加速度传感器

摘要

本发明提供了一种加速度传感器，其特征在于：该加速度传感器包括基底、质量块、第一组电容、对第一组电容相邻的第三组电容，其中；质量块可相对于基底运动，并设有上表面、与上表面平行的下表面以及连接上下表面的侧壁；第一组电容包括与质量块侧壁相连接的第一动电极轴、连接第一动电极轴与基底的第一弹性支撑部件，以及由第一动电极轴延伸并垂直于质量块侧壁法向的若干第一动电极；第一组电容还包括若干与第一动电极平行并连接固定至基底的第一定电极；每两相邻的第一动电极之间设有至少一个上述的第一定电极；还包括分别与质量块侧面相连的第二组电容和第四组电容。本发明提供的加速度传感器尺寸小、灵敏度高，设计灵活。

权利要求

1.一种加速度传感器，其特征在于：该加速度传感器包括基底、质量块、第一组电容、与第一组电容相邻的第三组电容，其中：质量块可相对于基底运动，并设有上表面、与上表面平行的下表面以及连接上下表面的侧壁；

第一组电容包括与质量块侧壁相连接的第一动电极轴、连接第一动电极轴与基底的第一弹性支撑部件，以及由第一动电极轴延伸并垂直于质量块侧壁法向的若干第一动电极；

第一组电容还包括若干与第一动电极平行并连接固定至基底的第一定电极；每两相邻的第一动电极之间设有至少一个上述的第一定电极，每两相邻的第一定电极之间设有至少一个上述的第一动电极，且相邻的第一动电极与第一定电极在质量块的侧壁的法向上具有重叠面积；第一动电极具有与质量块上表面平行的第一动电极顶面与第一动电极底面；第一定电极具有与质量块上表面平行的第一定电极顶面与第一定电极底面；第一动电极顶面相较第一定电极顶面更靠近质量块上表面，同时，第一动电极底面相较第一定电极底面更靠近质量块上表面；

第三组电容包括与质量块侧壁相连接的第三动电极轴、连接第三动电极轴与基底的第三弹性支撑部件，以及由第三动电极轴延伸并垂直于质量块侧壁法向的若干第三动电极；

第三组电容还包括若干与第三动电极平行并连接固定至基底的第三定电极；每两相邻的第三动电极之间设有至少一个上述的第三定电极，每两相邻的第三定电极之间设有至少一个上述的第三动电极，且相邻的第三动电极与第三定电极在质量块的侧壁的法向上具有重叠面积；第三动电极具有与质量块上表面平行的第三动电极顶面与第三动电极底面；第三定电极具有与质量块上表面平行的第三定电极顶面与第三定电极底面；第三动电极顶面相较第三定电极顶面更远离质量块上表面，同时，第三动电极底面相较第三定电极底面更远离质量块上表面；

第一组电容的第一动电极垂直于第三组电容的第三动电极；

该加速度传感器还包括分别与质量块侧面相连的第二组电容和第四组电容，第二组电容与第一组电容结构相同且关于质量块对称分布；第四组电容与第三组电容结构相同且关于质量块对称分布。

2.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于：所述第一组电容还包括用于将第一定电极固定在基底上的第一定电极轴，该第一定电极轴沿质量块的轴向延伸且不与质量块连接，第一定电极自第一定电极轴向第一动电极轴的方向延伸；所述第三组电容还包括用于将第三定电极固定在基底上的第三定电极轴，该第三定电极轴沿质量块的轴向延伸且不与质量块连接，第三定电极自第三定电极轴向第三动电极轴的方向延伸。

3.一种加速度传感器，其特征在于：该加速度传感器包括质量块、第一组电容和第三组电容；

质量块设有上表面、下表面和连接上表面、下表面的侧面，第一组电容和第三组电容分别连接质量块的侧面；

第一组电容包括第一弹性支撑部件、设有两个端面和将两个端面连接的侧面的第一动电极轴、该第一动电极轴的一个端面与质量块的侧面相连，另一个端面与所述第一弹性支撑部件相连，自该第一动电极轴的侧面延伸出第一动电极，该第一组电容还包括第一定电极和固定所述第一定电极的第一定电极轴，第一动电极和第一定电极梳齿状排布，且相互交叉；

其中，第一动电极包括第一动电极上表面、第一动电极下表面和将第一动电极上表面、第一动电极下表面连接的第一动电极侧面；第一定电极包括第一定电极上表面、第一定电极下表面和将第一定电极上表面、第一定电极下表面连接的第一定电极侧面；

第一动电极上表面和第一定电极上表面不在一个平面上，第一动电极上表面和第一定电极下表面不在一个平面上，第一动电极下表面和第一定电极下表面不在一个平面上，第一动电极下表面和第一定电极上表面不在一个平面上；

第三组电容包括第三弹性支撑部件、设有两个端面和将两个端面连接的侧面的第三动电极轴、该第三动电极轴的一个端面与质量块的侧面相连，另一个端面与所述第三弹性支撑部件相连，自该第三动电极轴的侧面延伸出第三动电极，该第三组电容还包括第三定电极和固定所述第三定电极的第三定电极轴，第三动电极和第三定电极梳齿状排布，且相互交叉；

其中，第三动电极包括第三动电极上表面、第三动电极下表面和将第三动电极上表面、第三动电极下表面连接的第三动电极侧面；第三定电极包括第三定电极上表面、第三定电极下表面和将第三定电极上表面、第三定电极下表面连接的第三定电极侧面；

第三动电极上表面和第三定电极上表面不在一个平面上，第三动电极上表面和第三定电极下表面不在一个平面上，第三动电极下表面和第三定电极下表面不在一个平面上，第三动电极下表面和第三定电极上表面不在一个平面上；

第一动电极上表面和第三动电极上表面不在一个平面，第一定电极上表面和第三定电极上表面不在一个平面；

第一动电极轴和第三动电极轴之间的角度是90°；

该加速度传感器还包括分别与质量块侧面相连的第二组电容和第四组电容，第二组电容与第一组电容结构相同且关于质量块对称分布；第四组电容与第三组电容结构相同且关于质量块对称分布。

说明书

加速度传感器

[0001] 本申请与本申请人另一件同日申请的专利申请《MEMS加速度传感器》相关。二者的不同之处在于：第一动电极顶面相较第一定电极顶面更靠近质量块上表面，同时，第一动电极底面相较第一定电极底面更靠近质量块上表面；第三动电极顶面相较第三定电极顶面更远离质量块上表面，同时，第三动电极底面相较第三定电极底面更远离质量块上表面。本申请是在相关申请的基础上进一步细化。合先叙明。

技术领域

[0002] 本发明涉及一种传感器，尤其涉及一种将三轴方向加速度检测集于一体的加速度传感器。

背景技术

[0003] 加速度计已经广泛的应用于汽车制造领域，如防锁刹车系统。近年来，加速度计的应用领域快速增长。三轴加速度计以其低成本得到广泛的应用。三轴加速度计也逐渐被应用到消费电子产品上，如移动电话、电脑和游戏机等。

[0004] 相关结构的加速度传感器主要采用x、y轴与z轴分开模块实现其传感器的功能。相关结构或者方法的失陷是使得加速度计的尺寸增加，难以实现微型化。另外z轴灵敏度低。

发明内容

[0005] 本发明需解决的技术问题是提供一种灵敏度高的加速度传感器。

[0006] 根据上述需解决的技术问题，设计了一种加速度传感器，该加速度传感器包括基底、质量块、第一组电容、与第一组电容相邻的第三组电容，其中；

[0007] 质量块可相对于基底运动，并设有上表面、与上表面平行的下表面以及连接上下表面的侧壁；

[0008] 第一组电容包括与质量块侧壁相连接的第一动电极轴、连接第一动电极轴与基底的第一弹性支撑部件，以及由第一动电极轴延伸并垂直于质量块侧壁法向的若干第一动电极；第一组电容还包括若干与第一动电极平行并连接固定至基底的第一定电极；每两相邻的第一动电极之间设有至少一个上述的第一定电极，每两相邻的第一定电极之间设有至少一个上述的第一动电极，且相邻的第一动电极与第一定电极在质量块的侧壁的法向上具有重叠面积；第一动电极具有与质量块上表面平行的第一动电极顶面与第一动电极底面；第一定电极具有与质量块上表面平行的第一定电极顶面与第一定电极底面；第一动电极顶面相较第一定电极顶面更靠近质量块上表面，同时，第一动电极底面相较第一定电极底面更靠近质量块上表面；

[0009] 第三组电容包括与质量块侧壁相连接的第三动电极轴、连接第三动电极轴与基底的第三弹性支撑部件，以及由第三动电极轴延伸并垂直于质量块侧壁法向的若干第三动电极；第三组电容还包括若干与第三动电极平行并连接固定至基底的第三定电极；每两相邻的第三动电极之间设有至少一个上述的第三定电极，每两相邻的第三定电极之间设有至少一个上述的第三动电极，且相邻的第三动电极与第三定电极在质量块的侧壁的法向上具有重叠面积；第三动电极具有与质量块上表面平行的第三动电极顶面与第三动电极底面；第三定电极具有与质量块上表面平行的第三定电极顶面与第三定电极底面；第三动电极顶面相较第三定电极顶面更远离质量块上表面，同时，第三动电极底面相较第三定电极底面更远离质量块上表面；

[0010] 第一组电容的第一动电极垂直于第三组电容的第三动电极；

[0011] 该加速度传感器还包括分别与质量块侧面相连的第二组电容和第四组电容，第二组电容与第一组电容结构相同且关于质量块对称分布；第四组电容与第三组电容结构相同且关于质量块对称分布。

[0012] 优选的，所述第一组电容还包括用于将第一定电极固定在基底上的第一定电极轴，该第一定电极轴沿质量块的轴向延伸且不与质量块连接，第一定电极自第一定电极轴向第一动电极轴的方向延伸；所述第三组电容还包括用于将第三定电极固定在基底上的第三定电极轴，该第三定电极轴沿质量块的轴向延伸且不与质量块连接，第三定电极自第三定电极轴向第三动电极轴的方向延伸。

[0013] 本发明还提供了一种加速度传感器，该加速度传感器包括质量块、第一组电容和第三组电容；

[0014] 质量块设有上表面、下表面和连接上表面、下表面的侧面，第一组电容和第三组电容分别连接质量块的侧面；

[0015] 第一组电容包括第一弹性支撑部件、设有两个端面和将两个端面连接的侧面的第一动电极轴、该第一动电极轴的一个端面与质量块的侧面相连，另一个端面与所述第一弹性支撑部件相连，自该第一动电极轴的侧面延伸出第一动电极，该第一组电容还包括第一定电极和固定所述第一定电极的第一定电极轴，第一动电极和第一定电极梳齿状排布，且相互交叉；

[0016] 其中，第一动电极包括第一动电极上表面、第一动电极下表面和将第一动电极上表面、第一动电极下表面连接的第一动电极侧面；第一定电极包括第一定电极上表面、第一定电极下表面和将第一定电极上表面、第一定电极下表面连接的第一定电极侧面；

[0017] 第一动电极上表面和第一定电极上表面不在一个平面上，第一动电极上表面和第一定电极下表面不在一个平面上，第一动电极下表面和第一定电极下表面不在一个平面上，第一动电极下表面和第一定电极上表面不在一个平面上；

[0018] 第三组电容包括第三弹性支撑部件、设有两个端面和将两个端面连接的侧面的第三动电极轴、该第三动电极轴的一个端面与质量块的侧面相连，另一个端面与所述第三弹性支撑部件相连，自该第三动电极轴的侧面延伸出第三动电极，该第三组电容还包括第三定电极和固定所述第三定电极的第三定电极轴，第三动电极和第三定电极梳齿状排布，且相互交叉；

[0019] 其中，第三动电极包括第三动电极上表面、第三动电极下表面和将第三动电极上表面、第三动电极下表面连接的第三动电极侧面；第三定电极包括第三定电极上表面、第三定电极下表面和将第三定电极上表面、第三定电极下表面连接的第三定电极侧面；

[0020] 第三动电极上表面和第三定电极上表面不在一个平面上，第三动电极上表面和第三定电极下表面不在一个平面上，第三动电极下表面和第三定电极下表面不在一个平面上，第三动电极下表面和第三定电极上表面不在一个平面上；

[0021] 第一动电极上表面和第三动电极上表面不在一个平面，第一定电极上表面和第三定电极上表面不在一个平面；

[0022] 第一动电极轴和第三动电极轴之间的角度是90°；

[0023] 优选的，该加速度传感器还包括分别与质量块侧面相连的第二组电容和第四组电容，第二组电容与第一组电容结构相同且关于质量块对称分布；第四组电容与第三组电容结构相同且关于质量块对称分布。

[0024] 本发明的有益效果在于：本发明将三轴基于一体，动电极通过质量块连接在一起，左右前后四组定电极与动电极构成三对差分电容，其中Z轴差分电容由定电极和动电极高度不容实现差分电容，工作时三差分电容随外加加速度变化的趋势正好相反。本发明的优点在于传感器尺寸小、灵敏度高，设计灵活。

附图说明

[0025] 图1是本发明提供的一个实施例的立体示意图；

[0026] 图2是本发明提供的另一个实施例的立体示意图；

[0027] 图3是图2中的平面示意图；

[0028] 图4是图2中沿AA’的剖视图；

[0029] 图5是图2中沿BB’的剖视图；

[0030] 图6是本发明提供的第三个实施例的立体示意图。

具体实施方式

[0031] 下面结合附图和实施方式对本发明作进一步说明。

[0032] 参见图1，本发明的一个实施例中，本发明提供的加速度传感器，包括质量块5、第一组电容C1和第三组电容C3。

[0033] 质量块5设有上表面51、下表面52(参见图4)和连接上表面51、下表面52的侧面53，第一组电容C1和第三组电容C3分别连接质量块5的侧面53。

[0034] 第一组电容C1包括第一弹性支撑部件13、设有两个端面和将两个端面连接的侧面的第一动电极轴14、该第一动电极轴14的一个端面与质量块5的侧面53相连，另一个端面与所述第一弹性支撑部件13相连，自该第一动电极轴14的侧面延伸出第一动电极11，该第一组电容C1还包括第一定电极12和固定所述第一定电极12的第一定电极轴15，第一动电极11和第一定电极12梳齿状排布，且相互交叉。

[0035] 其中，第一动电极11包括第一动电极111上表面、第一动电极下表面(未标示)和将第一动电极上表面111、第一动电极下表面连接的第一动电极侧面113；第一定电极12包括第一定电极上表面121、第一定电极下表面(未标示)和将第一定电极上表面121、第一定电极下表面连接的第一定电极侧面123。

[0036] 第一动电极上表面111和第一定电极上表面121不在一个平面上，第一动电极上表面111和第一定电极下表面不在一个平面上，第一动电极下表面和第一定电极下表面不在一个平面上，第一动电极下表面和第一定电极上表面121不在一个平面上。即，第一动电极111和第一定电极112是相互交错且高度不同的。

[0037] 第三组电容C3包括第三弹性支撑部件33、设有两个端面和将两个端面连接的侧面的第三动电极轴34、该第三动电极轴34的一个端面与质量块5的侧面53相连，另一个端面与所述第三弹性支撑部件33相连，自该第三动电极轴33的侧面延伸出第三动电极31，该第三组电容C3还包括第三定电极32和固定所述第三定电极32的第三定电极轴35，第三动电极31和第三定电极32梳齿状排布，且相互交叉。

[0038] 其中，第三动电极31包括第三动电极上表面311、第三动电极下表面(未标示)和将第三动电极上表面311、第三动电极下表面连接的第三动电极侧面(未标示)；第三定电极32包括第三定电极上表面321、第三定电极下表面(未标示)和将第三定电极上表面321、第三定电极下表面连接的第三定电极侧面323。

[0039] 第三动电极上表面311和第三定电极上表面321不在一个平面上，第三动电极上表面311和第三定电极下表面不在一个平面上，第三动电极下表面和第三定电极下表面不在一个平面上，第三动电极下表面和第三定电极上表面321不在一个平面上。即，第二动电极211和第二定电极212是相互交错且高度不同的。

[0040] 第一动电极上表面111和第三动电极上表面311不在一个平面，第一定电极上表面121和第三定电极上表面321不在一个平面。

[0041] 第一动电极轴和第三动电极轴之间的角度是90°。

[0042] 参见图2，在本发明提供的另外一个实施例中，本发明提供的加速度传感器还包括分别与质量块侧面53相连的第二组电容C2和第四组电容C4，第二组电容C2与第一组电容C1结构相同且关于质量块5对称分布；第四组电容C4与第三组电容C3结构相同且关于质量块5对称分布。

[0043] 具体而言，参见图2-5，本发明提供的三轴集成加速度传感器每组电容共包括四块动电极，八块定电极以及一个弹性支撑部件，四组电容关于质量块5对称分布于四周，且质量块5将四周动电极及弹性支撑部件连接在一起。动电极和定电极呈梳齿状排布，且空间上分离。

[0044] 即，第一组电容C1包括四块第一动电极11，八块第一定电极12，一个第一弹性支撑部件13，与质量块5相连的第一动电极轴14，用于固定第一定电极的第一定电极轴15；

[0045] 第二组电容C2包括四块第二动电极21，八块第二定电极22，一个第二弹性支撑部件23，与质量块5相连的第二动电极轴24，用于固定第二定电极的第一定电极轴25；

[0046] 第三组电容C3包括四块第三动电极31，八块第三定电极32，一个第三弹性支撑部件33，与质量块5相连的第三动电极轴34，用于固定第三定电极的第三定电极轴35；

[0047] 第四组电容C4包括四块第四动电极41，八块第四定电极42，一个第四弹性支撑部件43，与质量块5相连的第四动电极轴44，用于固定第四定电极的第四定电极轴45。

[0048] 第一组电容C1中，第一动电极11和第一定电极12呈梳齿状排布，且空间上分离，第二组电容C2与第一组电容C1结构相同，且关于质量块5对称分布；第三组电容C2中，第三动电极31和第三定电极32呈梳齿状排布，且空间上分离，第四组电容C4与第三组电容C3结构相同，且关于质量块5对称分布。

[0049] 所有四组电容，沿x和y方向的动电极与定电极的厚度具有相反的错位关系。例如，沿x方向，动电极高于定电极，那么沿y方向动电极位置必须低于定电极位置，这样相反趋势是为了实现z轴的差分传感功能。错位的高度差值取决于灵敏度的设计要求和加工工艺能力。

[0050] 工作原理：

[0051] x和y轴的传感机理有两种：第一是改变电极间距离来改变电容的变化从而实现x和y轴的差分原理；第二是改变电极间的重合面积来改变电容的变化从而实现x和y轴的差分原理。

[0052] 对于第一种传感机理详细叙述如下：

[0053] 当本发明设计的加速度传感器受到x方向的正方向或负方向加速度时，第一组电容C1变化增加第二组电容C2变化减小或第一组电容C1变化减小第二组电容C2变化增加从而实现x方向加速度的差分结构检测，进一步提高灵敏度。

[0054] 同理，当本发明设计的加速度传感器受到y方向的正方向或负方向加速度时，第三组电容C3变化增加第四组电容C4变化减小或第三组电容C3变化减小第四组电容C4变化增加从而实现y方向加速度的差分结构检测，进一步提高灵敏度。

[0055] 当本发明设计的加速度传感器受到z向的正方向加速度时，第一组电容C1和第二组电容C2电容变化减小，第三组电容C3和第四组电容C4电容变化增加，从而正方向加速度的差分结构检测；当其受到z向的负方向加速度时，第一组电容C1和第二组电容C2电容变化增加，第三组电容C3和第四组电容C4电容变化减小，从而负方向加速度的差分结构检测，从而提高z方向的灵敏度检测。

[0056] 对于第二种传感机理详细叙述如下：

[0057] 请参图4和图5，第一组电容C1以第一动电极轴14为界又包括两组电容，靠近第三组电容C3的第一组左电容C11，靠近第四组电容的第一组右电容C12；

[0058] 第二组电容C2以第二动电极轴24为界又包括两组电容，靠近第三组电容C3的第二组右电容C21，靠近第四组电容的第二组右电容C22；

[0059] 第三组电容C3以第三动电极轴34为界又包括两组电容，靠近第一组电容C1的第三组右电容C32，靠近第二组电容C2的第三组左电容C31；

[0060] 第四组电容C4以第四动电极轴44为界又包括两组电容，靠近第一组电容C1的第四组右电容C42，靠近第二组电容C2的第四组左电容C41。

[0061] 当本发明设计的加速度传感器受到x方向的正方向或负方向加速度时，第三组左电容C31和第四组左电容C41电容变化增加第三组右电容C32和第四组右电容C42电容变化减小或第三组左电容C31和第四组左电容C41电容变化减小第三组右电容C32和第四组右电容C42电容变化增加从而实现x方向加速度的差分结构检测，进一步提高灵敏度；同理，当本发明设计的加速度传感器受到y方向的正方向或负方向加速度时，第一组右电容C12和第二组右电容C22电容变化增加第一组左电容C11和第二组右电容C21电容变化减小或第一组右电容C12和第二组右电容C22电容变化减小第一组左电容C11和第二组右电容C21电容变化增加从而实现y方向加速度的差分结构检测，进一步提高灵敏度；当本发明设计的加速度传感器受到z向的正方向加速度时，第一组电容C1和第二组电容C2变化减小，第三组电容C3和第四组电容C4变化增加，从而正方向加速度的差分结构检测；当其受到z向的负方向加速度时，第一组电容C1和第二组C2变化增加，第三组电容C3和第四组电容C4电容变化减小，从而负方向加速度的差分结构检测，从而提高z方向的灵敏度检测。

[0062] 上述动电极上表面为靠近质量块上表面，动电极下表面为靠近质量块下表面；

[0063] 定电极上表面为靠近质量块上表面，动电极下表面为靠近质量块下表面。

[0064] 参见图6，本发明还提供了一种加速度传感器，该加速度传感器的的工作原理同上。其包括基底(未图示)、质量块5′、第一组电容c1′、对第一组电容相邻的第三组电容c3′。

[0065] 其中，质量块5′可相对于基底运动，并设有上表面51′、与上表面51′平行的下表面52′以及连接上下表面的侧壁53′。

[0066] 第一组电容c1′包括与质量块侧壁53′相连接的第一动电极轴14′、连接第一动电极轴14′与基底的第一弹性支撑部件13′，以及由第一动电极轴14′延伸并垂直于质量块侧壁53′法向的若干第一动电极11′；第一组电容c1′还包括若干与第一动电极11′平行并连接固定至基底的第一定电极12′；每两相邻的第一动电极11′之间设有至少一个上述的第一定电极12′，每两相邻的第一定电极12′之间设有至少一个上述的第一动电极11′，且相邻的第一动电极11′与第一定电极12′在质量块的侧壁53′的法向上具有重叠面积；第一动电极11′具有与质量块上表面51′平行的第一动电极顶面111′与第一动电极底面(未标示)；第一定电极12′具有与质量块上表面51′平行的第一定电极顶面121′与第一定电极底面(未标示)；第一动电极顶面111′相较第一定电极顶面
121′更靠近质量块上表面51′，同时，第一动电极底面相较第一定电极底面更靠近质量块上表面。

[0067] 第三组电容c3′包括与质量块侧壁53′相连接的第三动电极轴34′、连接第三动电极轴34′与基底的第三弹性支撑部件33′，以及由第三动电极轴34′延伸并垂直于质量块侧壁53′法向的若干第三动电极31′；第三组电容c3′还包括若干与第三动电极31′平行并连接固定至基底的第三定电极32′；每两相邻的第三动电极31′之间设有至少一个上述的第三定电极32′，每两相邻的第三定电极32′之间设有至少一个上述的第三动电极31′，且相邻的第三动电极31′与第三定电极32′在质量块的侧壁53′的法向上具有重叠面积；第三动电极31′具有与质量块上表面51′平行的第三动电极顶面311′与第三动电极底面(未标示)；第三定电极32′具有与质量块上表面51′平行的第三定电极顶面321′与第三定电极底面(未标示)；第三动电极顶面311′相较第三定电极顶面
321′更远离质量块上表面51′，同时，第三动电极底面相较第三定电极底面更远离质量块上表面。

[0068] 第一组电容c1′的第一动电极11′垂直于第三组电容c3′的第三动电极31′。

[0069] 该加速度传感器还包括分别与质量块侧面相连的第二组电容和第四组电容，第二组电容与第一组电容结构相同且关于质量块对称分布；第四组电容与第三组电容结构相同且关于质量块对称分布。

[0070] 第一组电容c1′还包括第一定电极轴15′第一定电极12′通过第一定电极轴15′固定，且与基底相连。第一定电极轴15′沿质量块5′的轴向延伸且不与质量块5′连接，第一定电极12′自第一定电极12′轴向第一动电极轴14′的方向延伸。

[0071] 第三组电容c3′还包括第三定电极轴35′。第三定电极32′通过第三定电极轴35′固定，且与基底相连。第三定电极轴35′沿质量块5′的轴向延伸且不与质量块5′连接，第三定电极32′自第三定电极32′轴向第三动电极轴34′的方向延伸。

[0072] 同样，该加速度传感器还包括分别与质量块侧面相连的第二组电容和第四组电容，第二组电容与第一组电容结构相同且关于质量块对称分布；第四组电容与第三组电容结构相同且关于质量块对称分布。即，第二组电容和第四组电容也分别包括第二定电极轴和第四定电极轴，其结构分别与第一定电极轴、第三定电极轴相同且关于质量块5′对称分布。

[0073] 本发明的保护范围并不以上述实施方式为限，但凡本领域普通技术人员根据本发明所揭示内容所作的等效修饰或变化，皆应纳入权利要求书中记载的保护范围内。