开门式单晶炉取棒车转让专利

申请号 : CN201010161412.5

文献号 : CN101824655B

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基本信息:

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法律信息:

相似专利:

发明人 : 许月明汪益龙周岱忠李晓荣

申请人 : 杭州富通半导体设备科技有限公司

摘要 :

一种开门式单晶炉取棒车,涉及一种单晶炉取棒车,它有一个车架,车架底部设有定向轮和带刹万向轮,车架上设有升降系统和水平伸缩夹紧系统,升降系统主要包括油泵组件、油箱、液压缸、顶杆、上升踏板、下降踏板、升降导杆、导杆支架、导杆限位板。水平伸缩夹紧系统在液压缸顶杆上方,其主要包括伸缩手轮、伸缩丝杆、导向筒、伸缩臂、夹紧丝杆、夹紧手轮、锁紧销、压紧臂、卡紧块、轴销、托盘、链条、吊钩组成。本发明避免由于人工取棒所造成的烫伤的可能,进而导致单晶硅棒脱落,造成事故以及产生产品质量的问题,其可以更加安全和精确地完成取棒过程。

权利要求 :

1.一种开门式单晶炉取棒车,它有一个车架,车架底部设有带刹万向轮和定向轮,其特征在于所述的车架上设有升降系统和水平伸缩夹紧系统:车架上端连接有扶手;升降系统包括上升踏板、下降踏板、油泵组件、油箱、液压缸、顶杆、升降导杆、导杆支架、导杆限位板、抱箍和拉杆,其中油箱在车架上部,油泵组件在车架下部,液压缸在定向轮上方并与车架连接,液压缸上套有抱箍,抱箍通过拉杆与机架连接,顶杆为液压缸的一部份,油泵组件通过油管与油箱连接,其前部有油泵组件进出油口,液压缸下部设有液压缸进出油口,导杆限位板与抱箍连接;水平伸缩夹紧系统包括伸缩手轮、伸缩丝杆、导向筒、伸缩臂、夹紧丝杆、夹紧手轮、锁紧销、压紧臂、卡紧块、轴销、吊钩、链条、托盘,其中伸缩丝杆一端与伸缩手轮连接,另一端与伸缩臂连接,伸缩臂在导向筒内,导向筒与顶杆上端连接,伸缩臂前端设有夹紧丝杆,夹紧丝杆的一端设有锁紧销,并且夹紧丝杆连接两只压紧臂,两只压紧臂前端分别设有上下两只卡紧块,卡紧块通过轴销与压紧臂连接,轴销下端连接吊钩,挂在吊钩上的的两根链条下端挂有托盘。

2.如权利要求1所述的一种开门式单晶炉取棒车,其特征在于所述的夹紧丝杆的一端设有夹紧手轮。

说明书 :

开门式单晶炉取棒车

技术领域:

[0001] 本发明涉及一种开门式单晶炉配套使用的取棒车。背景技术:
[0002] 单晶炉的取棒过程以人工取棒方式为主,而单晶硅棒生产完毕后,其温度极高,采用人工方式危险系数较高,容易发生烫伤事故以及造成单晶硅棒的跌落,影响产品质量,而且人工取棒方式精确度较低,单晶硅棒容易摆动,造成籽晶的断裂,同样会产生质量事故,目前还没有一个较好的办法解决开门式单晶炉取棒过程中的这些问题。发明内容:
[0003] 本发明提供一种开门式单晶炉取棒车,其避免了由于人工取棒所造成的烫伤事故,保证了产品质量,大大提高取棒的操作精确性,提高生产效率。
[0004] 本发明是通过如下技术方案来实现的:一种开门式单晶炉取棒车,它有一个车架,车架底部设有带刹万向轮和定向轮,其主要技术特征是所述的车架上设有升降系统和水平伸缩夹紧系统:车架上端连接有扶手;升降系统包括上升踏板、下降踏板、油泵组件、油箱、液压缸、顶杆、升降导杆、导杆支架、导杆限位板、抱箍和拉杆,其中油箱在车架上部,油泵组件在车架下部,液压缸在定向轮上方并与车架连接,液压缸上套有抱箍,抱箍通过拉杆与机架连接,顶杆为液压缸的一部份,油泵组件通过油管与油箱连接,其前部有油泵组件进出油口,液压缸下部设有液压缸进出油口,导杆限位板与抱箍连接;水平伸缩夹紧系统包括伸缩手轮、伸缩丝杆、导向筒、伸缩臂、夹紧丝杆、夹紧手轮、锁紧销、压紧臂、卡紧块、轴销、吊钩、链条、托盘,其中伸缩丝杆一端与伸缩手轮连接,另一端与伸缩臂连接,伸缩臂在导向筒内,导向筒与顶杆上端连接,伸缩臂前端设有夹紧丝杆,夹紧丝杆的一端设有锁紧销,并且夹紧丝杆连接两只压紧臂,两只压紧臂前端分别设有上下两只卡紧块,卡紧块通过轴销与压紧臂连接,轴销下端连接吊钩,挂在吊钩上的的两根链条下端挂有托盘。
[0005] 所述的夹紧丝杆的一端设有夹紧手轮。
[0006] 本发明的有益效果是:采用机械取棒方式取代人工取棒方式,提高生产效率,避免了人工取棒方式所容易造成的烫伤事故及单晶硅棒的损坏问题,提高操作精确度,避免单晶硅棒摆动所造成的籽晶轴断裂,提高生产效率。附图说明:
[0007] 图1为本发明的主视图;
[0008] 图2为附图1的左视图;
[0009] 图3为所述水平伸缩夹紧系统的俯视图。具体实施方式:
[0010] 图中:1、下降踏板,2、上升踏板,3、油泵组件,4、车架,5、油箱,6、扶手,7、拉杆,8、伸缩手轮,9、伸缩丝杆,10、导向筒,11、伸缩臂,12、夹紧丝杆,14、压紧臂,15、卡紧块,16、轴销,17、吊钩,18、链条,19、托盘,20、顶杆,21、导向杆支架,22、抱箍,23、液压缸,24、液压缸进出油口,25、定向轮,26、油泵组件进出油口,27、带刹万向轮,28,锁紧销,29,夹紧手轮,30升降导杆,31、导杆限位板
[0011] 参照附图1和附图2,开门式单晶炉取棒车,它有一个车架4,车架4底部设有带刹万向轮27和定向轮25,其特征在于所述的车架4上设有升降系统和水平伸缩夹紧系统:车架4上端连接有扶手6,升降系统包括上升踏板2、下降踏板1、油泵组件3、油箱5、液压缸23、顶杆20、升降导杆30、导杆支架21、导杆限位板31、抱箍22和拉杆7,其中油箱5在车架
4上部,油泵组件3在车架4下部,连有上升踏板1和下降踏板2,液压缸23在定向轮25上方并与车架4连接,液压缸上套有抱箍22,抱箍通过拉杆7与车架连接,顶杆20为液压缸
23的一部份,导杆限位板31与抱箍22连接;油泵组件3通过油管与油箱5连接,其前部有油泵组件进出油口26,液压缸下部设有液压缸进出油口24。
[0012] 参照附图1、附图2和附图3,水平伸缩夹紧系统包括伸缩手轮8、伸缩丝杆9、导向筒10、伸缩臂11、夹紧丝杆12、夹紧手轮29、锁紧销28、压紧臂14、卡紧块15、轴销16、吊钩17、链条18、托盘19,其中伸缩丝杆9一端与伸缩手轮8连接,另一端与伸缩臂11连接,伸缩臂在导向筒10内,导向筒10与顶杆20上端连接,伸缩臂11前端设有夹紧丝杆12,夹紧丝杆12一侧设有夹紧手轮8和锁紧销28,并且夹紧丝杆12连接两只压紧臂14,两只压紧臂14前端分别设有卡紧块15,卡紧块15通过轴销16与压紧臂14连接,轴销16下端连接吊钩17,挂在吊钩17上的两根链条18下端挂有托盘19。
[0013] 取棒前,先打开炉门,手握扶手6将取棒车推到正对副炉门门口,刹住带刹万向轮27,利用所述的升降系统将水平伸缩夹紧部份及托盘19抬高,即用脚踏上升踏板2,使油泵组件3动作将油箱5中液压油经油泵组件进出油口26,通过连接油管从液压缸进出油口24进入液压缸23,油压推动顶杆20上升,进而带动水平伸缩夹紧系统及托盘19上升,上升至托盘19超过炉门下沿口并位于单晶棒下端,利用所述的水平伸缩夹紧系统将单晶硅棒夹紧、托住,即用手转动伸缩手轮8,通过伸缩丝杆9微调带动伸缩臂11向前移动,伸进副炉内,至两只卡紧块15分别位于单晶硅棒两侧,此时调整链条18高度,使托盘19托住单晶棒下端,手动旋转夹紧手轮29,通过夹紧丝杆12带动夹紧臂进而使卡紧块15将单晶硅棒夹牢,并旋紧锁紧销28,此时剪断单晶棒上部籽晶,然后松开带刹万向轮27,手握扶手6将取棒车向后拉出。待单晶棒出炉后,脚踏下降踏板1,通过油泵组件3动作,使液压缸内的油按原管路返回,顶杆20下降,所夹持的单晶棒也下降到低位,此时可推动小车将单晶棒运送入库,完成取棒过程。
[0014] 上述实施方式仅为更清楚地说明本发明,而并非对本发明具体实施方式的限定,在此基础上还可以做出不同形式的变化或者变动,而属于本发明所引伸出的变化或者变动仍处于本发明的保护范围之内。