冷阴极荧光管用电极以及使用该电极的冷阴极荧光管

摘要

本发明提供一种具有优良的抗溅射性以及加工性、并能降低管电压的冷阴极荧光管用电极以及使用该电极的冷阴极荧光管。冷阴极荧光管(1)具有由含有质量相对于总量为0.1～30％范围的Mo、以及Fe和不可避免的杂质的合金构成的冷阴极荧光管用电极(3)。上述合金理想的是含有质量相对于总量为0.1～10％范围的Mo，更理想的是含有质量相对于总量为1.5～5.5％范围的Mo，理想的是还含有Ru。或者，上述合金理想的是含有质量相对于总量为0.1～6％范围的Nb。

权利要求

1.一种冷阴极荧光管用电极，其特征在于：由合金构成，所述合金含有以质量计相对于总量为0.1～30％范围的Mo、以及Fe和不可避免的杂质，所述合金中，不包含除了作为不可避免的杂质含有的Ni以外的Ni。

2.根据权利要求1所述的冷阴极荧光管用电极，其特征在于：所述合金含有以质量计相对于总量为0.1～10％范围的Mo。

3.根据权利要求1所述的冷阴极荧光管用电极，其特征在于：所述合金含有以质量计相对于总量为1.5～5.5％范围的Mo。

4.根据权利要求1所述的冷阴极荧光管用电极，其特征在于：所述合金含有以质量计相对于总量为5％以下的Ru。

5.根据权利要求1所述的冷阴极荧光管用电极，其特征在于：所述合金含有以质量计相对于总量为0.1～6％范围的Nb。

6.一种冷阴极荧光管，其特征在于：具有由合金构成的冷阴极荧光管用电极，所述合金含有以质量计相对于总量为0.1～30％范围的Mo、以及Fe和不可避免的杂质，所述合金中，不包含除了作为不可避免的杂质含有的Ni以外的Ni。

7.根据权利要求6所述的冷阴极荧光管，其特征在于：所述合金含有以质量计相对于总量为0.1～10％范围的Mo。

8.根据权利要求6所述的冷阴极荧光管，其特征在于：所述合金含有以质量计相对于总量为1.5～5.5％范围的Mo。

9.根据权利要求6所述的冷阴极荧光管，其特征在于：所述合金含有以质量计相对于总量为5％以下的Ru。

10.根据权利要求6所述的冷阴极荧光管，其特征在于：所述合金含有以质量计相对于总量为0.1～6％范围的Nb。

说明书

冷阴极荧光管用电极以及使用该电极的冷阴极荧光管

技术领域

[0001] 本发明涉及一种冷阴极荧光管用电极以及使用该电极的冷阴极荧光管。技术背景

[0002] 冷阴极荧光管作为液晶显示器的背光源等，得到了广泛的应用。冷阴极荧光管具有细口径的玻璃管和一对冷阴极荧光管用电极，该玻璃管内部封入有Hg和Ar、Ne等惰性气体的同时，内壁面上涂敷有荧光体；所述一对冷阴极荧光管用电极沿管轴方向在该玻璃管内的两端相对而设。通过对一对冷阴极荧光管用电极间加高压，在冷阴极荧光管内产生电场，从非加热状态的阴极(冷阴极)放射出电子。接着，因该电子与Hg原子产生碰撞而使Hg原子被激发，该Hg原子从激发态向基态迁移时放射出的紫外线照射到荧光体上，由此，从该荧光体放射出可见光。

[0003] 在现有技术中，作为冷阴极荧光管用电极，已知有一种实质上仅由Mo构成的电极(参照日本公开专利特开2000-133201号公报)。所述冷阴极荧光管用电极虽然管电压较低能源效率较好，但存在有如下问题：即，由于Mo价格昂贵，制造成本较高，而且，因为Mo硬度很大，将其加工成电极比较困难。

[0004] 因此，作为为了抑制制造成本的同时并得到较良好的加工性而降低Mo含量的电极，已知有如下一种冷阴极荧光管用电极(参照日本公开专利特开2006-12505号公报)。即，该冷阴极荧光管用电极由含有质量相对于总量在6～35％范围的Mo、且剩余部分为Ni及不可避免的杂质的合金构成。

[0005] 而且，因Ni在塑性加工性上较为优良，在现有技术中，作为所述冷阴极荧光管用电极，实质上仅由Ni构成的电极被广泛使用，并且还提案有由多种Ni基合金构成的冷阴极荧光管用电极。例如，本申请发明人等提案了一种由含有Mo和Nb的Ni基合金构成的冷阴极荧光管用电极(参照日本公开专利特开2007-31832号公报)。

[0006] 但是，实质上由Ni构成的上述冷阴极荧光管用电极以及由Ni基合金构成的上述冷阴极荧光管用电极，构成该电极的Ni容易发生溅射，被溅射了的Ni原子与封入在玻璃管内的Hg原子反应，而消耗该Hg原子。其结果，实质上由Ni构成的上述冷阴极荧光管用电极以及由Ni基合金构成的上述冷阴极荧光管用电极具有其冷阴极荧光管的使用寿命变短、且对于作为环境对策的冷阴极荧光管内的低水银化方面来说是不合适的问题。

发明内容

[0007] 本发明的目的在于提供下述一种能够解决上述问题的冷阴极荧光管用电极以及使用了该电极的冷阴极荧光管，所述冷阴极荧光管用电极具有优良的抗溅射性以及加工性，且能够降低管电压。同时，本发明的目的还在于提供一种冷阴极荧光管用电极以及使用了该电极的冷阴极荧光管，所述冷阴极荧光管用电极能够抑制与水银的反应，实现作为环境对策的低水银化。

[0008] 本发明人等为了达成上述目的而进行了种种研究，注意到Fe可作为比Mo成本低、且比Ni更具抗溅射性的金属元素。然而，由于实质上仅由Fe构成的冷阴极荧光管用电极放电特性不充分，尝试以Fe为主要成份添加各种金属元素。结果发现，由包含规定范围的Mo的Fe基合金构成的冷阴极荧光管用电极，同时具有可与实质上仅由Mo构成的上述冷阴极荧光管用电极匹敌的放电特性、以及抗溅射性。

[0009] 于是，本发明人等通过在由含有Mo的Ni基合金构成的上述冷阴极荧光管用电极中，使用Fe来取代Ni后，惊异地发现抗溅射性能够得到提高，管电压能够得到降低。而且，发现虽然使用实质上仅由Fe构成的冷阴极荧光管用电极时会有生锈的问题，但通过使用由含有规定范围内的Mo、且剩余部分实质上为Fe的合金构成的冷阴极荧光管用电极，Mo优先地获取氧并形成被膜，结果可以抑制生锈。

[0010] 因此，为了达到上述目的，本发明的冷阴极荧光管用电极的特征在于，由含有质量相对于总量为0.1～30％范围的Mo、以及Fe和不可避免的杂质的合金构成。另外，本发明的冷阴极荧光管用电极最好是上述合金含有质量相对于总量为0.1～10％范围的Mo。

[0011] 此外，为了实现更低的管电压，本发明的冷阴极荧光管用电极最好是上述合金含有质量相对于总量为1.5～5.5％范围的Mo。

[0012] 在本发明的冷阴极荧光管用电极中，上述合金可以进一步含有质量相对于总量为5％以下的Ru。根据上述构成，能够进一步降低管电压。而且，根据该构成，上述合金中的Ru汲取氧而形成由氧化钌构成的被膜，由此能够进一步抑制该合金中的Fe的生锈。

[0013] 并且，本发明的冷阴极荧光管用电极最好由含有质量相对于总量为0.1～30％范围的Mo、0.1～6％范围的Nb、以及Fe和不可避免的杂质的合金构成。本发明的冷阴极荧光管用电极因上述合金含有上述范围的Nb，能够在提高抗溅射性的同时，抑制Fe基合金的生锈，提高耐腐蚀性。

[0014] 本发明的冷阴极荧光管用电极能够应用于冷阴极荧光管中。

附图说明

[0015] 图1是表示本实施方式的冷阴极荧光管和冷阴极荧光管用电极的说明图。

[0016] 图2是表示具有实施例一～实施例六的冷阴极荧光管用电极的冷阴极管的电阻率的图表。

[0017] 图3是表示具有实施例一的冷阴极荧光管用电极的冷阴极管的电流电压特性的图表。

[0018] 图4是表示具有实施例一～实施例六的冷阴极荧光管用电极的冷阴极管的管电压比的图表。

[0019] 图5是表示实施例一、实施例七的冷阴极荧光管的使用寿命的图表。

[0020] 图6是表示具有实施例八的冷阴极荧光管用电极的冷阴极荧光管的管电压比的图表。

[0021] 符号说明

[0022] 1，冷阴极荧光管；3，冷阴极荧光管用电极

具体实施方式

[0023] 接着，结合附图对本发明的实施方式进行更为详细的说明。图1中所示的本实施方式的冷阴极荧光管1用于液晶显示器的背光源等，例如具有直径为3mm、长度为300mm的玻璃管2以及安装在玻璃管2内两端的一对冷阴极荧光管用电极3。以下，有时会将冷阴极荧光管用电极3简述为电极3。

[0024] 玻璃管2在内壁面涂敷有其本身为公知的荧光体，并在管内部封入有Hg和Ar、Ne等惰性气体。

[0025] 冷阴极荧光管用电极3例如为一方呈开口的有底筒状体，其开口部的外径为2.1mm、筒壁厚0.15mm、长度为7.0mm。冷阴极荧光管用电极3虽然也可以设成薄板状，但通过形成为上述有底筒状体，而能够容易地放射出电子。

[0026] 一对冷阴极荧光管用电极3装设在玻璃管2内，各电极3的上述开口部沿玻璃管2的轴向互相呈相对。在冷阴极荧光管用电极3的底部，连接有封孔栓4，该封孔栓4由科瓦合金线形成，封堵于玻璃管2内并向玻璃管2外侧突出。在封孔栓4的、与冷阴极荧光管用电极3成反向一侧的端部，连接有由杜美丝形成的外部导线5。另外，封孔栓4上设置有与玻璃管2进行密封用的玻璃微珠(未被图示)。

[0027] 冷阴极荧光管用电极3由含有Fe、质量相对于总量为0.1～10％范围的Mo以及不可避免的杂质的合金构成。

[0028] 本实施方式中的冷阴极荧光管用电极3在构成该电极3的上述合金中，以Fe为基元素。由此，能够抑制从上述电极3表面以及该电极3溅射的溅射颗粒与玻璃管2内的Hg原子发生的反应，从而抑制Hg的消耗，能够延长冷阴极荧光管1的使用寿命。此外，本实施方式中的冷阴极荧光管用电极3在构成该电极3的上述合金中，通过将Fe作为基元素，能够得到作为电极的基本电气特性以及优良的加工性的同时，能够实现低成本。

[0029] 然而，构成冷阴极荧光管用电极3的上述合金如果实质上仅为Fe的话，其放电特性则并不充分。因而，本实施方式中的冷阴极荧光管用电极3在上述合金中添加上述含量范围的Mo。

[0030] 本实施方式中的冷阴极荧光管用电极3通过使上述合金含有上述含量范围的Mo，能够降低放电时的管电压，提高电子放射特性。另外，本实施方式中的冷阴极荧光管用电极3通过使上述合金含有上述含量范围的Mo，能够抑制Fe基合金的生锈。此外，本实施方式中的冷阴极荧光管用电极3通过使上述合金含有上述含量范围的Mo，能够抑制Fe基合金与Hg的反应。

[0031] 在构成冷阴极荧光管用电极3的上述合金中，当Mo的含量以质量计相对于总量不足0.1％时，则不能提高电子放射特性，无法降低管电压。同时，当Mo的含量以质量计相对于总量不足0.1％时，不能抑制Fe基合金的生锈，且不能充分抑制Fe基合金与Hg的反应。

[0032] 而另一方面，在上述合金中，当Mo的含量以质量计相对于总量超过10％时，在该合金中会形成反映脆性的Fe2Mo、Fe3Mo3等的金属间化合物，或者，由于因硬度增大而降低加工性，不能形成具有想要的形状的冷阴极荧光管用电极3。

[0033] 另外，为了更可靠地得到上述含有Mo的效果，在上述合金中，Mo的含量最好是质量相对于总量在1.5～5.5％的范围。

[0034] 再者，本实施方式中的冷阴极荧光管用电极3可以使用如下的合金而形成。即，该合金除了含有Fe、质量相对于总量在0.1～10％范围的Mo以及不可避免的杂质之外，还含有质量相对于总量在5％以下的Ru。在该情况下，能够进一步降低管电压以及延长冷阴极荧光管1的使用寿命。

[0035] 在上述合金中，Ru的含量如果为质量相对于总量超过5％，则无法进一步降低管电压的同时，成本也增加。在上述合金中，为了更可靠地实现因添加Ru而得到的降低管电压的效果，可将Ru的含量设定成质量相对于总量在0.1～5％的范围。

[0036] 此外，本实施方式中的冷阴极荧光管用电极3还可以使用如下的合金而形成。即，该合金除了含有Fe、质量相对于总量在0.1～30％范围的Mo以及不可避免的杂质之外，还含有质量相对于总量在0.1～6％范围的Nb。

[0037] 这时，在上述合金中，当Mo的含量以质量计相对于总量不足0.1％时，则不能提高电子放射特性，无法降低管电压。同时，在上述合金中，当Mo的含量以质量计相对于总量不足0.1％时，不能抑制Fe基合金的生锈，且不能充分抑制Fe基合金与Hg的反应。

[0038] 而另一方面，在上述合金中，当Mo的含量以质量计相对于总量超过30％时，无法降低冷阴极荧光管用电极3的管电压。并且，在上述合金中，当Mo的含量以质量计相对于总量超过30％时，在该合金中会形成反映脆性的Fe2Mo、Fe3Mo3等的金属间化合物，或者硬度增大。其结果，加工性降低，不能形成具有想要的形状的冷阴极荧光管用电极3。

[0039] 另外，本实施方式中的冷阴极荧光管用电极3通过使上述合金含有上述含量范围的Nb，能够降低放电时的管电压，提高电子放射特性。另外，电极3通过使上述合金含有上述含量范围的Nb，能够提高抗溅射性的同时，抑制Fe基合金的生锈，提高耐腐蚀性。

[0040] 这时，在上述合金中，当Nb的含量以质量计相对于总量不足0.1％时，则无法得到上述效果。

[0041] 另一方面，在上述合金中，当Nb的含量以质量计相对于总量超过6％时，在该合金中会形成反映脆性的Fe2Nb等的金属间化合物，或者因硬度增大而使加工性降低，不能形成具有想要的形状的冷阴极荧光管用电极3。

[0042] 接着，示出实施例以及比较例。

[0043] (实施例一)

[0044] 在本实施例中，首先，在真空熔解炉中将Fe和Mo构成的铸锭10kg熔解，调制成熔液，并将该熔液制成规定形状的块。该块由含有质量相对于总量为3.4％的Mo、且剩余部分为Fe和不可避免的杂质的合金构成。上述不可避免的杂质含有相对于上述合金的总量质量为0.10％以下的C、0.50％以下的Si、0.50％以下的Mn、0.05％以下的P和0.05％以下的S。

[0045] 接着，对上述块施以温度1100℃的热锻，得到厚度为20mm的板材。随后，通过对上述厚度为20mm的板材施以线切割，得到厚度为1mm的板材。然后，通过对该厚度为1mm的板材进行研磨，去除因上述线切割而产生的氧化皮。

[0046] 接着，对去除了上述氧化皮后的厚度为1mm的板材反复施以常温下的冷压延和氢气氛下的温度800℃的退火处理，通过按上述冷压延、上述退火处理的顺序反复进行该两项工序，得到厚度为0.2mm的薄板材。随后，对该厚度为0.2mm的薄板材施以10分钟的氢气氛下的温度800℃的退火处理后，冷却至常温，由此得到用于冷阴极荧光管用电极3的电极材料。

[0047] 随后，测定由本实施例得到的电极材料的维氏硬度，其值为156HV。结果示于表1中。

[0048] 然后，与本实施例完全相同，测定实质上仅由Ni构成且剩余部分是不可避免的杂质的电极材料(参考例一)的维氏硬度，其值为75HV。结果示于表1中。

[0049] 接着，利用四探针法测定由本实施例得到的电极材料的电阻率，其值为19.7μΩ·cm。结果示于表1及图2中。

[0050] 随后，与本实施例完全相同，测定参考例一中的电极材料，其值为4.6μΩ·cm。结果示于表1中。

[0051] 然后，使用本实施例中得到的电极材料，制成两枚纵长20mm、横宽20mm、厚0.2mm的试验片。

[0052] 首先，将第一枚试验片放置在空气中2160小时，确认是否生锈，其结果并没生锈。

[0053] 接着，将第二枚试验片放置在溅射装置的真空室内，在5.33×10-1Pa的Ar的气氛下，在供应电力150W的条件下连续施以溅射8小时。随后，通过测定连续溅射后的上述试验片减少的重量，计算出本实施例中得到的电极材料的溅射率。

[0054] 然后，关于参考例一的电极材料，与本实施例完全相同，制成试验片，通过测定连续溅射后的该试验片减少的重量，计算出电极材料的溅射率。将参考例一的电极材料的溅射率设定为100％时，本实施例的电极材料的溅射率相当于59％。结果示于表1中。在表1中，溅射率值越低，则表示因溅射而产生的消耗越少，抗溅射性优良。

[0055] 接着，使用本实施例中得到的电极材料，制成纵长15mm、横宽1.5mm、厚0.2mm的一对薄板状的冷阴极荧光管用电极3。

[0056] 接着，为了对本实施例中得到的冷阴极荧光管用电极3的性能进行评价，制成冷阴极管A，该冷阴极管A在内壁面没被涂敷荧光体的玻璃管内部，具有一对薄板状的冷阴极荧光管用电极3。考虑到随后检查有无从冷阴极荧光管用电极3溅射出原子以及与Hg的反应时的方便性，冷阴极管A采用了内壁面没有被涂敷荧光体的玻璃管。

[0057] 首先，为了制成冷阴极管A，将由科瓦合金线形成的封孔栓4连接到本实施例中得到的一对薄板状的冷阴极荧光管用电极3的端部，在封孔栓4的、与上述电极3成反向一侧的端部，连接有由杜美丝形成的外部导线5。封孔栓4上设置有与玻璃管进行密封用的玻璃微珠(未被图示)。

[0058] 接着，在直径为3mm、长为300mm的、内壁面没有被涂敷荧光体的的玻璃管内两端，装设了连接了封孔栓4的薄板状的冷阴极荧光管用电极3。这时，在轴向上设置一对冷阴极荧光管用电极3，以使连接有封孔栓4一侧的端部相互呈相对。

[0059] 随后，将Hg以及Ar气体和Ne气体封入到上述玻璃管内部后，将封孔栓4与该玻璃管密封。这时，使封孔栓4向上述玻璃管的外侧突出，从而得到冷阴极管A。

[0060] 然后，对制成的冷阴极管A的一对上述电极3之间，分别外加5mA、6mA、7mA、8mA的管电流，测定针对各个管电流而产生的管电压。将结果示于图3中。

[0061] 接着，制成作为参考例二的一对薄板状的冷阴极荧光管用电极，并制成具有该一对电极的冷阴极管B。其中，关于该电极，除了使用了实质上仅由Mo构成且剩余部分是不可避免的杂质的电极材料之外，其他的与本实施例完全相同。对制成的冷阴极管B的一对上述电极之间，分别外加5mA、6mA、7mA、8mA的管电流，测定针对各个管电流而产生的管电压。将结果示于图3中。并且，图4中示出了对上述冷阴极管A(具有本实施例的冷阴极荧光管用电极3)外加了8mA的管电流时产生的管电压相对于对上述冷阴极管B(具有参考例二的冷阴极荧光管用电极)外加了8mA的管电流时产生的管电压的比。

[0062] 接着，在6mA固定的条件下对上述冷阴极管A外加管电流200小时，使其放电后，打开该冷阴极管A，取出冷阴极荧光管用电极3。随后，为了检查有无从冷阴极荧光管用电极3溅射出原子以及与Hg的反应，通过电子探针显微分析仪(EPMA：Electron Probe Micro Analyzer)测定该电极3的表面组成以及上述玻璃管内壁面的组成。结果示于表2及表3中，表2表示了冷阴极荧光管用电极3的表面组成；表3表示上述玻璃管内壁面的组成。

[0063] 接着，使用本实施例中得到的电极材料，制成两对冷阴极荧光管用电极3，该电极3为一侧呈开口的有底筒状体，开口部的外径为2.1mm、筒壁厚0.15mm、长7.0mm。

[0064] 随后，为了对具有本实施例中得到的冷阴极荧光管用电极3的冷阴极荧光管1进行水银消耗量评价，制成了冷阴极荧光管1a，该冷阴极荧光管1a在内壁面涂敷有荧光体的玻璃管2的内部具有一对有底筒状体的冷阴极荧光管用电极3。

[0065] 首先，为了制成冷阴极管1a，将由科瓦合金线形成的封孔栓4连接到本实施例中得到的一对有底筒状体的冷阴极荧光管用电极3的端部，在该封孔栓4的、与该电极3成反向一侧的端部，连接有由杜美丝形成的外部导线5。封孔栓4上设置有与玻璃管进行密封用的玻璃微珠(未被图示)。

[0066] 接着，在直径为3mm、长为569mm的、内壁面涂敷有荧光体的玻璃管2内的两端，装设了连接了封孔栓4的有底筒状体的冷阴极荧光管用电极3。这时，在轴向上设置一对冷阴极荧光管用电极3，以使未连接有封孔栓4一侧的端部相互呈相对。

[0067] 随后，将Hg及Ar气体和Ne气体封入到玻璃管2内部。以使Ar气体以及Ne气体的合计压力达到5.3kPa的形式来实施上述封入。然后，对封孔栓4和玻璃管2进行密封。这时，使封孔栓4向上述玻璃管的外侧突出，从而得到冷阴极荧光管1a。

[0068] 接着，在8mA固定的条件下对被制成的本实施例的冷阴极荧光管1a外加管电流2000小时，使其放电。随后，用240℃的温度加热玻璃管2，并使用荧光管中水银测定装置，测定从玻璃管2放射出的水银量作为有效水银量，该测定值为3.64g。该有效水银量相当于上述放电时未被消耗的金属水银量。

[0069] 其后，用900℃的温度加热玻璃管2，测定从玻璃管2放射出的水银量作为消耗水银量，该测定值为0.04g。上述消耗水银量相当于上述放电时消耗的荧光体和附着于管壁上的化合物水银量。上述有效水银量和上述消耗水银量之和相当于制作冷阴极荧光管1a时被封入在玻璃管2内的总水银量。于是，根据下式(1)计算出上述放电时的水银消耗率。结果示于表4中。

[0070] 水银消耗率(％)＝{消耗水银量(g)/总水银量(g)}×100(％)…(1)[0071] 接着，制作一对有底筒状体的冷阴极荧光管用电极，关于该电极，除了使用了参考例一中的电极材料之外，其他与本实施例的完全相同，并制成参考例一的冷阴极荧光管，该冷阴极荧光管在内壁面涂敷有荧光体的、长569mm的玻璃管内部具有上述一对电极。

[0072] 随后，以与实施例一完全相同的方式，在8mA固定的条件下对被制成的本实施例的冷阴极荧光管外加管电流2000小时，使其放电，计算出该放电时的水银消耗率。结果示于表4中。

[0073] 然后，为了对具有本实施例中制成的冷阴极荧光管用电极3的冷阴极荧光管1进行使用寿命的评价，制成冷阴极荧光管1b，该冷阴极荧光管1b除了玻璃管2的长度为300mm之外，其他的与本实施例的冷阴极荧光管1a完全相同。

[0074] 接着，在8mA固定的条件下，使被制成的本实施例的冷阴极荧光管1b放电，测定此时的中心辉度。随后，对得出的结果进行莱曼(Lehmann)近似后，计算出冷阴极荧光管1b的中心辉度减半所需的时间。并将结果示于图5及表5中。

[0075] 接着，制作一对有底筒状体的冷阴极荧光管用电极，关于该电极，除了使用了参考例一中的电极材料之外，其他与本实施例的完全相同，并制成参考例一的冷阴极荧光管，该冷阴极荧光管在长300mm的玻璃管内部具有上述一对电极。

[0076] 随后，与本实施例完全相同，在8mA固定的条件下，使被制成的本实施例的冷阴极荧光管放电，测定放电时的中心辉度。随后，对得出的结果进行莱曼(Lehmann)近似后，计算出本实施例的冷阴极荧光管的中心辉度减半所需的时间。并将结果示于图5及表5中。

[0077] (实施例二)

[0078] 在本实施例中，制成了本实施例的电极材料。关于该电极材料，除了使用了含有质量相对于总量为6.6％的Mo、且剩余部分为Fe和不可避免的杂质的合金之外，其他的与实施例一的完全相同。

[0079] 接着，以与实施例一完全相同的方式，测定由本实施例得到的电极材料的维氏硬度，其值为200HV。结果示于表1中。

[0080] 随后，以与实施例一完全相同的方式，测定由本实施例得到的电极材料的电阻率，其值为26.0μΩ·cm。结果示于表1及图2中。

[0081] 然后，关于由本实施例得到的电极材料，以与实施例一完全相同的方式，制成试验片，通过测定连续溅射后的该试验片减少的重量，计算出该电极材料的溅射率。当将参考例一的电极材料的溅射率设定为100％时，本实施例的电极材料的溅射率相当于65％。结果示于表1中。

[0082] 其后，以与实施例一完全相同的方式，使用从本实施例中得到的电极材料制作一对薄板状的冷阴极荧光管用电极3，并制成冷阴极管C，该冷阴极管C在内壁面没被涂敷荧光体的玻璃管内部，具有上述一对电极3。

[0083] 接着，以与实施例一完全相同的方式，对制成的冷阴极管C的一对上述电极3之间外加8mA的管电流，测定产生的管电压。并且，图4中示出了上述冷阴极管C的管电压相对于上述冷阴极管B的管电压的比。

[0084] (实施例三)

[0085] 在本实施例中，制成了本实施例的电极材料。关于该电极材料，除了使用了含有质量相对于总量为9.9％的Mo且剩余部分为Fe以及不可避免的杂质的合金之外，其他的与实施例一的完全相同。

[0086] 接着，以与实施例一完全相同的方式，测定由本实施例得到的电极材料的维氏硬度，其值为291HV。结果示于表1中。

[0087] 随后，以与实施例一完全相同的方式，测定由本实施例得到的电极材料的电阻率，其值为26.2μΩ·cm。结果示于表1及图2中。

[0088] 然后，关于由本实施例得到的电极材料，以与实施例一完全相同的方式，制成试验片，通过测定连续溅射后的该试验片减少的重量，计算出该电极材料的溅射率。当将参考例一的电极材料的溅射率设定为100％时，本实施例的电极材料的溅射率相当于71％。结果示于表1中。

[0089] 其后，以与实施例一完全相同的方式，使用从本实施例中得到的电极材料制作一对薄板状的冷阴极荧光管用电极3，并制成冷阴极管D，该冷阴极管D在内壁面没被涂敷荧光体的玻璃管内部，具有上述一对电极3。

[0090] 接着，以与实施例一完全相同的方式，对制成的冷阴极管D的一对上述电极3之间外加8mA的管电流，测定产生的管电压。并且，图4中示出了上述冷阴极管D的管电压相对于上述冷阴极管B的管电压的比。

[0091] (实施例四)

[0092] 在本实施例中，制成了本实施例的电极材料。关于该电极材料，除了使用了含有质量相对于总量为0.17％的Mo且剩余部分为Fe以及不可避免的杂质的合金之外，其他的与实施例一的完全相同。

[0093] 接着，以与实施例一完全相同的方式，测定由本实施例得到的电极材料的维氏硬度，其值为113HV。结果示于表1中。

[0094] 随后，以与实施例一完全相同的方式，测定由本实施例得到的电极材料的电阻率，其值为11.0μΩ·cm。结果示于表1及图2中。

[0095] 然后，关于由本实施例得到的电极材料，以与实施例一完全相同的方式，制成试验片，通过测定连续溅射后的该试验片减少的重量，计算出该电极材料的溅射率。当将参考例一的电极材料的溅射率设定为100％时，本实施例的电极材料的溅射率相当于58％。结果示于表1中。

[0096] 其后，以与实施例一完全相同的方式，使用从本实施例中得到的电极材料制作一对薄板状的冷阴极荧光管用电极3，并制成冷阴极管E，该冷阴极管E在内壁面没被涂敷荧光体的玻璃管内部，具有上述一对电极3。

[0097] 接着，以与实施例一完全相同的方式，对制成的冷阴极管E的一对上述电极3之间外加8mA的管电流，测定产生的管电压。并且，图4中示出了上述冷阴极管E的管电压相对于上述冷阴极管B的管电压的比。

[0098] (实施例五)

[0099] 在本实施例中，制成了本实施例的电极材料。关于该电极材料，除了使用了含有质量相对于总量为1.7％的Mo且剩余部分为Fe以及不可避免的杂质的合金之外，其他的与实施例一的完全相同。

[0100] 接着，以与实施例一完全相同的方式，测定由本实施例得到的电极材料的维氏硬度，其值为149HV。结果示于表1中。

[0101] 随后，以与实施例一完全相同的方式，测定由本实施例得到的电极材料的电阻率，其值为15.4μΩ·cm。结果示于表1及图2中。

[0102] 然后，关于由本实施例得到的电极材料，以与实施例一完全相同的方式，制成试验片，通过测定连续溅射后的该试验片减少的重量，计算出该电极材料的溅射率。当将参考例一的电极材料的溅射率设定为100％时，本实施例的电极材料的溅射率相当于57％。结果示于表1中。

[0103] 其后，以与实施例一完全相同的方式，使用从本实施例中得到的电极材料制作一对薄板状的冷阴极荧光管用电极3，并制成冷阴极管F，该冷阴极管F在内壁面没被涂敷荧光体的玻璃管内部，具有上述一对电极3。

[0104] 接着，以与实施例一完全相同的方式，对制成的冷阴极管F的一对上述电极3之间外加8mA的管电流，测定产生的管电压。并且，图4中示出了上述冷阴极管F的管电压相对于上述冷阴极管B的管电压的比。

[0105] (实施例六)

[0106] 在本实施例中，制成了本实施例的电极材料。关于该电极材料，除了使用了含有质量相对于总量为5.0％的Mo且剩余部分为Fe以及不可避免的杂质的合金之外，其他的与实施例一的完全相同。

[0107] 接着，以与实施例一完全相同的方式，测定由本实施例得到的电极材料的维氏硬度，其值为175HV。结果示于表1中。

[0108] 随后，以与实施例一完全相同的方式，测定由本实施例得到的电极材料的电阻率，其值为23.8μΩ·cm。结果示于表1及图2中。

[0109] 然后，关于由本实施例得到的电极材料，以与实施例一完全相同的方式，制成试验片，通过测定连续溅射后的该试验片减少的重量，计算出该电极材料的溅射率。当将参考例一的电极材料的溅射率设定为100％时，本实施例的电极材料的溅射率相当于57％。结果示于表1中。

[0110] 其后，以与实施例一完全相同的方式，使用从本实施例中得到的电极材料制作一对薄板状的冷阴极荧光管用电极3，并制成冷阴极管G，该冷阴极管G在内壁面没被涂敷荧光体的玻璃管内部，具有上述一对电极3。

[0111] 接着，以与实施例一完全相同的方式，对制成的冷阴极管G的一对上述电极3之间外加8mA的管电流，测定产生的管电压。并且，图4中示出了上述冷阴极管G的管电压相对于上述冷阴极管B的管电压的比。

[0112] (比较例一)

[0113] 在本比较例中，制成了本比较例的电极材料。关于该电极材料，除了使用了实质上仅由Fe构成且剩余部分为不可避免的杂质的金属之外，其他的与实施例一的完全相同。

[0114] 接着，以与实施例一完全相同的方式，测定由本比较例得到的电极材料的维氏硬度，其值为110HV。结果示于表1中。

[0115] 随后，以与实施例一完全相同的方式，测定由本比较例得到的电极材料的电阻率，其值为10.1μΩ·cm。结果示于表1及图2中。

[0116] 然后，关于由本比较例得到的电极材料，以与实施例一完全相同的方式，制成试验片，通过测定连续溅射后的该试验片减少的重量，计算出该电极材料的溅射率。当将参考例一的电极材料的溅射率设定为100％时，本比较例的电极材料的溅射率相当于58％。结果示于表1中。

[0117] 其后，以与实施例一完全相同的方式，使用从本比较例中得到的电极材料制作一对薄板状的冷阴极荧光管用电极，并制成冷阴极管H，该冷阴极管H在内壁面没被涂敷荧光体的玻璃管内部，具有上述一对电极。

[0118] 接着，以与实施例一完全相同的方式，对制成的冷阴极管H的一对上述电极之间分别外加5mA、6mA、7mA、8mA的管电流，并分别测定针对各个管电流产生的管电压。结果示于图3中。并且，图4中示出了上述冷阴极管H的管电压相对于上述冷阴极管B的管电压的比。

[0119] 随后，以与实施例一完全相同的方式，通过EPMA测定上述冷阴极管H的冷阴极荧光管用电极的表面组成以及玻璃管内壁面的组成。结果示于表2及表3中。

[0120] (比较例二)

[0121] 在本比较例中，制成了本比较例的电极材料。关于该电极材料，除了使用了含有质量相对于总量为15.3％的Mo且剩余部分为Ni以及不可避免的杂质的合金之外，其他的与实施例一的完全相同。

[0122] 接着，以与实施例一完全相同的方式，测定由本比较例得到的电极材料的维氏硬度，其值为305HV。结果示于表1中。

[0123] 随后，以与实施例一完全相同的方式，测定由本比较例得到的电极材料的电阻率，其值为72.6μΩ·cm。结果示于表1中。

[0124] 然后，关于由本比较例得到的电极材料，以与实施例一完全相同的方式，制成试验片，通过测定连续溅射后的该试验片减少的重量，计算出该电极材料的溅射率。当将参考例一的电极材料的溅射率设定为100％时，本比较例的电极材料的溅射率相当于111％。结果示于表1中。

[0125] 其后，以与实施例一完全相同的方式，使用从本比较例中得到的电极材料制作一对薄板状的冷阴极荧光管用电极，并制成冷阴极管J，该冷阴极管J在内壁面没被涂敷荧光体的玻璃管内部，具有上述一对电极。

[0126] 接着，以与实施例一完全相同的方式，通过EPMA测定上述冷阴极管J的冷阴极荧光管用电极的表面组成以及玻璃管内壁面的组成。结果示于表2及表3中。

[0127] (比较例三)

[0128] 在本比较例中，制成了本比较例的电极材料。关于该电极材料，除了使用了含有质量相对于总量为16.0％的Mo且剩余部分为Fe以及不可避免的杂质的合金之外，其他的与实施例一的完全相同。

[0129] 接着，以与实施例一完全相同的方式，测定由本比较例得到的电极材料的维氏硬度，其值为490HV。结果示于表1中。

[0130] 随后，以与实施例一完全相同的方式，测定由本比较例得到的电极材料的电阻率，其值为33.6μΩ·cm。结果示于表1及图2中。

[0131] 然后，关于由本比较例得到的电极材料，以与实施例一完全相同的方式，制成试验片，通过测定连续溅射后的该试验片减少的重量，计算出该电极材料的溅射率。当将参考例一的电极材料的溅射率设定为100％时，本比较例的电极材料的溅射率相当于65％。结果示于表1中。

[0132] 其后，以与实施例一完全相同的方式，使用从本比较例中得到的电极材料制作一对薄板状的冷阴极荧光管用电极，并制成冷阴极管K，该冷阴极管K在内壁面没被涂敷荧光体的玻璃管内部，具有上述一对电极。

[0133] 接着，以与实施例一完全相同的方式，对制成的冷阴极管K的一对上述电极之间外加8mA的管电流，测定产生的管电压。并且，图4中示出了上述冷阴极管K的管电压相对于上述冷阴极管B的管电压的比。

[0134] (比较例四)

[0135] 在本比较例中，制成了本比较例的电极材料。关于该电极材料，除了使用了含有质量相对于总量为23.3％的Mo且剩余部分为Fe以及不可避免的杂质的合金之外，其他的与实施例一的完全相同。

[0136] 接着，以与实施例一完全相同的方式，测定由本比较例得到的电极材料的维氏硬度，其值为493HV。结果示于表1中。

[0137] 随后，以与实施例一完全相同的方式，测定由本比较例得到的电极材料的电阻率，其值为36.2μΩ·cm。结果示于表1及图2中。

[0138] 然后，关于由本比较例得到的电极材料，以与实施例一完全相同的方式，制成试验片，通过测定连续溅射后的该试验片减少的重量，计算出该电极材料的溅射率。当将参考例一的电极材料的溅射率设定为100％时，本比较例的电极材料的溅射率相当于83％。结果示于表1中。

[0139] 其后，以与实施例一完全相同的方式，使用从本比较例中得到的电极材料制作一对薄板状的冷阴极荧光管用电极，并制成冷阴极管L，该冷阴极管L在内壁面没被涂敷荧光体的玻璃管内部，具有上述一对电极。

[0140] 接着，以与实施例一完全相同的方式，对制成的冷阴极管L的一对上述电极之间外加8mA的管电流，测定产生的管电压。并且，图4中示出了上述冷阴极管L的管电压相对于上述冷阴极管B的管电压的比。

[0141] (表1)

[0142]

[0143] *：包含不可避免的杂质

[0144] 从表1可以明显看出，实施例一～实施例六的电极材料与比较例二的电极材料相比，维氏硬度较小，加工性优良。上述实施例一～实施例六的电极材料由含量以质量计相对于总量为0.17～9.9％范围的Mo、以及剩余部分实质上为Fe的合金构成。而上述比较例二的电极材料由Mo的含量以质量计相对于总量为15.3％范围、且剩余部分实质上为Ni的合金构成。一般对于金属材料来说，维氏硬度较低的材料冷塑加工性较为优良，维氏硬度要是在300HV以下，则容易进行冷加工。所以，从表1的结果可以明显看出，实施例一～实施例六的电极材料容易加工成实施例一的冷阴极荧光管用电极3。

[0145] 同时，从表1可以明显看出，比较例二的电极材料的溅射率比参考例一的电极材料的要大。上述比较例二的电极材料由Mo的含量以质量计相对于总量为15.3％范围、且剩余部分实质上为Ni的合金构成。上述参考例一的电极材料实质上由Ni构成。而另一方面，明显可以看出实施例一～实施例六的电极材料的溅射率比参考例一的电极材料的要小。上述实施例一～实施例六的电极材料由Mo的含量以质量计相对于总量为0.17～9.9％范围、且剩余部分实质上为Fe的合金构成。所以，可以明显得出实施例一～实施例六的电极材料的溅射率小，具备优良的抗溅射性。

[0146] 另外，从图2可以明显看出Mo含量越大电阻率越大，因而明显可以得出实施例一～实施例六的电极材料的放电特性较为优良的结论。特别是因为当Mo的含量相对于总量质量超过10％时电阻率急剧上升，因此可以明显看出在由含有Mo的Fe基合金构成的电极材料中，较为理想的是将Mo的含量设定为相对于总量质量在10％以下。

[0147] 此外，从图3可以明显看出，实施例一的冷阴极荧光管用电极3与实际上仅由Fe构成的比较例一的冷阴极荧光管用电极相比，尽管Mo的含量少，但管电压小。上述实施例一的冷阴极荧光管用电极3由Mo的含量以质量计相对于总量为3.4％、且剩余部分实质上为Fe的合金构成。同时，明显可以看出，使用实施例一的冷阴极荧光管用电极3时的管电压，与使用参考例二的实质上仅由Mo构成的冷阴极荧光管用电极时的管电压较为接近。所以，明显可知实施例一的冷阴极荧光管用电极3因管电压较低，能源效率较为良好。

[0148] 并且，从图4可以明显看出，外加管电流8mA时，实施例一～实施例六的冷阴极荧光管用电极3与比较例一的实质上仅由Fe构成的冷阴极荧光管用电极相比，管电压较小。上述实施例一～实施例六的冷阴极荧光管用电极3由Mo的含量以质量计相对于总量为
0.17～9.9％范围、且剩余部分实质上为Fe的合金构成。另外，明显可知：Mo的含量为相对于总量质量为1.5～5.5％范围、且剩余部分实质上为Fe的实施例一、五、六的冷阴极荧光管用电极3因管电压特别低，能源效率良好。

[0149] (表2)

[0150]

[0151] -：未检测出

[0152] (表3)

[0153]

[0154] -：未检测出

[0155] 另外，从表2可以明确知道，在冷阴极管A(具有实施例一的薄板状的冷阴极荧光管用电极3)中，该电极3的表面上并不存在Hg原子。并且，从表3可以明显看出，在上述冷阴极管A中，玻璃管的内壁面上有质量为3.3％的Fe原子，但并不存在Hg原子。这可以认为是由于冷阴极荧光管用电极3的表面上有Mo存在。所以，明显可知，在上述冷阴极管A中，虽然构成上述电极3的Fe原子有一点点被溅射，该电极3的表面和玻璃管的内壁面两处并没有形成由Fe和Hg构成的合金(汞合金)。由此，可以明确知道，冷阴极管A不会有因汞合金的形成而消耗玻璃管内的Hg，能够延长该冷阴极管A的使用寿命。

[0156] 另一方面，从表2可以明显看出，在冷阴极管H(具有比较例一的薄板状的冷阴极荧光管用电极)中，该电极的表面上存在质量为2.5％的Hg原子。所以，明显可知，在冷阴极管H中，虽然只是微量，但是Fe和Hg在上述电极表面上进行了反应。因此明确可知，冷阴极管H由于汞合金的形成，消耗了玻璃管内的Hg，该冷阴极管H的使用寿命变短。

[0157] 此外，从表3可知，在冷阴极管J(具有比较例二的薄板状的冷阴极荧光管用电极)中，在玻璃管内壁面上存在质量为1.5％的Mo原子、43.33％的Ni原子以及1.2％的Hg原子。所以，明显可知，在冷阴极管J中，构成上述电极的Mo原子以及Ni原子被大量溅射并附着于玻璃管的内壁面上，形成了由易与Hg起反应的Ni和Hg构成的汞合金。因此明确可知，冷阴极管J由于汞合金的形成，消耗了玻璃管内的Hg，该冷阴极管J的使用寿命变短。

[0158] 所以，可以明确知道：在内壁面涂敷荧光体的玻璃管2的内部具有上述各实施例一～实施例六的冷阴极荧光管用电极3的冷阴极荧光管1，因不会由于汞合金的形成而消耗玻璃管内的Hg，能够延长该荧光管1的寿命。

[0159] (表4)

[0160]

[0161] 从表4明确可知，实施例一的冷阴极荧光管用电极3与参考例一的实质上仅由Ni构成的冷阴极荧光管用电极相比，水银消耗率格外低。上述实施例一的冷阴极荧光管用电极3由Mo的含量以质量计相对于总量为3.4％、且剩余部分实质上为Fe的合金构成。所以可知，实施例一的冷阴极荧光管1的玻璃管2内的Hg的消耗非常少，能够延长该荧光管1的使用寿命。

[0162] (实施例七)

[0163] 在本实施例中，制成了本实施例的电极材料。关于该电极材料，除了使用了含有质量相对于总量为3.4％的Mo、0.6％的Ru、以及剩余部分为Fe和不可避免的杂质的合金之外，其他的与实施例一的完全相同。

[0164] 接着，以与实施例一完全相同的方式，测定由本实施例得到的电极材料的维氏硬度，其值为153HV。

[0165] 随后，以与实施例一完全相同的方式，测定由本实施例得到的电极材料的电阻率，其值为22.1μΩ·cm。

[0166] 然后，关于由本实施例得到的电极材料，以与实施例一完全相同的方式，制成试验片，通过测定连续溅射后的该试验片减少的重量，计算出该电极材料的溅射率。当将参考例一的电极材料的溅射率设定为100％时，本实施例的电极材料的溅射率相当于71％。

[0167] 其后，以与实施例一完全相同的方式，使用从本实施例中得到的电极材料制作一对有底筒状体的冷阴极荧光管用电极3，并制成冷阴极荧光管1，该冷阴极荧光管1在内壁面涂敷有荧光体的长300mm的玻璃管2内部，具有上述电极3。

[0168] 随后，除了使用了由本实施例得到的冷阴极荧光管1以外，其余与本实施例完全相同，在8mA固定的条件下，使被制成的本实施例的冷阴极荧光管1放电，测定放电时的中心辉度。随后，对得出的结果进行莱曼(Lehmann)近似后，计算出冷阴极荧光管1的中心辉度减半所需的时间。并将结果示于图5及表5中。

[0169] (表5)

[0170]

[0171] 根据图5以及表5可以推测出，实施例一的冷阴极荧光管1与参考例一的冷阴极荧光管相比，中心辉度减半所需的时间要长。而实施例七的冷阴极荧光管1与实施例一的冷阴极荧光管1相比，中心辉度减半所需的时间更长。所以，明显可知，特别是实施例七的冷阴极荧光管1能够延长使用寿命。

[0172] 上述实施例一的冷阴极荧光管1具有Mo的含量以质量计相对于总量为3.4％、且剩余部分实质上为Fe的冷阴极荧光管用电极3。上述实施例七的冷阴极荧光管1具有Mo的含量以质量计相对于总量为3.4％、Ru的含量以质量计相对于总量为0.6％、且剩余部分实质上为Fe的冷阴极荧光管用电极3。上述参考例一的冷阴极荧光管具有实质上仅由Ni构成的冷阴极荧光管用电极。

[0173] (实施例八)

[0174] 在本实施例中，首先，通过在真空熔解炉中将Fe、Mo以及Nb熔解，调制成熔液并进行铸造，制成约重10kg的铸锭。该铸锭由含有质量相对于总量为3.4％的Mo、1.6％的Nb、以及剩余部分为Fe和不可避免的杂质的合金构成。上述不可避免的杂质含有相对于上述合金的总量质量为0.10％以下的C、0.50％以下的Si、0.80％以下的Mn、0.05％以下的P以及0.05％以下的S。

[0175] 接着，制作本实施例的电极材料。除了使用了由本实施例得到的铸锭以外，其他与实施例一完全相同。

[0176] 随后，以与实施例一完全相同的方式，使用通过本实施例得到的电极材料制成试验片，并通过测定连续溅射后的该试验片减少的重量，计算出该电极材料的溅射率。

[0177] 然后，对于实质上仅由Ni构成、且剩余部分为不可避免的杂质的电极材料(参考例三)，与本实施例完全相同，制成试验片，通过测定连续溅射后的该试验片减少的重量，计算出该电极材料的溅射率。将参考例三的电极材料的溅射率设定为100％时，本实施例的电极材料的溅射率相当于69.1％。结果示于表6中。

[0178] 接着，为了对通过本实施例得到的电极材料的加工性进行评价，进行了拉伸试验。首先，对由本实施例得到的上述铸锭施以温度1100℃的热锻、在常温下冷压延、以及氢气氛下的800℃的热处理，并按上述顺序反复进行该三项工序。在氢气氛下的800℃的热处理进行10分钟后，通过常温冷却制成圆棒试验片。该圆棒试验片具有作为平行部的小径部和在该试验片两端的大径部，该平行部长24mm、直径为8mm。

[0179] 随后，对该圆棒试验片进行拉伸速度为24mm/秒的拉伸试验，测定其拉伸强度为2
502N/mm。并且，测定拉伸试验后的圆棒试验片的平行部的长度以及直径，计算出由拉伸试验所致的延伸率为34.9％、以及颈缩率59.6％。结果示于表7中。

[0180] 然后，对于参考例3的电极材料，以与本实施例完全相同的方式，制作圆棒试验片，并对其进行拉伸试验，测定拉伸强度的同时，计算出延伸率以及颈缩率。分别得出拉伸2
强度为361N/mm、延伸率为18.8％、颈缩率为6.4％。结果示于表7中。

[0181] 接着，以与实施例一完全的方式，使用由本实施例得到的电极材料制成两对本实施例的薄板状的冷阴极荧光管用电极3。

[0182] 随后，为了对由本实施例得到的冷阴极荧光管用电极3的性能进行评价，以与本实施例一完全相同的方式，制成冷阴极管M，该冷阴极管M在内壁面没被涂敷荧光体的直径为3mm、长为300mm的玻璃管内部，具有一对薄板状的上述电极3。

[0183] 然后，在管电流6mA固定的条件下，使上述冷阴极管M放电300小时后，开封该冷阴极管M，并取出冷阴极荧光管用电极3。接着，为了检查有无从冷阴极荧光管用电极3溅射出的原子以及与Hg的反应，通过EPMA测定冷阴极荧光管用电极3的表面组成以及玻璃管内壁面的组成。将在冷阴极荧光管用电极3的表面以及玻璃管的内壁上有无水银原子作为结果示于表8中。

[0184] 接着，除了使用了参考例三的电极材料之外，其余与本实施例完全相同的方式，制作一对薄板状的冷阴极荧光管用电极，制成具有该电极的冷阴极管N(参考例三)。对于得到的冷阴极管N，以与本实施例一完全相同的方式，通过EPMA测定冷阴极荧光管用电极的表面组成以及玻璃管内壁面的组成。结果示于表8中。

[0185] 为了对由本实施例得到的冷阴极荧光管用电极3的性能进行评价，以与本实施例一完全相同的方式，制成冷阴极荧光管1c，该冷阴极管1c在内壁面被涂敷了荧光体的、直径为3mm、长为300mm的玻璃管2内部，具有一对薄板状的上述电极3。

[0186] 接着，对制成的本实施例的冷阴极荧光管1的一对上述电极3之间分别外加5mA、6mA、7mA、8mA的管电流，并分别测定针对各个管电流产生的管电压。结果示于图6中。

[0187] 然后，除了使用了参考例一的电极材料以外，其他以与本实施例完全相同的方式，制成一对冷阴极荧光管用电极1，并制成具有该电极的冷阴极荧光管(参考例三)。对制成的冷阴极荧光管的一对上述电极之间分别外加5mA、6mA、7mA、8mA的管电流，并分别测定针对各个管电流产生的管电压。结果示于图6中。

[0188] (比较例五)

[0189] 在本比较例中，制成了本比较例的电极材料。关于该电极材料，除了使用了实质上仅由Mo构成、且剩余部分为不可避免的杂质的金属之外，其他的与实施例八的完全相同。

[0190] 接着，与实施例八完全相同，使用由本比较例得到的电极材料制成试验片，通过测定连续溅射后的该试验片减少的重量，计算出该电极材料的溅射率。将参考例三的电极材料的溅射率设定为100％时，本比较例的电极材料的溅射率相当于83.4％。结果示于表6中。

[0191] 随后，以与实施例八完全相同的方式，对由本比较例得到的电极材料制作圆棒试验片，并对其进行拉伸试验，测定拉伸强度的同时，计算出延伸率以及颈缩率。分别得出拉2
伸强度为335N/mm、延伸率为2.4％、颈缩率为1.6％。结果示于表7中。

[0192] 然后，以与实施例八完全相同的方式，使用由本比较例得到的电极材料，制成一对薄板状的冷阴极荧光管用电极，并制成冷阴极管P，该冷阴极管P在内壁面没被涂敷荧光体的玻璃管内部，具有上述一对电极。

[0193] 接着，对于上述冷阴极管P，以与实施例八完全相同的方式，通过EPMA测定冷阴极荧光管用电极的表面组成以及玻璃管内壁面的组成。结果示于表8中。

[0194] 随后，以与实施例八完全相同的方式，使用由本比较例得到的电极材料，制成一对薄板状的冷阴极荧光管用电极，并制成冷阴极荧光管，该冷阴极荧光管在内壁面涂敷有荧光体的玻璃管内部，具有上述一对电极。对制成的冷阴极荧光管的一对上述电极之间分别外加5mA、6mA、7mA、8mA的管电流，并分别测定针对各个管电流产生的管电压。结果示于图6中。

[0195] (比较例六)

[0196] 在本比较例中，制成了本比较例的电极材料。关于该电极材料，除了使用了实质上仅由Fe构成、且剩余部分为不可避免的杂质的金属之外，其他的与实施例八的完全相同。

[0197] 然后，以与实施例八完全相同的方式，使用由本比较例得到的电极材料，制成一对薄板状的冷阴极荧光管用电极，并制成冷阴极管Q，该冷阴极管Q在内壁面没被涂敷荧光体的玻璃管内部，具有上述一对电极。

[0198] 接着，以与实施例八完全相同的方式，通过EPMA测定冷阴极荧光管用电极的表面组成以及玻璃管内壁面的组成。结果示于表8中。

[0199] 随后，以与实施例八完全相同的方式，使用由本比较例得到的电极材料，制成一对薄板状的冷阴极荧光管用电极，并制成冷阴极荧光管，该冷阴极荧光管在内壁面涂敷有荧光体的玻璃管内部，具有上述一对电极。对制成的冷阴极荧光管的一对上述电极之间分别外加5mA、6mA、7mA、8mA的管电流，并分别测定针对各个管电流产生的管电压。结果示于图6中。

[0200] (表6)

[0201]

[0202] *：包含不可避免的杂质

[0203] 从表6明显可知，实施例八的电极材料与比较例五的实质上由Mo构成的电极材料相比，溅射率较小，具有优良的抗溅射性。上述实施八的电极材料由Mo的含量以质量计相对于总量为3.4％、Nb的含量以质量计相对于总量为1.6％、且剩余部分实质上为Fe的合金构成。

[0204] (表7)

[0205]

[0206] *：包含不可避免的杂质

[0207] 另外，从表7可以明显看出，实施例八的电极材料与比较例五的相比拉伸强度较大，具有优良的强度。此外，从表7可以明显得出，实施例八的电极材料与比较例五的相比，延伸率以及颈缩率特别大，具有优良的加工性。

[0208] (表8)

[0209]

[0210] *：包含不可避免的杂质

[0211] 从表8可以明显看出，在冷阴极管M(具有实施例八的薄板状的冷阴极荧光管用电极3)中，在该电极3的表面以及玻璃管的内壁面上不存在Hg原子。所以，明显可知，在上述冷阴极管M中，虽然构成冷阴极荧光管用电极3的Fe原子有一点点被溅射，但在该电极3的表面以及玻璃管的内壁面两处没有形成由Fe和Hg构成的合金(汞合金)。由此可以明确得知，上述冷阴极管M不会因形成汞合金而消耗玻璃管内的Hg，从而，能够延长该冷阴极管M的使用寿命。

[0212] 而另一方面，明显可知，在冷阴极管N(具有参考例三的薄板状的冷阴极荧光管用电极)中，该电极表面上有质量为87％的Hg原子，玻璃管的内壁面上有质量为21％的Hg原子。所以，明显可知，在上述冷阴极管N中，构成上述冷阴极荧光管用电极的Ni原子被溅射，在该电极表面上，形成了由Ni与Hg构成的汞合金。由此可以明确得知，上述冷阴极管N因形成汞合金而消耗了玻璃管内的Hg，会缩短该冷阴极管N的使用寿命。

[0213] 而且，明显可知，在冷阴极管Q(具有比较例六的薄板状的冷阴极荧光管用电极)中，虽然在玻璃管的内壁面上不存在Hg原子，但在该电极表面上存在质量为2.5％的Hg原子。所以，明显可知，在上述冷阴极管Q中，构成上述冷阴极荧光管用电极的Fe原子被溅射，在该电极表面上，形成了一点点由Fe和Hg构成的合金。由此可以明确得知，上述冷阴极管Q因形成汞合金而消耗了玻璃管内的Hg，与冷阴极管M相比，该冷阴极管Q的使用寿命变短。

[0214] 另外，从图6明显可知，实施例八的冷阴极荧光管用电极3与实质上由Ni构成的参考例三的冷阴极荧光管用电极相比，Mo的含量虽然少至质量相对于总量只有3.4％，但是管电压较小。并且还明显可知，使用实施例八的冷阴极荧光管用电极3时的管电压，与使用比较例五的实质上由Mo构成的冷阴极荧光管用电极时的管电压较为接近。所以，明显可知实施例八的冷阴极荧光管用电极3管电压较低，能源效率较为良好。