本发明公开了一种机械手调度方法，包括下述步骤：根据空闲手臂的数量、手臂当前位点Cur_Stn、目标位点M_Stn，选择距离目标位点最近的手臂；使所选择的手臂旋转至目标位点，以便由该手臂在目标位点处执行传输操作。此外，本发明还公开一种机械手调度装置，以及应用上述机械手调度方法和/或装置的等离子体处理设备。本发明能够实现机械手的快速调度、快速执行传输操作，进而能够缩短整个工艺所需时间、提高机台产率。
1.一种机械手调度方法，其特征在于，包括手臂选择步骤和手臂移动步骤，其中在所述手臂选择步骤中，根据空闲手臂的数量、手臂当前位点Cur_Stn、目标位点M_Stn，选择距离目标位点最近的手臂；具体包括：步骤10)，判断空闲的手臂数量，如果空闲手臂数等于2，则转到步骤20)；如果空闲手臂数等于1，则直接选择该空闲的手臂，并结束手臂选择步骤；如果无空闲手臂，则返回表示无空闲手臂的信息，并结束手臂选择步骤；
步骤20)，计算手臂当前位点Cur_Stn与目标位点M_Stn的差值，并将该差值的绝对值赋值给变量a，即，a＝|Cur_Stn-M_Stn|；计算手臂当前位点Cur_Stn与目标位点M_Stn的差值，将该差值与N/2求和后的绝对值赋值给变量b，即，b＝|Cur_Stn+N/2-M_Stn|；判断是否a＞N/2，如果是，则将a重新赋值为a＝N-a，否则保持a值不变；判断是否b＞N/2，如果是，则将b重新赋值为b＝N-b，否则保持b值不变；并且比较a和b，如果a＜b，则确定第一手臂离目标位点最近并选择该手臂，否则确定第二手臂离目标位点最近并选择该手臂；其中，N为位点总数，其对应于腔室模块总数；并且在所述手臂移动步骤中，使所选择的手臂旋转至目标位点，以便由该手臂在目标位点处执行传输操作。
2.根据权利要求1所述的机械手调度方法，其特征在于，在所述手臂移动步骤中还包括确定手臂旋转方向的步骤：即，根据目标位点M_Stn和所选手臂的当前位点Cur_Stn，确定所选手臂的旋转方向，以使该手臂旋转最小角度而到达目标位点。
3.根据权利要求1所述的机械手调度方法，其特征在于，所述目标位点对应于目标腔室模块。
4.一种机械手调度方法，其特征在于，所述机械手的位点总数等于6，并且该机械手调度方法包括手臂选择步骤和手臂移动步骤，其中在所述手臂选择步骤中，根据空闲手臂的数量、手臂当前位点Cur_Stn、目标位点M_Stn，选择距离目标位点最近的手臂；具体包括：步骤10)，判断空闲的手臂数量，如果空闲手臂数等于2，则转到步骤30)；如果空闲手臂数等于1，则直接选择该空闲的手臂，并结束手臂选择步骤；如果无空闲手臂，则返回表示无空闲手臂的信息，并结束手臂选择步骤；
步骤30)，判断是否|Cur_Stn-M_Stn|＜＝1，或者|Cur_Stn-M_Stn|＝5；如果满足上述条件之一，则确定选择第一手臂；如果上述两个条件都不满足，则确定选择第二手臂；并且在所述手臂移动步骤中，使所选择的手臂旋转至目标位点，以便由该手臂在目标位点处执行传输操作。
5.根据权利要求4所述的机械手调度方法，其特征在于，在所述手臂移动步骤中还包括确定手臂旋转方向的步骤：即，根据目标位点M_Stn和所选手臂的当前位点Cur_Stn，确定所选手臂的旋转方向，以使该手臂旋转最小角度而到达目标位点。
6.根据权利要求4所述的机械手调度方法，其特征在于，所述目标位点对应于目标腔室模块，所述位点总数对应于腔室模块总数。
7.一种机械手调度装置，其特征在于，包括手臂选择单元和手臂移动单元，其中所述手臂选择单元用于根据空闲手臂的数量、手臂当前位点Cur_Stn、目标位点M_Stn，选择距离目标位点最近的手臂；并且其包括空闲手臂判断模块，其用于判断空闲的手臂数量，如果空闲手臂数等于2，则启动手臂选定模块；如果空闲手臂数等于1，则直接选择该空闲的手臂；如果无空闲手臂，则返回表示无空闲手臂的信息；
手臂选定模块，其用于根据手臂当前位点Cur_Stn、目标位点M_Stn和位点总数N，确定哪一个手臂离目标位点最近，并选定该手臂；并且其具体包括下述子模块：计算子模块，其用于计算手臂当前位点Cur_Stn与目标位点M_Stn的差值，并将该差值的绝对值赋值给变量a，即，a＝|Cur_Stn-M_Stn|；并且还用于计算手臂当前位点Cur_Stn与目标位点M_Stn的差值，将该差值与N/2求和后的绝对值赋值给变量b，即，b＝|Cur_Stn+N/2-M_Stn|，其中，N为位点总数，其对应于腔室模块总数；
I)判断是否a＞N/2，如果是，则将a重新赋值为a＝N-a；如果否，则保持a值不变；
II)判断是否b＞N/2，如果是，则将b重新赋值为b＝N-b；如果否，则保持b值不变。
III)比较a和b，如果a＜b，则确定第一手臂离目标位点最近，并选择该手臂；否则，确定第二手臂离目标位点最近，并选择该手臂；以及所述手臂移动单元用于使所选择的手臂旋转至目标位点，以便由该手臂在目标位点处执行传输操作。
8.根据权利要求7所述的机械手调度装置，其特征在于，所述手臂移动单元根据目标位点M_Stn和选定手臂当前位点Cur_Stn，确定所选择的手臂的旋转方向，以使该手臂旋转最小角度而到达目标位点。
9.根据权利要求7所述的机械手调度装置，其特征在于，所述目标位点对应于目标腔室模块，所述位点总数对应于腔室模块总数。
10.一种机械手调度装置，其特征在于，所述机械手的位点总数N等于6，并且该机械手调度装置包括手臂选择单元和手臂移动单元，其中所述手臂选择单元用于根据空闲手臂的数量、手臂当前位点Cur_Stn、目标位点M_Stn，选择距离目标位点最近的手臂；并且其包括：空闲手臂判断模块，其用于判断空闲的手臂数量，如果空闲手臂数等于2，则启动手臂选定模块；如果空闲手臂数等于1，则直接选择该空闲的手臂；如果无空闲手臂，则返回表示无空闲手臂的信息；
手臂选定模块，其用于根据手臂当前位点Cur_Stn、目标位点M_Stn和位点总数N，确定哪一个手臂离目标位点最近，并选定该手臂；并且其具体包括下述子模块：计算子模块，其用于计算手臂当前位点Cur_Stn与目标位点M_Stn的差值；
比较子模块，其用于判断是否|Cur_Stn-M_Stn|＜＝1，或者|Cur_Stn-M_Stn|＝5；如果判断结果之一为“是”，则确定选择第一手臂；否则，确定选择第二手臂；以及所述手臂移动单元用于使所选择的手臂旋转至目标位点，以便由该手臂在目标位点处执行传输操作。
11.根据权利要求10所述的机械手调度装置，其特征在于，所述手臂移动单元根据目标位点M_Stn和选定手臂当前位点Cur_Stn，确定所选择的手臂的旋转方向，以使该手臂旋转最小角度而到达目标位点。
12.根据权利要求10所述的机械手调度装置，其特征在于，所述目标位点对应于目标腔室模块，所述位点总数对应于腔室模块总数。
13.一种等离子体处理设备，其特征在于，采用了如权利要求1-3中任意一项所述的机械手调度方法，以便根据需要选择离目标腔室最近的手臂执行传输操作。
14.一种等离子体处理设备，其特征在于，采用了如权利要求7-9中任意一项所述的机械手调度装置，以便根据需要选择离目标腔室最近的手臂执行传输操作。
15.一种等离子体处理设备，其特征在于，采用了如权利要求4-6中任意一项所述的机械手调度方法，以便根据需要选择离目标腔室最近的手臂执行传输操作。
16.一种等离子体处理设备，其特征在于，采用了如权利要求10-12中任意一项所述的机械手调度装置，以便根据需要选择离目标腔室最近的手臂执行传输操作。
一种机械手调度方法、装置及等离子体处理设备
技术领域
[0001] 本发明涉及机械传输和等离子技术领域，具体而言，涉及一种机械手调度方法、装置及等离子体处理设备。
背景技术
[0002] 目前，在等离子技术领域中，为了获得较高的投入回报，需要等离子体处理设备具有较高的产率。现有的等离子体处理设备通常包括多个晶片盒、一个诸如机械手的传输装置、多个腔室模块和一个晶片校准器。通常，由机械手将晶片从晶片盒中取出，并根据工艺需要放到目标腔室模块中，以便在此进行后续操作。实际工艺中，一个诸如晶片等的待处理工件可以访问不同腔室模块以完成不同操作，并在这些工艺完毕后，由机械手将晶片从腔室模块中取出并放到晶片盒中，这样，一个晶片的加工/处理工艺过程即完毕。 [0003] 请参阅图1，现有的一种等离子体处理设备包括6个腔室模块(即，腔室模块1至6，并且每一个腔室模块均可以作为晶片单次传输的目标腔室模块)、一个机械手。该机械手具有两个同轴的手臂A和B，并根据预先计算出的晶片传输路径序列在各个腔室模块之间传输晶片，以完成工艺过程。
[0004] 在实际应用中，当两个手臂A和B同时空闲时，如果要对某个腔室模块进行取片/放片的操作，通常会随机地选择手臂A或者手臂B，而后再确定所选手臂是顺时针旋转还是逆时针旋转，以便旋转最小角度而快速到达目标腔室模块，从而实现快速传片。 [0005] 事实上，采用上述方法进行传片时，仍然存在着传片速度有待进一步提高的问题，例如，如果在图1所示等离子体处理设备所处状态下，要对腔室模块1进行传片操作，并且手臂A和手臂B都处于空闲状态，那么系统在随机选择手臂时可能会选择手臂A，这种情况下，因手臂A距离腔室模块1相对较远，因此其旋转到腔室模块1的角度比手臂B旋转到腔室模块1所需的旋转角度大，这样，手臂A进行上述旋转就需要经历较长的时间，从而导致整个工艺过程中机械手传片的效率较低，并最终影响整个等离子体处理设备的工作效率，进而影响机台产率。
发明内容
[0006] 为解决上述技术问题，本发明提供了一种机械手调度方法及机械手调度装置，其能够科学地选择手臂并实现快速传输操作。
[0007] 此外，本发明还提供一种应用上述机械手调度方法的等离子体处理设备，以及应用上述机械手调度装置的等离子体处理设备，其同样能够科学地选择手臂并实现快速传输操作。
[0008] 为此，本发明提供一种机械手调度方法，其包括手臂选择步骤和手臂移动步骤。在所述手臂选择步骤中，根据空闲手臂的数量、手臂当前位点Cu_Stn、目标位点M_Stn，选择距离目标位点最近的手臂；具体包括：步骤10)，判断空闲的手臂数量，如果空闲手臂数等于2，则转到步骤20)；如果空闲手臂数等于1，则直接选择该空闲的手臂，并结束手臂选择步骤；如果无空闲手臂，则返回表示无空闲手臂的信息，并结束手臂选择步骤；以及步骤
20)，计算手臂当前位点Cur_Stn与目标位点M_Stn的差值，并将该差值的绝对值赋值给变量a，即，a＝|Cur_Stn-M_Stn|；计算手臂当前位点Cur_Stn与目标位点M_Stn的差值，将该差值与N/2求和后的绝对值赋值给变量b，即，b＝|Cur_Stn+N/2-M_Stn|；判断是否a＞N/2，如果是，则将a重新赋值为a＝N-a，否则保持a值不变；判断是否b＞N/2，如果是，则将b重新赋值为b＝N-b，否则保持b值不变；并且比较a和b，如果a＜b，则确定第一手臂离目标位点最近并选择该手臂，否则确定第二手臂离目标位点最近并选择该手臂，其中，N为位点总数，其对应于腔室模块总数。在所述手臂移动步骤中，使所选择的手臂旋转至目标位点，以便由该手臂在目标位点处执行传输操作。
[0009] 作为另一技术方案，本发明还提供一种机械手调度方法并且该机械手的位点总数等于6。所述机械手调度方法包括手臂选择步骤和手臂移动步骤。在所述手臂选择步骤中，根据空闲手臂的数量、手臂当前位点Cur_Stn、目标位点M_Stn，选择距离目标位点最近的手臂；具体包括：步骤10)，判断空闲的手臂数量，如果空闲手臂数等于2，则转到步骤30)；如果空闲手臂数等于1，则直接选择该空闲的手臂，并结束手臂选择步骤；如果无空闲手臂，则返回表示无空闲手臂的信 息，并结束手臂选择步骤；以及步骤30)，判断是否|Cur_Stn-M_Stn|＜＝1，或者|Cur_Stn-M_Stn|＝5；如果满足上述条件之一，则确定选择第一手臂；如果上述两个条件都不满足，则确定选择第二手臂。在所述手臂移动步骤中，使所选择的手臂旋转至目标位点，以便由该手臂在目标位点处执行传输操作。 [0010] 在本发明提供的上述两种机械手调度方法中，在所述手臂移动步骤中还包括确定手臂旋转方向的步骤：即，根据目标位点M_Stn和所选手臂的当前位点Cur_Stn，确定所选手臂的旋转方向，以使该手臂旋转最小角度而到达目标位点。
[0011] 作为又一个技术方案，本发明还提供一种机械手调度装置，其包括手臂选择单元和手臂移动单元。其中，所述手臂选择单元用于根据空闲手臂的数量、手臂当前位点Cur_Stn、目标位点M_Stn，选择距离目标位点最近的手臂；并且其包括空闲手臂判断模块和手臂选定模块。所述空闲手臂判断模块用于判断空闲的手臂数量，如果空闲手臂数等于2，则启动手臂选定模块；如果空闲手臂数等于1，则直接选择该空闲的手臂；如果无空闲手臂，则返回表示无空闲手臂的信息。所述手臂选定模块用于根据手臂当前位点Cur_Stn、目标位点M_Stn和位点总数N，确定哪一个手臂离目标位点最近，并选定该手臂；并且其具体包括计算子模块和比较子模块。所述计算子模块用于计算手臂当前位点Cur_Stn与目标位点M_Stn的差值，并将该差值的绝对值赋值给变量a，即，a＝|Cur_Stn-M_Stn|；并且还用于计算手臂当前位点Cur_Stn与目标位点M_Stn的差值，将该差值与N/2求和后的绝对值赋值给变量b，即，b＝|Cur_Stn+N/2-M_Stn|。所述比较子模块执行下述判断内容：I)判断是否a＞N/2，如果是，则将a重新赋值为a＝N-a；如果否，则保持a值不变；II)判断是否b＞N/2，如果是，则将b重新赋值为b＝N-b；如果否，则保持b值不变；III)比较a和b，如果a＜b，则确定第一手臂离目标位点最近，并选择该手臂；否则，确定第二手臂离目标位点最近，并选择该手臂，其中，N为位点总数，其对应于腔室模块总数。所述手臂移动单元用于使所选择的手臂旋转至目标位点，以便由该手臂在目标位点处执行传输操作。 [0012] 作为再一个技术方案，本发明还提供一种机械手调度装置，并且该机械手的位点总数N等于6。所述机械手调度装置包括手臂选择单元和手臂移动单元。所述手臂选择单元用于根据空闲手臂的数量、手臂当前位点Cur_Stn、目标位点M_Stn，选择距离目标位点最近的手臂；并且其包括空闲手臂判断模块和手臂选定模块。所述空闲手臂判断模块，其用于判断空闲的手臂数量，如果空闲手臂数等于2，则 启动手臂选定模块；如果空闲手臂数等于1，则直接选择该空闲的手臂；如果无空闲手臂，则返回表示无空闲手臂的信息。所述手臂选定模块，其用于根据手臂当前位点Cur_Stn、目标位点M_Stn和位点总数N，确定哪一个手臂离目标位点最近，并选定该手臂；并且其具体包括计算子模块和比较子模块。所述计算子模块用于计算手臂当前位点Cur_Stn与目标位点M_Stn的差值。所述比较子模块用于判断是否|Cur_Stn-M_Stn|＜＝1，或者|Cur_Stn-M_Stn|＝5；如果判断结果之一为“是”，则确定选择第一手臂；否则，确定选择第二手臂。所述手臂移动单元用于使所选择的手臂旋转至目标位点，以便由该手臂在目标位点处执行传输操作。在本发明提供的上述两种机械手调度装置中，所述手臂移动单元根据目标位点M_Stn和选定手臂当前位点Cur_Stn，确定所选择的手臂的旋转方向，以使该手臂旋转最小角度而到达目标位点。 [0013] 在本发明提供的上述机械手调度方法/装置中，所述目标位点对应于目标腔室模块，所述位点总数对应于腔室模块总数。
[0014] 此外，本发明还提供了一种等离子体处理设备，其可采用本发明提供的上述两种机械手调度方法中的任意一种，以便根据需要选择离目标腔室最近的手臂执行传输操作。 [0015] 再有，本发明还提供了一种等离子体处理设备，其可采用本发明提供的上述两种机械手调度装置中的任意一种，以便根据需要选择离目标腔室最近的手臂执行传输操作。 [0016] 本发明具有下述有益效果：
[0017] 本发明提供的机械手调度方法及机械手调度装置能够根据空闲手臂数量、手臂当前位点和目标位点等信息来选择距离目标位点最近的手臂，以便使手臂移动最短的距离而快速地到达目标位点，从而实现机械手的快速调度、快速执行传输操作，进而能够缩短整个工艺所需时间、提高机台产率。
[0018] 类似地，由于本发明提供的等离子体处理设备具有本发明提供的上述机械手调度方法和/或装置，因此，该等离子体处理设备同样具有这样的特点：即，能够实现机械手的快速调度、快速执行传输操作，进而能够缩短整个工艺所需时间、提高机台产率。 [0019] 图1为一种等离子体处理设备的结构示意图；
[0020] 图2为本发明提供的机械手调度方法一个实施例的流程示意图； [0021] 以及
[0022] 附图说明
[0023] 图3为本发明提供的机械手调度方法另一个实施例的流程示意图。 具体实施方式
[0024] 为使本技术领域的人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图对本发明提供的机械手调度方法/装置及采用该方法和/或装置的等离子体处理设备进行详细说明。 [0025] 为了便于说明，首先解释本发明中所采用的几个名词术语和所定义的变量。 [0026] 本发明中所说的位点指的是机械手欲进行传输操作时手臂可能处于的位置点。基于此，手臂当前位点指的是手臂当前所在位置所对应的位点，为了便于后面的计算和说明，设置变量Cur_Stn来表示手臂当前位点；目标位点指的是手臂欲移动到的目的地所处位点，同样为了便于后面的计算和说明，设置变量M_Stn来表示目标位点。事实上，如果给系统中机械手手臂可能身处的位置点一一设定位点编号，则手臂当前位点Cur_Stn和目标位点M_Stn的取值范围在理论上可以为系统中的任意位点编号。
[0027] 例如，对于前述图1所示的等离子体处理设备而言，机械手手臂可能身处的位置点也就是各个腔室模块的位置点，也就是该手臂当前指向哪个腔室模块。为了便于说明，按照顺时针方向对各个腔室模块进行编号，这样，腔室模块1至腔室模块6也就对应着位点1至位点6，如下述表1所示。
[0028] 表1：
[0029]腔室模块编号 123456
位点编号 123456
[0030] 这样，目标位点M_Stn的取值范围可以是1-6。类似地，手臂当前位点Cur_Stn的取值范围可以是1-6，例如，图1中的手臂A当前位点为3，也就是手臂A当前指向腔室模块3；手臂B当前位点为6，也就是手臂B当前指向腔室模块6。
[0031] 下面以具有两个手臂的机械手为例来说明本发明提供的机械手调 度方法。该方法可以包括手臂选择步骤和手臂移动步骤。
[0032] 其中，在手臂选择步骤中，根据空闲手臂的数量、手臂当前位点Cur_Stn、目标位点M_Stn和位点总数N，选择距离目标位点最近的手臂。具体地，判断空闲的手臂数量，如果空闲手臂数等于2，则根据手臂当前位点Cur_Stn、目标位点M_Stn，确定哪一个手臂离目标位点近，并选定该手臂；如果空闲手臂数等于1，则直接选择该空闲的手臂，并结束手臂选择步骤；如果无空闲手臂，则返回表示无空闲手臂的信息，并结束手臂选择步骤。 [0033] 在手臂移动步骤中，使所选择的手臂旋转至目标位点，以便由该手臂在目标位点处执行传输操作。事实上，手臂移动步骤还包括确定手臂旋转方向的步骤：即，根据目标位点M_Stn和选定手臂当前位点Cur_Stn，确定所选择的手臂的旋转方向，以便该手臂旋转最小角度而到达目标位点。
[0034] 下面结合图2详细说明本发明提供的机械手调度方法。
[0035] 如图2所示，在步骤110中判断空闲的手臂数量是否等于2，如果是，则转入步骤150；如果否，则转入步骤120并继续进行相应判断。
[0036] 步骤120，判断空闲的手臂数量是否等于1，如果是，则转到步骤140；如果否，则转到步骤130。
[0037] 步骤130，当空闲手臂数量不为1时，则说明当前没有空闲手臂，于是返回表示没有空闲手臂的信息，例如返回空值“NULL”等错误信息。
[0038] 步骤140，由于目前只有一个手臂空闲，为了使用空闲手臂进行传输操作，则返回表示该空闲手臂的信息，例如返回空闲手臂的标号，即，手臂A(第一手臂)或手臂B(第二手臂)。
[0039] 步骤150，计算目标位点M_Stn与手臂当前位点Cur_Stn之差，并将该差值的绝对值赋值给变量a，即，a＝|Cur_Stn-M_Stn|；计算目标位点M_Stn与手臂当前位点Cur_Stn之差，并将该差值加上N/2后取绝对值，将该绝对值赋值给变量b，即，b＝|Cur_Stn+N/2-M_Stn|。其中，N表示位点总数。
[0040] 步骤160，判断是否a>N/2，如果是，则转到步骤170；如果否，则转到步骤180。
[0041] 步骤170，对a重新赋值，即，a＝a-N/2。
[0042] 步骤180，保持a值不变。
[0043] 步骤190，判断是否b>N/2，如果是，则转到步骤200；如果否，则转到步骤210。 [0044] 步骤200，对b重新赋值，即，b＝b-N/2。
[0045] 步骤210，保持b值不变。
[0046] 步骤220，判断是否a
[0047] 步骤230，选择手臂A。
[0048] 步骤240，选择手臂B。
[0049] 事实上，在步骤140、步骤230、步骤240之后可以进入到手臂移动步骤，以使所选手臂快速移动到目标位点。
[0050] 通过上述过程即可实现空闲手臂的判断并选择离目标位点最近的手臂以进行后续传输操作，从而使机械手能够快速地移动到目标位点以实现快速传输操作。 [0051] 下面结合图3对图1所示等离子体处理设备中的机械手调度方法进行详细说明。 [0052] 如图3所示，在步骤310中判断空闲的手臂数量是否等于2，如果是，则转入步骤350；如果否，则转入步骤320并继续进行相应判断。
[0053] 步骤320，判断空闲的手臂数量是否等于1，如果是，则转到步骤340；如果否，则转到步骤330。
[0054] 步骤330，当空闲手臂数量不为1时，则说明当前没有空闲手臂，于是返回表示没有空闲手臂的信息，例如返回空值“NULL”等错误信息。
[0055] 步骤340，由于目前只有一个手臂空闲，为了使用空闲手臂进行传输操作，则返回表示该空闲手臂的信息，例如返回空闲手臂的标号，即，手臂A(第一手臂)或手臂B(第二手臂)。
[0056] 步骤350，计算目标位点M_Stn与手臂A当前位点Cur_Stn之差，并判断该差值的绝对值是否小于等于1，即，判断是否|Cur_Stn-M_Stn|<＝1；或者判断该差值的绝对值是否等于5，即，判断是否|Cur_Stn -M_Stn|＝5。只要这两个判断之一的结果为“是”，则确定手臂A离目标位点最近，并转到步骤360；否则，确定手臂B离目标位点最近，并转到步骤370。事实上，判断是否|Cur_Stn-M_Stn|＝5是考虑到{M_Stn＝6，Cur_Stn＝1}和{M_Stn＝1，cur_Stn＝6}这样的情况。
[0057] 步骤360，选择手臂A。
[0058] 步骤370，选择手臂B。
[0059] 步骤380，使所选定的手臂移动到目标位点(即，移动到目标腔室模块位置处)，此时，手臂当前位点Cur_Stn同目标位点M_Stn一致，即，Cur_Stn＝M_Stn。 [0060] 举例说明，对于图1所示等离子体处理设备，当目标位点M_Stn＝1(即，对应于腔室模块1)，手臂A当前位点Cur_Stn＝3时，根据图2所示方法，判断出手臂A和B均空闲，并且通过计算得到|Cur_Stn-M_Stn|＝2，于是确定手臂B为距离目标位点最近的手臂，并且选择该手臂B，而不是像背景技术中所述的那样随机选择手臂。这样，选定手臂B就可以实现快速移动手臂并快速执行传输操作的目的。其实，从图1可以明显地看出手臂B距离目标位点最近，这也就充分验证了上述机械手调度方法的正确性和科学性。 [0061] 类似地，当目标位点M_Stn＝1，手臂A当前位点Cur_Stn＝6时，根据图2所示方法，判断出手臂A和B均空闲，并且通过得到|Cur_Stn-M_Stn|＝5，于是确定手臂A为距离目标位点最近的手臂，并且选择该手臂A，从而可以实现快速移动手臂并快速执行传输操作。这种选择的正确性从图1中也可以明显地看出来。
[0062] 此外，本发明还提供一种机械手调度装置。下面以具有两个手臂的机械手为例来对该装置进行说明。本发明提供的机械手调度装置包括手臂选择单元和手臂移动单元。 [0063] 其中，所述手臂选择单元用于根据空闲手臂的数量、手臂当前位点Cur_Stn、目标位点M_Stn，确定选择哪一个手臂进行传输操作。具体地，该手臂选择单元可包括空闲手臂判断模块和手臂选定模块。
[0064] 就空闲手臂判断模块而言，其用于判断空闲的手臂数量，如果空闲手臂数等于2，则启动手臂选定模块；如果空闲手臂数等于1，则直接选定该空闲的手臂；如果无空闲手臂，则返回无空闲手臂的信息。手臂选定模块用于根据手臂当前位点Cur_Stn、目标位点M_Stn，确定哪一个手臂离目标位点近，并选定该手臂。
[0065] 就手臂选定模块而言，其具体包括计算子模块和比较子模块。计算子模块用于计算手臂当前位点Cur_Stn与目标位点M_Stn的差值，并将该差值的绝对值赋值给变量a，即，a＝|Cur_Stn-M_Stn|；并且还用于计算手臂当前位点Cur_Stn与目标位点M_Stn的差值，将该差值与N/2求和后的绝对值赋值给变量b，即，b＝|Cur_Stn+N/2-M_Stn|，其中的N表示位点总数。比较子模块，其执行这样的判断内容：
[0066] I)判断是否a＞N/2，如果是，则对a重新赋值为a＝N-a；如果否，则保持a值不变；
[0067] II)判断是否b＞N/2，如果是，则对b重新赋值为b＝N-b；如果否，则保持b值不变。
[0068] III)比较a和b，如果a＜b，则确定选择手臂A；否则，确定选择手臂B。 [0069] 所述手臂移动单元用于使所选定的手臂旋转至目标位点，以便由该手臂在目标位点执行传输操作。事实上，该手臂移动单元可根据目标位点M_Stn和选定手臂当前位点Cur_Stn，确定所选择的手臂的旋转方向，以便该手臂旋转最小角度而到达目标位点。 [0070] 下面以应用于图1所示等离子体处理设备中的机械手调度装置为例对本发明进行说明。在该设备中，位点总数N为6。该机械手调度装置工作过程中，在空闲手臂判断模块判断出空闲手臂数量为2后，手臂选定模块可以执行这样的操作：由计算子模块计算Cur_Stn-M_Stn；由比较子模块判断是否|Cur_Stn-M_Stn|＜＝1，或者|Cur_Stn-M_Stn|＝5；如果这两个判断之一的结果为“是”，则选择手臂A；否则，选择手臂B。其具体过程类似于前面结合图3所作的描述，在此不再赘述。
[0071] 另外，本发明还提供一种等离子体处理设备，其采用了如前所述本发明所提供的机械手调度方法，以根据具体情况选择离目标腔室最近的手臂进行传输操作。 [0072] 再有，本发明还提供一种等离子体处理设备，其采用了如前所述本 发明所提供的机械手调度装置，以根据具体情况选择离目标腔室最近的手臂进行传输操作。 [0073] 需要指出的是，尽管前述实施例中应用于等离子体处理设备中的机械手为例对本发明提供的机械手调度方法/装置，以及应用该方法和/或装置的等离子体处理设备进行了详细描述，但是本发明并不局限于此，而是在实际应用中，凡是设置了具有至少两个手臂的机械手的设备/系统，就均可以采用本发明所提供的机械手调度方法/装置，以科学地选择手臂、快速移动手臂，从而实现快速的传输操作。
[0074] 可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。
