图案的形成方法及其所使用的感光性树脂组合物

摘要

本发明涉及一种图案的形成方法及其所使用的感光性树脂组合物。本发明提供可改善涂敷性和形成的图案形状的感光性树脂组合物及采用其的图案形成方法。该感光性树脂组合物含有碱可溶性树脂、感光剂和混合溶剂，上述混和溶剂含有丙二醇单甲醚乙酸酯和在20℃下蒸气压为150Pa以下的共溶剂。该组合物适合用于通过狭缝涂敷法进行涂敷的情况。

权利要求

1.一种正型图案形成方法，其特征在于包括：将感光性树脂组合物通过狭缝涂敷法涂敷于基板上使其形成涂膜，上述感光性树脂组合物含有酚醛清漆树脂、感光剂和混合溶剂，上述混合溶剂由丙二醇单甲醚乙酸酯和选自乙二醇丁基醚乙酸酯、丙二醇二乙酸酯、3-乙氧基丙酸乙酯、以及它们的混合物构成的群组中的在1个大气压、20℃下蒸气压为5Pa以上，且150Pa以下的共溶剂构成，其中上述共溶剂的含量，基于全部混合溶剂的重量为5～70重量％；

将所形成的涂膜进行减压干燥；

继续进行加热干燥，以蒸发除去至少一部分溶剂；

按所需图案进行图像曝光；

进行显影使其形成图案；

将显影后的图案进行加热使其固化。

2.权利要求1所述的正型图案形成方法，其进一步含有表面活性剂。

3.权利要求1或2所述的正型图案形成方法，其所制造的图案用于液晶显示器的制造。

说明书

图案的形成方法及其所使用的感光性树脂组合物

技术领域

[0001] 本发明涉及光致抗蚀剂组合物。本发明特别涉及适用于通过缝模涂敷进行涂敷的光致抗蚀剂组合物。

背景技术

[0002] 形成以前的液晶显示器用驱动电路图案的光致抗蚀剂，通常是通过在玻璃中央部位喷出感光性树脂组合物并进行自旋旋转涂敷后，再进行预烘焙干燥而制造。然而，由于基板的大型化、抗蚀剂量的减少，涂敷方法也不同，还要使用在进行狭缝涂敷后，使其自旋旋转并预烘焙干燥的方法。并且，如果由于基板的进一步大型化要求而使自旋旋转变得困难，则要采用在进行狭缝涂敷后，进行减压干燥并进行预烘焙干燥的制造方法。

[0003] 狭缝涂敷后进行自旋旋转的目的是使涂膜中所含的溶剂部分蒸发以及使涂膜均一化。因此，采用在狭缝涂敷后进行自旋旋转的方法，可以通过自旋旋转确保涂敷的均一性。而采用在狭缝涂敷后进行减压干燥的方法，由于不能通过自旋旋转使涂膜均一化，因此狭缝涂敷后的涂膜必须是均一的。但是，根据本发明者们的研究，将以往所用的感光性树脂组合物直接使用，刚进行狭缝涂敷后的涂膜也难以达到足够的均一性。并且，在之后进行的减压干燥过程中，还容易出现固定涂敷后的基板的卡盘和定位销等的痕迹残留在涂膜面的问题。

[0004] 另外，在狭缝涂敷后进行的减压干燥的条件有多种，而大多 数基本上是采用在室温条件下，经约30秒左右自约101kPa的大气压急速减压至约20Pa的方法。由于采用这种较严格的减压干燥条件，因而必须调节涂膜的干燥程度。如果涂膜的干燥程度不合适，则在图案形状和涂敷性方面会产生大问题，将成为引起各种麻烦的主要原因。

[0005] 作为这种感光性树脂组合物中使用的溶剂，由于通常使用的丙二醇单甲醚乙酸酯(以下也称为PGMEA)的蒸气压在20℃/1个大气压下约为500Pa，在减压干燥时非常容易蒸发。结果，PGMEA从涂敷后的涂膜表面迅速蒸发，在表面邻近区域形成干燥覆膜，阻碍了涂膜内部的PGMEA的蒸发。如果用这种抗蚀剂膜形成图案，则由于抗蚀剂膜表面邻近区域难以进行显影，而内部容易显影，故而图案形状成为倒锥形形状(也称为T-top)，在后烘焙时有图案角部残留，其将成为剥离缺陷的主要原因，并且，由于抗蚀剂图案的内部干燥不充分，因而耐刻蚀性也不够好，其将成为导致用这种抗蚀剂图案形成的金属布线等不均一的主要原因。

[0006] 另外，在用正性光致抗蚀剂形成图案的过程中，通常来说已知在曝光结束后对抗蚀剂膜进行显影时，未曝光部分与显影液接触时感光剂与树脂进行偶氮键合，降低其对于碱显影液的溶解性，由此可以使曝光部分与未曝光部分产生差异。在使用以前的感光性组合物进行狭缝涂敷后再进行减压干燥的方法中，由于涂膜表面的干燥，使未曝光部分的表面比内部相对较难溶解于碱显影液，故而存在使表观对比度变得过大的倾向。为了解决这种问题，可以列举例如不添加被称作为对比度增强剂的与感光剂反应性高的低分子树脂成分，或者减少感光剂的量。但是，采用这种方法，虽然对于图案的形状来说可以确认有一定的改善效果，但是会产生感光剂的量不足而导致图案宽度不均，以及由于没有对比度增 强剂而使实际对比度降低等问题。

[0007] 另一方面，在涂敷感光性树脂组合物形成抗蚀膜时，为了抑制涂敷斑，研究了将多种溶剂进行混合。例如，在专利文献1中，公开了采用二甘醇二烷基醚、3-乙氧基丙酸乙酯、乙酸烷基酯以及乳酸烷基酯作为溶剂的感光性树脂组合物。该专利文献1中记载的感光性树脂组合物的目的是改善狭缝涂敷中的横条纹斑、纵条纹斑和基板整面上无固定形状的斑等。并且，这种溶剂的组合考虑了蒸发速度，但是该蒸发速度是涂敷时的蒸发速度，并没有考虑减压干燥等过程中的蒸发速度。因此，据本发明者们所知，在解决上述减压干燥时的问题方面，还有改进的空间。

[0008] 另外，在专利文献2中，记载了含有苄醇的感光性树脂组合物。这里使用的苄醇，是为了改善涂敷斑而混合在丙二醇单甲醚乙酸酯等主溶剂中进行使用的。然而，作为该专利文献中的涂敷方法，是专门针对采用旋涂法的方法进行描述的，对于上述包括减压干燥的狭缝涂敷中的问题没有任何说明。

[0009] 专利文献1：日本特开2006-171670号公报

[0010] 专利文献2：国际专利公开2004/095142号小册子

发明内容

[0011] 如上所述，根据本发明者们的研究，如果采用含有通常使用的丙二醇单甲醚乙酸酯作为溶剂的感光性树脂组合物，在涂敷时的涂敷斑和涂敷均一性方面还有改进的空间，并且由于涂膜表面比内部容易干燥，使图案形状成为倒锥形，并存在剥离缺陷和过度的对比度。因此，需要寻求解决这些问题的方法。

[0012] 本发明的图案形成方法特征在于包括：

[0013] 将感光性树脂组合物通过缝模涂敷法涂敷于基板上使其形成 涂膜，上述感光性树脂组合物含有碱可溶性树脂、感光剂和混合溶剂，上述混合溶剂含有丙二醇单甲醚乙酸酯和在1个大气压、20℃下蒸气压为150Pa以下的共溶剂；

[0014] 将所形成的涂膜进行减压干燥；

[0015] 继续进行加热干燥，以蒸发除去至少一部分溶剂；

[0016] 按所需图案进行图像曝光；

[0017] 进行显影使其形成图案；

[0018] 将显影后的图案进行加热使其固化。

[0019] 另外，本发明的缝模涂敷用感光性树脂组合物特征在于含有碱可溶性树脂、感光剂和混合溶剂，上述混合溶剂含有丙二醇单甲醚乙酸酯和在1个大气压、20℃下蒸气压为150Pa以下的共溶剂。

[0020] 根据本发明，可以改善涂敷时的涂敷斑和涂敷的不均一性，并且可以使所形成的图案形状成为优选的锥形，而且可以改善剥离缺陷和线宽的不均一性。图案形状改进了，而且还没有带来以前进行的减少感光剂的量和对比度增强剂等的方法所产生的图案宽度不均等问题。

附图说明

[0021] 图1为显影后的抗蚀剂图案的截面示意图。

[0022] 标记说明

[0023] 1：基板

[0024] 2：显影后的抗蚀剂图案

具体实施方式

[0025] 本发明的图案形成方法中使用的感光性树脂组合物含有碱可溶性树脂、感光剂和混合溶剂作为必需成分。本发明的图案形成 方法中使用的感光性树脂组合物，可以根据所形成的图案的用途等而调整感光性树脂组合物的成分，正性或负性任一者均可。 [0026] 这里，混合溶剂包括丙二醇单甲醚乙酸酯和共溶剂。这里，作为共溶剂，采用在1个大气压、20℃下测定的蒸气压为150Pa以下，优选为100Pa以下的共溶剂。另外，对于共溶剂蒸气压的下限，没有特别的限制，在1个大气压、20℃下测定的蒸气压，一般为5Pa以上，优选为10Pa以上，更优选为15Pa以上。当共溶剂的蒸气压比这种范围还要低时，则在减压干燥时难以调节干燥条件，使得通过减压干燥和相继进行的预烘焙不能充分干燥，从而使抗蚀剂膜中残留了溶剂，因此需要留意。共溶剂因为满足这种条件，因而可以根据感光性树脂组合物中所含的其他固体成分的种类、感光性树脂组合物的用途、涂敷或干燥条件等而适当地选择。

[0027] 作为这种共溶剂的优选溶剂，可以列举醇类、酯类、醚类、乙二醇醚类等。作为优选的共溶剂的具体例子，可以列举选自苄醇、乙二醇丁基醚乙酸酯，更具体地说，乙二醇正-/异-/仲-/叔-丁基醚乙酸酯、丙二醇、丙二醇二乙酸酯、丙二醇单烷基醚(烷基的碳原子数为4～5)、二丙二醇二烷基醚(烷基的碳原子数为1～5)、二丙二醇单烷基醚(烷基的碳原子数为1～5)、二甘醇二烷基醚(烷基的碳原子数为2～5)、二甘醇单烷基醚(烷基的碳原子数为1～5)、3-乙氧基丙酸乙酯、3-甲氧基-3-甲基丁基乙酸酯、3-甲氧基-3-甲基丁醇、乳酸丁酯以及它们的混合物构成的群组中的共溶剂。

[0028] 另外，虽说苄醇作为共溶剂是优选的之一，但是还可以通过进一步与其他共溶剂组合成三组分的混合溶剂而构成涂敷性更加优良的溶剂。作为这种优选的三组分的混合溶剂，可以列举例如PGMEA、苄醇和乙二醇正丁基醚乙酸酯的混合溶剂。PGMEA与 苄醇的双组分混合溶剂与上述三组分混合溶剂相比，存在涂敷性要差一点的倾向。

[0029] 在本发明中，将这种共溶剂与PGMEA混合成混合溶剂。对混合溶剂的混合比率没有特别的限制，而优选共溶剂的含量基于全部混合溶剂的重量为5～70重量％，优选为5～60重量％。此时，在使用挥发性高，即蒸气压高的共溶剂的情况下，优选共溶剂的含量相对更多。其余部分，优选仅为PGMEA，但在不损害本发明效果的范围内，还可以含有其他溶剂，例如在1个大气压、20℃下测定的蒸气压超过150Pa的溶剂。另外，在本发明中，混合溶剂并不一定要以PGMEA与共溶剂混合的状态使用，还可以在感光性树脂组合物的配制时，分别加入PGMEA和共溶剂而在组合物中混合。

[0030] 另外，当使用在1个大气压、20℃下测定的蒸气压超过150Pa的共溶剂与PGMEA组合而成的混合溶剂时，虽然会发现感光性树脂组合物的涂敷性能有所提高的情况，但是存在难以充分抑制减压干燥时膜表面干燥的情况。并且由于膜表面干燥，故而显影时难以产生膜减少，残膜率接近100％，使图案形状容易成为倒锥形。相比之下，以蒸气压为150Pa以下的溶剂作为共溶剂，在预烘焙时难以干燥。因此，在以前的旋涂法添加中发现残膜率的降低，即使是在此情况下，即使在与减压干燥组合时急速减压的情况下，也能抑制膜表面的干燥，并且可以确保残膜率。

[0031] 作为本发明的图案形成方法中可以使用的碱可溶性树脂，可以使用以前已知的任何树脂。具体地，可以列举酚醛清漆树脂、具有硅氮烷结构的聚合物、丙烯酸类聚合物、硅烷醇聚硅氧烷、聚酰亚胺等。其中，优选酚类树脂，特别是甲酚酚醛树脂、二甲基苯酚酚醛树脂等酚性酚醛树脂。

[0032] 这里所谓酚性酚醛树脂，是指酚类的至少一种与甲醛等醛类缩聚而得到的酚醛型酚树脂。

[0033] 作为制备这种酚性酚醛树脂所使用的酚类，可以列举例如邻甲酚、对甲酚和间甲酚等甲酚类、3，5-二甲基苯酚、2，5-二甲基苯酚、2，3-二甲基苯酚、3，4-二甲基苯酚等二甲基苯酚类、2，3，4-三甲基苯酚、2，3，5-三甲基苯酚、2，4，5-三甲基苯酚、3，4，5-三甲基苯酚等三甲基苯酚类、2-叔丁基苯酚、3-叔丁基苯酚、4-叔丁基苯酚等叔丁基苯酚类、2-甲氧基苯酚、3-甲氧基苯酚、4-甲氧基苯酚、2，3-二甲氧基苯酚、2，5-二甲氧基苯酚、3，5-二甲氧基苯酚等甲氧基苯酚类、2-乙基苯酚、3-乙基苯酚、4-乙基苯酚、2，3-二乙基苯酚、3，5-二乙基苯酚、2，3，5-三乙基苯酚、3，4，5-三乙基苯酚等乙基苯酚类、邻氯苯酚、间氯苯酚、对氯苯酚、2，3-二氯苯酚等氯代苯酚类、间苯二酚、2-甲基间苯二酚、4-甲基间苯二酚、5-甲基间苯二酚等间苯二酚类、5-甲基邻苯二酚等邻苯二酚类、5-甲基邻苯三酚等邻苯三酚类、双酚A、B、C、D、E、F等双酚类、2，6-二羟甲基对甲基苯酚等羟甲基化甲酚类、α-萘酚、β-萘酚等萘酚类等。它们可以单独或以多种的混合物进行使用。

[0034] 另外，作为醛类，除了甲醛以外，可以列举水杨醛、多聚甲醛、乙醛、苯甲醛、羟基苯甲醛、氯乙醛等，它们可以单独或者以多种的混合物进行使用。

[0035] 对碱可溶性树脂的含量没有特别的限制，通常基于感光性树脂组合物的总重量为5～25重量％，优选为7～20重量％。如果比该范围还小，则为了使最终的抗蚀剂膜达到一定的厚度，必须涂敷很厚的组合物，故而容易引起涂膜内部的流动，会出现产生涂敷斑的情况。另一方面，如果树脂的含量比该范围还要高，则必须 涂敷很薄的组合物，会出现膜厚度的均一性不够好的情况。因此，当树脂的含量落在上述范围以外时，是需要注意的。 [0036] 另外，作为本发明的图案形成方法中使用的感光剂，可以从通常使用的感光剂中任意地选择，作为优选的，可以列举含醌二叠氮基的感光剂。作为这种感光剂，可以列举将萘醌二叠氮磺酰氯或苯醌二叠氮磺酰氯等与具有能够与这些酰氯化物进行缩合反应的官能团的低分子化合物或高分子化合物反应而得到的化合物。这里，作为能够与酰氯化物缩合的官能团，可以列举羟基、氨基等，而羟基特别适用。作为含羟基的能够与酰氯化物缩合的化合物，可以列举例如对苯二酚、间苯二酚、2，4-羟基二苯酮、2，3，4-三羟基二苯酮、2，
4，6-三羟基二苯酮、2，4，4’-三羟基二苯酮、2，3，4，4’-四羟基二苯酮、2，2’，4，4’-四羟基二苯酮、2，2’，3，4，6’-五羟基二苯酮等羟基二苯酮类、二(2，4-二羟基苯基)甲烷、二(2，
3，4-三羟基苯基)甲烷、二(2，4-二羟基苯基)丙烷等羟基苯基烷类、4，4’，3”，4”-四羟基-3，5，3’，5’-四甲基三苯基甲烷、4，4’，2”，3”，4”-五羟基-3，5，3’，5’-四甲基三苯基甲烷等羟基三苯基甲烷类等。它们可以单独使用，并且也可以两种以上组合使用。 [0037] 另外，作为萘醌二叠氮磺酰氯或苯醌二叠氮磺酰氯等磺酰氯，优选的可以列举例如1，2-萘醌二叠氮-5-磺酰氯、1，2-萘醌二叠氮-4-磺酰氯等。含醌二叠氮基的感光剂的混合量，每100重量份碱可溶性树脂通常为5～50重量份，优选为10～40重量份。如果比该量还要少，则会出现作为感光性树脂组合物不能获得足够的敏感度的情况，另一方面，若比该量还要多，则会产生析出成分的问题，因此需要注意。

[0038] 本发明的图案形成方法中使用的感光性树脂组合物，含有上 述混合溶剂、碱可溶性树脂、感光剂作为必需成分，并且还可以进一步含有表面活性剂。表面活性剂的目的是保持感光性树脂组合物的均一性、改善涂敷性等。特别是在将感光性树脂组合物涂敷于基材上时，表面上会产生鳞片状纹理(以下称为“鳞片斑”)，而通过在本发明的感光性树脂组合物中使用表面活性剂，可以抑制这种鳞片斑。本发明感光性树脂组合物中特别优选使用非离子类表面活性剂。作为非离子类表面活性剂，包括氟类表面活性剂、硅氧烷类表面活性剂、烃类表面活性剂等，特别优选使用氟类表面活性剂。这些表面活性剂的混合量，相对于1重量份碱可溶性树脂与感光剂的合计量，通常添加200～10000ppm。若表面活性剂的含量过多，则会引起显影不良等问题，因此需要注意。

[0039] 本发明的图案形成方法中使用的感光性树脂组合物，根据需要，还可以进一步含有添加剂，例如对比度增强剂、环氧基化合物或含硅化合物等粘合助剂。这些添加剂，可以在不损害本发明效果范围内，从以前已知的任意添加剂中选择。

[0040] 本发明的图案形成方法中使用的感光性树脂组合物，用于通过狭缝涂敷法(也称为缝模涂敷法或无旋涂敷法)进行的涂敷，但是也可以用于旋涂法、浸渍涂敷法。并且，当用于狭缝涂敷法与减压干燥组合的图案形成方法中时，本发明的效果将得到更强的表现。当通过这种狭缝涂敷法将光致抗蚀剂组合物涂敷于基板时，通常将光致抗蚀剂组合物储存于供给容器中，由此处经管道和涂敷装置的喷嘴等涂敷于基板上。本发明的感光性树脂组合物，通过这种狭缝涂敷法，可以高速地涂敷出没有膜脱落和涂敷斑的优良涂膜。 [0041] 采用本发明的感光性树脂组合物通过狭缝涂敷法形成光致抗 蚀剂膜的基板，之后可以按照与以前相同的方法进行处理。通常，在减压或真空条件下除去至少一部分溶剂，再根据需要通过烘焙除去溶剂，按所需的图案进行图像曝光，并显影，再通过加热使光致抗蚀剂膜固化。另外，在除去溶剂的工序中，不一定要将溶剂全部从涂膜中除去，只要除去在后续的工序中不会产生妨碍的程度即可。这些处理可根据制造的抗蚀剂图案的用途、感光性树脂组合物的种类等任意地选择。

[0042] 通过这种方法制造的光致抗蚀剂图案可以用于各种电子产品的制造。在光致抗蚀剂膜中，由于膜面的均一性特别重要，本发明的图案形成方法用于性能优良的电子产品如半导体元件的制造是很有利的。并且，可以特别优选在需要通过狭缝涂敷等在较大基板上形成光致抗蚀剂膜的领域如液晶显示器的制造中采用。

[0043] 对本发明进行举例说明如下。

[0044] 实施例1

[0045] 相对于100重量份重均分子量以聚苯乙烯换算为8000的酚醛树脂，加入25重量份2，3，4，4’-四羟基二苯酮与1，2-萘醌二叠氮-5-磺酰氯的酯化物作为感光剂，相对于全部固体成分加入1000ppm氟类表面活性剂メガフアツクR-08(大日本油墨化学工业株式会社生产的非离子性表面活性剂)，再加入丙二醇单甲醚乙酸酯与乙二醇正丁基醚乙酸酯(在1个大气压、20℃条件下的蒸气压为20Pa)的混合溶剂(混合重量比为70∶30)，搅拌后用0.2μm的滤器进行过滤，配制出本发明的感光性组合物。

[0046] 实施例2

[0047] 除了将溶解的溶剂替换为丙二醇单甲醚乙酸酯与丙二醇二乙酸酯(在1个大气压、20℃条件下的蒸气压为60Pa)的混合溶剂(混 合重量比为60∶40)以外，与实施例1同样地进行，得到实施例2的感光性组合物。

[0048] 实施例3

[0049] 除了将溶解的溶剂替换为丙二醇单甲醚乙酸酯与3-乙氧基丙酸乙酯(在1个大气压、20℃条件下的蒸气压为93Pa)的混合溶剂(混合重量比为40∶60)以外，与实施例1同样地进行，得到实施例3的感光性组合物。

[0050] 实施例4

[0051] 除了将溶解的溶剂替换为丙二醇单甲醚乙酸酯与苄醇(在1个大气压、20℃条件下的蒸气压为13Pa)的混合溶剂(混合重量比为90∶10)以外，与实施例1同样地进行，得到实施例4的感光性组合物。

[0052] 实施例5

[0053] 除了将溶解的溶剂替换为丙二醇单甲醚乙酸酯与苄醇(在1个大气压、20℃条件下的蒸气压为13Pa)的混合溶剂(混合重量比为95∶5)以外，与实施例1同样地进行，得到实施例5的感光性组合物。

[0054] 实施例6

[0055] 除了将溶解的溶剂替换为丙二醇单甲醚乙酸酯与乙二醇正丁基醚乙酸酯(在1个大气压、20℃条件下的蒸气压为20Pa)以及苄醇(在1个大气压、20℃条件下的蒸气压为13Pa)的混合溶剂(混合重量比为80∶15∶5)以外，与实施例1同样地进行，得到实施例
6的感光性组合物。

[0056] 比较例1

[0057] 除了将溶解的溶剂替换成仅为丙二醇单甲醚乙酸酯以外，与实施例1同样地进行，得到比较例1的感光性组合物。

[0058] 比较例2

[0059] 除了将溶解的溶剂替换为丙二醇单甲醚乙酸酯与乙酸正丁基酯(在1个大气压、20℃条件下的蒸气压为1000Pa)的混合溶剂(混合重量比为40∶60)以外，与实施例1同样地进行，得到比较例2的感光性组合物。

[0060] 比较例3

[0061] 除了将溶解的溶剂替换为丙二醇单甲醚乙酸酯与乳酸乙酯(在1个大气压、20℃条件下的蒸气压为279Pa)的混合溶剂(混合重量比为40∶60)以外，与实施例1同样地进行，得到比较例3的感光性组合物。

[0062] 比较例4

[0063] 除了将溶解的溶剂替换为丙二醇单甲醚乙酸酯与乙二醇乙醚乙酸酯(在1个大气压、20℃条件下的蒸气压为160Pa)的混合溶剂(混合重量比为60∶40)以外，与实施例1同样地进行，得到比较例4的感光性组合物。

[0064] 比较例5

[0065] 除了将溶解的溶剂替换为丙二醇单甲醚乙酸酯与乙二醇乙醚乙酸酯(在1个大气压、20℃条件下的蒸气压为160Pa)的混合溶剂(混合重量比为40∶60)以外，与实施例1同样地进行，得到比较例5的感光性组合物。

[0066] 涂敷斑和涂敷均一性的鉴定

[0067] 采用120mm×200mm的带Cr的玻璃基板，在小型狭缝喷嘴(宽100mm)离带Cr玻璃基板的距离为0.05mm的状态下进行狭缝涂敷。涂敷速度设定为每秒100mm，涂敷后置入真空烘箱中进行40秒真空干燥。40秒后的真空压力在室温下调节至约80Pa。之后在100℃下于加热板上烘焙90秒钟后，得到2.0μm的抗蚀剂膜。 将所得抗蚀剂膜在Na灯下观察有无鳞片斑和条纹斑，对涂敷斑进行评价。涂敷均一性采用ナノスペツクM6500型光干涉膜厚测定器(ナノメトリクス·ジヤパン株式会社生产)测定膜厚进行评价。其采用三等级进行评价，劣等品表示为1，微劣品表示为2，优良品表示为3。

[0068] 真空干燥时斑的鉴定

[0069] 与上述涂敷斑和涂敷均一性的鉴定同样地采用狭缝喷嘴涂敷后，在真空干燥烘箱中安装定位销，在其上设置带Cr玻璃基板进行干燥。真空干燥后，在100℃下于加热板上干燥90秒钟，在Na灯下评价真空干燥烘箱中的定位销痕迹强弱。采用三等级进行评价，定位销痕迹明显的表示为1，定位销痕迹确认为很细微的表示为2，没有鉴定到定位销痕迹的表示为3。

[0070] 图案形状的测定

[0071] 在4英寸的硅片上滴加少量后，以800转旋转2秒钟，得到伪狭缝膜。然后，置入真空烘箱中进行40秒钟真空干燥。40秒钟后的真空压力在室温下调节至约80Pa。然后在100℃下于加热板上烘焙90秒钟后，得到2.0μm的抗蚀剂膜。将该抗蚀剂膜在ニコン制造的g+h线步进器(FX-604F)中进行曝光，在2.38重量％的氢氧化四甲基铵水溶液中于23℃下显影60秒钟。将4.0μm掩模尺寸的曝光部、未曝光部的比率为1∶1的曝光部位在SEM下进行观察。图1为其截面示意图。根据其形状采用三等级进行评价，近似于倒锥形的图
1(a)的情况，表示为1，形状稍好，近似于图1(b)的情况，表示为2，形状为锥形的优良形状，近似于图1(c)的情况，表示为3。

[0072] 所得结果如表1中所示。

[0073] 表1

[0074] 表1A：涂敷性和图案形状的评价结果

[0075]

[0076] 表1B：溶剂的蒸气压

[0077]