镜头校验方法及系统

摘要

本发明提供镜头校验方法及系统，以提高校验效率及节约人力资源。该方法包括：获得待检测die的规定检测区域所对应的位置信息，采用待校验Camera检测待检测基元，得到实际检测区域及该区域对应的位置信息和校正特征参数信息，获得调整参数信息，以及根据所述位置信息、校正特征参数信息及调整参数信息，调整实际检测区域，使其与规定检测区域重合。

权利要求

1.一种镜头校验方法，其特征在于，包括：获得待检测基元的规定检测区域所对应的位置信息，所述基元是封装前的集成电路；

采用待校验镜头检测待检测基元，得到实际检测区域及该区域对应的位置信息和校正特征参数信息；

获得调整参数信息，所述获得调整参数信息具体包括：先获得待检测基元的规定检测区域所对应的校正特征参数信息；然后根据规定检测区域和实际检测区域各自的位置信息，和各自的校正特征参数信息，获得调整参数信息；

根据所述位置信息、校正特征参数信息及调整参数信息，调整实际检测区域，使其与规定检测区域重合。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述位置信息为区域内基准点的位置信息；

以及所述获得调整参数信息具体包括：

计算实际检测区域和规定检测区域的校正特征参数的差值；

将所述差值确定为调整参数信息。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述位置信息为区域内基准点的位置信息；

以及所述获得调整参数信息具体包括：

计算实际检测区域基准点位置和规定检测区域基准点位置的偏移量；

将所述偏移量，确定为调整参数信息。

4.如权利要求1～3中任一项所述的方法，其特征在于，还包括在得到校正特征参数前，选择校正特征参数的步骤。

5.一种镜头校验系统，其特征在于，包括：第一信息获得单元，用于获得待检测基元的规定检测区域所对应的位置信息，所述基元是封装前的集成电路；

第二信息获得单元，用于采用待校验镜头检测待检测基元，得到实际检测区域及该区域对应的位置信息和校正特征参数信息；

调整参数获得单元，用于获得调整参数信息，所述调整参数获得单元具体包括：用于获得待检测基元的规定检测区域所对应的校正特征参数信息的子单元；以及用于根据规定检测区域和实际检测区域各自的位置信息，和各自的校正特征参数信息，获得调整参数信息的子单元；

校验单元，用于根据所述位置信息、校正特征参数信息及调整参数信息，调整实际检测区域，使其与规定检测区域重合。

6.如权利要求5所述的系统，其特征在于，所述位置信息为区域内基准点的位置信息；

以及所述获得调整参数信息的子单元，具体包括：用于计算实际检测区域和规定检测区域的校正特征参数的差值的子单元；

用于将所述差值确定为调整参数信息的子单元。

7.如权利要求5所述的系统，其特征在于，所述位置信息为区域内基准点的位置信息；

以及所述获得调整参数信息的子单元，具体包括：用于计算实际检测区域基准点位置和规定检测区域基准点位置的偏移量的子单元；

用于将所述偏移量，确定为调整参数信息的子单元。

8.如权利要求5～7中任一项所述的系统，其特征在于，还包括用于在得到校正特征参数前，选择校正特征参数的单元。

说明书

镜头校验方法及系统

技术领域

[0001] 本发明涉及集成电路制造领域，尤其涉及镜头校验方法及系统。

背景技术

[0002] 随着技术进步，集成电路集成度迅速提高，这对集成电路制造提出了更高的要求。为保证制造出的集成电路符合规定规格，就需要对封装前的集成电路，即基元(die)进行检测，其检测原理为：使用镜头(Camera)检测规定区域，判断检测得到的图像是否符合要求，如果符合，则die合格，否则die不合格。

[0003] 在实际生产过程中，很可能由于Camera污染、损坏等原因需要更换Camera，由于不同Camera的像素值(pixel value)及光学公差(optics tolerance)有细微差别，因此合格的die在使用更换后的Camera检测时，可能会得到die不合格的检测结果，从而导致检测结果错误。

[0004] 图1～2分别为像素值不同及光学公差不同导致实际检测区域变动的示意图；图中规定检测区域，可以是die的边界，结合该图可知，像素值不同会使得在检测时，不仅检测规定的区域，而且还检测了额外区域；而光学公差不同会使得实际检测区域相对于规定检测区域的范围有偏移，这都可能导致检测结果失误。

[0005] 图3为像素值及光学公差不同带来的检测结果失误的示意图。图3中圆圈所指示的线条比其他线条粗，即该合格die的检测结果不合格，该图表明由于更换后的Camera像素值不同及光学公差不同，导致该合格die的检测结果为不合格。

[0006] 为避免上述检测失误的问题，在更换Camera后，现有技术中将通过人工对采用该更换后的Camera进行调焦等校验处理，即通过人工调整实际检测区域，使实际检测区域与规定检测区域重合。但是由于在一个合格的die出生产线前，大约有100多个检测步骤，这使得需要调整的实际检测区域数目众多，而且每一个实际检测区域的校验时间约在30～60分钟，因此用人工进行校验调整存在费时费力，校验效率低且浪费人力资源的问题。

发明内容

[0007] 本发明提供镜头校验方法及系统，以提高校验效率及节约人力资源。

[0008] 本发明提出了镜头校验方法，包括步骤：获得待检测die的规定检测区域所对应的位置信息，采用待校验Camera检测待检测基元，得到实际检测区域及该区域对应的位置信息和校正特征参数信息，获得调整参数信息，以及根据所述位置信息、校正特征参数信息及调整参数信息，调整实际检测区域，使其与规定检测区域重合。

[0009] 本发明还提出镜头校验系统，包括：第一信息获得单元，用于获得待检测基元的规定检测区域所对应的位置信息；第二信息获得单元，用于采用待校验镜头检测待检测基元，得到实际检测区域及该区域对应的位置信息和校正特征参数信息；调整参数获得单元，用于获得调整参数信息；校验单元，用于根据所述位置信息、校正特征参数信息及调整参数信息，调整实际检测区域，使其与规定检测区域重合。

[0010] 本发明通过获得待检测die的规定检测区域所对应的位置信息，采用待校验Camera检测待检测基元，得到实际检测区域及该区域对应的位置信息和校正特征参数信息，获得调整参数信息，以及根据所述位置信息、校正特征参数信息及调整参数信息，调整实际检测区域，使其与规定检测区域重合，实现了该Camera的自动校验，从而解决了现有技术中人工校验费时费力，降低校验效率及浪费人力资源的问题，提高了校验效率并节约了人力资源。

附图说明

[0011] 图1为像素值不同导致实际检测区域变动的示意图；

[0012] 图2为光学公差不同导致实际检测区域变动的示意图；

[0013] 图3为像素值及光学公差不同带来的检测结果失误的示意图；

[0014] 图4为本发明实施例提出的Camera校验方法的流程图；

[0015] 图5为本发明实施例提出的Camera校验系统的结构示意图。

具体实施方式

[0016] 现有技术基于人工来校验更换后的Camera，使其实际检测区域与规定检测区域保持重合，因此存在费时费力，导致校验效率低且浪费人力资源的问题。为解决上述问题，本发明实施例提出可以自动校验调整更换后的Camera，使其实际检测区域与规定检测区域保持重合，以提高校验效率并节约人力资源。

[0017] 根据背景技术的分析可知，需要校验更换后Camera的原因在于：更换后Camera的像素值及光学公差不同，使得其实际检测区域和规定检测区域有差别，从而导致检测结果有误，因此如果能够在更换Camera后，通过自动校验，调整实际检测区域，使其与规定检测区域重合，则就实现更换后Camera的自动校验。

[0018] 为将实际检测区域与规定检测区域调整重合，本发明实施例提出可以采用如下思路进行调整：比较待检测die的规定检测区域和采用更换后Camera得到的实际检测区域，获得所述实际检测区域与规定检测区域的差别，然后再根据所述差别，调整实际检测区域，使其与规定检测区域重合，从而实现更换后Camera的自动校验。

[0019] 基于上述思路，本发明实施例提出如下Camera校验方法，以提高校验效率及节约人力资源。

[0020] 图4为本发明实施例提出的Camera校验方法的流程图，结合该图可知，所述Camera校验方法包括：

[0021] 步 骤1，根 据 待 检 测die的 初 始 产 品 设 置 信 息 (original product setupinformation)，获得待检测die的规定检测区域所对应的位置信息及校正特征(alignment characteristic)参数信息；

[0022] 步骤2，采用待校验Camera检测所述待检测die，得到实际检测区域及其对应的位置信息和校正特征参数信息；其中所述待校验Camera通常为更换后的Camera。

[0023] 步骤3，根据所述规定检测区域和实际检测区域各自的位置信息，和各自的校正特征参数信息，获得调整参数；

[0024] 其中检测区域的位置信息可以是检测区域基准点的位置信息，所述基准点有多种定义方式，一般是选择实际检测区域和规定检测区域内有相同特征的点，该特征不会或较少受到更换Camera的影响。例如将规定检测区域中与实际检测区域像素值相等的一个点作为基准点，其中如果有多个像素值相等的点，则可以根据实际实施情况选择一个作为基准点；或者将两个区域的中心点作为基准点等。

[0025] 步骤4，根据获得的调整参数，调整实际检测区域，使其与规定检测区域重合。

[0026] 其中步骤3中，调整参数可以通过如下方式获得：计算实际检测区域和规定检测区域的校正特征参数的差值，将所述差值确定为调整参数信息。

[0027] 此外还可以通过这种方式获得：计算实际检测区域和规定检测区域的基准点位置的偏移量，将所述偏移量确定为调整参数信息。

[0028] 采用哪些参数作为所述校正特征参数可以根据实际实施情况确定，由于实际上此处校正特征参数的目的在于使实际检测区域和规定检测区域重合，因此只要能够有助于该目的实现的参数均可以用作校正特征参数。为此，还可以在在得到校正特征参数前，有选择校正特征参数的步骤，以根据不同类型的检测区域，选择更有效的校正特征参数，以进一步提高校验效率，当然由于可以有默认的校正特征参数，因此此处选择校正特征参数是可选的。下面给出校正特征参数的例子，但这并非限定校正特征参数。例如以基准点为准，将实际检测区域及规定检测区域的边界点的坐标作为校正特征参数，此时对应的调整参数为各个边界点的坐标差值。

[0029] 通过上述步骤，即可实现将实际检测区域和规定检测区域重合，即实现了更换后Camera的自动校验，提高了校验效率并节约了人力资源。

[0030] 此外对于不同的die，由于更换后Camera对检测区域的影响大部分情况下是相同的，即获得的调整参数是一定的，因此在检测die时，并不是对于每个die都需要通过步骤3来获得调整参数。通常情况下，在执行步骤2后，通过使用预先存储的，已获得的调整参数直接执行步骤4，即可实现自动校验，所以对于大部分待检测的die来说，步骤3是可选的，可以直接利用已有的调整参数，调整实际检测区域，实现这些die的自动校验。这样就无需在检测每一个die时都执行步骤3，从而节约了处理资源，而且进一步提高了校验效率。当然如果在检测每个die时都执行步骤3也是可以的，这里并不限制。另外如果不执行步骤3，则步骤1只需获得规定区域的位置信息即可，即步骤1中可以只是获得待检测die的规定检测区域所对应的位置信息。

[0031] 下面给出上述方法的一个实施例，该实施例中，实际检测区域和规定检测区域的形状为矩形，基准点为实际检测区域和规定检测区域像素值相等的一个点，校正特征参数为矩形四个顶角相对于基准点的坐标。则在更换Camera后，校验过程为：首先获得待检测die的规定检测区域的基准点位置信息，及相对于基准点的四个顶角的坐标信息；然后检测待检测die，得到实际检测区域及其对应的基准点位置信息和四个顶角的坐标信息；再计算实际检测区域和规定检测区域各个顶角的坐标差值，最后根据基准点坐标信息，将基准点和基准点重合，再根据坐标差值，调整实际检测区域的边界，使其与规定检测区域重合，从而自动实现了更换后Camera的校验，提高了校验效率及节约了人力资源。

[0032] 本发明实施例还提出了Camera的校验系统，以实现自动校验更换后的Camera，提高校验效率及节约人力资源。

[0033] 图5为本发明实施例提出的Camera校验系统的结构示意图，结合该图可知，所述校验系统包括：

[0034] 第一信息获得单元10，用于获得待检测基元的规定检测区域所对应的位置信息；

[0035] 第二信息获得单元20，用于采用待校验镜头检测待检测基元，得到实际检测区域及该区域对应的位置信息和校正特征参数信息；

[0036] 调整参数获得单元30，用于获得调整参数信息；

[0037] 校验单元40，用于根据所述位置信息、校正特征参数信息及调整参数信息，调整实际检测区域，使其与规定检测区域重合。

[0038] 如果如上所述用基准点的位置信息作为检测区域的位置信息，则所述调整参数单元30可以包括如下子单元：用于计算实际检测区域和规定检测区域的校正特征参数的差值的子单元；以及用于将所述差值确定为调整参数信息的子单元。

[0039] 此外所述调整参数单元30也可以包括子单元：用于计算实际检测区域和规定检测区域的基准点位置的偏移量的子单元；以及用于将所述偏移量确定为调整参数信息的子单元。

[0040] 由于上述校正特征参数可以根据实际实施情况确定，只要能够有助于该目的实现的参数均可以用作校正特征参数，因此，所述校验系统还可以设置用于在得到校正特征参数前，选择校正特征参数的单元，以根据不同类型的检测区域，选择出更有效的校正特征参数，以进一步提高校验效率，当然由于可以有默认的校正特征参数，因此此处该用于在得到校正特征参数前选择校正特征参数的单元是可选的。

[0041] 此外对于不同的die，由于更换后Camera对检测区域的影响大部分情况下是相同的，即获得的调整参数是一定的，因此所述Camera校验系统并不一定需要包括调整参数获得单元30，所以该单元是可选的。当然如果每个die都采用包括上述四个单元的校验系统校验，则其校验准确度将大大提高。另外如果不包括调整参数获得单元30，则第一信息获得单元10也就可以不获得所述规定区域的校正特征参数信息，即获得该信息是可选的。

[0042] 显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。