本发明公开了一种蒸镀腔体，包括底板、顶板以及设于底板与顶板之间的若干侧板，底板、顶板以及若干侧板互相密封连接形成中空的蒸镀腔，侧板开有基板传送口以及维修口，至少一侧板为呈弯折结构的弯折侧板，弯折侧板包括与顶板密封连接的上侧板，沿上侧板向蒸镀腔内斜向延伸形成中侧板，沿中侧板向下延伸形成下侧板，下侧板与所述底板密封连接，蒸镀腔体包括分别与上侧板、中侧板以及下侧板相对应的且体积依次减少的上腔体、中腔体以及下腔体，基板传送口位于所述上腔体上，维修口自中腔体开设至下腔体。本发明蒸镀腔体强度高，成本低并且轻便；另，本发明还提供了一种具有该蒸镀腔体的蒸镀装置。
1.一种蒸镀腔体，包括底板、顶板以及设于所述底板与所述顶板之间的若干侧板，所述底板、顶板以及若干侧板互相密封连接形成中空的蒸镀腔，所述侧板开有基板传送口以及维修口，其特征在于：至少一所述侧板为呈弯折结构的弯折侧板，所述弯折侧板包括与所述顶板密封连接的上侧板，沿所述上侧板向所述蒸镀腔内斜向延伸形成中侧板，沿所述中侧板向下延伸形成下侧板，所述下侧板与所述底板密封连接，所述蒸镀腔体包括分别与上侧板、中侧板以及下侧板相对应的且体积依次减少的上腔体、中腔体以及下腔体，所述基板传送口位于所述上腔体上，所述维修口自中腔体开设至下腔体。
2.如权利要求1所述的蒸镀腔体，其特征在于：所述侧板包括前侧板、后侧板、左侧板以及右侧板，所述基板传送口设于所述前侧板或后侧板对应所述上腔体处上，所述维修口设于所述左侧板或右侧板上对应所述中腔体至所述下腔体处。
3.如权利要求1所述的蒸镀腔体，其特征在于：对应所述维修口处设有遮挡门。
4.如权利要求1所述的蒸镀腔体，其特征在于：所述下侧板设有工艺开口。
5.如权利要求1所述的蒸镀腔体，其特征在于：若干所述侧板与所述底板以及所述顶板焊接连接。
6.一种蒸镀装置，包括镀膜基板、蒸发源、供应蒸发源材料装置以及蒸镀腔体，其特征在于：所述蒸镀腔体包括底板、顶板以及设于所述底板与所述顶板之间的若干侧板，所述底板、顶板以及若干侧板互相密封连接形成中空的蒸镀腔，所述侧板开有基板传送口以及维修口，至少一所述侧板为呈弯折结构的弯折侧板，所述弯折侧板包括与所述顶板密封连接的上侧板，沿所述上侧板向所述蒸镀腔内斜向延伸形成中侧板，沿所述中侧板向下延伸形成下侧板，所述下侧板与所述底板密封连接，所述蒸镀腔体包括分别与上侧板、中侧板以及下侧板相对应的且体积依次减少的上腔体、中腔体以及下腔体，所述基板传送口位于所述上腔体上，所述维修口自中腔体开设至下腔体，所述镀膜基板置于所述上腔体内，所述蒸发源置于所述中腔体内，所述供应蒸发源材料装置置于所述下腔体内。
7.如权利要求6所述的蒸镀装置，其特征在于：所述侧板包括前侧板、后侧板、左侧板以及右侧板，所述基板传送口设于所述前侧板或后侧板对应所述上腔体处上，所述维修口设于所述左侧板或右侧板上对应所述中腔体至所述下腔体处。
8.如权利要求6所述的蒸镀装置，其特征在于：对应所述维修口处设有遮挡门。
9.如权利要求6所述的蒸镀装置，其特征在于：所述下侧板设有工艺开口。
10.如权利要求6所述的蒸镀装置，其特征在于：若干所述侧板与所述底板以及所述顶板焊接连接。
蒸镀腔体及具有该蒸镀腔体的蒸镀装置
技术领域
[0001] 本发明涉及机械领域，特别涉及一种蒸镀腔体及具有该蒸镀腔体的蒸镀装置。
背景技术
[0002] 随着经济的不断发展、科技的不断进步和世界能源的日益减少，人们在生产中越来越重视能源的节约及利用效率，使得人与自然和谐发展以满足中国新型的工业化道路要求。
[0003] 例如，在数码产品的显示产业中，企业为了节约能源、降低生产成本，都加大投资研发力度，不断地追求节能的新产品。其中，OLED(OrganicLight-emitting Diode，有机发光二极管)显示屏就是数码产品中的一种新产品，其具备轻薄、省电等特性，因此在数码产品的显示屏上得到了广泛应用，并且具有较大的市场潜力，目前世界上对OLED的应用都聚焦在平板显示器上，因为OLED在目前所有显示技术中，因为可制作大尺寸、高亮度、高分辨率软屏的显示技术，可以做成和纸张一样的厚度；但OLED显示屏(有机发光显示屏)与传统的液晶显示屏并不同，其无需背光灯，采用非常薄的有机材料涂层和玻璃基片，当有电流通过时，这些有机材料就会发光，而且OLED显示屏可以做得更轻更薄，可视角度更大，并且能够显著节省电能；相应地，制造OLED显示屏的所有设备必须要保证OLED显示屏的精度要求。OLED显示屏是基于有机材料的一种电流型半导体发光器件。其典型结构是在ITO(Indium-Iin Oxide，氧化铟锡)玻璃上蒸镀一层几十纳米厚的有机发光材料作发光层，发光层上方设置(如蒸镀)一层低功函数的金属电极。当电极上加有电压时，发光层就产生光辐射而发光。
[0004] 而具体涉及到蒸镀技术的腔体，现有已知的用于蒸镀的腔体容器通常为长方体也包括正方体的结构。该腔体容器为了提高其刚性和耐压强度，需要使容器壁具有一定厚度，从而造成重量以及成本的增加。
[0005] 针对现时状况，本发明提供一种强度高，成本低并且轻便的蒸镀腔体。
发明内容
[0006] 本发明的目的是提供一种强度高，成本低并且轻便的蒸镀腔体。
[0007] 本发明的另一目的是提供一种具有蒸镀腔体的蒸镀装置，所述蒸镀腔体强度高，成本低并且轻便。
[0008] 为了实现上述目的，本发明提供一种蒸镀腔体，包括底板、顶板以及设于所述底板与所述顶板之间的若干侧板，所述底板、顶板以及若干侧板互相密封连接形成中空的蒸镀腔，所述侧板开有基板传送口以及维修口，至少一所述侧板为呈弯折结构的弯折侧板，所述弯折侧板包括与所述顶板密封连接的上侧板，沿所述上侧板向所述蒸镀腔内斜向延伸形成中侧板，沿所述中侧板向下延伸形成下侧板，所述下侧板与所述底板密封连接，所述蒸镀腔体包括分别与上侧板、中侧板以及下侧板相对应的且体积依次减少的上腔体、中腔体以及下腔体，所述基板传送口位于所述上腔体上，所述维修口自中腔体开设至下腔体。
[0009] 所述侧板包括前侧板、后侧板、左侧板以及右侧板，所述基板传送口设于所述前侧板或后侧板对应所述上腔体处上，所述维修口设于所述左侧板或右侧板上对应所述中腔体至所述下腔体处。
[0010] 对应所述维修口处设有遮挡门。该遮挡门用于遮挡该维修口。
[0011] 所述下侧板设有工艺开口。该工艺开口为腔体外部的用于蒸镀的材料送入腔体内部的入口。
[0012] 若干所述侧板与所述底板以及所述顶板焊接连接。
[0013] 本发明还提供一种蒸镀装置，包括镀膜基板、蒸发源、供应蒸发源材料装置以及蒸镀腔体，所述蒸镀腔体包括底板、顶板以及设于所述底板与所述顶板之间的若干侧板，所述底板、顶板以及若干侧板互相密封连接形成中空的蒸镀腔，所述侧板开有基板传送口以及维修口，至少一所述侧板为呈弯折结构的弯折侧板，所述弯折侧板包括与所述顶板密封连接的上侧板，沿所述上侧板向所述蒸镀腔内斜向延伸形成中侧板，沿所述中侧板向下延伸形成下侧板，所述下侧板与所述底板密封连接，所述蒸镀腔体包括分别与上侧板、中侧板以及下侧板相对应的且体积依次减少的上腔体、中腔体以及下腔体，所述基板传送口位于所述上腔体上，所述维修口自中腔体开设至下腔体，所述镀膜基板置于所述上腔体内，所述蒸发源置于所述中腔体内，所述供应蒸发源材料装置置于所述下腔体内。
[0014] 与现有技术相比，本发明蒸镀腔体至少有一弯折侧板，弯折侧板的中侧板是沿上侧板向所述蒸镀腔内斜向延伸形成，起到加强筋作用，大大提高了腔体的受压能力；所述蒸镀腔体包括分别与上侧板、中侧板以及下侧板相对应的且体积依次减少的上腔体、中腔体以及下腔体，使腔体体积减少，节省用料。
[0015] 通过以下的描述并结合附图，本发明将变得更加清晰，这些附图用于解释本发明的实施例。
附图说明
[0016] 图1为本发明蒸镀腔体的的结构立体图。
[0017] 图2为本发明蒸镀腔体的立体分解图。
具体实施方式
[0018] 本发明提供一种蒸镀装置，包括镀膜基板、蒸发源、供应蒸发源材料装置以及蒸镀腔体100。
[0019] 参考图1以及图2，蒸镀腔体100包括底板10、顶板20、设于所述底板10与所述顶板20之间的前侧板30、后侧板40、左侧板50以及右侧板60。所述底板10、顶板20以及若干侧板互相焊接连接形成中空的蒸镀腔。
[0020] 较佳者，左侧板50为呈弯折结构的弯折侧板。所述左侧板50包括上侧板51、下侧板53以及位于所述上侧板51与所述下侧板53之间的中侧板52。所述上侧板51、下侧板53以及中侧板52互相一体连接。所述上侧板51与所述顶板20密封焊接，所述中侧板52自所述上侧板51向内斜向延伸形成，所述下侧板53自所述中侧板52向下延伸并与所述底板10密封焊接。本实施例中，上、下侧板均与顶板20和底板10垂直。对应所述上侧板51、中侧板52以及下侧板53分别形成体积依次减少的上腔体110、中腔体120以及下腔体130。所述前侧板30以及后侧板40对应上腔体110处各设有一基板传送口35，用于传送镀膜基板。所述右侧板60对应中腔体120以及下腔体130处上设有两维修口61，用于对腔体内部零件进行安装、检修、清洁、维护。右侧板对应所述维修口61处设有遮挡门62，用于遮挡该维修口61。
[0021] 较佳者，所述下侧板53设有工艺开口531。该工艺开口531为腔体外部的用于蒸镀的材料送入腔体内部的入口。
[0022] 所述镀膜基板置于所述上腔体110内，所述蒸发源置于所述中腔体120内，所述供应蒸发源材料装置及其它辅助装置置于所述下腔体130内。
[0023] 使用本发明蒸镀装置时，从基板传送口35放入镀膜基板，从工艺开口531放入蒸镀材料，蒸发源加热蒸发源材料后，使蒸发源材料蒸发，从而镀至蒸镀膜基板上。当发生故障需要检修时，打开遮挡门62，从而检修维修口61内的各装置部件，修为完毕后关上遮挡门62即可。
[0024] 本发明蒸镀腔体100包括底板10、顶板20、设于所述底板10与所述顶板20之间的前侧板30、后侧板40、左侧板50以及右侧板60。左侧板50为弯折侧板，左侧板50包括上侧板51、中侧板52及下侧板53，中侧板52是沿上侧板向所述蒸镀腔70内斜向延伸形成，因而呈梯形结构，起到加强筋作用，大大提高了腔体的受压能力；所述蒸镀腔体100包括分别与上侧板51、中侧板52以及下侧板53相对应的且体积依次减少的上腔体110、中腔体120以及下腔体130，使腔体体积减少，节省用料。
[0025] 需要注意的是，所述底板10、顶板20以及若干侧板可通过焊接方式密封连接，还可通过其它方式如密封件封闭连接；该侧板数量不仅局限于4个，还可为其它合适的数量；该弯折侧板可为左侧板50，还可为右侧板60；该维修口61的数量不局限于两个，其它合适的数量均可。
[0026] 以上结合最佳实施例对本发明进行了描述，但本发明并不局限于以上揭示的实施例，而应当涵盖各种根据本实施例的本质进行的修改、等效组合。
