氧化物薄膜晶体管及其制造方法

摘要

氧化物薄膜晶体管及其制造方法。一种制造液晶显示(LCD)设备的方法包括以下步骤：在基板上形成栅极；在基板上形成栅绝缘层；在栅绝缘层上形成主有源层，在该主有源层的沟道区域的侧面具有锥形部分，并且在主有源层上形成源极和漏极；以及在源极和漏极上形成次有源层，该次有源层由基于非晶氧化锌的半导体制成并与主有源层的锥形部分接触，其中在对源极和漏极进行湿刻期间以低选择性来蚀刻主有源层，以使其具有锥形部分。