伺服型容积流量计的有关被测量流体的流动和压力差检测的路径构造

摘要

一个压力差检测用导压路径(71)及另一个压力差检测用导压路径(72)形成为，使其在前后方向上以规定的间隔排列。此外，一个压力差检测用导压路径(71)在比第二流入通路(67)及第一流入通路(43)的连续中心位置(70)靠近侧连续。进而，另一个压力差检测用导压路径(72)在比第二流出通路(66)及第一流出通路(44)的连续中心位置(69)靠后侧连续。

权利要求

1.一种伺服型容积流量计的有关被测量流体的流动和压力差检测的路径结构，其特征在于，如果将相互平行的第一和第二转子轴的轴向定义为前后，则在计量室形成被测量流体流出口及被测量流体流入口，以使其成为具有第一转子轴的第一转子及具有第二转子轴的第二转子的啮合部分的上下；

在主体壳体上形成沿上述轴向延伸的第一流出通路，以使其与上侧的上述被测量流体流出口连续；

在上述主体壳体上形成沿上述轴向延伸的第一流入通路，以使其与下侧的上述被测量流体流入口连续；

在主体壳体上形成沿相对于上述轴向正交方向延伸的第二流出通路，以使其与相互平行的上述第一流出通路和上述第一流入通路中的上述第一流出通路连续，并且在主体壳体上形成沿上述正交方向延伸并平行于上述第二流出通路的第二流入通路，以使其与上述第一流入通路连续；

在上述主体壳体上形成一个压力差检测用导压路径，所述一个压力差检测用导压路径一端在上述第一流入通路及上述第二流入通路的连续中心位置与上述被测量流体流入口之间的位置上向上述第一流入通路开口、并且相对于上述第二流入通路不重叠地延伸；

在上述主体壳体上形成另一个压力差检测用导压路径，所述另一个压力差检测用导压路径一端在比上述第一流出通路及上述第二流出通路的连续中心位置远离上述被测量流体流出口的位置上向上述第一流出通路开口，并且相对于上述第二流出通路不重叠地延伸，且相对于上述一个压力差检测用导压路径平行；

进而，在上述主体壳体上形成压力差检测部，以使其与上述一个压力差检测用导压路径的另一端和上述另一个压力差检测用导压路径的另一端连续。

2.如权利要求1所述的伺服型容积流量计的有关被测量流体的流动和压力差检测的路径结构，其特征在于，将上述第二流出通路及上述第二流入通路形成为，使其向左方向或右方向延伸，并且将上述一个压力差检测用导压路径及上述另一个压力差检测用导压路径形成为，使其向下方向或上方向延伸。

说明书

伺服型容积流量计的有关被测量流体的流动和压力差检测

的路径构造

技术领域

[0001] 本发明涉及伺服型容积流量计，详细地讲，涉及该伺服型容积流量计的有关被测量流体的流动和压力差检测的路径结构。

[0002] 背景技术

[0003] 容积流量计在其结构之一中具有泵部。泵部具备设在流路内的计量室、和在该计量室内每圈使一定体积的被测量流体流出的一对转子而构成。容积流量计构成为，使其能够根据转子的旋转计测流量。具体而言构成为，以由计量室和转子形成的容积为基准容积，能够一边将流入到计量室内的被测量流体对应于转子的旋转排出一边根据转子的转速求出流量。

[0004] 容积流量计由于能够直接测量体积流量、精度也较高，所以作为工业用、交易用的流量计而广泛地使用。

[0005] 作为构成为能够准确地检测到流量计的流出流入口间的压力损失以便能够不受被测量流体的粘度及密度等物理参数影响而进行稳定的高精度的流量的测量、从外部通过伺服马达对转子施加驱动力以使该压力损失总为零、能够根据此时的转子的动作转速测量流量的容积流量计，已知有在特许第3331212号公报中公开那样的伺服型容积流量计。 [0006] 发明内容

[0007] 在上述以往的伺服型容积流量计中，虽然为检测流出流入口间的压力差那样的构造及结构，但由于压力差检测位置设定在较为远离计量室的位置上，所以具有不能进行精度较高的检测的问题(并不限于特许第3331212号公报的容积流量计)。

[0008] 此外，差压计设置在远离具有计量室的壳体的位置上，成为使用导压管从壳体取出压力的构造，但由此有可能响应性下降，具有不能进行精度较高的检测的问题(并不限于特许第3331212号公报的容积 流量计)。另外，由于差压计设置在远离壳体的位置上，所以还具有容积流量计变大的问题。

[0009] 本发明是鉴于上述情况而做出的，课题是提供一种能够实现压力差检测的精度提高、并且能够实现小型化的伺服型容积流量计的有关被测量流体的流动和压力差检测的路径结构。

[0010] 为了解决上述课题而做出的技术方案1所述的本发明的伺服型容积流量计的有关被测量流体的流动和压力差检测的路径结构的特征在于，如果将转子轴的轴向定义为前后，则在计量室形成被测量流体流出口及被测量流体流入口，以使其成为具有该转子轴的第一转子及第二转子的啮合部分的上下；在主体壳体上形成沿上述轴向延伸的第一流出通路，以使其与上侧的上述被测量流体流出口连续；在上述主体壳体上形成沿上述轴向延伸的第一流入通路，以使其与下侧的上述被测量流体流入口连续；在主体壳体上形成沿相对于上述轴向正交方向延伸的第二流出通路，以使其与为平行的上述第一流出通路及上述第一流入通路中的上述第一流出通路连续，并且在主体壳体上形成沿上述正交方向延伸并平行于上述第二流出通路的第二流入通路，以使其与上述第一流入通路连续；在上述主体壳体上形成一个压力差检测用导压路径，所述一个压力差检测用导压路径一端在上述第一流入通路及上述第二流入通路的连续中心位置与上述被测量流体流入口之间的位置上向上述第一流入通路开口，并且相对于上述第二流入通路不重叠地延伸；在上述主体壳体上形成另一个压力差检测用导压路径，所述另一个压力差检测用导压路径一端在比上述第一流出通路及上述第二流出通路的连续中心位置远离上述被测量流体流出口的位置上向上述第一流出通路开口，并且相对于上述第二流出通路不重叠地延伸，且相对于上述一个压力差检测用导压路径平行；进而，在上述主体壳体上形成压力差检测部，以使其与上述一个压力差检测用导压路径的另一端和上述另一个压力差检测用导压路径的另一端连续。 [0011] 此外，技术方案2所述的本发明的伺服型容积流量计的有关被测量流体的流动和压力差检测的路径结构在技术方案1所述的伺服型容积流量计的有关被测量流体的流动和压力差检测的路径结构中，其特征在于，将上述第二流出通路及上述第二流入通路形成为，使其向左方向或右方向延伸，并且将上述一个压力差检测用导压路径及上述另 一个压力差检测用导压路径形成为，使其向下方向或上方向延伸。

[0012] 根据具有这样的特征的本发明，成为取出压力差的位置接近于泵部的构造。因而，能够提高压力差检测的精度。此外，检测压力差的机构为与主体壳体一体化那样的构造的伺服型容积流量计。因而，成为检测压力差的位置相对于泵部更接近的构造，结果能够进一步提高压力差检测的精度。

[0013] 根据本发明，被测量流体的流入的路径和流出的路径在维持着转子的啮合部分的上下间隔的状态下形成为平行的路径。并且这些路径分别形成为L字状的路径。此外，从这样的路径延伸的有关压力差检测的路径也成为相对于转子轴的轴向正交方向且平行的路径。因而，根据本发明，能够使容积流量计自身在转子轴的轴向上变短。 [0014] 根据本发明，起到能够将压力差检测的精度比以往显著地提高的效果。此外，起到能够实现伺服型容积流量计的小型化的效果。

[0015] 附图说明

[0016] 图1是表示有关本发明的伺服型容积流量计的一实施方式的主视图。 [0017] 图2是伺服型容积流量计的左侧视图。

[0018] 图3是伺服型容积流量计的俯视图。

[0019] 图4是系统结构图。

[0020] 图5是从正面侧观察的情况下的结构说明图。

[0021] 图6是从左侧面侧观察的情况下的结构说明图。

[0022] 图7是在驱动位置观察的情况下的结构说明图。

[0023] 图8是泵单元的结构说明图。

[0024] 图9是泵单元的分解立体图。

[0025] 图10是作为主体壳体之一的前侧主体壳体的主视图。

[0026] 图11是前侧主体壳体的剖视图。

[0027] 图12是形成了导压路径的状态下的前侧主体壳体的剖视图。

[0028] 图13是图10的A向视图。

[0029] 图14是图13的B-B线剖视图。

[0030] 图15是驱动位置处的前侧主体壳体的剖视图。

[0031] 具体实施方式

[0032] 以下，参照附图进行说明。图1是表示有关本发明的伺服型容积流量计的一实施方式的图。此外，图2是伺服型容积流量计的左侧视图，图3是伺服型容积流量计的俯视图，图4是系统结构图，图5是从正面侧观察的情况下的结构说明图，图6是从左侧面侧观察的情况下的结构说明图，图7是在驱动位置观察的情况下的结构说明图，图8是泵单元的结构说明图，图9是泵单元的分解立体图，图10是作为主体壳体之一的前侧主体壳体的主视图，图11是前侧主体壳体的剖视图，图12是形成了导压路径的状态下的前侧主体壳体的剖视图，图13是图10的A向视图，图14是图13的B-B线剖视图，图15是驱动位置处的前侧主体壳体的剖视图。

[0033] 另外，不能用简单的截面表示的部分在图中“撕开”显示。关于该“撕开”的显示，与严密的位置不同。遍及所有附图在截面部分中没有表示影线是为了避免细节部变得难以观察。

[0034] 在图1至图3中，引用附图标记1表示有关本发明的伺服型容积流量计(以下简记作容积流量计1)。容积流量计1具备泵单元2，具有能够使该泵单元2拆装自如那样的结构。此外，容积流量计1具有特别在具备泵单元2的情况下优选的、有关被测量流体的流动和压力差检测的路径结构。

[0035] 如果关于容积流量计1的结构再稍稍具体地说明，则容积流量计1具备上述泵单元2，并且具备容纳该泵单元2的主体壳体3、和盖体4而构成。此外，容积流量计1如图4以后的图所示，还具备轴驱动机构5、压力差检测机构6、和控制机构7而构成。 [0036] 这里，如果对图1至图3中的箭头进行说明，则箭头P表示上下方向。此外，箭头Q表示左右方向，箭头R表示前后方向。另外，这些方向相对于容积流量计1的安装时的方向既可以一致也可以不一致(但是，后述的活塞17成为上下方向那样的安装方向不被允许)。

[0037] 在图6中，主体壳体3具备具有容纳泵单元2的构造并且具有将压力差检测机构6一体化的构造的前侧主体壳体8、和连结在该前侧主体壳体8上、能够将作为轴驱动机构
5的主体的伺服马达9安装在内部的后侧主体壳体10而构成。

[0038] 在前侧主体壳体8的前面上，形成有用来容纳泵单元2的单元容 纳凹部11。泵单元2通过插入到单元容纳凹部11中、然后用盖体4覆盖而被完全容纳。容积流量计1通过将盖体4卸下，能够进行泵单元2的维护及更换等。

[0039] 首先，参照图4对系统结构简单地进行说明。接着，参照图1至图15的各图对各构成部件进行说明。

[0040] 在图4中，引用附图标记12表示泵部。该泵部12具有计量室13和一对转子14。一对转子14配置为使其相互啮合，其中之一受伺服马达9驱动。压力差检测机构6具有一对压力差检测用导压路径15和压力差检测部16。此外，这里具有活塞17、发光侧光电传感器(发光元件)18、和受光侧光电传感器(受光元件)19。控制机构7具有运算电路20、控制电路21和输出电路22。

[0041] 在上述结构中，从流入口23进入的被测量流体(在图中从右向左流动)经过泵部12的一对转子14达到流出口24。在一对转子14的前后(在图4中对应于左右)，设有一对压力差检测用导压路径15，在产生了压力差的情况下，容纳在压力差检测部16中的活塞
17左右地动作。该活塞17的动作被发光侧光电传感器18或受光侧光电传感器19观测到，将活塞17的位置信息传递给运算电路20。

[0042] 在运算电路20中，生成用来向控制电路21传递的信号，以使压力差总是为零、换言之使活塞17停止。在该控制电路21中，基于来自运算电路20的信号驱动伺服马达9。此外，在控制电路21中，被传递从伺服马达9反馈的编码器信号。该编码器信号被向输出电路22传递，该输出电路22将编码器信号作为流量信号(脉冲输出)向外部输出。 [0043] 对容积流量计1的各构成部件进行说明。

[0044] 泵单元2具有在泵部壳体25的内部设有泵部12的构造(例如参照图8及图9)。泵部壳体25形成为前后方向的厚度较小的大致圆柱状。在本方式中，为了考虑到流量范围变更时的更换容易性，设定为，使上述厚度为一定。另外，大致圆柱状的形状是一例(只要能够进行泵部12的形成、相对于单元容纳凹部11(参照图6)的拆装较容易，形状没有特别被限定)。

[0045] 在图9中，泵部壳体25具有三片板。如果从前侧依次举出名称，则具有盖体侧板26、正中间板27、以及转子轴延长侧板28的可分割 的圆形的三片板。这三片板重合并通过多个小螺钉(附图标记省略)固定。

[0046] 这样的结构的泵部壳体25具有向后方突出的定位销29(设定位销29的设定是任意的)。定位销29是为了使得在将泵单元2插入到单元容纳凹部11(参照图6)中容纳时能够顺利地进行对位而设置的。

[0047] 另外，被定位在单元容纳凹部11中之后的泵单元2被经由泵部壳体25拧入的单元安装小螺钉30固定(参照图6)。

[0048] 如果对三片板的主要的部分进行说明，则正中间板27具有配合计量室13(参照图8)的形状贯通形成的(从前面直到后面贯通的)计量室形成部31。本方式的正中间板27设定为比转子14的厚度极其稍大的厚度。

[0049] 盖体侧板26具有覆盖计量室形成部31的前侧的开口的平坦的面(后面)。在这样的盖体侧板26上，形成有与后述的被测量流体流入口32的位置匹配而贯通的导压口33(参照图8)。导压口33是为了将从被测量流体流入口32流入的被测量流体的一部分导引到单元容纳凹部11(参照图6)中而形成的。在盖体侧板26的后面上设有两个轴承34，以使其沿左右方向以规定的间隔排列。

[0050] 转子轴延长侧板28具有覆盖计量室形成部31的后侧的开口的平坦的面(前面)(另外，在变更流量范围的情况下，也可以使前面凹陷而形成计量室形成部31的一部分。在此情况下，转子轴延长侧板28作为更换部件而准备若干种类)。

[0051] 在这样的转子轴延长侧板28上，贯通形成有连通到计量室形成部31那样的、换言之连通到计量室13那样的被测量流体流入口32及被测量流体流出口35。此外，在转子轴延长侧板28上，还贯通形成有相对于向后方延伸的后述的转子轴36的驱动轴用贯通口37。

[0052] 在转子轴延长侧板28的前面上，设有两个轴承38，以使其在左右方向上以规定的间隔排列。轴承38中的一个设在驱动轴用贯通孔37(参照图7)中。通过转子轴延长侧板28的轴承38和盖体侧板26的轴承34以双支承构造旋转自如地支承转子14的转子轴36、
39。

[0053] 在图8中，泵部12具有计量室13、一对转子14和转子轴36、39。该一对转子14配置为，使其相互啮合，设在其中之一中的转子轴36成为驱动轴，经由驱动轴用贯通口37(参照图7)延伸到外侧(向后 方延伸)。

[0054] 上述被测量流体流入口32及被测量流体流出口35配置形成在一对转子14的啮合部分的上下。在图中，下侧为被测量流体流入口32，上侧为被测量流体流出口35。此外，该被测量流体流入口32及被测量流体流出口35配置形成为，使其在尽量接近于啮合部分的地方开口。

[0055] 驱动轴用贯通口37(参照图7)匹配于伺服马达9(参照图6)的位置而配置形成。在本方式中，配置形成为，使其中心位于主体壳体3(参照图6)的中心轴上。 [0056] 在图5、图6中，构成主体壳体3的前侧主体壳体8在其前面上具有用来容纳泵单元2的单元容纳凹部11。此外，前侧主体壳体8在其左侧面上具有有关被测量流体的流动的路径的部分。该有关被测量流体的流动的路径的部分形成为，使其连通到单元容纳凹部
11。进而，前侧主体壳体8在其下方具有用来将压力差检测机构6一体化的部分。该部分形成为，使有关压力差检测的路径与单元容纳凹部11的附近连续。进而，前侧主体壳体8在其后面上具有后侧主体壳体10的连结部分、和有关驱动力传递部40(参照图7)的部分。
有关驱动力传递部40的部分形成为，使其与单元容纳凹部11连续。

[0057] 单元容纳凹部11在前侧主体壳体8的前面上形成为圆形的凹陷那样的形状。在单元容纳凹部11的开口缘部的外侧安装有O形环41。在前侧主体壳体8的前面上，覆盖单元容纳凹部11的开口而安装有盖体4。关于该盖体4的安装，通过将螺栓42在四个部位紧固来进行。

[0058] 在安装了盖体4的状态下，前侧主体壳体8(单元容纳凹部11)及盖体4具有作为压力容器的功能。即，在容积流量计1中，泵单元2自身不需要作为压力容器的功能。另外，作为压力容器发挥功能的理由是因为，经由泵单元2的导压口33(参照图8)使被测量流体的一部分流入到单元容纳凹部11中，使泵单元2的外侧也通过充满的流体成为接触液体的状态(作用在泵单元2的内外的流体压力均压化)。

[0059] 在单元容纳凹部11的深处(底部)，匹配于泵单元2的被测量流体流入口32及被测量流体流出口35的位置而形成有第一流入通路43及第一流出通路44。该第一流入通路43及第一流出通路44作为上述有关被测量流体的流动的路径的部分形成。配置形成为，使第一流入 通路43为下侧、第一流出通路44为上侧。在第一流出通路44的开口缘部的周围安装有O形环45(参照图10)。关于有关被测量流体的流动的路径的部分，在后面详细地说明。

[0060] 此外，在单元容纳凹部11的深处(底部)上，匹配于从泵单元2延伸的转子轴36的位置而形成有转子轴用贯通孔46(参照图15)。该转子轴用贯通孔46形成为，使其与在前侧主体壳体8的后面上开口的耐压隔板安装用凹部47(参照图7)连续。在图7中，在耐压隔板安装用凹部47中，以液密状态(将被测量流体截断的状态)安装有耐压隔板48。通过该耐压隔板48将单元容纳凹部11侧与伺服马达9侧隔离(参照图6)。转子轴用贯通孔46、耐压隔板安装用凹部47及耐压隔板48构成上述有关驱动力传递部40的部分。 [0061] 这里，参照图6及图7列举有关驱动力传递部40的部分等的各结构(在前侧主体壳体8的结构中从单元容纳凹部11侧开始依次列举结构之后，列举伺服马达9侧的结构)。
另外，关于作用等的具体的说明省略。

[0062] 引用附图标记49表示轴接头。引用附图标记50表示轴接头旋转阻止销。引用附图标记51表示从动磁铁轴。引用附图标记52表示从动磁铁旋转阻止销。引用附图标记53表示从动磁铁。引用附图标记54表示E形环。引用附图标记55表示滚珠轴承。 [0063] 引用附图标记56表示主动磁铁部。引用附图标记57表示主动磁铁安装小螺钉。引用附图标记58表示马达适配器。引用附图标记59表示马达适配器小螺钉。引用附图标记60表示马达安装配件。引用附图标记61表示减速器安装螺栓。引用附图标记62表示马达部安装螺栓。

[0064] 由有关驱动力传递部40的部分的结构可知，在本方式中，通过由主动磁铁部56和从动磁铁53形成的磁接头63驱动从泵单元2延伸的转子轴36。在本方式中，由于采用了使用磁接头63驱动转子轴36的方法，所以不仅没有液体泄漏的担心，还能够使转子轴36顺利地旋转。

[0065] 存在于有关驱动力传递部40的部分的后方的伺服马达9在容纳在形成于后侧主体壳体10的内部的主体安装部64中的状态下安装。另外，形成有主体安装部64的后侧主体壳体10具有用来将容积流量计1设置在规定位置上的设置用空间65，能够延伸到形成在前侧主体壳 体8的下方的、用来将压力差检测机构6一体化的部分而将其固定。 [0066] 主要参照图10至图14，关于上述有关被测量流体的流动的路径的部分、和上述有关压力差检测的路径的部分进行说明。首先，关于有关被测量流体的流动的路径的部分进行说明。

[0067] 上侧的第一流出通路44形成为，使其一端与泵单元2的被测量流体流出口35连续。第一流出通路44形成为，使其从单元容纳凹部11的深处(底部)向其后方笔直地延伸、即相对于从泵单元2延伸的转子轴36的轴向平行地延伸。这样的第一流出通路44的长度为了实现容积流量计1的前后方向的紧凑化而设定为，尽量使长度变短。在本方式中，将长度设定为，使第一流出通路44的另一端位置比前侧主体壳体8的前后方向中央位置靠近侧。

[0068] 下侧的第一流入通路43形成为，使其一端与泵单元2的被测量流体流入口32连续。第一流入通路43形成为，使其从单元容纳凹部11的深处(底部)向其后方笔直地延伸、即相对于从泵单元2延伸的转子轴36的轴向平行地延伸。此外，第一流入通路43形成为，使其与上侧的第一流出通路44平行。这样的第一流入通路43的长度形成为比上侧的第一流出通路44短一些。

[0069] 如果对第一流入通路43及第一流出通路44进行总结，则该第一流入通路43及第一流出通路44形成为，以被测量流体流入口32及被测量流体流出口35的大小开口，并且在保持它们的间隔的状态下平行，进而第一流出通路44更长一些地向后方延伸。 [0070] 在上侧的第一流出通路44(参照图12、图14)上，形成有第二流出通路66，以使其与第一流出通路44连续。第二流出通路66形成为，使其向相对于从泵单元2延伸的转子轴36的轴向正交方向(在本方式中为左方向)笔直地延伸。第二流出通路66形成为，使其一端与第一流出通路44连续并且另一端在前侧主体壳体8的左侧面上开口。第二流出通路66形成为，使其以与第一流出通路44相同的大小开口。第二流出通路66及第一流出通路44形成为大致L字状的路径。

[0071] 在下侧的第一流入通路43上形成有第二流入通路67，以使其与第一流入通路43连续。第二流入通路67形成为，使其向相对于从泵单元2延伸的转子轴36的轴向正交方向(在本方式中为左方向)笔直地延伸。此外，第二流入通路67形成为，使其与第二流出通路66平 行。第二流入通路67形成为，使其一端与第一流入通路43连续并且另一端在前侧主体壳体8的左侧面上开口。第二流入通路67形成为，使其以与第一流入通路43相同的大小开口。第二流入通路67及第一流入通路43形成为大致L字状的路径。 [0072] 如果对第二流入通路67及第二流出通路66进行总结，则该第二流入通路67及第二流出通路66形成为，以被测量流体流入口32及被测量流体流出口35的大小开口，并且在保持它们的间隔的状态下平行，都以相同的长度在前侧主体壳体8的左侧面上开口。 [0073] 有关被测量流体的流动的路径的部分由第二流出通路66及第一流出通路44的大致L字状的路径、和第二流入通路67及第一流入通路43的大致L字状的路径构成。另外，在前侧主体壳体8的左侧面的第二流出通路66及第二流入通路67的各开口部分中分别安装有接头68。在本方式中，第一流出通路44对应于向单元容纳凹部11开口的流出通路的开口端部。此外，第一流入通路43也对应于向单元容纳凹部11开口的流入通路的开口端部。

[0074] 在图12中，设定为，使第二流出通路66及第一流出通路44的连续中心位置69、与第二流入通路67及第一流入通路43的连续中心位置70上下地排列。在本方式中，匹配于第一流入通路43的另一端位置而设定连续中心位置70。因而，第一流出通路44在比连续中心位置69靠后方具有一些空间。该空间成为用于压力差检测的空间。第一流出通路44与第一流入通路43相比将长度设定得长一些就是因为这一点。

[0075] 接着，进行关于有关压力差检测的路径部分的说明。

[0076] 在作为下侧的第一流入通路43上，连续形成有一个压力差检测用导压路径71(对应于图4的压力差检测用导压路径15)。一个压力差检测用导压路径71形成为，使其一端在第二流入通路67及第一流入通路43的连续中心位置70与第一流入通路43的一端之间开口。一个压力差检测用导压路径71的一端具有作为压力差取出口的功能。一个压力差检测用导压路径71形成为，使其向下方笔直地延伸。一个压力差检测用导压路径71为用来检测压力差的通路，将直径设定为，使其比第一流入通路43细。

[0077] 在作为上侧的第一流出通路44上，连续形成有另一个压力差检测 用导压路径72(对应于图4的压力差检测用导压路径15)。另一个压力差检测用导压路径72形成为，使其一端在比第二流出通路66及第一流出通路44的连续中心位置69更远离被测量流体流出口35的位置上开口。另一个压力差检测用导压路径72的一端具有作为压力差取出口的功能。在本方式中，另一个压力差检测用导压路径72匹配于第一流出通路44的端部位置而形成。另一个压力差检测用导压路径72形成为，使其向下方笔直地延伸。另一个压力差检测用导压路径72形成为，使其与一个压力差检测用导压路径71平行。另一个压力差检测用导压路径72是用来检测压力差的通路，将直径设定为，使其比第一流出通路44细。 [0078] 如果对一个压力差检测用导压路径71及另一个压力差检测用导压路径72进行总结，则该一个压力差检测用导压路径71及另一个压力差检测用导压路径72形成为，使其在前后方向上以规定的间隔排列。此外，一个压力差检测用导压路径71在比第二流入通路67及第一流入通路43的连续中心位置70靠近侧连续，另一个压力差检测用导压路径72在比第二流出通路66及第一流出通路44的连续中心位置69靠后侧连续。另外，该连续位置是为了压力差检测机构6的活塞17等的效率好的配置而设定的(由此，具有即使将压力差检测机构6与前侧主体壳体8一体化也能够使容积流量计1在前后方向上紧凑化的优点(这是因为，例如如果将一个压力差检测用导压路径71向后方错开，则需要将压力差检测机构
6的各结构的配置向后方错开该错开的量，在此情况下，成为后方较大的结构))。 [0079] 在一个压力差检测用导压路径71及另一个压力差检测用导压路径72的各另一端上形成有压力差检测部73(对应于图4的压力差检测部16)，以使其与上述各另一端连续。 [0080] 这里，列举与压力差检测机构6的具体的各结构关联的部分。另外，关于作用等的说明省略(图4的说明作为参考)。

[0081] 引用附图标记17表示活塞。引用附图标记18表示发光侧光电传感器。引用附图标记19表示受光侧光电传感器。这些使用与图4所示的部件基本上相同的部件。 [0082] 引用附图标记74表示光电传感器箱(参照图5)。引用附图标记75表示光电传感器安装板。引用附图标记76表示光电传感器填料。 引用附图标记77表示玻璃窗填料。引用附图标记78表示光电传感器安装螺栓。引用附图标记79表示强化玻璃。引用附图标记80表示强化玻璃用O形环。引用附图标记81表示光电传感器定位销。引用附图标记82表示光电传感器箱安装螺栓。

[0083] 引用附图标记83表示压力缸前侧盖。引用附图标记84表示套筒(参照图6)。引用附图标记85表示压力缸盖用O形环。引用附图标记86表示压力缸后侧盖。另外，在套筒84上，形成有使另一个压力差检测用导压路径72的一部分匹配于活塞17的位置那样的部分87。

[0084] 以上，如参照图1至图15说明那样，容积流量计1由于将上述有关被测量流体的流动的路径的部分和上述有关压力差检测的路径的部分做成特征性的构造，并且采用将压力差检测机构6与主体壳体3(前侧主体壳体8)一体化的构造，所以能够使压力差检测的精度比以往显著地提高。此外，通过采用这样的特征性的构造，能够使容积流量计1自身在前后方向上变短。

[0085] 除此以外，如果举出有关容积流量计1的效果等，则容积流量计1是具有泵部12的泵单元2容纳在主体壳体3(前侧主体壳体8)的单元容纳凹部11中并用盖体4覆盖的构造，通过单元容纳凹部11和盖体4形成作为压力容器发挥功能的部分。泵单元2为在其内部流过被测量流体、并且外侧整体也充满被测量流体的构造。泵单元2成为作用在其内外的流体压力均压化那样的构造。

[0086] 在容积流量计1中，在流体压力作用下临时发生变形的例如是作为压力容器发挥功能的盖体4，在泵单元2自身中不会发生变形。因而，容积流量计1能够进行高精度的测量。

[0087] 容积流量计1由于为不需要将泵单元2的泵部壳体25做成耐压容器的构造，所以例如能够使泵部壳体25的壁厚变薄。因而，能够将泵单元2做成较小的结构(如果使泵单元2的大小较小，则也能够使更换时的作业性变好)。

[0088] 此外，容积流量计1由于为经由磁接头63驱动转子轴36的构造，所以不仅没有液体泄漏的担心，而且能够使转子轴36的旋转变得顺利。因而，容积流量计1与以往相比能够实现性能方面及维护方面的提高(虽然不能得到这样的效果，但也可以采用以往那样的使用密封部件驱动的构造)。

[0089] 此外，容积流量计1由于为使转子轴36、39为双支承的构造，所以能够使转子14的旋转稳定。通过使转子轴36、39为双支承构造，不需要如悬臂构造那样将轴长设定得较长，结果能够使泵部12变小。

[0090] 此外，容积流量计1由于将泵单元2的泵部壳体25用可分割的三片板构成、并且使三片板中的一片成为能够匹配于转子14的尺寸更换的构造，所以能够考虑到流量范围变更时的更换容易性。

[0091] 除此以外，本发明当然在不改变本发明的主旨的范围内能够各种各样地变更来实施。