涂敷膜形成方法以及涂敷膜形成装置

摘要

本发明提供一种涂敷膜形成方法，将要形成涂敷膜的涂敷对象物设置在浸渍槽内，将用于形成上述涂敷膜的涂敷液送入上述浸渍槽内，在使上述涂敷液的液面上升到上述涂敷对象物的要形成涂敷膜的部位的最上部浸泡在上述涂敷液之后，通过将上述涂敷液向上述浸渍槽外排出而使上述涂敷液的液面降下去，从而在上述涂敷对象物上形成涂敷膜。

权利要求

1.一种涂敷膜形成方法，其特征在于，

将要形成涂敷膜的多孔的涂敷对象物，以上述涂敷对象物的上端外周面及下端外周面与浸渍槽的内周面之间被密封部件密封的状态设置在上述浸渍槽内，对由上述浸渍槽的内周面、上述涂敷对象物的外周面和上述密封部件形成的空间供给加压气体，使所述加压气体流入所述涂敷对象物的细孔内而对所述细孔内加压的同时，将用于形成上述涂敷膜的涂敷液送入上述浸渍槽内，在使上述涂敷液的液面从上述浸渍槽的下部上升到上述涂敷对象物的要形成涂敷膜的部位的最上部浸泡在上述涂敷液之后，通过将上述涂敷液向上述浸渍槽外排出而使上述涂敷液的液面降下去，从而在上述涂敷对象物上形成涂敷膜。

2.根据权利要求1所述的涂敷膜形成方法，其特征在于，上述涂敷液向浸渍槽内的送入所引起的液面的上升以及上述涂敷液向浸渍槽外的排出所引起的液面的下降，通过容纳上述涂敷液并利用导管与上述浸渍槽连通的溶液容器的升降来进行。

3.根据权利要求1所述的涂敷膜形成方法，其特征在于，上述涂敷液向浸渍槽内的送入所引起的液面的上升以及上述涂敷液向浸渍槽外的排出所引起的液面的下降，通过设置在导管上的泵来进行，该导管连通容纳了上述涂敷液的溶液容器和上述浸渍槽。

4.根据权利要求1所述的涂敷膜形成方法，其特征在于，使上述涂敷液的液面以一定速度下降。

5.一种涂敷膜形成装置，用于实施权利要求1所述的涂敷膜形成方法，其特征在于，具备：容纳上述涂敷对象物的浸渍槽；

密封上述涂敷对象物的上端外周面及下端外周面与上述浸渍槽的内周面之间的密封部件；

用于对由上述浸渍槽的内周面、上述涂敷对象物的外周面和上述密封部件形成的空间供给加压气体的加压气体供给装置；

容纳上述涂敷液的溶液容器；

使上述溶液容器升降的升降装置；

连通上述溶液容器和上述浸渍槽的导管；以及，设置在上述导管上的阀；

所述涂敷对象物是多孔体。

6.一种涂敷膜形成装置，用于实施权利要求1所述的涂敷膜形成方法，其特征在于，具备：容纳上述涂敷对象物的浸渍槽；

密封上述涂敷对象物的上端外周面及下端外周面与上述浸渍槽的内周面之间的密封部件；

用于对由上述浸渍槽的内周面、上述涂敷对象物的外周面和上述密封部件形成的空间供给加压气体的加压气体供给装置；

容纳上述涂敷液的溶液容器；

连通上述溶液容器和上述浸渍槽的导管；以及，设置在上述导管上的泵；

所述涂敷对象物是多孔体。

7.根据权利要求5所述的涂敷膜形成装置，其特征在于，上述溶液容器可调节其内部压力。

8.根据权利要求5～7中任一项所述的涂敷膜形成装置，其特征在于，上述涂敷对象物是整体形状。

说明书

涂敷膜形成方法以及涂敷膜形成装置

技术领域

[0001] 本发明涉及用于在物体的表面形成具有各种的功能的涂敷膜的方法以及装置。

背景技术

[0002] 作为用于从多种气体或液体的混合物分离特定的气体或液体的过滤器，已知有在多孔体的表面形成分离膜的过滤器。该分离膜的形成是通过在要形成分离膜的多孔体的表面涂敷分离膜的前驱体的溶液而形成涂敷膜(制膜)，并对其进行干燥、热处理来实现。

[0003] 另外，在印刷电路板的制作中具有在基板表面形成厚度均匀的抗蚀膜的工序，该抗蚀膜的形成通过在基板的表面涂敷抗蚀液来实现。

[0004] 这样，在制作在其表面形成具有各种功能的膜的物品时，作为在规定的物体(涂敷对象物)的表面涂敷用于形成膜的液体(涂敷液)的方法，一直以来广泛使用浸渍法。该方法例如专利文献1～3所记载的那样，按照将涂敷对象物浸渍在填满容器(浸渍槽)的涂敷液中，在放置某种程度的时间后，将涂敷对象物从涂敷液中捞起的顺序进行。

[0005] 然而，在这种现有的涂敷方法中，在涂敷对象物的体积大或重量重的场合，伴随浸渍和捞起的涂敷对象物的上下移动中需要大规模的装置，确保移动作业的安全性也困难，而且，想要在多个涂敷对象物上一次形成涂敷膜的场合，必需支撑各个涂敷对象物使其上下移动。再有，想要仅在涂敷对象物的表面的一部分形成涂敷膜的场合，浸渍在涂敷液之前，必需用密封材料覆盖其以外的整个部分，花费时间和劳力。

[0006] 专利文献1：特开2007-38210号公报

[0007] 专利文献2：特许第3652053号公报

[0008] 专利文献3：特开平5-67861号公报

发明内容

[0009] 本发明是鉴于这种现有技术的情况而提出的方案，目的在于提供一种不需要用于使涂敷对象物移动的大规模的装置，能够更简单且安全地在涂敷对象物上形成涂敷膜的涂敷膜形成方法以及涂敷膜形成装置。

[0010] 为了达到上述目的，根据本发明可提供以下涂敷膜形成方法以及涂敷膜形成装置。

[0011] (1)一种涂敷膜形成方法，将要形成涂敷膜的涂敷对象物设置在浸渍槽内，将用于形成上述涂敷膜的涂敷液送入上述浸渍槽内，在使上述涂敷液的液面上升到使上述涂敷对象物的要形成涂敷膜的部位的最上部浸泡在上述涂敷液之后，通过将上述涂敷液向上述浸渍槽外排出而使上述涂敷液的液面降下去，从而在上述涂敷对象物上形成涂敷膜。

[0012] (2)根据方案(1)记载的涂敷膜形成方法，上述涂敷液向浸渍槽的送入所引起的液面的上升以及上述涂敷液向浸渍槽外的排出所引起的液面的下降，通过容纳上述涂敷液并利用导管与上述浸渍槽连通的溶液容器的升降来进行。

[0013] (3)根据方案(1)记载的涂敷膜形成方法，上述涂敷液向浸渍槽的送入所引起的液面的上升以及上述涂敷液向浸渍槽外的排出所引起的液面的下降，通过设置在导管上的泵来进行，该导管连通容纳了上述涂敷液的溶液容器和上述浸渍槽。

[0014] (4)根据方案(1)记载的涂敷膜形成方法，使上述涂敷液的液面以一定速度下降。

[0015] (5)一种涂敷膜形成装置(第一涂敷膜形成装置)，用于通过在涂敷对象物的表面的至少一部分涂敷涂敷液来形成涂敷膜，具备：容纳上述涂敷对象物的浸渍槽；容纳上述涂敷液的溶液容器；使上述溶液容器升降的升降装置；连通上述溶液容器和上述浸渍槽的导管；以及设置在上述导管上的阀。

[0016] (6)一种涂敷膜形成装置(第二涂敷膜形成装置)，用于通过在涂敷对象物的表面的至少一部分涂敷涂敷液来形成涂敷膜，具备：容纳上述涂敷对象物的浸渍槽；容纳上述涂敷液的溶液容器；连通上述溶液容器和上述浸渍槽的导管；以及设置在上述导管上的泵。

[0017] (7)根据方案(5)记载的涂敷膜形成装置，上述溶液容器可调节其内部压力。

[0018] (8)根据方案(5)～(7)任一项记载的涂敷膜形成装置，具备密封上述涂敷对象物的上端外周面及下端外周面与上述浸渍槽的内周面之间的密封部件。

[0019] (9)根据方案(8)记载的涂敷膜形成装置，具备用于对由上述浸渍槽的内周面、上述涂敷对象物的外周面和上述密封部件形成的空间供给加压气体的加压气体供给装置。

[0020] (10)根据方案(5)～(9)任一项记载的涂敷膜形成装置，上述涂敷对象物是整体形状(モノリス形状)的多孔体。

[0021] 根据本发明的涂敷膜形成方法，不移动涂敷对象物，而是通过涂敷液的液面的上升以及下降，就能进行用于在涂敷对象物上形成涂敷膜的操作，因此不需要用于使涂敷对象物移动的大规模的装置，而且也没有伴随大型的涂敷对象物的移动作业的危险，可以进行简单安全的涂敷膜形成。而且，如果使液面的下降速度为一定，则与涂敷对象物的重量、形状无关而能够形成均匀厚度的膜。另外，通过在浸渍槽内设置多个涂敷对象物，从而能够在多个涂敷对象物上同时形成涂敷膜，能够缩短作业时间。

[0022] 根据本发明的涂敷膜形成装置，可以容易实施上述本发明的涂敷膜形成方法，能够享受利用该涂敷膜形成方法得到的效果。而且，在涂敷对象物为具有与外部连通的内部空间的管形状或整体形状的物品的场合，想要仅在包围该内部空间的内表面上形成涂敷膜时，通过具备密封上述涂敷对象物的上端外周面及下端外周面与浸渍槽的内周面之间的密封部件，即使不用密封材料覆盖涂敷对象物的外周面整体，也能够防止涂敷液向外周面的附着，因此能够减少工时。再有，在该涂敷对象物为多孔体的场合，具备用于对由上述浸渍槽的内周面、上述涂敷对象物的外周面和上述密封部件形成的空间导入加压气体的加压气体供给装置，如果在向该空间供给加压气体的同时进行涂敷液的送入，则通过加压气体流入多孔体的细孔内而使得细孔内被加压，能够抑制涂敷液浸透到该细孔内，能够利用上述内表面形成厚度均匀的涂敷膜。而且，如果使用可调节内部压力的溶液容器，则在送入涂敷液时，能够对溶液容器内部进行加压而加快向浸渍槽的液体输送速度，由此，也能够抑制涂敷液向细孔内的浸透。

[0023] 另外，在涂敷液的液面的上升及下降上使用泵的场合，虽然存在因泵的脉动而在液面的下降速度上稍微产生不均的可能性，但却有能够使装置小型化的优点。另一方面，在涂敷液的液面的上升及下降上利用溶液容器的升降的场合，尽管与使用泵的场合相比较，装置稍微大型化，但由于没有泵之类的脉动，因此容易将液面的下降速度保持一定，且容易形成厚度均匀的涂敷膜。而且，由于不使用泵，因此在将溶解性、挥发性、易燃性高的有机溶剂或酸、碱之类的腐蚀性高的溶液作为涂敷液的场合，在安全性和耐久性方面是有利的。

附图说明

[0024] 图1是表示本发明的第一涂敷膜形成装置的实施方式的一例的概要图。

[0025] 图2是表示本发明的第二涂敷膜形成装置的实施方式的一例的概要图。

[0026] 图3是表示图1及图2所示的涂敷膜形成装置的浸溃槽的内部的概要图。

[0027] 图4是表示本发明的涂敷对象物的一例的立体图。

[0028] 图5是表示本发明的涂敷对象物的另一个例子的立体图。

[0029] 图中：

[0030] 1-涂敷对象物，2-隔室，3-空心部，4-玻璃密封，5-涂敷液，10-第一涂敷膜形成装置，11-溶液容器，12-升降装置，13-导管，14-阀，15-送气管，16-阀，17-压力计，20-第二涂敷膜形成装置，21-溶液容器，23-导管，24-泵，30-浸渍槽，31-密封部件，32-空间，33-送气孔，34-送气管，35-调节阀，36-压力计，41-液面，51-支撑部，42-支柱。

具体实施方式

[0031] 以下，基于具体的实施方式对本发明进行说明，但是本发明并不限定于这里所做的解释，只要在不脱离本发明的范围内，基于本领域技术人员的知识，可加以各种变更、修正、改进。

[0032] 如上所述，本发明的涂敷膜形成方法如下：将要形成涂敷膜的涂敷对象物设置在浸渍槽内，将用于形成上述涂敷膜的涂敷液送入上述浸渍槽内，在使上述涂敷液的液面上升到使上述涂敷对象物的要形成涂敷膜的部位的最上部浸泡在上述涂敷液之后，将上述涂敷液向上述浸渍槽外排出而使上述涂敷液的液面降下去，从而在上述涂敷对象物上形成涂敷膜。

[0033] 即、本发明的涂敷膜形成方法将涂敷对象物浸泡在涂敷液中，然后使其从涂敷液中向该液面的上方脱离的一系列的涂敷膜形成工序(制膜工序)，不是如上述现有技术那样利用涂敷对象物的上下移动来进行，而是利用涂敷液的液面的上升及下降来进行。

[0034] 根据该方法，无需使涂敷对象物移动就能够进行涂敷膜的形成，因此不需要用于使涂敷对象物移动的大规模的装置。而且，即使涂敷对象物是大型的，也没有伴随其移动作业的危险，再有，如果使涂敷液的液面下降时的下降速度一定，则与涂敷对象物的重量、形状无关而能够形成厚度均匀的膜。另外，即使在想要在多个涂敷对象物上同时形成涂敷膜的场合，也无需像现有技术那样支撑各个涂敷对象物使其移动，只要将多个涂敷对象物设置在浸渍槽内，然后按照与在一个涂敷对象物上形成涂敷膜的情况完全一样的操作进行涂敷膜的形成，因此无需花费时间和劳力，能够缩短作业时间。

[0035] 在本发明的涂敷膜形成方法中，涂敷液向浸渍槽的送入所引起的液面的上升以及涂敷液向浸渍槽外的排出所引起的液面的下降，不论利用哪种方法进行都可以，但是作为最佳的方法之一，可列举通过容纳涂敷液并利用导管与浸渍槽连通的溶液容器的上升来进行的方法。

[0036] 具体地说，首先，使溶液容器上升，直到溶液容器内的涂敷液的液面到达设置在浸渍槽内的涂敷对象物的要形成涂敷膜的部位的最上部的高度。由此，涂敷液从溶液容器内通过管道送入浸渍槽内，而连通的溶液容器和浸渍槽的内部的涂敷液在大气压下其液面一致，因此送入到浸渍槽的涂敷液的液面也到达上述最上部的高度。这样，在做成涂敷对象物的要形成涂敷膜的部位浸泡在涂敷液中的状态之后，使溶液容器下降，直到溶液容器内的涂敷液的液面到达比涂敷对象物的最下部靠下方的位置。由此，浸渍槽内的涂敷液的液面也到达比上述最下部靠下方的位置，通过该液面的下降在涂敷对象物上形成涂敷膜。

[0037] 另外，作为上述方法以外的方法，例如利用设置在连通容纳了涂敷液的溶液容器与浸渍槽的导管上的泵，进行液面的上升以及下降也可以。即、首先，通过使泵旋转(正转)，将溶液容容器内的涂敷液通过导管送入浸渍槽，使浸渍槽内的涂敷液的液面上升到设置于浸渍槽内的涂敷对象物的要形成涂敷膜的部位的最上部。然后，通过使泵反转，从而排出浸渍槽内的涂敷液，使浸渍槽内的涂敷液的液面下降到比设置在浸渍槽内的涂敷对象物的最下部靠下方的位置。通过该液面的下降在涂敷对象物上形成涂敷膜。

[0038] 在本发明中，使涂敷液的液面上升时的速度(上升速度)没有特别限定，但是例如在涂敷对象物为多孔体的场合，若涂敷液浸透到其细孔内，则存在难以形成表面平滑、厚度均匀的涂敷膜的情况，因此，在这种情况下，从缩短涂敷对象物与涂敷液接触的时间而抑制向细孔内的浸透的观点来看，优选将液面从涂敷对象物的最下部到达要形成涂敷膜的部位的最上部的时间设为10～60秒左右。还有，该时间在如上所述利用溶液容器的升降来进行液面的上升及下降的场合，可以利用溶液容器的上升速度进行控制，但是也可以在连通溶液容器和浸渍槽的导管上设置阀，并通过在关闭该阀的状态下对溶液容器内部预先加压，或者使溶液容器预先上升后再打开阀的操作，从而加快浸渍槽内的液面的上升速度。在如上所述使用泵进行液面的上升及下降的场合，可以通过另外设置输送液体用的导管进行上述溶液容器内部加压的操作，或者通过泵的输出调节来控制该时间。

[0039] 另外，使涂敷液的液面下降时的速度(下降速度)也没有特别限定，但由于该速度对形成于涂敷对象物上的涂敷膜的厚度产生影响，因此根据作为目的的涂敷膜的厚度，优选在0.1～20cm/分左右的范围适当设定。该下降速度例如在如上所述利用溶液容器的升降进行液面的上升及下降的场合，能够利用溶液容器的下降速度进行控制，另外，在如上所述使用泵进行液面的上升及下降的场合，能够利用泵的输出调节进行控制。还有，为了使涂敷膜的厚度均匀，优选将下降速度设为一定，根据该观点，最好是通过不发生如泵那样的脉动的溶液容器的升降来进行液面的上升及下降。

[0040] 对于涂敷对象物的尺寸和形状也没有特别限制，但是在涂敷对象物如管形状或独石柱那样是具有与外部连通的内部空间的形状的场合，想要在包围该内部空间的内表面上形成涂敷膜时，按照涂敷液在该内部空间内能够上升以及下降的方向，将涂敷对象物设置在浸渍槽内。例如，如图4及图5所示，在涂敷对象物1为具有多个隔室(贯通孔)2的整体形状的物品或具有空心部3的管形状的部件的场合，以该隔室2或空心部3的轴向为铅垂方向的方式设置，这样在这些内部空间内的均匀的涂敷膜形成以及涂敷液的上升以及下降都能顺利地进行，因此较好。

[0041] 另外，就涂敷液的成分而言，只要根据要形成的膜的功能适当选择即可，例如，要在涂敷对象物上形成碳素膜作为分离膜的场合，可使用碳素膜的前躯体(通过实施热处理而碳化的树脂等)的溶液作为涂敷液。

[0042] 本发明的涂敷膜形成方法通过使用本发明的第一涂敷膜形成装置或第二涂敷膜形成装置可适当地实施。图1是表示本发明的第一涂敷膜形成装置的实施方式的一例的概要图，图2是表示本发明的第二涂敷膜形成装置的实施方式的一例的概要图，图3是表示图1以及图2所示的涂敷膜形成装置的浸渍槽的内部的概要图。还有，图示的实施方式表示了作为涂敷对象物1使用具有多个隔室2的整体形状的多孔体，并且仅在隔室2的内周面形成涂敷膜的情况的例子，但本发明的涂敷膜形成装置中的涂敷对象物以及涂敷对象部位并不限定于此。

[0043] 本发明的第一涂敷膜形成装置10是用于通过在涂敷对象物1的表面的至少一部分涂敷涂敷液5来形成涂敷膜的装置，具备：容纳涂敷对象物1的浸渍槽30；容纳涂敷液5的溶液容器11；使溶液容器11升降的升降装置12；连通溶液容器11和浸渍槽30的导管13；以及设置在导管13上的阀14。其中对于导管13，为了能与溶液容器11的升降一致地自由弯曲，适合使用具有柔软性的橡胶制的软管或SUS制的挠性管等。

[0044] 另外，在本实施方式中，作为更次要的构成要素，在溶液容器11的上部设有加压气体供给用的送气管15和阀16，通过该送气管15供给加压气体而使溶液容器11内的压力上升，或打开阀16使上升了的压力下降，从而可调节溶液容器11的内部压力。溶液容器11内的压力利用压力计17监视。

[0045] 而且，作为密封涂敷对象物1的上端外周面及下端外周面与浸渍槽30的内周面之间的密封部件31，设置封装件，由此，在由浸渍槽30的内周面、涂敷对象物1的外周面和密封部件31形成的空间32中，不会流入送入到浸渍槽30的涂敷液5。

[0046] 再有，在浸渍槽30上设有用于向上述空间32供给加压气体的送气孔33，通过与该送气孔33连接的送气管34，可从配备在外部的加压气体供给装置向上述空间32供给加压气体。而且，在该送气管34上设有用于调节所供给的加压气体的压力的调节阀35和用于监视压力的压力计36。

[0047] 在使用该第一涂敷膜形成装置10的涂敷膜的形成中，首先，将涂敷对象物1设置在浸渍槽30内。作为本实施方式的涂敷对象物1的整体形状的多孔体是以在隔室的内周面上形成分离膜，并作为液体分离用的过滤起来使用为目的的部件，如图3所示，在其端面和端面附近的外周部分实施了用于防止液体泄漏的玻璃密封4。若在设置涂敷对象物1时，如上所述配置密封部件(封装件)31，则涂敷液5不会流入到上述空间32，因此无需形成涂敷膜的涂敷对象物1的外周面即使不用密封材料覆盖其整体，也能避免涂敷液5的附着。而且，想要在包含外周面在内的涂敷对象物1的整个表面上形成涂敷膜的场合，不需要这种密封部件31。另外，与本实施方式相反，想要仅在涂敷对象物1的外周面形成涂敷膜的场合，以用掩蔽材料等封闭了隔室2的开口端的状态设置在浸渍槽30内，以免涂敷液流入到隔室2内。

[0048] 另一方面，在关闭阀14的状态下在溶液容器11中填满涂敷液5，使溶液容器11上升，直到其液面41到达比涂敷对象物1的上端的高度靠上方的位置。若在该状态下打开阀14，则溶液容器11内的涂敷液5被送入浸渍槽30内。而且，溶液容器11的上升也可以在打开阀14的状态下进行。另外，为了加快被送入到浸渍槽30内的涂敷液5的液面42的上升，也可以在打开阀14之前从送气管15向溶液容器11内供给加压气体而使内部压力上升。

[0049] 这样，被送入浸渍槽30的涂敷液5从涂敷对象物1的隔室2的下端流入隔室2内，使其液面42逐渐上升，到达与溶液容器11内的涂敷液5的液面41相同的高度，即比涂敷对象物1的上端的高度靠上方的位置。而且，向溶液容器11内供给加压气体使内部压力上升的场合，释放溶液容器11内的压力，在成为大气压的状态下，两液面41、42的高度相同。

[0050] 另外，如本实施方式所述，涂敷对象物1为具有多个隔室2的整体形状的多孔体的场合，若在向上述空间32供给加压气体的同时向设置在浸渍槽30内的涂敷对象物1的隔室2内送入涂敷液5，则供给到上述空间32的加压气体流入多孔体的细孔中而使得细孔内被加压，因此涂敷液5几乎不浸透到细孔内，其大部分仅附着在包围隔室2的内周面上，其结果，可得到表面平滑、厚度均匀的涂敷膜。供给的加压气体的压力最好是作为由压力计35测量的值为1～1000kPa。于是，涂敷对象物1的细孔内的压力也成为大概1～1000kPa。

[0051] 这样，在成为要形成涂敷膜的隔室2的整个内周面浸泡在涂敷液中的状态后，使溶液容器11下降。而且，向溶液容器11内供给加压气体而使内部压力上升的场合，打开阀16释放溶液容器11内的压力后使溶液容器11下降。若这样使溶液容器11降下去，则溶液容器11内的涂敷液5的液面41也下降，随之浸渍槽30内的涂敷液(涂敷对象物的隔室内的涂敷液)5的液面42也同样地下降，因此若使溶液容器11下降到该液面42来到比涂敷对象物1的下端靠下方的位置，则成为涂敷对象物1从涂敷液5中向该液面42的上方脱离的状态。

[0052] 这样，通过使涂敷液5的液面42降下去，从而在隔室2的整个内周面上形成涂敷膜。而且，用于使溶液容器11上升及下降的升降装置12的结构没有特别限定，但是根据使涂敷膜的厚度均匀的观点，优选构成为能够在保持一定速度的同时进行升降。本实施方式中的升降装置12具备：支撑溶液容器11的支撑部51；以及使支撑部51沿着在铅垂方向竖立设置的支柱52升降的驱动装置(未图示)，驱动装置适合使用例如变频方式的可变速马达等。

[0053] 本发明的第二涂敷膜形成装置20是用于通过在涂敷对象物1的表面的至少一部分涂敷涂敷液5来形成涂敷膜的装置，具备：容纳涂敷对象物1的浸渍槽30；容纳涂敷液5的溶液容器21；连通溶液容器21和浸渍槽30的导管23；以及设置在导管23上的阀24。

[0054] 另外，在本实施方式中的浸渍槽30的结构也包含次要的构成要素，由于与上述的第一涂敷膜形成装置10的实施方式中的浸渍槽30的结构相同，因此省略关于其详细的说明。

[0055] 在使用了该第二涂敷膜形成装置20的涂敷膜的形成中，首先与使用了上述第一涂敷膜形成装置10的实施方式同样，也将涂敷对象物1设置在浸渍槽30内。

[0056] 其次，通过使泵24旋转(正转)，从而将填满溶液容器21内的涂敷液5通过导管23送入浸渍槽30内。这样，被送入到浸渍槽30内的涂敷液5从涂敷对象物1的隔室2的下端流入隔室2内，使其液面42逐渐上升，将利用该泵24的涂敷液5的送入进行至液面42到达比涂敷对象物1的上端的高度靠上方的位置。

[0057] 而且，如本实施方式所述，涂敷对象物1为具有多个隔室2的整体形状的多孔体的场合，与上述第一涂敷膜形成装置10的实施方式同样，若在向由浸渍槽30的内周面、涂敷对象物1的外周面、密封部件(封装件)31形成的空间32供给加压气体的同时向设置在浸渍槽30内的涂敷对象物1的隔室2内送入涂敷液5，则供给到上述空间32的加压气体流入多孔体的细孔中而使得细孔内被加压，因此涂敷液几乎不浸透到细孔内，其大部分仅附着在包围隔室的内周面上，可得到表面平滑、厚度均匀的涂敷膜。

[0058] 这样，在成为要形成涂敷膜的隔室2的整个内周面浸泡在涂敷液5中的状态后，通过使泵24反转，从而排出浸渍槽30内的涂敷液(涂敷对象物的隔室内的涂敷液)5而使液面42降下去，将利用该泵24的反转的涂敷液5的排出进行至液面42到达比涂敷对象物1的下端靠下方的位置，成为涂敷对象物1从涂敷液5中向该液面42的上方脱离的状态。通过这样使涂敷液5的液面降下去，从而在隔室2的整个内周面上形成涂敷膜。实施例

[0059] 以下，基于实施例对本发明进行更加详细的说明，但本发明并不限定于这些实施例。

[0060] (实施例1)

[0061] 将外形为圆柱状并具有多个隔室的整体形状的多孔体(直径180mm、长度1000mm、在端面上实施了玻璃密封)作为涂敷对象物，为了在其隔室内周面上形成由热固性聚酰亚胺树脂前驱体构成的涂敷膜，在图1所示的涂敷膜形成装置10的浸渍槽30内，如图3所示配置密封部件(封装件)31并设置了涂敷对象物1。而且，在关闭阀14的状态下在溶液容器11内填满热固性聚酰亚胺树脂前驱体的溶液，使溶液容器11上升至其液面到达比涂敷对象物1的上端的高度靠上方的位置，并且向溶液容器11内供给加压气体对溶液容器11内部进行了加压。

[0062] 然后，如图3所示，在向由浸渍槽30的内周面、涂敷对象物1的外周面和密封部件(封装件)31形成的空间32供给加压气体的同时，打开阀14将溶液容器11内的溶液送入到浸渍槽30内。这样，被送入到浸渍槽30内的溶液从浸渍槽30的下部(底部)到达涂敷对象物1的下端，然后流入隔室2内并使其液面逐渐上升，最后液面上升到比涂敷对象物1的上端稍微靠上方的位置，成为隔室2的整个内周面被浸泡在溶液中的状态。从液面到达涂敷对象物1的下端直至到达上端的时间是40秒。

[0063] 接着，打开溶液容器11上部的阀16，释放内部的压力而成为大气压状态后，使溶液容器11以5cm/分的速度下降直到溶液容器11内的液面到达比涂敷对象物1的下端靠下方的位置。由此，浸渍槽30内的溶液(涂敷对象物的隔室内的溶液)的液面也以相同速度随之下降，在隔室2的内周面上形成涂敷膜。这样，在形成了涂敷膜后，将涂敷膜表面以120℃进行预备干燥，然后以300℃加热硬化。得到的膜表面平滑，厚度也大致均匀。

[0064] (实施例2)

[0065] 将外形为圆柱状并具有多个隔室的整体形状的多孔体(直径180mm、长度1000mm、在端面上实施了玻璃密封)作为涂敷对象物，为了在其隔室内周面上形成由热固性聚酰亚胺树脂前驱体构成的涂敷膜，在图2所示的涂敷膜形成装置20的浸渍槽30内，如图3所示配置密封部件(封装件)31并设置了涂敷对象物1。

[0066] 然后，如图3所示，在向由浸渍槽30的内周面、涂敷对象物1的外周面和密封部件(封装件)31形成的空间32供给加压气体的同时，将填满溶液容器21内的热固性聚酰亚胺树脂前驱体的溶液通过使泵24旋转(正转)而送入到浸渍槽30内。这样，被送入到浸渍槽30内的溶液从浸渍槽30的下部(底部)到达涂敷对象物1的下端，然后流入隔室2并使其液面逐渐上升，在液面上升到比涂敷对象物1的上端稍微靠上方的位置的时候使泵停止。从液面到达涂敷对象物1的下端直至到达上端的时间是60秒。

[0067] 接着，通过使泵24反转而将浸渍槽30内的溶液(涂敷对象物的隔室内的溶液)排出，从而使其液面以5cm/分的速度下降，在隔室2的内周面上形成涂敷膜。这样，在形成了涂敷膜后，将涂敷膜表面以120℃进行预备干燥，然后以300℃加热硬化。得到的膜表面平滑，厚度也大致均匀。

[0068] (实施例3)

[0069] 将15根管形状的多孔体(直径10mm、长度1000mm)作为涂敷对象物，为了同时在其外周面上形成由热固性聚酰亚胺树脂前驱体构成的涂敷膜，在图1所示的涂敷膜形成装置10的浸渍槽30内，将这15根涂敷对象物以用掩蔽材料封闭了其两端开口部的状态设置。而且，在关闭阀14的状态下预先在溶液容器11内填满热固性聚酰亚胺树脂前驱体的溶液，使溶液容器11上升直到其液面到达比涂敷对象物的上端的高度靠上方的位置，并且向溶液容器11内供给加压气体而对溶液容器11内部进行了加压。

[0070] 然后，打开阀14将溶液容器11内的溶液送入到浸渍槽30内。这样，被送入到浸渍槽30内的溶液从浸渍槽30的下部(底部)到达涂敷对象物1的下端，然后使其液面逐渐上升，最后液面上升到比涂敷对象物1的上端稍微靠上方的位置，成为涂敷对象物的整个外周面浸泡在溶液中的状态。从液面到达涂敷对象物1的下端直至到达上端的时间是40秒。

[0071] 接着，打开溶液容器11上部的阀16，释放内部的压力而成为大气压状态后，使溶液容器11以5cm/分的速度下降直到溶液容器11内的液面到达比涂敷对象物1的下端靠下方的位置。由此，浸渍槽30内的溶液的液面也以相同速度随之下降，在涂敷对象物的外周面上形成涂敷膜。这样，在形成了涂敷膜后，将涂敷膜表面以120℃进行预备干燥，然后以300℃加热硬化。得到的膜表面平滑，厚度也大致均匀。

[0072] 产业上的可利用性如下。

[0073] 本发明适合用于在物体的表面形成具有各种功能的涂敷膜的方法以及装置。