的工艺过程参数显示请求；

[0014] 依据所述请求，激活这个工艺模块所针对的工艺过程参数绘制线程，对缓存区的工艺过程参数进行可视化处理。

[0015] 优选的，所述的方法，还包括：

[0016] 当用户针对某个工艺模块发起的工艺过程参数显示请求结束时，将这个工艺模块对应的工艺过程参数绘制线程挂起；

[0017] 当与某个工艺模块断开通信连接时，将相应的工艺过程参数接收线程关闭。 [0018] 优选的，当所述工艺过程参数接收线程判断相应工艺模块处于工艺运行状态时，所述激活步骤包括：

[0019] 当所述相应工艺模块对应的工艺过程参数绘制线程未开启时，将该 线程开启。 [0020] 优选的，当所述工艺过程参数接收线程判断相应工艺模块处于工艺运行状态时，所述激活步骤包括：

[0021] 当所述相应工艺模块对应的工艺过程参数绘制线程为开启状态下的挂起子状态时，将该线程唤醒。

[0022] 优选的，当所述工艺过程参数接收线程判断相应工艺模块处于工艺停止状态时，所述的方法还包括：

[0023] 当所述相应工艺模块对应的工艺过程参数绘制线程开启时，将该线程挂起。 [0024] 优选的，所述工艺模块具有对应的显示界面，在激活绘制线程的步骤之前，还包括：

[0025] 切换至所述请求所针对的工艺模块的显示界面。

[0026] 优选的，所述的方法还包括：

[0027] 若未切换至所述显示界面，则在所述工艺模块对应的工艺过程参数绘制线程为开启时，将该线程挂起。

[0028] 本发明实施例还公开了一种工艺过程参数的可视化处理装置，包括： [0029] 通信建立模块，用于与多个工艺模块建立通信连接；

[0030] 线程建立模块，用于针对所述多个工艺模块建立相应的工艺过程参数接收线程及工艺过程参数绘制线程；所述工艺过程参数接收线程建立时的初始状态为开启，所述工艺过程参数绘制线程建立时的初始状态为未开启；所述工艺过程参数接收线程用于判断相应工艺模块是否处于工艺运行状态，若是，则获取所述相应工艺模块的工艺过程参数并保存到缓存区；

[0031] 请求处理模块，用于接收用户针对某个工艺模块发起的工艺过程参数显示请求； [0032] 绘制线程激活模块，用于依据所述请求，激活这个工艺模块所针对 的工艺过程参数绘制线程，对缓存区的工艺过程参数进行可视化处理。

[0033] 优选的，所述的装置还包括：

[0034] 线程中止模块，用于在用户针对某个工艺模块发起的工艺过程参数显示请求结束时，将所述工艺模块对应的工艺过程参数绘制线程挂起；

[0035] 线程关闭模块，用于在与某个工艺模块断开通信连接时，将相应的工艺过程参数接收线程关闭。

[0036] 优选的，当所述工艺过程参数接收线程判断工艺模块处于工艺运行状态时，所述绘制线程激活模块包括：

[0037] 线程开启子模块，用于在所述工艺模块对应的工艺过程参数绘制线程未开启时，将该线程开启。

[0038] 优选的，当所述工艺过程参数接收线程判断相应工艺模块处于工艺运行状态时，所述绘制线程激活模块包括：

[0039] 线程唤醒子模块，用于在所述相应工艺模块对应的工艺过程参数绘制线程为开启状态下的挂起子状态时，将该线程唤醒。

[0040] 优选的，当所述工艺过程参数接收线程判断相应工艺模块处于工艺停止状态时，所述的装置还包括：

[0041] 第一线程挂起模块，用于在所述相应工艺模块对应的工艺过程参数绘制线程置为开启时，将该线程挂起。

[0042] 优选的，所述工艺模块具有对应的显示界面，所述的装置还包括： [0043] 界面切换模块，用于切换至所述请求所针对的工艺模块的显示界面。 [0044] 优选的，所述的装置还包括：

[0045] 第二线程挂起模块，用于在未切换至所述显示界面时，在所述工艺模块对应的工艺过程参数绘制线程为开启的情况下，将该线程挂起。

[0046] 与现有技术相比，本发明具有以下优点：

[0047] 首先，本发明针对建立连接的工艺模块维护两个线程，一个是工艺过程参数接收线程，一个是工艺过程参数绘制线程。其中，工艺过程参数接收线程的初始状态为开启，工艺过程参数绘制线程的初始状态为未开启。由于工艺过程参数接收线程仅仅用于在工艺运行状态下获取工艺过程参数，因而本身耗费的资源和内存都比较少；而比较耗费资源和占用内存的工艺过程参数绘制线程，只有在接收到用户针对某个工艺模块发起工艺过程参数显示请求时才被激活，在这种情况下，在某一时刻开启的工艺过程参数绘制线程数目只可能小于或等于1。因而本发明可以有效减少资源耗费和内存占用，提高系统性能。 [0048] 再者，本发明还可以采用选项卡界面的显示方式，相较于现有技术多个工艺模块的参数值显示在一个界面，扩大了工艺模块的图像显示区域。

附图说明

[0049] 图1是本发明一种工艺过程参数的可视化处理方法的实施例1的步骤流程图； [0050] 图2是一种APC通信结构的示意图；

[0051] 图3是本发明一种工艺过程参数的可视化处理方法的实施例2的步骤流程图； [0052] 图4是应用本发明的一种工艺过程参数绘制线程处理的流程图； [0053] 图5是本发明一种工艺过程参数的可视化处理方法的实施例3的步骤流程图； [0054] 图6是应用本发明一种选项卡界面方法的示意图；

[0055] 图7是本发明一种工艺过程参数的可视化处理装置实施例的结构框图。 具体实施方式

[0056] 为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。

[0057] 本发明可以应用在各种复杂工艺的自动控制技术中，通过设置在具体生产加工设备上的工艺模块(如PM)，从工艺制造过程的各个设备上 采集各种过程参数，通过通讯卡等器件传输至工控机，在工控机端向技术人员进行相应过程参数的图像展示以便分析查看。优选的，本发明的可视化处理机制可以计算机应用程序的方式设置在工控机端。 [0058] 为了简便起见，在本发明的具体实施例中均采用半导体制程为具体应用环境进行介绍，但其并不应作为本发明的应用限制，实际上，本发明可以应用在各种复杂工艺的自动控制技术中，例如，大型化工产品的生产工艺等等。

[0059] 参考图1，示出了本发明一种工艺过程参数的可视化处理方法的实施例1的流程图，具体可以包括以下步骤：

[0060] 步骤101：针对已建立通信连接的多个工艺模块，建立相应的工艺过程参数接收线程及工艺过程参数绘制线程；

[0061] 其中，所述工艺过程参数接收线程建立时的初始状态为开启，所述工艺过程参数绘制线程建立时的初始状态为未开启；

[0062] 所述工艺过程参数接收线程用于判断工艺模块是否处于工艺运行状态，若是，则获取所述工艺模块的工艺过程参数并保存到缓存区；

[0063] 步骤102：接收用户针对某个工艺模块发起的工艺过程参数显示请求； [0064] 步骤103：依据该请求，激活当前工艺模块所针对的工艺过程参数绘制线程，对缓存区的工艺过程参数进行可视化处理。

[0065] 以下以半导体制程中的先进工艺控制(Advanced Process Control，APC)技术为例对本实施例进行说明。

[0066] 一般而言，APC控制端位于工控机中，通过以太网与PMC(ProcessModule Controller)端相互连接。具体可以参考图2所示的一种APC通信结构的示意图，其中，APC21为客户端，具有GUI(Graphical User Interface，图形用户界面)模块22；PMC23为服务器端，在实际中，APC端可以通过EPICS协议(以太网工业协议)与PMC端进行通信，例如，由APC端向PMC端发送消息，以远程采集工艺模块PM(如刻蚀机)的工艺过程参数及工艺状态；PMC端响应该消息，将相关数据返回至APC端； APC端将这些数据保存至与其相连的数据库24中。还可以在对工艺过程参数进行实时监控的过程中，根据用户针对PM的工艺过程参数显示请求，通过APC端的GUI模块展示工艺过程参数的值、变化范围和趋势等，以帮助相关技术人员发现问题和解决问题。

[0067] 应用本发明实施例，在具体实现中，APC控制端可与多个PM建立通信连接，并需要针对连接的各个PM，建立两个线程，即一个工艺过程参数接收线程和一个工艺过程参数绘制线程。假设当前APC控制端需要同时监控4个PM，则相应地建立4个工艺过程参数接收线程和4个工艺过程参数绘制线程，其中，所有工艺过程参数接收线程建立时的初始状态均为开启，所有工艺过程参数绘制线程建立时的初始状态均为未开启，而只在接收到用户针对某个工艺模块发起的工艺过程参数显示请求时被激活。

[0068] 应用现有技术，在这种情况下，所述4个PM对应的工艺过程参数绘制线程必须一直开启，对于数据处理能力较强的各类计算机而言，此类线程地开启所占用的资源及内存可以被忽略；而对于数据处理能力较差的工控机而言，由于绘制线程需要对接收到的工艺过程参数(如时间、参数值等)进行可视化处理，本身就需要耗费较多资源，占用大量内存；而在多个绘制线程同时开启的情形下，这种资源的耗费和内存的占用是不可忍受的。 [0069] 针对以上问题，在本发明实施例中，由于工艺过程参数接收线程仅仅用于在工艺运行状态下获取工艺过程参数，因而本身耗费的资源和占用的内存都比较少，将其一直维护在开启状态，也不会造成资源的耗费和内存的占用；而比较耗费资源和占用内存的工艺过程参数绘制线程，只有在接收到用户针对某个PM发起工艺过程参数显示请求时才被激活，在这种情况下，在某一时刻开启的工艺过程参数绘制线程数目只可能小于或等于1。即当用户未发起工艺过程参数显示请求时，开启的工艺过程参数绘制线程数目为0；当用户针对某个工艺模块发起工艺过程参数显示请求时，仅开启该工艺模块的工艺过程参数绘制线程，此时工艺过程参数绘制线程数目为1。因而本发明可以有效减少资源耗费和内存占用，提高系统性能。

[0070] 在实际中，对于连接的每个PM所进行的工艺，工艺过程参数接收线程可以根据接收的工艺状态判断某个工艺是否开始，若所述工艺状态为工艺运行状态，则从PMC端实时获得该PM正在运行(processing)工艺的工艺过程参数，包括时间、参数值等，并将这些工艺过程参数保存到数据库的缓存区，直到当前工艺结束。当该PM的下一个工艺开始时，工艺过程参数接收线程则清空缓存区的数据，以准备接收下一个正在运行工艺的工艺过程参数。当APC控制端与某个PM断开连接，该PM对应的工艺过程参数接收线程才会关闭。 [0071] 当工艺过程参数绘制线程被激活后，对缓存区的工艺过程参数进行可视化处理，即将某个PM的缓存区的工艺过程参数重绘到界面，以通过GUI模块进行展示。 [0072] 具体而言，绘制线程主要用于展示多种工艺过程参数随时间的变化情况。例如，对于半导体等离子增强化学气相沉积(PECVD)工艺，为了监控PECVD设备的整体运行情况，所述工艺过程参数可能包括腔室压力、温度、电压、气体流量等等。再例如，对于半导体硅片刻蚀工艺，为了监控刻蚀过程，实现终点控制，所述工艺过程参数可能包括OES谱线(Optical Emission Spectroscopy，光学发射光谱)或者IEP探测谱线(Interferometry End Point)等等。通过GUI模块所展示的参数图像可以有多种形式，如曲线图等。

[0073] 作为一种示例，所述绘制过程可以包括以下步骤：

[0074] 步骤S1、接收一过程参数的样本点数据，所述样本点数据包括时间值和参数值； [0075] 步骤S2、依据该过程参数的目标样本点的时间值，对展示该过程参数的时间轴的最大值和最小值进行动态调整；

[0076] 步骤S3、依据该过程参数在当前时间轴范围内的样本点的最大参数值和/或最小参数值，对展示该过程参数的数值轴的最大值和/或最小值进行动态调整； [0077] 步骤S4、采用动态调整得到的时间轴范围和数值轴范围，对该过程 参数随时间的变化情况进行展示。

[0078] 当然，上述绘制方式仅仅用作示例，本领域技术人员根据实际需要或经验采用任一种方式都是可行的，本发明对此无需加以限制。

[0079] 参照图3，示出了本发明一种工艺过程参数的可视化处理方法的实施例2的流程图，具体可以包括以下步骤：

[0080] 步骤301：针对已建立通信连接的多个工艺模块，建立相应的工艺过程参数接收线程及工艺过程参数绘制线程；

[0081] 其中，所述工艺过程参数接收线程建立时的初始状态为开启，所述工艺过程参数绘制线程建立时的初始状态为未开启；

[0082] 所述工艺过程参数接收线程用于判断工艺模块是否处于工艺运行状态，若是，则获取所述工艺模块的工艺过程参数并保存到缓存区；

[0083] 步骤302：接收用户针对某个工艺模块发起的工艺过程参数显示请求； [0084] 步骤303：依据该请求，激活当前工艺模块所针对的工艺过程参数绘制线程，对缓存区的工艺过程参数进行可视化处理；

[0085] 步骤304：当用户针对某个工艺模块发起的工艺过程参数显示请求结束时，将所述工艺模块对应的工艺过程参数绘制线程挂起。

[0086] 步骤305：当与某个工艺模块断开通信连接时，将相应的工艺过程参数接收线程关闭。

[0087] 在本实施例中，优选的，所述激活步骤可以为，当所述工艺模块对应的工艺过程参数绘制线程未开启时，将该线程开启。

[0088] 或者，所述激活步骤还可以为，当所述工艺模块对应的工艺过程参数绘制线程为开启状态下的挂起子状态时，将该线程唤醒。

[0089] 作为本发明的另一优选实施例，当所述工艺过程参数接收线程判断工艺模块处于工艺停止状态时，本发明还可以包括以下步骤：

[0090] 当所述工艺模块对应的工艺过程参数绘制线程开启时，将该线程挂起。 [0091] 为使本领域技术人员更好地理解本发明，以下结合图4所示的一种工艺过程参数绘制线程处理的流程图更进一步说明：

[0092] 步骤401、接收到用户针对某个PM发起的工艺过程参数显示请求； [0093] 步骤402、判断相应PM的工艺状态是否为Processing，若是，即表示处于工艺运行状态，则执行步骤403；若否，即表示处于工艺停止状态，则执行步骤406； [0094] 步骤403、判断该PM对应的工艺过程参数绘制线程是否IsAlive(开启)，如果为False，即表示该线程未开启，则执行步骤404；如果为True，即表示该线程开启，则执行步骤405；

[0095] 步骤404、将该PM对应的工艺过程参数绘制线程Start(开启)； [0096] 步骤405、若该线程的ThreadState(线程状态)为Suspended(挂起)，则将该PM对应的工艺过程参数绘制线程Resume(唤醒)；

[0097] 步骤406、若该PM对应的工艺过程参数绘制线程为IsAlive的True状态，则将该绘制线程Suspend；

[0098] 步骤407、判断所述请求是否执行完毕，若是，则执行步骤408；否则返回步骤402；

[0099] 步骤408、将该绘制线程Suspend。

[0100] 参照图5，示出了本发明一种工艺过程参数的可视化处理方法的实施例3的流程图，具体可以包括以下步骤：

[0101] 步骤501：针对已建立通信连接的多个工艺模块，建立相应的工艺过程参数接收线程及工艺过程参数绘制线程；

[0102] 其中，所述工艺模块具有对应的显示界面，所述工艺过程参数接收线程建立时的初始状态为开启，所述工艺过程参数绘制线程建立时的初始状态为未开启； [0103] 所述工艺过程参数接收线程用于判断工艺模块是否处于工艺运行状态，若是，则获取所述工艺模块的工艺过程参数并保存到缓存区；

[0104] 步骤502：接收用户针对某个工艺模块发起的工艺过程参数显示请 求； [0105] 步骤503：判断是否切换至所述请求所针对的工艺模块的显示界面；若是，则执行步骤504；否则执行步骤505；

[0106] 步骤504；依据用户请求，激活当前工艺模块所针对的工艺过程参数绘制线程，对缓存区的工艺过程参数进行可视化处理；

[0107] 步骤505：在将该工艺模块对应的工艺过程参数绘制线程为开启时，将该线程挂起；

[0108] 步骤506：当用户针对某个工艺模块发起的工艺过程参数显示请求结束时，将所述工艺模块对应的工艺过程参数绘制线程挂起。

[0109] 在本实施例中，优选的，所述激活步骤可以为，当所述工艺模块对应的工艺过程参数绘制线程未开启时，将该线程开启。

[0110] 或者，所述激活步骤还可以为，当所述工艺模块对应的工艺过程参数绘制线程为开启状态下的挂起子状态时，将该线程唤醒。

[0111] 应用本实施例，在具体实现中，可以在APC控制端的GUI模块中配置选项卡控件，将已建立通信连接的多个PM各自对应的显示界面，添加到对应的选项卡上，例如，可以参考图6所示的选项卡显示方式。在这种情况下，如果用户要实时监控某个PM，只需选中该PM对应的选项卡，就可以切换到该PM对应的显示界面。图6所示为用户针对PM1发起请求的界面显示示意。

[0112] 可以看出，本实施例不仅可以以较小资源开销实现针对多个工艺模块的实时监控操作，还可以扩大工艺模块的显示区域，以使用户获得更好的用户体验。 [0113] 当然，上述选项卡显示的方式仅仅用作示例，本领域技术人员采用任一种显示方式都可行的，本发明无需对此加以限制。

[0114] 需要说明的是，上述各个实施例均采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可。 [0115] 对于前述的各方法实施例，为了简单描述，故将其都表述为一系列的动 作组合，但是本领域技术人员应该知悉，本发明并不受所描述的动作顺序的限制，因为依据本发明，某些步骤可以采用其他顺序或者同时进行。其次，本领域技术人员也应该知悉，说明书中所描述的实施例均属于优选实施例，所涉及的动作并不一定是本发明所必须的。 [0116] 参照图7，示出了本发明的一种工艺过程参数的可视化处理装置实施例的结构框图，具体可以包括以下模块：

[0117] 通信建立模块701，用于与多个工艺模块建立通信连接；

[0118] 线程建立模块702，用于针对所述多个工艺模块建立相应的工艺过程参数接收线程及工艺过程参数绘制线程；

[0119] 其中，所述工艺过程参数接收线程建立时的初始状态为开启，所述工艺过程参数绘制线程建立时的初始状态为未开启；

[0120] 所述工艺过程参数接收线程用于判断工艺模块是否处于工艺运行状态，若是，则获取所述工艺模块的工艺过程参数并保存到缓存区；

[0121] 请求处理模块703，用于接收用户针对某个工艺模块发起的工艺过程参数显示请求；

[0122] 绘制线程激活模块704，用于依据所述请求，激活当前工艺模块所针对的工艺过程参数绘制线程，对缓存区的工艺过程参数进行可视化处理。

[0123] 在本发明的一种优选实施例中，所述的绘制线程激活模块704可以包括： [0124] 线程开启子模块，用于在所述工艺模块对应的工艺过程参数绘制线程未开启时，将该线程开启。

[0125] 在具体实现中，本发明的可视化处理装置可以在APC控制端，所述通信建立模块701可与多个PM建立连接。线程建立模块702针对这些PM建立相应的工艺过程参数接收线程及工艺过程参数绘制线程，在初始状态下，工艺过程参数接收线程开启，工艺过程参数绘制线程未开启；工艺过程参数接收线程判断工艺模块处于工艺运行状态时，会从服务器PMC端实时获得相应PM的工艺过程参数，并将其保存到缓存区，直到 该工艺结束。当该PM的下一个工艺开始时，工艺过程参数接收线程则清空缓存区的数据，以准备接收下一个正在运行工艺的工艺过程参数。当APC控制端与某个PM断开连接，该PM对应的工艺过程参数接收线程才会关闭。

[0126] 当请求处理模块703接收到用户针对某个PM发起的工艺过程参数显示请求时，绘制线程激活模块704会激活相应的工艺过程参数绘制线程，由工艺过程参数绘制线程将缓存区的工艺过程参数绘制到显示界面。

[0127] 作为另一优选实施例，本发明还可以包括：

[0128] 线程中止模块，用于在用户针对某个工艺模块发起的工艺过程参数显示请求结束时，将所述工艺模块对应的工艺过程参数绘制线程挂起。

[0129] 在这种情况下，所述绘制线程激活模块704还可以包括：

[0130] 线程唤醒子模块，用于在所述工艺模块对应的工艺过程参数绘制线程为开启状态下的挂起子状态时，将该线程唤醒。

[0131] 作为又一优选实施例，当所述工艺过程参数接收线程判断工艺模块处于工艺停止状态时，本发明还可以包括：

[0132] 第一线程挂起模块，用于在所述工艺模块对应的工艺过程参数绘制线程置为开启时，将该线程挂起。

[0133] 更为优选的，本发明还可以包括：

[0134] 线程关闭模块，用于在与某个工艺模块断开通信连接时，将相应的工艺过程参数接收线程关闭。

[0135] 为获得较大的显示区域，本发明可以采用选项卡的方式针对各PM设置相应的显示界面，在这种情况下，本发明实施例还可以包括：

[0136] 界面切换模块，用于切换至所述请求所针对的工艺模块的显示界面。 [0137] 以及第二线程挂起模块，用于在未切换至所述显示界面时，在所述工艺模块对应的工艺过程参数绘制线程为开启的情况下，将该线程挂起。

[0138] 对于系统实施例而言，由于其与方法实施例基本相似，所以描述的比较简单，相关之处参见方法实施例的部分说明即可。

[0139] 本发明可以在由计算机执行的计算机可执行指令的一般上下文中描述，例如程序模块。一般地，程序模块包括执行特定任务或实现特定抽象数据类 型的例程、程序、对象、组件、数据结构等等。也可以在分布式计算环境中实践本发明，在这些分布式计算环境中，由通过通信网络而被连接的远程处理设备来执行任务。在分布式计算环境中，程序模块可以位于包括存储设备在内的本地和远程计算机存储介质中。

[0140] 最后，还需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个......”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。 [0141] 以上对本发明所提供的一种工艺过程参数的可视化处理方法和装置进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。