本发明公开了一种硅片传送手臂，包括多个手臂支架、连接器、驱动马达；每个手臂支架的一端与连接器连接，连接器与驱动马达连接。所述手臂支架为四个，所述四个手臂支架彼此形成十字形。水平方向的手臂支架用于水平方向硅片的接送，垂直方向的手臂支架用于垂直方向硅片的传送。其中处于右侧的手臂支架用于硅片的接收，处于下方的手臂支架用于垂直方向的传送，处于左侧的手臂支架用于硅片的送出。在转动控制轴的旋转带动下，水平方向与垂直方向的手臂支架能够实现功能互换。本发明能够在同一手臂中进行多个方向的硅片传送操作，同时向水平方向和垂直方向传送硅片。本发明还公开了该硅片传送手臂的使用方法。
1.一种硅片传送手臂，其特征在于：包括多个手臂支架、连接器、驱动马达；每个手臂支架的一端与连接器连接，连接器与驱动马达连接；所述手臂支架为四个，所述四个手臂支架彼此形成十字形；所述四个手臂支架构成的平面垂直于水平平面。
2.根据权利要求1所述的硅片传送手臂，其特征在于：所述手臂支架包括彼此形成剪刀状的两个夹柄，夹柄的尾端连接行星齿轮；所述两个行星齿轮互相噬合。
3.根据权利要求2所述的硅片传送手臂，其特征在于：所述夹柄的自由端为弧形。
4.根据权利要求2所述的硅片传送手臂，其特征在于：所述夹柄上固定设置有多个带槽卡子。
5.根据权利要求3所述的硅片传送手臂，其特征在于：所述夹柄的弧形部分设有多个槽。
6.根据权利要求2所述的硅片传送手臂，其特征在于：所述手臂支架包括两对或多对夹柄。
7.一种权利要求1所述的硅片传送手臂的使用方法，其特征在于：采用以下步骤传送硅片：第一步，使第一手臂支架、第三手臂支架处于水平状态，第二手臂支架、第四手臂支架处于垂直状态；处于右侧的手臂支架用于硅片的接收，处于下方的手臂支架用于垂直方向的传送，处于左侧的手臂支架用于硅片的送出；
第三步，使连接器顺时针旋转90度，使第一手臂支架、第三手臂支架处于垂直状态，第二手臂支架、第四手臂支架处于水平状态，实现水平方向与垂直方向的手臂支架功能互换；
第四步，使处于下方的手臂支架执行硅片操作；或者在下方直接将硅片送出，实现垂直方向传送硅片；同时使处于右侧的手臂支架接收硅片，实现水平方向接收硅片。
8.根据权利要求7所述的硅片传送手臂的使用方法，其特征在于：所述第四步完成之后，使连接器再次顺时针旋转90度，使第一手臂支架、第三手臂支架处于水平状态；将处于左侧的手臂支架上的硅片送出，同时通过处于右侧的手臂支架接收新的硅片，处于下方的手臂支架执行硅片操作。
硅片传送手臂及其使用方法
技术领域
[0001] 本发明涉及一种半导体制造设备，具体涉及一种硅片传送手臂，本发明还涉及该硅片传送手臂的使用方法。
背景技术
[0002] 目前，集成电路的制造过程中所使用的硅片传送手臂，不能实现向多个方向(例如水平和垂直方向)同时传送硅片，如果需要将硅片向多个方向传送，则采用多个独立手臂分步进行配合使用，不能在同一手臂上完成。
发明内容
[0003] 本发明所要解决的技术问题是提供一种硅片传送手臂，它可以同时向多个方向传送硅片。
[0004] 为解决上述技术问题，本发明硅片传送手臂的技术解决方案为：
[0005] 包括多个手臂支架、连接器、驱动马达；每个手臂支架的一端与连接器连接，连接器与驱动马达连接。所述手臂支架为四个，所述四个手臂支架彼此形成十字形。所述手臂支架也可为两个，所述两个手臂支架互相垂直。
[0006] 所述手臂支架包括彼此形成剪刀状的两个夹柄，夹柄的尾端连接行星齿轮；两个行星齿轮互相噬合。所述手臂支架包括两对或多对夹柄。
[0007] 本发明还提供了该硅片传送手臂的使用方法，采用以下步骤传送硅片：
[0008] 第一步，使第一手臂支架、第三手臂支架处于水平状态，第二手臂支架、第四手臂支架处于垂直状态；处于右侧的手臂支架用于硅片的接收，处于下方的手臂支架用于垂直方向的传送，处于左侧的手臂支架用于硅片的送出；
[0009] 第二步，使处于右侧的手臂支架接收硅片；
[0010] 第三步，使连接器顺时针旋转90度，使第一手臂支架、第三手臂支架处于垂直状态，第二手臂支架、第四手臂支架处于水平状态，实现水平方向与垂直方向的手臂支架功能互换；
[0011] 第四步，使处于下方的手臂支架执行硅片操作；或者在下方直接将硅片送出，实现垂直方向传送硅片；同时使处于右侧的手臂支架接收硅片，实现水平方向接收硅片。
[0012] 第五步，使连接器再次顺时针旋转90度，使第一手臂支架、第三手臂支架处于水平状态；将处于左侧的手臂支架上的硅片送出，同时通过处于右侧的手臂支架接收新的硅片，处于下方的手臂支架执行硅片操作。
[0013] 本发明可以达到的技术效果是：
[0014] 本发明设有水平方向的手臂支架和垂直方向的手臂支架，水平方向的手臂支架用于水平方向硅片的接送，垂直方向的手臂支架用于垂直方向硅片的传送。在转动控制轴的旋转带动下，水平方向与垂直方向的手臂支架能够实现功能互换。
[0015] 本发明能够在同一手臂中进行多个方向的硅片传送操作，如同时向水平方向和垂直方向传送硅片。
附图说明
[0016] 下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明：
[0017] 图1是本发明硅片传送手臂的结构示意图；
[0018] 图2是每个手臂支架有多对夹柄的结构示意图；
[0019] 图3是手臂支架的结构示意图；
[0020] 图4是图3的俯视图；
[0021] 图5是本发明夹有两枚硅片的示意图；
[0022] 图6是图5顺时针旋转90度的示意图。
[0023] 图中，1、2、3、4手臂支架，5连接器，10硅片，11夹柄，12行星齿轮，13带槽卡子。
具体实施方式
[0024] 如图1所示，本发明硅片传送手臂，包括手臂支架1、2、3、4，手臂支架分别与连接器5固定连接，手臂支架1、2、3、4彼此形成十字形。连接器5与转动控制轴连接，转动控制轴与驱动马达连接。驱动马达通过驱动转动控制轴的旋转，控制连接器5的转动。
[0025] 如图3、图4所示，每个手臂支架包括两个夹柄11，两个夹柄11形成剪刀状，使手臂支架成为可开合的夹子，夹柄11的顶端(即自由端)为弧形，该弧度与硅片10边缘的弧度相适应。当夹子合拢时可沿硅片10的圆形边缘将硅片10夹紧。
[0026] 夹柄11的弧形部分固定设置有多个带槽卡子13，用于固定硅片。也可在夹柄11的弧形部分设有多个槽，用于卡住硅片10。手臂支架可用于固定6英寸、8英寸、12英寸、18英寸等多种规格的硅片。
[0027] 两个夹柄11的尾端各连接一个行星齿轮12。行星齿轮12固定连接于连接器5上。
[0028] 两个行星齿轮12互相噬合，通过控制行星齿轮12的转动方向，实现手臂支架的开合，使手臂支架能实现夹住固定硅片和释放硅片的功能。
[0029] 如图2所示，每个手臂支架包括两对或多对并列的夹柄11，每对夹柄11承载一枚硅片，则每个手臂支架可承载多枚硅片。每个手臂支架的多对夹柄11共用一对行星齿轮12，可实现多枚硅片同时操作。
[0030] 本发明可以在同一手臂中实现多个方向同时进行硅片传送操作，如在水平方向和垂直方向同时传送硅片。水平方向的手臂支架实现硅片的接送，垂直方向的手臂支架可以进行其它的操作。
[0031] 本发明的操作方法如下：
[0032] 1、如图5所示，使手臂支架1、3处于水平状态，手臂支架2、4处于垂直状态；此时处于右侧的手臂支架3用于硅片的接收；处于下方的手臂支架2用于垂直方向的传送，如将硅片10送入相关腔体作业；处于左侧的手臂支架1用于硅片10的送出。
[0033] 2、硅片10送入手臂后，由处于右侧的手臂支架3接收硅片10；使本发明在转动控制轴的带动下旋转90度，此时手臂支架1、3处于垂直方向，如图6所示。
[0034] 3、使处于下方的手臂支架3上接收的硅片10与相关设备执行硅片交换；交换完毕后，手臂支架3上的硅片10为从相关设备收回的硅片。
[0035] 使手臂在转动控制轴的带动下再旋转90度，此时手臂支架1、3再次处于水平方向。将处于左侧的手臂支架3上的硅片送出，同时通过处于右侧的手臂支架4接收新的硅片，此时处于下方的手臂支架2与相关设备执行硅片交换。依次旋转转动控制轴，进行硅片的传送。
[0036] 本发明可以在手臂支架3处于下方时直接将硅片送出，实现垂直方向传送硅片；或者在手臂支架3处于左侧时将硅片送出，实现水平方向传送硅片；也可在手臂支架3旋转
360度后再次处于右侧时将硅片送出，实现在同一位置接收和送出硅片。
