本发明提供一种冷凝回收装置，包括第一管体及冷凝管，其中冷凝管配置于第一管体内。第一管体具有进气端与出气端，且第一管体的管壁设有第一开孔、第二开孔与液体回收孔。冷凝管的冷却剂输入端与冷却剂输出端分别由第一开孔与第二开孔穿出第一管体外。冷凝管于第一管体内从邻近第一开孔处螺旋弯折至邻近第二开孔处，以形成螺旋状冷凝部。此螺旋状冷凝部的内径沿预定方向而改变，而此预定方向是从第一开孔指向第二开孔。此冷凝回收装置具有较佳的回收效率。此外，本发明另提出一种具有此冷凝回收装置的工艺设备。
一第一管体，具有一进气端与一出气端，且该第一管体的管壁设有一第一开孔、一第二开孔与一液体回收孔，所述第一管体为L型管体，且所述第一管体包括一垂直段与一水平段，所述进气端位于所述垂直段，所述出气端位于所述水平段并位于所述进气端下方，所述第一开孔与所述第二开孔位于所述垂直段，所述液体回收孔位于所述水平段；以及一冷凝管，配置于所述第一管体内，且该冷凝管的一冷却剂输入端与一冷却剂输出端分别由所述第一开孔与所述第二开孔穿出所述第一管体外，其中所述冷凝管于所述第一管体内从邻近所述第一开孔处螺旋弯折至邻近所述第二开孔处，以形成一螺旋状冷凝部，且该螺旋状冷凝部的内径沿一预定方向而改变，该预定方向是从所述第一开孔指向所述第二开孔。
2.如权利要求1所述的冷凝回收装置，其特征在于，所述螺旋状冷凝部的内径沿所述预定方向逐渐变大。
3.如权利要求1所述的冷凝回收装置，其特征在于，所述螺旋状冷凝部的内径沿所述预定方向逐渐变小。
4.如权利要求1所述的冷凝回收装置，其特征在于，所述螺旋状冷凝部的内径沿所述预定方向逐渐变小后再逐渐变大。
5.如权利要求4所述的冷凝回收装置，其特征在于，该装置还包括一挡片，设于所述水平段的内壁，且位于所述液体回收孔与所述出气端之间。
6.如权利要求1所述的冷凝回收装置，其特征在于，该装置还包括一液体回收管，连接所述液体回收孔。
7.如权利要求1所述的冷凝回收装置，其特征在于，该装置还包括一第二管体，包覆所述第一管体的所述第一开孔与所述第二开孔之间的部分，其中所述第二管体内适于通入一冷却剂。
8.如权利要求7所述的冷凝回收装置，其特征在于，所述第二管体的管壁设有一冷却剂输入孔与一冷却剂输出孔。
9.如权利要求7所述的冷凝回收装置，其特征在于，该装置还包括一喷液模块，具有伸入所述第二管体内的至少一喷嘴，以将所述冷却剂喷至所述第一管体，且所述第二管体的管壁设有一冷却剂输出孔。
10.如权利要求1所述的冷凝回收装置，其特征在于，该装置还包括一冷却剂供应机台，适于通过所述冷凝管的所述冷却剂输入端提供一冷却剂至所述冷凝管内。
11.如权利要求10所述的冷凝回收装置，其特征在于，所述冷却剂供应机台包含冷却液体供应机台或冷却气体供应机台。
12.一种具有冷凝回收装置的工艺设备，其特征在于，该工艺设备包括：
一冷凝回收装置，设于所述药液回收管路的路径上，其中该冷凝回收装置包括：
一第一管体，具有分别连接所述药液回收管路的一进气端与一出气端，且所述第一管体的管壁设有一第一开孔、一第二开孔与一液体回收孔，所述第一管体为L型管体，且所述第一管体包括一垂直段与一水平段，所述进气端位于所述垂直段，所述出气端位于所述水平段并位于所述进气端下方，所述第一开孔与所述第二开孔位于所述垂直段，所述液体回收孔位于所述水平段；以及一冷凝管，配置于所述第一管体内，且所述冷凝管的一冷却剂输入端与一冷却剂输出端分别由所述第一开孔与所述第二开孔穿出所述第一管体外，其中所述冷凝管于所述第一管体内从邻近所述第一开孔处螺旋弯折至邻近所述第二开孔处，以形成一螺旋状冷凝部，且所述螺旋状冷凝部的内径沿一预定方向而改变，该预定方向是从所述第一开孔指向所述第二开孔。
13.如权利要求12所述的具有冷凝回收装置的工艺设备，其特征在于，该工艺设备还包括至少一液体回收槽，用以接收从所述液体回收孔流出的药液。
14.如权利要求13所述的具有冷凝回收装置的工艺设备，其特征在于，所述冷凝回收装置还包括一液体回收管，连接于所述液体回收孔与所述液体回收槽之间。
15.如权利要求12所述的具有冷凝回收装置的工艺设备，其特征在于，所述螺旋状冷凝部的内径沿所述预定方向逐渐变大。
16.如权利要求12所述的具有冷凝回收装置的工艺设备，其特征在于，所述螺旋状冷凝部的内径沿所述预定方向逐渐变小。
17.如权利要求12所述的具有冷凝回收装置的工艺设备，其特征在于，所述螺旋状冷凝部的内径沿所述预定方向逐渐变小后再逐渐变大。
18.如权利要求12所述的具有冷凝回收装置的工艺设备，其特征在于，所述冷凝回收装置还包括一挡片，设于所述水平段的内壁，且位于所述液体回收孔与所述出气端之间。
19.如权利要求12所述的具有冷凝回收装置的工艺设备，其特征在于，所述冷凝回收装置还包括一第二管体，包覆所述第一管体的所述第一开孔与所述第二开孔之间的部分，其中所述第二管体内适于通入一冷却剂。
20.如权利要求19所述的具有冷凝回收装置的工艺设备，其特征在于，所述第二管体的管壁设有一冷却剂输入孔与一冷却剂输出孔。
21.如权利要求19所述的具有冷凝回收装置的工艺设备，其特征在于，所述冷凝回收装置还包括一喷液模块，具有伸入所述第二管体内的至少一喷嘴，以将所述冷却剂喷至所述第一管体，且所述第二管体的管壁设有一冷却剂输出孔。
22.如权利要求12所述的具有冷凝回收装置的工艺设备，其特征在于，所述冷凝回收装置还包括一冷却剂供应机台，适于通过所述冷凝管的所述冷却剂输入端提供一冷却剂至所述冷凝管内。
23.如权利要求22所述的具有冷凝回收装置的工艺设备，其特征在于，所述冷却剂供应机台包含冷却液体供应机台或冷却气体供应机台。
冷凝回收装置及具有冷凝回收装置的工艺设备
技术领域
[0001] 本发明是有关于一种回收装置，且特别是有关于一种冷凝回收装置及具有冷凝回收装置的工艺设备。
背景技术
[0002] 在半导体工艺或液晶显示面板的湿式蚀刻工艺中，常需要使用到的工艺设备为去光刻胶设备。图1是现有一种去光刻胶设备的示意图。请参照图1，现有去光刻胶设备100包括三个腔室110、120、130以及药液回收管路140，其中药液回收管路140连接腔室110、120。
[0003] 腔室110、120内的温度为高温(约摄氏80度)，而腔室130内的温度为常温。待去光刻胶的基板50会被依序送至腔室110、腔室120与腔室130内，是通过喷嘴(图未示)将去光刻胶液喷于基板50上，以去除光刻胶。
[0004] 由于去光刻胶液为高挥发性液体，且腔室110、120内的温度高达摄氏80度，所以去光刻胶液被喷入后于腔室110、120会形成大量的蒸汽。药液回收管路140可用于将腔室110、120内的蒸汽抽离，以改善蒸汽外泄的情形并降低饱和蒸汽压。药液回收管路140的另一端连接至厂务端的冷凝器60，所以腔室110、120内的蒸汽会被抽至厂务端的冷凝器60。
蒸汽被冷凝器60冷凝后会被送至厂务端的回收装置70，以对收集到的去光刻胶液进行纯化的步骤，达到回收去光刻胶液的目的。
[0005] 然而，厂务端所收集到的去光刻胶液含有大量杂质，所以纯化的步骤较为复杂，且回收效益不彰。此外，因腔室110、120内的蒸汽被大量抽离，导致必须不断补充去光刻胶液，且由于去光刻胶液的回收效率不佳，所以需补充大量的去光刻胶液，增加工艺成本。另外，若要节省去光刻胶液的使用量，则需减少药液回收管路140的抽气量。然而，此将导致腔室110、120内充满大量蒸汽，以致于腔室110、120内的零件易受蒸汽影响而受损，而且腔室110、120内的蒸汽容易泄漏出来，危害工作人员的安全。
发明内容
[0006] 本发明提供一种冷凝回收装置，以提升药液的回收效率。
[0007] 本发明另提出一种具冷凝回收装置的工艺设备，以提升药液的回收效率。
[0008] 为达上述优点，本发明提出一种冷凝回收装置，其包括第一管体及冷凝管，其中冷凝管配置于第一管体内。第一管体具有进气端与出气端，且第一管体的管壁设有第一开孔、第二开孔与液体回收孔。冷凝管的冷却剂输入端与冷却剂输出端分别由第一开孔与第二开孔穿出第一管体外。冷凝管于第一管体内从邻近第一开孔处螺旋弯折至邻近第二开孔处，以形成螺旋状冷凝部。此螺旋状冷凝部的内径沿预定方向而改变，而此预定方向是从第一开孔指向第二开孔。
[0009] 在本发明的一实施例中，上述的螺旋状冷凝部的内径沿预定方向逐渐变大。
[0010] 在本发明的一实施例中，上述的螺旋状冷凝部的内径沿预定方向逐渐变小。
[0011] 在本发明的一实施例中，上述的螺旋状冷凝部的内径沿预定方向逐渐变小后再逐渐变大。
[0012] 在本发明的一实施例中，上述的第一管体为L型管体，且第一管体包括垂直段与水平段，其中进气端位于垂直段，而出气端位于水平段并位于进气端下方。第一开孔与第二开孔位于垂直段，而液体回收孔位于水平段。此外，上述的冷凝回收装置例如还包括挡片，其设于水平段的内壁，且位于液体回收孔与出气端之间。
[0013] 在本发明的一实施例中，上述的第一管体沿直线延伸，且第一管体的进气端与出气端位于同一高度。此外，液体回收孔例如是位于第一开孔与第二开孔之间。另外，冷凝回收装置可还包括二挡片，设于第一管体的内壁。此二挡片其中的一个位于液体回收孔与出气端之间，此二挡片其中的另一个位于液体回收孔与进气端之间。
[0014] 在本发明的一实施例中，上述的冷凝回收装置还包括液体回收管，连接液体回收孔。
[0015] 在本发明的一实施例中，上述的冷凝回收装置还包括第二管体，包覆第一管体的第一开孔与第二开孔之间的部分，其中第二管体内适于通入冷却剂。
[0016] 在本发明的一实施例中，上述的第二管体的管壁设有冷却剂输入孔与冷却剂输出孔。
[0017] 在本发明的一实施例中，上述的冷凝回收装置还包括喷液模块。此喷液模块具有伸入第二管体内的至少一喷嘴，以将冷却剂喷至第一管体，且第二管体的管壁设有冷却剂输出孔。
[0018] 在本发明的一实施例中，上述的冷凝回收装置还包括冷却剂供应机台，适于通过冷凝管的冷却剂输入端提供冷却剂至冷凝管内。
[0019] 在本发明的一实施例中，上述的冷却剂供应机台包含冷却液体供应机台或冷却气体供应机台。
[0020] 为达上述优点，本发明另提出一种具冷凝回收装置的工艺设备，其包括至少一腔室、药液回收管路及上述的冷凝回收装置。腔室内适于容纳药液蒸汽，药液回收管路连接至腔室，而冷凝回收装置设于药液回收管路的路径上。
[0021] 在本发明的一实施例中，上述的具冷凝回收装置的工艺设备还包括至少一液体回收槽，用以接收从液体回收孔流出的药液。
[0022] 在本发明的一实施例中，上述的具冷凝回收装置的工艺设备，其中冷凝回收装置还包括液体回收管，连接于液体回收孔与液体回收槽之间。
[0023] 在本发明的冷凝回收装置中，由于设在第一管体内的冷凝管于第一开孔与第二开孔之间形成螺旋状冷凝部，且螺旋状冷凝部的内径沿预定方向而改变，所以能有效冷凝药液蒸汽，以提升药液的回收效率。此外，在本发明的具冷凝回收装置的工艺设备中，因将上述的冷凝回收装置设于药液回收管路的路径上，以在药液被送回厂务端之前就对药液进行回收，所以能提升药液回收的效率。
[0024] 为让本发明的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。
附图说明
[0025] 图1是现有一种去光刻胶设备的示意图。
[0026] 图2是本发明一实施例的具有冷凝回收装置的工艺设备的示意图。
[0027] 图3是图2中冷凝回收装置的示意图。
[0028] 图4是图3的冷凝回收装置的俯视示意图。
[0029] 图5是本发明另一实施例的一种冷凝回收装置的示意图。
[0030] 图6是图5的冷凝回收装置的俯视示意图。
[0031] 图7是本发明另一实施例的一种冷凝回收装置的示意图。
[0032] 图8是图7的冷凝回收装置的俯视示意图。
[0033] 图9是本发明另一实施例的一种冷凝回收装置的示意图。
[0034] 图10是图9的冷凝回收装置的侧视示意图。
[0035] 附图标号：
[0036] 50：基板
[0037] 60：冷凝器
[0038] 70：回收装置
[0039] 90：蒸汽回收装置
[0040] 100：去光刻胶设备
[0041] 110、120、130、210、220、230：腔室
[0042] 140、240：药液回收管路
[0043] 200：工艺设备
[0044] 250：液体回收槽
[0045] 300、300a、300b、400：冷凝回收装置
[0046] 310、410：第一管体
[0047] 311、411：进气端
[0048] 312、412：出气端
[0049] 313、413：第一开孔
[0050] 314、414：第二开孔
[0051] 315、415：液体回收孔
[0052] 316：垂直段
[0053] 317：水平段
[0054] 320、420：冷凝管
[0055] 321：冷却剂输入端
[0056] 322：冷却剂输出端
[0057] 323：螺旋状冷凝部
[0058] 330、430：液体回收管
[0059] 340、440：挡片
[0060] 350、350b：第二管体
[0061] 352：冷却剂输入孔
[0062] 354：冷却剂输出孔
[0063] 360：喷液模块
[0064] 362：喷嘴
[0065] D：预定方向
具体实施方式
[0066] 图2是本发明一实施例的具有冷凝回收装置的工艺设备的示意图。请参照图2，本实施例的具冷凝回收装置的工艺设备200可为去光刻胶设备，但不以此为限。此工艺设备200包括至少一腔室(在本实施例中是以多个腔室210、220、230为例)、药液回收管路240及冷凝回收装置300。腔室210、220、230内适于容纳药液蒸汽，药液回收管路240至少连接至部分腔室(如连接到腔室210、220)，而冷凝回收装置300设于药液回收管路240的路径上。
[0067] 上述的工艺设备200可还包括至少一液体回收槽250，而在本实施例中是以一个液体回收槽250为例。此液体回收槽250用以接收在冷凝回收装置300凝结成液体的药液。此外，药液回收管路240的末端例如还连接至厂务端的蒸汽回收装置90。
[0068] 在本实施例的工艺设备200中，腔室210、220内的温度例如是高温(如摄氏80度)，当喷嘴将药液(如去光刻胶液)喷于进入腔室210、220内的基板(图未示)时，由于药液具有高挥发性，所以在高温下药液容易形成药液蒸汽。药液回收管路240用以将药液蒸汽抽离腔室210、220，以改善蒸汽外泄的情形并降低饱和蒸汽压。
[0069] 本实施例的工艺设备200于药液回收管路240的路径上设置冷凝回收装置300，以通过冷凝回收装置300来冷凝从腔室210、220抽出的药液蒸汽，并通过液体回收槽250来收集冷凝后的药液。相较于现有技术，由于本实施例在药液蒸汽被送至厂务端前就进行药液回收，所以能大幅降低回收的药液中的杂质，进而提升药液回收效率。此外，由于本实施例的工艺设备200的药液回收效率较高，所以能减少补充新药液的量，以节省药液成本。如此，不需通过减少药液回收管路240的抽气量来节省药液的使用量，所以能保障工作人员的安全。
[0070] 下文将配合图式来详细说明本实施例的工艺设备所使用的冷凝回收装置300。
[0071] 图3是图2中冷凝回收装置的示意图，而图4是图3的冷凝回收装置的俯视示意图，其中图4省略了第一管体的水平段。请参照图3与图4，上述的冷凝回收装置300包括第一管体310及冷凝管320，其中冷凝管320配置于第一管体310内。第一管体310具有进气端311与出气端312，其中进气端311与出气端312分别连接于工艺设备200的药液回收管路240(示于图2)。此外，第一管体310的管壁设有第一开孔313、第二开孔314与液体回收孔315。
[0072] 冷凝管320例如是金属管，其具有冷却剂输入端321与冷却剂输出端322，其中冷却剂输入端321与冷却剂输出端322分别由第一开孔313与第二开孔314穿出第一管体310外。另外，冷凝管320于第一管体310内从邻近第一开孔313处螺旋弯折至邻近第二开孔314处，以形成螺旋状冷凝部323。此螺旋状冷凝部323的内径沿预定方向D而改变，而此预定方向D是从第一开孔313指向第二开孔314。
[0073] 在本实施例中，螺旋状冷凝部323的内径例如是沿预定方向D逐渐变小后再逐渐变大。但在其他实施例中，螺旋状冷凝部323的内径可沿预定方向D逐渐变大、逐渐变小、或是逐渐变大后再逐渐变小。上述这些实施例仅为举例之用，并非用以限定本发明的螺旋状冷凝部的内径变化方式。此外，本实施例的第一管体310例如为L型管体，其包括相连的垂直段316与水平段317，其中进气端311位于垂直段316，而出气端312位于水平段317并位于进气端311下方。第一开孔313与第二开孔314例如是位于垂直段316，而液体回收孔315例如是位于水平段317。
[0074] 本实施例的冷凝回收装置300可还包括冷却剂供应机台(图未示)。此冷却剂供应机台适于通过冷凝管320的冷却剂输入端321提供冷却剂至冷凝管320内。冷却剂供应机台可为冷却液体供应机台或冷却气体供应机台。当冷凝回收装置300运作时，冷却剂可从冷却剂输入端321持续通入冷凝管320内，并从冷却剂输出端322流出冷凝管320外。
[0075] 承上述，当药液蒸汽从第一管体310的进气端311进入第一管体310内后，冷凝管320会与药液蒸汽进行热交换，以使药剂蒸汽凝结成液体。凝结后的药液会从设于第一管体
310的水平段317的液体回收孔315通过液体回收管330而流至工艺设备200的液体回收槽250内，也就是说，液体回收槽250用以接收从液体回收孔315流出的药液。由于冷凝管
320内会持续通入冷却剂，所以能提升冷凝管320与药液蒸汽的热交换效率，以使大量的药液蒸汽凝结，进而提高药液回收效率。此外，由于冷凝管320在第一管体310内弯折形成螺旋状冷凝部323，当药液蒸汽经过螺旋状冷凝部323时，有较多的药液蒸汽会接触到螺旋状冷凝部323，所以能使更多的药液蒸汽凝结，如此可进一步提升药液回收效率。
[0076] 本实施例的冷凝回收装置300可还包括挡片340，其设于第一管体310的水平段317的内壁，且位于液体回收孔315与出气端312之间。挡片340的设置可防止被凝结成液体的药液从第一管体310的出气端312流出。如此，可增加药液从液体回收孔315流出的量，进而提升药液回收效率。
[0077] 图5是本发明另一实施例的一种冷凝回收装置的示意图，而图6是图5的冷凝回收装置的俯视示意图，其中图6省略了第一管体的水平段。请参照图5与图6，本实施例的冷凝回收装置300a与图3的冷凝回收装置300相似，其差别处在冷凝回收装置300a还包括第二管体350。第二管体350包覆第一管体310的第一开孔313与第二开孔314之间的部分。第二管体350内适于通入冷却剂。更详细地说，第二管体350的材质例如为金属，且第二管体350固定于第一管体310。第二管体350的管壁设有冷却剂输入孔352与冷却剂输出孔354，当冷凝回收装置300a运作时，冷却剂可从冷却剂输入孔352持续通入第二管体350内，并从冷却剂输出孔354流出第二管体350外。
[0078] 在本实施例的冷凝回收装置300a中，通入第二管体350内的冷却剂能与第一管体310进行热交换，以降低第一管体310的管壁的温度。如此，当第一管体310内的药液蒸汽接触到第一管体310的管壁时，因第一管体310的管壁温度较低，所以能提升第一管体310的管壁与药液蒸汽之间的热交换效果，以使更多的药液蒸汽凝结成液体。因此，相较于冷凝回收装置300，本实施例的冷凝回收装置300a具有更高的药液回收效率。
[0079] 图7是本发明另一实施例的一种冷凝回收装置的示意图，而图8是图7的冷凝回收装置的俯视示意图，其中图8省略了第一管体的水平段。请参照图7与图8，本实施例的冷凝回收装置300b与图5的冷凝回收装置300a相似，其差别处在冷凝回收装置300b还包括喷液模块360。此喷液模块360具有伸入第二管体350b内的至少一喷嘴362，在本实施例中是以多个喷嘴362为例。具体而言，第二管体350b包括多个冷却剂输入孔352，而喷嘴362是通过这些冷却剂输入孔352伸入第二管体350b内。当冷凝回收装置300b运作时，喷嘴362用以将冷却剂喷至第一管体310，且冷却剂会从冷却剂输出孔354流出第二管体350外。
[0080] 与上述的冷凝回收装置300a相似，由于本实施例的冷凝回收装置300b的喷液模块360可用以降低第一管体310的管壁的温度，所以能提升第一管体3 10的管壁与药液蒸汽之间的热交换效果，进而增加药液回收效率。此外，冷凝回收装置300a、300b皆可应用于图2的工艺设备200，以提升工艺设备200的药液回收效率。
[0081] 图9是本发明另一实施例的一种冷凝回收装置的示意图，而图10是图9的冷凝回收装置的侧视示意图。请参照图9与图10，本实施例的冷凝回收装置400与图3的冷凝回收装置300相似，主要差别处在于冷凝回收装置400的第一管体410是沿直线延伸，且第一管体410的进气端411与出气端412是位于同一高度。换言之，第一管体410为直线状管体，且第一管体410是水平设置。此外，设置于第一管体410内的冷凝管420其结构与图3的冷凝管320相似，在此将不对冷凝管420进行详细说明。另外，第一管体410的液体回收孔415例如是位于第一开孔413与第二开孔414之间，且液体回收孔415例如是设于冷凝管420下方。液体回收管430的一端连接液体回收孔415，另一端可连接到工艺设备的液体回收槽(图未示)。
[0082] 本实施例的冷凝回收装置400应用于工艺设备时，冷凝回收装置400可设置于药液回收管路的水平段。此外，本实施例的冷凝回收装置400与图3的冷凝回收装置300的功能及优点相似，在此将不再重述。另外，冷凝回收装置400可还包括设于第一管体410的内壁的二挡片440。此二挡片440其中的一个位于液体回收孔415与出气端412之间，此二挡片440其中的另一个位于液体回收孔415与进气端411之间。挡片440的设置可防止被凝结成液体的药液从第一管体410的出气端412或进气端411流出，以增加药液从液体回收孔415流出的量，进而提升药液回收效率。
[0083] 值得一提的是，图5的冷凝回收装置300a的第二管体350及图7的冷凝回收装置300b的第二管体350b与喷液模块360都可应用于本实施例的冷凝回收装置400，以进一步提升冷凝回收装置400的药液回收效率。
[0084] 综上所述，本发明的冷凝回收装置及具有其的工艺设备至少具有下列优点：
[0085] 1.本发明的工艺设备将冷凝回收装置设于药液回收管路的路径上，以在药液被送回厂务端之前就对药液进行回收。如此，能大幅降低回收的药液中的杂质，所以能提升药液回收效率，进而节省药液成本。
[0086] 2.在本发明的冷凝回收装置中，由于螺旋状冷凝部的内径沿预定方向而改变，所以能使较多的药液蒸汽与接触到螺旋状冷凝部，并与螺旋状冷凝部进行热交换，如此能提升药液的回收效率。
[0087] 虽然本发明已以较佳实施例揭示如上，然其并非用以限定本发明，本发明所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作些许的更动与润饰，因此本发明的保护范围当视权利要求所界定者为准。
