一种从ITO废料中回收铟锡合金的方法

摘要

本发明涉及从使用过的ITO(铟锡氧化物)溅射靶材或制造ITO靶材时产生的ITO边角料等ITO靶材废料中回收金属铟锡的方法。本发明将ITO废料进行电解来回收金属铟锡合金，特别是将ITO废料作为阴极直接进行电解来得到铟锡合金。电解过程可以在任何能够实现阴、阳极反应宏观上分开进行的电化学的装置中进行。方法简单，回收率高。

权利要求

1.一种从ITO废料中回收铟锡合金的方法，所述方法是将ITO废料进行电解来回收金属铟锡合金，其特征在于：所述方法将ITO废料作为阴极进行电解。

2.根据权利要求1所述的一种从ITO废料中回收铟锡合金的方法，其特征在于：所述方法电解的温度为20至50℃。

说明书

一种从ITO废料中回收铟锡合金的方法

技术领域

[0001] 本发明涉及从使用过的ITO(铟锡氧化物)溅射靶材或制造ITO靶材时产生的ITO边角料等ITO靶材废料中回收金属铟锡的方法。

背景技术

[0002] 近年来，随着信息产业、电子工业、平板显示产业、功能玻璃等迅速的发展，作为该技术中透明导电膜所用的ITO靶材的需求越来越大，由于这些靶材的利用率才30％左右，因此将产生大量的ITO废旧靶材。另外，在制备ITO靶材时，有边角料、切削粉也能产生废料。一般ITO靶材中氧化铟的含量约为90％，由于ITO溅射靶材使用高纯度材料，特别是铟的价格也昂贵，因此通常从这种废料中回收金属铟，或者同时回收金属铟锡，然后再用来电解精炼金属铟或者直接共沉淀制备ITO粉。

[0003] 目前从ITO废料中回收提取金属铟、锡的方法包括酸溶解法、离子交换法、溶剂萃取法等湿法精炼组合的方法。

[0004] 例如，日本专利日本特开平3-82720公开了下述方法：将ITO废料清洗及粉碎后，溶于无机酸中，将锡以卤化酸盐的形式分离后，用盐酸或硝酸水溶液进行还原处理，接着将该水溶液的pH值调节至2～5，使其它金属离子还原成不易沉淀的物质，从而分离出水溶液中的铟成分，但是该技术存在精炼工序复杂、精炼效果也不太令人满意的问题。

[0005] 另外，作为高纯度铟的回收方法，日本特开平3-91838公开了下述技术：用硝酸溶解ITO废靶材后的In、Sn酸溶液中除杂方法是将锡氧化成锡酸胶状沉淀与铟分离，但因不能同时分离除去其它的金属杂质，后面还要采用烷基磷酸脂类萃取剂和所酸类萃取剂进行三次萃取和二次反萃，工艺过程较长，试剂昂贵，成本也较高。

[0006] 另外，专利申请号200780039677.1一种回收金属铟的方法是将ITO废料作为阳极进行电解来回收铟，用隔膜或离子交换膜隔开的电解槽对ITO废料进行电解，接着将阳极电解液暂时抽出，通过中和法或置换法等除去阳极电解液中含有的锡离子，将该除去的含锡溶液再次装入阴极侧进行电解，从而能够选择性的回收金属铟。该方法也存在工序复杂的特点。

[0007] 还有工艺流程是将废靶还原成铟锡合金，即用碳或氢气高温下把废靶还原成铟锡合金，利用铟、锡氧化一还原标准电位的差异，通过两次电解精炼，直接回收金属铟。该方法能耗高，由于在还原阶段，铟锡的挥发，使得回收率低。

发明内容

[0008] 为了解决上述问题，本发明提供一种从使用过的ITO溅射靶材或制造时产生的ITO边角料等ITO靶材废料中高效回收金属铟锡合金的方法。

[0009] 本发明的目的是这样实现的：

[0010] 本发明将ITO废料进行电解来回收金属铟锡合金，特别是将ITO废料作为阴极直接进行电解来得到铟锡合金。