一种用于有害物质的燃烧式消除的装置，其包括被向内发火的有小孔的燃烧器(C32)的出射面所包围并包围着向外发火的有小孔的燃烧器(C42)的出射面的环形的燃烧区(C14)，用于将包含至少一种有害物质的气流喷射到燃烧区中的器件(C12)，以及用于将燃料气和氧化剂供应给有小孔的燃烧器以便在出射面处实现燃烧的器件。
1.一种用于有害物质的燃烧式消除的装置，该装置包括被向内发火的有小孔的燃烧器的出射面所包围的燃烧区，用于将包含至少一种有害物质的气流喷射到所述燃烧区中的器件，以及用于将燃料气和氧化剂供应至所述有小孔的燃烧器以便在所述出射面处实现燃烧的器件，所述有小孔的燃烧器具有开口端，燃烧产物经由该开口端从所述燃烧区中排出，并且，其特征在于还包括用于加热所述有小孔的燃烧器的至少所述开口端的第二燃烧器，所述第二燃烧器至少部分地被所述有小孔的燃烧器所包围。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第二燃烧器与所述有小孔的燃烧器大致同轴。
3.根据前述权利要求1-2中任一项所述的装置，其特征在于，所述第二燃烧器包括被所述向内发火的有小孔的燃烧器和所述燃烧区两者所包围的向外发火的有小孔的燃烧器，所述装置包括用于将燃料气和氧化剂供应至所述向外发火的有小孔的燃烧器的器件。
4.一种用于有害物质的燃烧式消除的装置，该装置包括被向内发火的有小孔的燃烧器的出射面所包围且包围着向外发火的有小孔的燃烧器的出射面的环形的燃烧区，用于将包含至少一种有害物质的气流喷射到所述燃烧区中的器件，以及用于将燃料气和氧化剂供应至所述有小孔的燃烧器以便在所述出射面处实现燃烧的器件。
5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述用于将燃料气和氧化剂供应至所述有小孔的燃烧器的器件布置成将相同的燃料气与氧化剂的混合物供应至两个有小孔的燃烧器。
6.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述用于将燃料气和氧化剂供应至所述有小孔的燃烧器的器件布置成将燃料气与氧化剂的第一混合物供应至所述向内发火的有小孔的燃烧器而将不同于所述第一混合物的燃料气与氧化剂的第二混合物供应至所述向外发火的有小孔的燃烧器。
7.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述有小孔的燃烧器各具有陶瓷的和/或金属纤维的多孔层。
8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述向内发火的有小孔的燃烧器具有不同于所述向外发火的有小孔的燃烧器的组成。
9.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，用于将气流喷射到所述燃烧区中的器件包括多个用于将所述气流喷射到所述燃烧区中的喷嘴组。
10.根据权利要求9所述的装置，其特征在于，所述环形的燃烧区绕着纵向轴线而延伸，并且，所述喷嘴组绕着所述纵向轴线大致等距地间隔开。
11.根据权利要求10所述的装置，其特征在于，各喷嘴组包括多个绕着相应的轴线而定位的喷嘴，该相应的轴线大致平行于所述纵向轴线且与所述纵向轴线间隔开地延伸。
12.根据权利要求9所述的装置，其特征在于，各喷嘴组包括至少三个喷嘴。
13.根据权利要求9所述的装置，其特征在于，所述装置包括至少四个喷嘴组。
14.根据权利要求9所述的装置，其特征在于，各喷嘴具有相应的突入到喷嘴中的用于将燃料气和氧化剂中的一种供应至穿过该喷嘴的气流的部分的喷枪。
15.根据权利要求14所述的装置，其特征在于，所述喷嘴绕着所述喷枪而延伸。
16.根据权利要求14所述的装置，其特征在于，所述喷嘴与所述喷枪大致同心。
17.根据权利要求9所述的装置，其特征在于，各喷嘴具有相应的绕着该喷嘴而延伸的用于将燃料气和氧化剂中的一种供应至穿过该喷嘴的气流的部分的套筒。
18.根据权利要求17所述的装置，其特征在于，所述套筒与所述喷嘴大致同心。
19.根据权利要求17所述的装置，其特征在于，所述喷嘴在所述套筒内终止。
20.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述向内发火的有小孔的燃烧器的长径比具有小于1的值。
21.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置包括在所述燃烧区下方并与所述燃烧区成流体连通的冷却塔，用于保持沿着所述冷却塔的内表面的水流的器件，以及连接至该塔的底部的气-液分离器。
22.一种用于有害物质的燃烧式消除的方法，其包括，将包含至少一种有害物质的气流喷射到由具有开口端的向内发火的有小孔的燃烧器的出射面所包围的燃烧区中，将燃料气和氧化剂供应至所述有小孔的燃烧器以便在所述出射面处实现燃烧，并且，经由所述有小孔的燃烧器的开口端将燃烧产物从所述燃烧区中排出，其特征在于，所述有小孔的燃烧器的开口端被第二燃烧器所加热，所述第二燃烧器至少部分地被所述有小孔的燃烧器所包围。
23.根据权利要求22所述的方法，其特征在于，所述第二燃烧器是向外发火的有小孔的燃烧器，该向外发火的有小孔的燃烧器被向内发火的有小孔的燃烧器所包围且燃料气和氧化剂被供应至该向外发火的有小孔的燃烧器以便在其出射面处实现燃烧。
24.一种用于有害物质的燃烧式消除的方法，其包括，将包含至少一种有害物质的气流喷射到被向内发火的有小孔的燃烧器的出射面所包围并包围着向外发火的有小孔的燃烧器的出射面的环形的燃烧区中，并且，将燃料气和氧化剂供应至所述有小孔的燃烧器以便在所述出射面处实现燃烧。
25.根据权利要求23或24所述的方法，其特征在于，向两种所述有小孔的燃烧器供应相同的燃料气与氧化剂的混合物。
26.根据权利要求23或24所述的方法，其特征在于，供应不同的燃料气与氧化剂的混合物至所述有小孔的燃烧器。
27.根据权利要求22所述的方法，其特征在于，燃料气和氧化剂中的一种在至所述燃烧区的喷射之前被供应给所述气流。
28.根据权利要求22所述的方法，其特征在于，所述气流经由所述燃烧区的敞开的底部而排出到具有这样的内表面的塔中，即，沿着该内表面保持有水流。
有害物质的燃烧式消除
[0001] 本发明涉及包含在气流(gas stream)内的有害物质(尤其使全球变暖的气体)的燃烧式消除(combustive destruction)，并且在从半导体或平板显示器制造业中所用的加工工具中排放出的气体的处理中被使用。
[0002] 诸如CF4，C2F6，NF3和SF6等的全氟化(PFC)气体(Perfluorinatedgases)普遍地被供应至在半导体和平板显示器制造业中使用的处理室以(例如)用于介电层的蚀刻和/或室的清洗等目的。在制造或清洗过程之后，通常有残余量的供应至处理室的气体被包含在从处理室中排放出的气体中。以上所提到的全氟化的化合物众所周知地为温室气体，因此，在将气体排放到大气中之前有必要将这些物质从废气中去除。
[0003] 文件EP-A-0 694 735描述了用于处理气流以便将有害物质从气流中去除的气体消减(abatement)装置，在该气体消减装置中，在气流经由喷嘴喷射到燃烧区中之前，燃料气与气流预混合，该燃烧区在侧向上被筒形的、向内发火的(inwardly-fired)、有小孔的(foraminous)气体燃烧器的出射面(exit surface)所包围。燃料气与空气同时地供应给包围着有小孔的燃烧器的风室(plenum)以便在出射面处实现无焰式燃烧，其中，穿过有小孔的燃烧器的空气的量不仅足够消耗供应给燃烧器的燃料，并且还足够消耗喷射到燃烧区的混合物中所有的可燃物。燃烧区的底部开口端(open end)连接至具有这样的内表面的冷却塔，该内表面覆有水流以便冷却离开燃烧区的气流。气流随后与冷却水分离并在被排放到大气中之前穿过洗涤器。
[0004] 已经发现，在气流进入燃烧区之前使气流与燃料气预混合可提高装置的PFC消减效率。尽管对于C2F6，SF6和NF3获得了较好的结果，然而该技术不适用于CF4的消减，原因在于燃烧区内可达到的最高温度。
[0005] 在文件EP-A-0 802 370中描述了以上技术的变型，在该变型中，预混合的燃料和气流经由与喷枪(lance)同心的喷嘴喷射到燃烧区中，该喷枪在混合物进入燃烧区之前将氧气引入混合物中。使用该技术对所有PFC气体(包括CF4)均取得了较好的结果。另一项变型在文件WO-A-2006/013355中作了描述，在该变型中，喷嘴同样被套筒(sleeve)包围，该套筒用于使燃料气可与气流一起喷射到燃烧区中，这一点相反于使气流与燃料预混合。通过改变供应给喷枪和套筒两者的气体的特性，可使用单个喷射化学计量(stoichiometry)对一定范围内的有害物质进行处理。已经发现，这种构型在处理含氟(F2)的气流时特别有效，并且不产生作为燃烧副产物的CF4。
[0006] 除了其它因素之外，这种装置的所有权成本(cost of ownership)依赖于供应给有小孔的气体燃烧器的燃料气的量。曾经用来降低燃料消耗的一种技术为缩小有小孔的燃烧器的长度并由此减小包围燃烧器的风室的容积以及为了在燃烧器的出射面处实现无焰式燃烧所需被供应给风室的燃料气和空气的量。
[0007] 有小孔的燃烧器的出射面发出红外辐射，该红外辐射有助于在燃烧区中保持高温。然而，由于降低的辐射交换，朝着有小孔的燃烧器的底部相对较冷的状况占优势。随着燃烧器的长度缩短，在其中相对较冷的状况占优势的燃烧器的比例增大。已经观察到，如果燃烧器的长径比(长度/内直径)降低到数值1之下，则从装置中排放出的气流中的CO和未燃烧燃料气的量开始增加，并且装置的消减性能开始下降。这种较差的性能归咎于有所增大的在相对较低的温度下运行的燃烧器的比例，从而，在实际上限制了有小孔的燃烧器的长径比可降低到的程度。
[0008] 影响气体消减装置的所有权成本的另一个因素为半导体及平板处理室的尺寸的增加。在这种元件的制造中存在有这样的趋势，即，在日益增大的基底上进行处理以便实现规模经济，其中，在处理步骤完成时将基底切块，以便产生多种所需尺寸的单独的元件。结果，处理室的尺寸和供应给处理室的气体的流速(flow rate)及随后从处理室中排放出的气体的流速同样增大，以便于适应较大的基底并产生可接受的处理速率。
[0009] 进入气体消减装置的气体量的增加可通过增加进口(废气经由这些进口喷射到燃烧区中)的数目及燃烧区的容量(volumn capacity)来适应。由于以上所讨论的原因，燃烧区的容量的增加无法单独通过增大有小孔的燃烧器的内直径(以便适应增加的废气流量所要求的增加的进口数目)来实现而不损害消减装置的性能。因此，当燃烧器的内直径增大时，燃烧区的长度以及由此有小孔的燃烧器的长度及包围着燃烧器的风室的容积也都增大，由此增加了装置的燃料气的消耗。
[0010] 至少本发明的优选实施例的目的在于提供这样的气体消减装置，该气体消减装置包括有小孔的气体燃烧器且能够仅以相对较低的燃料气的消耗来处理具有相对较高流速的气流。
[0011] 本发明提供了一种用于有害物质的燃烧式消除的装置，该装置包括被向内发火的有小孔的燃烧器的出射面包围的燃烧区，有小孔的燃烧器具有开口端，燃烧产物经由该开口端从燃烧区中排出，该装置还包括用于将包含至少一种有害物质的气流喷射到燃烧区中的器件(means)以及用于将燃料气和氧化剂供应至有小孔的燃烧器以便在出射面处实现燃烧(effect combustion)的器件，并且，其特征在于用于加热有小孔的燃烧器的至少开口端的第二燃烧器。
[0012] 提供用于加热有小孔的燃烧器的至少开口端的第二燃烧器可在使用期间显著地降低有小孔的燃烧器的开口端与该燃烧器的其余部分的温差。这使得有小孔的燃烧器的长径比可降低到为1的值以下，例如在0.4与1之间，而不会显著降低装置的消减性能。结果，装置的燃料气的消耗可降低而不会损害装置的性能。另外，装置的直径可增大以便于适应进口或其它的器件(气流经由其而喷射到燃烧区中)的有所增加的数目并由此增大装置的容量而不会损害装置的性能。
[0013] 第二燃烧器可至少部分地被该有小孔的燃烧器包围且可与该有小孔的燃烧器大致上同轴。在优选的实施例中，第二燃烧器包括被向内发火的有小孔的燃烧器和燃烧区两者所包围的向外发火的有小孔的燃烧器，装置包括用于将燃料气和氧化剂供应给向外发火的有小孔的燃烧器的器件。
[0014] 本发明还提供一种用于有害物质的燃烧式消除的装置，该装置包括被向内发火的有小孔的燃烧器的出射面包围并包围着向外发火的有小孔的燃烧器的出射面的环形的燃烧区，用于将包含至少一种有害物质的气流喷射到燃烧区中的器件，以及用于将燃料气和氧化剂供应给有小孔的燃烧器以便在出射面处实现燃烧的器件。
[0015] 用于将燃料气和氧化剂供应给有小孔的燃烧器的器件可布置成向两个有小孔的燃烧器供应相同的燃料气与氧化剂的混合物。备选地，用于将燃料气和氧化剂供应给有小孔的燃烧器的器件可布置成将燃料气与氧化剂的第一混合物供应给外部的、向内发火的有小孔的燃烧器，并将不同于第一混合物的燃料气与氧化剂的第二混合物供应给内部的、向外发火的有小孔的燃烧器。例如，如果所需的消减性能可以内燃烧器的出射面处的较低的表面燃烧速率(以kg-cal/小时/平方厘米燃烧器表面为单位进行测量)来获得，则供应给内燃烧器的混合物中所包含的燃料气的比例可低于供应给外燃烧器的混合物中的燃料气的比例，由此降低了成本。
[0016] 有小孔的燃烧器可各具有陶瓷的和/或金属纤维的多孔层(porouslayer)。外燃烧器可具有不同于内燃烧器的组成(composition)，或者两个燃烧器可具有相同的组成。
[0017] 用于将气流喷射到燃烧区中的器件可设有多个用于将气流喷射到燃烧区中的喷嘴组。这些喷嘴组可绕着纵向轴线(环形的燃烧区绕着该纵向轴线而延伸)大致等距地间隔开。
[0018] 各喷嘴组可包括多个绕着相应的轴线定位的喷嘴，该相应的轴线大致平行于该纵向轴线且与该纵向轴线相间隔开地延伸，并且，这些轴线可绕着环形燃烧区的纵向轴线大致等距地间隔开。
[0019] 各喷嘴组可包括至少三个喷嘴。这些喷嘴可绕着纵向轴线布置成使得喷嘴形成定位在离该轴线第一径向距离处的第一喷嘴分组以及定位在离该轴线第二径向距离处的第二喷嘴分组。装置可设有至少四个喷嘴组，优选地设有至少六个喷嘴组。这样可使装置设有至少18个喷嘴，这可使得进入到装置中的气流的流速可为至少900升/分钟。
[0020] 各喷嘴可具有突入到该喷嘴中的相应的喷枪以用于将燃料气和氧化剂中的一种供应给穿过该喷嘴的气流的部分。喷嘴可绕着喷枪延伸且优选大致与喷枪同心。
[0021] 各喷嘴还可以具有绕着该喷嘴延伸的相应的套筒以用于将燃料气和氧化剂中的一种供应给穿过该喷嘴的气流的部分。该套筒可与喷嘴大致同心且喷嘴可终止于套筒内。
[0022] 为各喷嘴提供喷枪和套筒可使燃烧区中的燃烧状况能够针对包含在气流中的特定的一种或多种有害物质而被优化。例如，喷枪可有选择地将氧化剂喷射到气流中，而套筒可有选择地将燃料喷射到气流中。由此，通过简单地接通及断开至喷枪和套筒的流体流(fluid flows)，可根据需要将燃料、氧化剂或燃料及氧化剂两者喷射到气流中。
[0023] 冷却塔可设在燃烧区下方并与其成流体连通，并且还设有用于保持沿着冷却塔内表面的水流的器件及连接至塔的底部的气-液分离器。这样可使离开燃烧区的燃烧产物流能够被冷却，并同时使包含在气流中的一些酸性气体(例如HF和HCL)能够被覆盖在塔的内表面上的水流吸收到溶液中，并使固体颗粒能够被该水流所捕获。
[0024] 本发明还提供了一种用于有害物质的燃烧式消除的方法，其包括：将包含至少一种有害物质的气流喷射到被具有开口端的、向内发火的有小孔的燃烧器的出射面所包围的燃烧区中，将燃料气和氧化剂供应给有小孔的燃烧器以便在出射面处实现燃烧，并经由有小孔的燃烧器的开口端将燃烧产物从燃烧区中排出，其特征在于，有小孔的燃烧器的开口端被第二燃烧器所加热。
[0025] 本发明还提供了一种用于有害物质的燃烧式消除的方法，其包括：将包含至少一种有害物质的气流喷射到被向内发火的有小孔的燃烧器的出射面所包围并包围着向外发火的有小孔的燃烧器的出射面的环形的燃烧区中，并将燃料气和氧化剂供应给有小孔的燃烧器以便在出射面处实现燃烧。
[0026] 与本发明的装置方面有关的上述特征同样适用于方法方面，反之亦然。
[0027] 本发明优选的特征以仅为示例性的方式参照附图而被加以描述，在附图中：
[0028] 图1显示了穿过用于有害物质的燃烧式消除的装置的截面；而
[0029] 图2显示了用于将气流喷射到图1的装置的燃烧区中的喷嘴的布置。
[0030] 首先参照图1，装置包括多个进口10(在该实例中为六个进口)，用于接收借助于真空泵送系统自半导体或平板显示器加工工具中泵送而来的气流。气流从各进口10输送给相应的喷嘴组12，该喷嘴组12将气流喷射到燃烧区14中。在该实例中，各喷嘴组12包括三个喷嘴，这些喷嘴绕着相应的轴线16而布置，该轴线16大致平行于燃烧区14的纵向轴线18而延伸。这些轴线16优选地大致相同地沿径向与纵向轴线18间隔开，并优选地绕着轴线18大致等角度地间隔开。在各组中，喷嘴12可根据需要地绕它们公共轴线16而布置，但是在显示在图2的优选的布置中，喷嘴中的一个位于与纵向轴线18相距第一径向距离r1的位置处而另两个喷嘴位于与纵向轴线18相距更大的第二径向距离r2的位置处。
[0031] 各喷嘴12位于形成于陶瓷板20中的相应的孔内，该陶瓷板20限定了燃烧室14的上表面(如所示)。为了使燃烧室14内的燃烧条件可针对包含在气流中的具体的有害物质而被优化，各喷嘴12绕着喷枪22延伸，并与喷枪22大致同心，该喷枪22从氧化剂进口24接收氧化剂(例如空气)供应。如在图1中所示，与单个气体进口10的喷嘴12相关的各个喷枪22可通过公共的氧化剂进口24而被供应以氧化剂。六个氧化剂进口24可方便地连接至共用的氧化剂源。
[0032] 各喷嘴12可选地被同心的第二喷嘴或套筒26所包围，各第二同心喷嘴或套筒26位于形成于板20中的相应的孔中。各套筒26这样地包围着相应的喷嘴12，即，使得喷嘴12的出口位于套筒26内。燃料气进口28将燃料气供应给限定于喷嘴12的外表面与套筒
26的内表面之间的环形的气体通道30，以便使燃料气(例如甲烷)可连同气流及已由喷枪
22喷射到气流中的任何氧化剂被输送到燃烧区14中。如在图1中所示，与单个气体进口
10的喷嘴12相关的各个套筒26可经过公共的燃料气进口28而被供应以燃料气。六个燃料气进口28可方便地连接至共用的燃料气源。
[0033] 控制器(未示出)可被设置用于控制供应给燃料气进口28和氧化剂进口24的燃料气和氧化剂的相对量以优化包含在气流中的(多种)有害物质的燃烧。例如，氧气经由喷枪22而被喷射到气流中，以用于有机硅烷的燃烧式消减(combustive abatement)。作为另一个实例，燃料气经由气体通道30而被喷射到气流中以提供所需的还原性物质(reducing species)，以用于包含在气流中的F2/NF3物质的燃烧式消减。可选地，氧气也可以经由喷枪22而被喷射到气流中以便产生这样的燃烧条件，该燃烧条件实现了自装置的低的残余碳氢化合物和低的一氧化碳的排放。
[0034] 返回到图1，在该实例中，燃烧区14是环形的且被外部的、向内发火的有小孔的燃烧器32(例如在文件EP-A-0 694 735中所描述的燃烧器)的出射面所包围。外燃烧器32具有沉积到或附连到环形的筛网(screen)36上的陶瓷的和/或金属纤维的多孔层34。风室容积38形成于燃烧器筛网36与筒形的外壳体40之间。燃料气(例如天然气或碳氢化合物)与空气的混合物通过一个或多个进口喷嘴(未示出)被引入风室容积38中，以使得，在使用期间，燃料气与空气的混合物将燃烧而无可见的火焰(在外燃烧器32的出射面处)。燃烧区14的下端(如所示)是敞开的，以便允许燃烧产物从区域14中输出。
[0035] 在使用期间，外燃烧器32的出射面发出红外辐射，该红外辐射有助于在燃烧区14中保持高的温度。为了避免与外燃烧器32的开口端处的有所减少的辐射交换相关的问题，设置有第二燃烧器以(至少)用于加热外燃烧器32的开口端。在该实例中，该第二燃烧器由内部的、向外发火的有小孔的燃烧器42所提供，该燃烧器42被环形的燃烧区14所包围，并大致上同心于该环形的燃烧区14。类似于外燃烧器32，内燃烧器42具有陶瓷的和/或金属纤维的多孔层44，该多孔层44可具有或者与外燃烧器32的多孔层34相同的成分或者与该多孔层不同的成分。如在图1中所示，多孔层44具有被燃烧区14包围的环形侧壁46，以及封闭内燃烧器42的端部的端壁48。多孔层44沉积于管状的筛网50上，该筛网50限定了内燃烧器42的筒形的风室容积52。燃料气(例如天然气或碳氢化合物)与空气的混合物通过进口54被引入该风室容积52中，使得燃料气与空气的该混合物在使用期间在内燃烧器44的出射面处以无可见火焰的方式燃烧。供应给筒形的风室容积52的燃料气与空气的混合物可与供应给外燃烧器32的环形风室容积38的燃料气与空气的混合物相同或不同。
[0036] 在使用中，包含一种或多种有害物质(例如卤化物)的气流供应给进口10。在气体喷射到环形的燃烧区14中之前，燃料气和氧化剂通过喷枪22和套筒26根据需要被加入到气流中。从燃烧器32，42的多孔纤维层中出来的过量的空气实现了燃烧区14中的有害物质的燃烧式消除。
[0037] 点火先导燃烧器设置用于点燃外燃烧器和内燃烧器32，42。先导燃烧器可以是具有火花塞以用于点燃供应给附加的喷嘴31的燃料气与氧化剂的混合物的常规类型的燃烧器，该附加喷嘴31在尺寸上与喷嘴12类似，并且也位于延伸穿过陶瓷板20的孔中。如在图2中所示，先导燃烧器可定位成靠近内燃烧器42以用于点燃内燃烧器42，内燃烧器42又点燃外燃烧器32。备选地，可设置有靠近外燃烧器32的第二先导燃烧器以用于点燃该燃烧器。(多个)先导燃烧器仅设置用于点燃外燃烧器和内燃烧器32，42的目的且因此可在这些燃烧器32，42被点燃之后立即熄灭。还如在图2中所示，视察孔31a可设置成靠近该喷嘴31。
[0038] 内燃烧器42的长度(在纵向轴线18的方向上测量)与外燃烧器42的长度大致相等。在一个实例中，各燃烧器32，42具有大致6英寸的长度，其中，内燃烧器42具有大约2.5英寸的外直径而外燃烧器具有大约12英寸的内直径。这样可使装置能够设有多达18个用于将气流喷射到环形燃烧区14中的喷嘴，这可使装置能够接收至少900升/分钟的气体。相比而言，在文件EP-A-0 694 735中所述的实例中，(单个)向内发火的有小孔的燃烧器具有3英寸的直径及12英寸的长度且由此具有小得多的容量。由于内燃烧器42对外部的、有小孔的燃烧器32的开口端的加热，可利用在从40至50升/分钟范围内的燃料消耗来达到带有低的CO和燃料气排放的良好的消减性能。
[0039] 燃烧区14的开口端连接至包括水冷却塔62以用于接收自燃烧区14流来的燃烧产物流的筒形的后燃烧室60。水经由管路(未示出)供应给包围着冷却塔62的环形槽64，使得水从槽64顶部溢流并沿着冷却塔62的内表面流下。水用于冷却燃烧产物流并防止固体颗粒沉积在冷却塔62的表面上。另外，燃烧产物流的任何酸性成分可被水吸收成为溶液。室60的长度可被加以选择以优化装置的消减性能。经由室60的出口66排出的气流和水可输送给分离器(未示出)以用于使水(现在包含固体颗粒和酸性物质)与气流分离。气流然后可被输送穿过湿洗涤器，以便在气流排放到大气中之前从气流中去除残余的酸性物质。
