两段式低温等离子体废气净化装置及方法

摘要

本发明公开了一种两段式低温等离子体废气净化装置及方法，包括高速干式等离子体氧化器，该高速干式等离子体氧化器包括相互连接的第一反应器和第一电源，此外，该净化装置还包括气溶胶生长器和低速湿式等离子体收集处理器，所述低速湿式等离子体收集处理器包括依次连接的第二电源、第二反应器和循环供液装置，所述气溶胶生长器与第一反应器和第二反应器分别连接。本发明的低速湿式等离子体收集处理器可充分利用干、湿等离子过程产生的长寿命活性物质如O3、H2O2等，在液相中进一步氧化、稳定被吸收的气相副产物，同时对固相副产物进行高效收集，从而达到充分利用活性物质和去除二次污染物的目的；实现能耗低，无二次污染的效果。