PECVD用硅片载片器的改装装置

摘要

本发明涉及一种PECVD用硅片载片器的改装装置，其包括十字形的板体，所述板体的角部以板体的中心为中心呈辐射状向外延伸有四个支臂，使所述板体成十字形，各个相邻的支臂的交叉处设置有过渡圆弧，所述支臂的宽度与多晶硅片载片器的框杆宽度相等，所述过渡圆弧的直径与单晶硅片载片器的圆角直径相等。本发明安装于相邻的多晶硅片载片器的交叉处，将正四边形的多晶硅片载片器改装成带有圆角的正四边形的硅片载片器，用于生产单晶硅片，可以节省大量采购成本；拆除本发明后，又可以生产多晶硅片，转换方便。

权利要求

1.一种PECVD用硅片载片器的改装装置，包括板体(3)，其特征是：所述板体(3)的角部以板体(3)的中心为中心呈辐射状向外延伸有四个支臂(4)，使所述板体(3)成十字形，各个相邻的支臂(4)的交叉处设置有过渡圆弧(5)，所述支臂(4)的宽度与多晶硅片载片器的框杆宽度相等，所述过渡圆弧(5)的直径与单晶硅片载片器的圆角直径相等。

说明书

PECVD用硅片载片器的改装装置

技术领域

[0001] 本发明涉及一种太阳能光伏产业工艺设备，具体地说是用于平板炉PECVD(等离子增强化学气相沉积)中的配套装置。

背景技术

[0002] 太阳能光伏电池片有多晶、单晶之分，多晶硅片是正四边形的，单晶硅片是带有四个圆角的正四边形。在进行平板炉PECVD的工艺时，和它们相配套的硅片载片器也要与它们的外型相匹配才可以。有些厂家只配置了多晶的(即正四边形的)硅片载片器，在接到单晶的订单时，就需要配置新的单晶硅片载片器。由于硅片载片器的价格很贵，代价太高，从而增加了采购成本。

发明内容

[0003] 本发明针对上述问题，提供一种PECVD用硅片载片器的改装装置，该装置安装于多晶硅片载片器上，可将多晶硅片载片器转换成单晶硅片载片器，可大幅度降低采购成本。

[0004] 按照本发明的技术方案：一种PECVD用硅片载片器的改装装置，包括十字形的板体，所述板体的角部以板体的中心为中心呈辐射状向外延伸有四个支臂，使所述板体成十字形，各个相邻的支臂的交叉处设置有过渡圆弧，所述支臂的宽度与多晶硅片载片器的框杆宽度相等，所述过渡圆弧的直径与单晶硅片载片器的圆角直径相等。

[0005] 本发明的技术效果在于：本发明安装于相邻的多晶硅片载片器的交叉处，将正四边形的多晶硅片载片器改装成带有圆角的正四边形硅片载片器，用于生产单晶硅片，可以节省大量采购成本；拆除本发明后，又可以生产多晶硅片，转换方便。

附图说明

[0006] 图1为多晶硅片载片器中的一个方框的结构示意图；

[0007] 图2为本发明的结构示意图；

[0008] 图3为本发明安装于多晶硅片载片器中的结构示意图。

具体实施方式

[0009] 下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步的说明。

[0010] 本发明是一种PECVD用硅片载片器的改装装置，可将多晶硅片载片器改装成单晶硅片载片器，用来生产单晶硅片。

[0011] 图1为多晶硅片载片器中的一个方框1的结构示意图。

[0012] 如图2所示，本发明PECVD用硅片载片器的改装装置2，包括板体3，所述板体3的角部以板体3的中心为中心呈辐射状向外延伸有四个支臂4，使所述板3体成十字形；各个相邻的支臂4的交叉处设置有过渡圆弧5。支臂4的宽度与多晶硅片载片器框的框杆宽度相等，过渡圆弧5的直径与单晶硅片载片器的圆角直径相等。

[0013] 如图3所示，本发明PECVD用硅片载片器的改装装置2安装于相邻的多晶硅片载片器的方框1的交叉处，将多晶硅片载片器转换为单晶硅片载片器，生产单晶硅片，可节省2/3的硅片载片器成本。拆除本发明后又可进行多晶硅片的生产。本发明装卸方便，使用效果好。