一种有机废气湿式洗涤净化回收装置及方法

摘要

本发明提供一种有机废气湿式洗涤净化回收装置及方法，其中该装置包含：一蒸发浓缩层、一吸收层、一洗涤液喷洒装置、一除雾层及一回收槽，其利用该吸收层，使废气达至饱和或过饱和状态，进而使洗涤液蒸汽冷凝并凝结核成长再吸收有机废气中之有机物，并进一步利用该蒸发浓缩层，使洗涤水与有机废气间的热能交换及蒸发浓缩作用，而净化有机废气并同时回收其内的有机溶剂，为一种有效湿式洗涤净化有机废气之装置；本发明同时还提供该有机废气湿式洗涤净化回收方法。

权利要求

1.一种有机废气湿式洗涤净化回收装置，其包含：

一蒸发浓缩层，其用以冷却有机废气同时加热洗涤液而蒸发，并浓缩流经该浓缩层中洗涤液的有机溶剂浓度；其中该蒸发浓缩层由吸湿性多孔型填充材或吸湿性陶瓷填充材所构成；

一吸收层，其用以使洗涤液与有机废气充分质传，并使该洗涤液或/和有机溶剂于此达到饱和或过饱和，而冷凝核成长并吸收有机废气中的有机物，以吸收该有机溶剂；

一洗涤液喷洒装置，其用以提供洗涤液，以冷却该有机废气并可进一步使该废气达到饱和或过饱和状态；

一除雾层，其用以除雾并回收雾状的有机溶剂；以及

一回收槽，其用以回收有机溶剂。

2.如权利要求1所述的回收装置，其中该吸收层由塑料材质填充材、陶瓷填充材、陶瓷纤维单体或碳化硅基陶瓷发泡填充材所构成。

3.如权利要求1所述的回收装置，其中该有机废气中的有机溶剂为：N-甲基吡咯烷酮、二甲基甲酰胺、二甲胺和三甲胺、单乙醇胺、二甲基亚砜、丙二醇甲醚醋酸酯的任一种或其任意组合。

4.如权利要求1所述的回收装置，其进一步包含一预热器，以预热所欲净化的有机废气。

5.如权利要求1所述的回收装置，其进一步包含一冰水机或热交换器，用以冷却洗涤液。

6.一种有机废气湿式洗涤净化回收方法，其包含下列步骤：(1)提供如权利要求1至5任一项所述的有机废气湿式洗涤净化回收装置，用以净化含水溶性挥发性有机物的有机废气并回收有机溶剂；

(2)利用一蒸发浓缩层，使洗涤液交换有机废气的热能而蒸发，进入吸收层达到饱和或过饱和而凝结为液态洗涤液，此时浓缩层亦浓缩有机废气中被回收的有机溶剂浓度而降低其含水率；

(3)再利用一吸收层，使洗涤液与有机废气充分质传，并使该洗涤液或/和有机溶剂在其中达到饱和或过饱和，而冷凝核成长并吸收有机废气中的有机物，以回收该有机溶剂。

7.如权利要求6所述的回收方法，其进一步包含一除雾步骤，以净化并回收雾化的有机溶剂。

8.一种有机废气湿式洗涤净化回收装置，其包含：

一吸收层，其用以使洗涤液与有机废气充分质传，并使该洗涤液或/和有机溶剂在其中达到饱和或过饱和，而冷凝核成长并吸收有机废气中的有机物，以吸收该有机溶剂；

一洗涤液喷洒装置，其用以提供洗涤液，以冷却该有机废气并可进一步使该废气达到饱和或过饱和状态；

一除雾层，其用以除雾并回收雾状的有机溶剂；

一预热器，以预热所欲净化的有机废气以及

一回收槽，其用以回收有机溶剂。

9.如权利要求8所述的回收装置，其中该吸收层由塑料材质填充材、陶瓷填充材、陶瓷纤维单体或碳化硅基陶瓷发泡填充材所构成。

10.如权利要求8所述的回收装置，其中该有机废气中的有机溶剂为：N-甲基吡咯烷酮、二甲基甲酰胺、二甲胺和三甲胺、单乙醇胺、二甲基亚砜、丙二醇甲醚醋酸酯的任一种或其任意组合。

11.如权利要求8所述的回收装置，其进一步包含一冰水机或热交换器，用以冷却洗涤液。

12.一种有机废气湿式洗涤净化回收方法，其包含下列步骤：(1)提供如权利要求8-11中任一项所述的有机废气湿式洗涤净化回收装置，用以净化含水溶性挥发性有机物的有机废气并回收有机溶剂；

(2)将含水溶性挥发性有机物的有机废气用预热器加热，然后通入到所述有机废气湿式洗涤净化回收装置中；

(3)利用一吸收层，使洗涤液与有机废气充分质传，并使该洗涤液或/和有机溶剂在其中达到饱和或过饱和，而冷凝核成长并吸收有机废气中的有机物，以回收该有机溶剂。

13.如权利要求12所述的回收方法，其进一步包含一除雾步骤，以净化并回收雾化的有机溶剂。

说明书

一种有机废气湿式洗涤净化回收装置及方法

技术领域

[0001] 本发明提供一种有机废气湿式洗涤净化回收装置及方法，更具体而言，提供一种湿式洗涤法来净化有机废气并同时回收有机溶剂的装置及方法。

背景技术

[0002] 在日常生活及工厂生产产品中广泛地使用有机溶剂，而有机溶剂在一般室温下易挥发成气体，故又名为挥发性有机气体(VolatileOrganic Compounds，VOCs)，而多数的VOCs对人体具有一定毒性，必须加以回收处理，以减少对人体的伤害；而不同产业领域所使用的有机溶剂亦不相同，诸如PU(polyurethane，聚氨基甲酸酯)生产业、科技制造业及锂电池制造业等产业，主要使用的各种有机溶剂，其相关性质列于下述性质表(表一)中；其中，PU生产过程所排放的VOCs，主要来自于用于降低黏度以利于加工所添加的有机溶剂，包括甲苯(Toluene)、甲基乙基酮(MEK)、二甲基甲酰胺(DMF)、二甲胺(DMA)和三甲胺(TMA)...等；此外，在半导体晶圆厂及TFT-LCD面板等科技制造业的制程中，将单乙醇胺(MEA)、二甲基亚砜(DMSO)、丙二醇甲醚乙酯(PGMEA)、环己酮(ANONE)...等有机溶剂，应用于诸如光阻剥离液(stripper)的使用；而锂电池制造的涂布机，则必须将氮-甲基四氢吡咯酮(NMP)的废气回收。

[0003] 再者，有机溶剂的物化特性为：低沸点、高饱和蒸汽压的有机溶剂易于挥发，但不易于冷凝；反之，高沸点、低饱和蒸汽压的有机溶剂则不易于挥发，但易于冷凝；然而，由该有机溶剂性质表(表一)中可看出，所列的有机溶剂多属中高沸点、低饱和蒸汽压的物化特性。

[0004]

[0005] 其次，目前相关业者对于VOCs的回收处理，多采用就地装设冷凝器加以回收处理；此类冷凝回收系统对中高沸点且全溶于水的有机物质，在正确的设计与操作下才可达到高的回收效率，而除了所冷凝吸收下来的VOCs可回收纯化再利用外，因为中高沸点难处理VOCs浓度已大幅下降，可降低下游端废气处理设备的负荷及延长吸脱附浓缩设备的寿命，得以有效提升其整体的处理效率。

[0006] 然而，以一般传统冷凝法回收VOCs的原理，即利用冷冻设备先将含VOCs废气的温度冷却至该有机物质的露点温度(饱和温度)以下，即可达到饱和冷凝的效果；其中，一般常见的VOCs冷凝系统，主要包含除湿器及VOCs冷凝器两项基本设备，装设除湿器的目的在于将空气中多余的水气去除，避免在VOCs冷凝区的温度降至0℃(273K)以下时，发生不利于冷凝的结冰效应；再者，决定冷凝器去除VOCs效能的两项重要关键因素为：(1)冷凝系统需达足够低温(-40℃)、(2)废气中含较高的VOCs浓度(＞10,000ppmv)；另外，冷凝器的处理效能与废气线速度的增加成反比，故延长废气的停留时间将可提升去除效率。

[0007] 因此，由于传统的冷凝回收法，需以冷冻设备将操作温度控制在相当低温以及够长的停留时间，方能以冷凝机制去除VOCs，并确保处理后废气所含VOCs浓度值达到最低；不过，如此的传统冷凝回收方式，若应用于排放量相当大而VOCs浓度仅数十到数百PPMv(＜＜1,000ppmv)的产业，为达到高冷凝效率而需降到极低温(至少需低于零下20℃)，所需付出的能源耗损及设备维护成本将会相当高；于是，许多业者基于传统冷凝系统设计的限制，以及节省操作成本的考虑，往往面临冷凝设备回收效率不佳的问题。

[0008] 另一方面，针对次微米级的细微雾或粒，目前均无较佳且经济的方法与装置，例如一般常用的文式洗涤塔而言，若欲针对0.3μm次微米级的细微雾或粒(去除约50％效率)，则其所需的压力降需高达近35英寸水柱高，液气比约2.0公升/立方公尺，故，其缺点在于，去除效率有限，且其操作成本也相当的高。

[0009] 因此，如何有效节省操作成本，以有效净化有机废气并回收其中的有机溶剂，为处理有机废气的一个重要课题。

发明内容

[0010] 有鉴于上述现有技术处理有机废气时的缺憾，发明人有感其未臻于完善，遂竭其心智悉心研究克服，凭其从事该项产业多年的累积经验，进而研发出一种有机废气湿式洗涤净化回收的装置及方法，其可有效净化有机废气，并同时回收该有机废气中的有机溶剂，除能有效净化有机废气外，可将易产生二次污染的溶剂进一步回收，使该有机废气净化较为完全，同时回收有机溶剂，并完成节能减碳的目的。

[0011] 为达到上述的目的，本发明提供一种有机废气湿式洗涤净化回收装置，其包含：

[0012] 一蒸发浓缩层，其用以冷却有机废气同时加热洗涤液而蒸发，并浓缩流经该蒸发浓缩层中洗涤液的有机溶剂浓度；

[0013] 一吸收层，其用以使洗涤液与有机废气充分质传，并使该洗涤液或/和有机溶剂在其中达到饱和或过饱和，而冷凝凝结核成长并吸收有机废气中的有机物，以吸收该有机溶剂；

[0014] 一洗涤液喷洒装置，其用以提供洗涤液，以冷却该有机废气并可进一步使该废气达到饱和或过饱和状态；

[0015] 一除雾层，其用以除雾并回收雾状的有机溶剂；以及

[0016] 一回收槽，其用以回收有机溶剂。

[0017] 如上所述的回收装置中，该蒸发浓缩层可由吸湿性多孔型填充材或吸湿性陶瓷填充材所构成。

[0018] 如上所述的回收装置，其中该吸收层可由塑料材质(PVC/PE/PP)填充材、陶瓷填充材、陶瓷纤维单体或碳化硅基陶瓷发泡填充材所构成。

[0019] 如上所述的回收装置，其中该有机废气中的有机溶剂为：氮-甲基四氢吡咯酮(NMP)、二甲基甲酰胺(DMF)、二甲胺(DMA)和三甲胺(TMA)、单乙醇胺(MEA)、二甲基亚砜(DMSO)、丙二醇甲醚乙酯(PGMEA)的任一种或其它类似水溶性挥发性有机物(VOCs)或其任意组合。

[0020] 如上所述的回收装置，其可包含一个以上的洗涤液喷洒装置及一个以上的吸收层。

[0021] 如上所述的回收装置，其可进一步包含一预热器，以预热所欲净化有机废气。

[0022] 如上所述回收装置，其可进一步包含一冰水机，用以冷却洗涤液。

[0023] 如上所述回收装置，其可进一步结合蜂巢式转轮浓缩器、转环式浓缩器、流体化床式浓缩器、焚化炉或冷却器等，以完全净化有机废气。

[0024] 本发明的另一目的为提供一种有机废气湿式洗涤净化回收方法，其包含下列步骤：

[0025] (1)提供如上所述的有机废气湿式洗涤净化回收装置，用以净化有机废气并回收有机溶剂；

[0026] (2)利用一蒸发浓缩层，使洗涤液交换有机废气的热能而蒸发，再次进入吸收层并达到饱和或过饱和而凝结为液态洗涤液，此时浓缩层亦浓缩有机废气中被回收的有机溶剂浓度而降低其含水率；

[0027] (3)再利用一吸收层，使洗涤液与有机废气充分质传，并使该洗涤液或/和有机溶剂在其中达到饱和或过饱和，而冷凝核成长并吸收有机废气中的有机物，以回收该有机溶剂。

[0028] 如上所述的回收方法，其可进一步包含一除雾步骤，以净化并回收雾化的有机溶剂。

[0029] 本发明的另一目的为提供一种有机废气湿式洗涤净化回收装置，其包含：

[0030] 一吸收层，其用以使洗涤液与有机废气充分质传，并使该洗涤液或/和有机溶剂在其中达到饱和或过饱和，而冷凝凝结核成长并吸收有机废气中的有机物，以吸收该有机溶剂；

[0031] 一洗涤液喷洒装置，其用以提供洗涤液，以冷却该有机废气并可进一步使该废气达到饱和或过饱和状态；

[0032] 一除雾层，其用以除雾并回收雾状之有机溶剂；以及

[0033] 一回收槽，其用以回收有机溶剂。

[0034] 如上所述的回收装置，其中该吸收层系可由塑料材质(PVC/PE/PP)填充材、陶瓷填充材、陶瓷纤维单体或碳化硅基陶瓷发泡填充材所构成。

[0035] 如上所述的回收装置，其中该有机废气中的有机溶剂为：氮-甲基四氢吡咯酮(NMP)、二甲基甲酰胺(DMF)、二甲胺(DMA)和三甲胺(TMA)、单乙醇胺(MEA)、二甲基亚砜(DMSO)、丙二醇甲醚乙酯(PGMEA)的任一种或其它类似水溶性挥发性有机物(VOCs)或其任意组合。

[0036] 如上所述的回收装置，其可包含一个以上的洗涤液喷洒装置及一个以上的吸收层。

[0037] 如上所述的回收装置，其可进一步包含一预热器，以预热所欲净化的有机废气。

[0038] 如上所述的回收装置，其可进一步包含一冰水机，用以冷却洗涤液。

[0039] 如上所述的回收装置，其可进一步结合蜂巢式转轮浓缩器、转环式浓缩器、流体化床式浓缩器、焚化炉或冷却器等，以完全净化有机废气。

[0040] 本发明的另一目的为提供一种有机废气湿式洗涤净化回收方法，其包含下列步骤：

[0041] (1)提供如上所述的有机废气湿式洗涤净化回收装置，用以净化有机废气并回收有机溶剂；

[0042] (2)利用一吸收层，使洗涤液与有机废气充分质传，并使该洗涤液或/和有机溶剂在其中达到饱和或过饱和，而冷凝核成长并吸收有机废气中的有机物，以回收该有机溶剂。

[0043] 如上所述的回收方法，其可进一步包含一除雾步骤，以净化并回收雾化的有机溶剂。

[0044] 借此，本发明的一种有机废气湿式洗涤净化回收装置及方法，利用一吸收层，使该洗涤液或/和有机溶剂在其中达到饱和或过饱和，而冷凝核成长并吸收有机废气中的有机物，以回收该有机溶剂；再者，进一步利用一蒸发浓缩层及吸收层间热能交换关系，使洗涤液于浓缩层及吸收层间循环进行蒸发→饱和/或过饱和凝结及凝结核成长→吸收→再蒸发...的循环过程，可节省洗涤液补充用量并可降低回收溶剂的含水率，进而简单且充分有效地净化有机废气并回收其中的有机溶剂，并达到节能省碳的净化功效。

附图说明

[0045] 图1为本发明实施例1的一种有机废气湿式洗涤净化回收装置的示意图。

[0046] 图2为本发明实施例2的一种有机废气湿式洗涤净化回收装置的示意图。

[0047] 图3为本发明实施例3的一种有机废气湿式洗涤净化回收装置的示意图。

[0048] 图4为本发明实施例4的一种有机废气湿式洗涤净化回收装置的示意图。

[0049] 【主要组件符号说明】

[0050] 10 蒸发浓缩层

[0051] 20、21 吸收层

[0052] 30、31 洗涤液喷洒装置

[0053] 35 冰水机或热交换器

[0054] 40 除雾层

[0055] 50 回收槽

[0056] 52 阀门

[0057] 60 预热器

[0058] 70 浓缩转轮

[0059] 75 脱附加热单元

[0060] A 废气入口

[0061] B 洗涤液入口

[0062] C 净化气体出口

[0063] D 回收液出口

[0064] E 废气入口

[0065] F 净化出口

[0066] I 吸附区

[0067] II 脱附区

[0068] III 隔离区

具体实施方式

[0069] 为使充分了解本发明的目的、特征及功效，借由下述具体实施例，并配合附图，对本发明作详细说明如下：

[0070] 实施例1

[0071] 本发明第一具体实施例的一种有机废气湿式洗涤净化回收装置1如图1所示，其中该装置包含：一蒸发浓缩层10、一吸收层20、一洗涤液喷洒装置30、一除雾层40及一回收槽50。

[0072] 而该有机废气湿式洗涤净化回收装置1的净化回收有机废气的运作如下：首先有机废气自一废气入口A将所欲处理的有机废气送入，而该有机废气顺着气流朝上，而洗涤液(可为蒸汽或水或水+溶剂；此实施例采用水)自一洗涤液入口B进入该洗涤器30喷洒而下(亦可自废气入口A喷洒洗涤液)，当洗涤液自喷洒器30向下落下，经该吸收层20至该蒸发浓缩层10与该有机废气相遇，于该蒸发浓缩层10之中(其由吸湿性蜂巢状多孔性填充材所构成)，该较低温(室温)的洗涤水有效交换该有机废气(80℃)的热能而被蒸发，从而浓缩洗涤液中有机溶剂的浓度，而被冷却的有机溶剂随着该有机废气向上，于该吸收层20中(该吸收层为”Φ1/2”马鞍型陶瓷填充材所构成)，含有机溶剂及洗涤液蒸汽的有机废气处于饱和及过饱和的状态下，致使该有机溶剂于此吸收层20中被洗涤液蒸汽产生冷凝而凝结核成长包覆并被吸收，而被吸收的有机溶剂可进一步经蒸发浓缩层10浓缩而回收至该回收槽50；再者，剩余未被吸收且雾化的有机溶剂微雾，再流经该除雾层40(为蜂窝型除雾器)时，即被进一步除雾拦截，经净化后的有机废气再流经净化气体出口C而排出，而回收的有机溶剂自该回收槽50流经一阀门52自回收溶剂出口D排出；经此有效将有机废气中的有机溶剂利用本发明的有机废气湿式洗涤净化回收装置1进行净化回收。

[0073] 以锂电池业的有机废气进行测试，其中该有机废气100NCMM、85℃、4％RH(空气露点温度为15℃)含NMP 3000ppmv，在流经该有机废气湿式洗涤净化回收装置1之后，其净化后的有机废气100NCMM、15-18℃中含NMP 60ppmv，该NMP的净化效率达98％；而回收液共79～100kgs/hr，其中NMP为78Kgs/hr，含水率1～12％wt；若不经由蒸发浓缩层10进行蒸发浓缩时，其含水率则为15～40％wt。

[0074] 实施例2

[0075] 本发明第二具体实施例的一种有机废气湿式洗涤净化回收装置2如图2所示，其中该装置包含：一蒸发浓缩层10、二吸收层20、21、二洗涤液喷洒装置30、31、一除雾层40及一回收槽50。

[0076] 而该有机废气湿式洗涤净化回收装置2的净化回收有机废气的运作如下：首先有机废气自一废气入口A将所欲处理之有机废气送入，而该有机废气顺着气流朝上，而洗涤液(水)自一洗涤液入口B进入该洗涤液喷洒装置30或经由回收的洗涤水经由该洗涤液喷洒装置31喷洒而下，当洗涤液自洗涤液喷洒装置30、31向下落下，经该吸收层20、21至该蒸发浓缩层10与该有机废气相遇，在该蒸发浓缩层10之中(其由“Φ1/2”+“Φ1”陶瓷球所构成)，该较低温(室温)的洗涤水有效交换该有机废气的热能而被蒸发，从而浓缩洗涤液中有机溶剂的浓度，而被冷却的有机溶剂随着该有机废气向上，在该吸收层20、21中(该吸收层系为蜂巢状陶瓷纤维单体所构成)，含有机溶剂及洗涤液蒸汽的有机废气处于饱和及过饱和的状态下，致使该有机溶剂于此吸收层20、21中被洗涤液蒸汽产生冷凝而凝结核成长包覆并被吸收，而被吸收的有机溶剂可进一步经蒸发浓缩层10浓缩而回收至该回收槽50；再者，剩余未被吸收且雾化的有机溶剂，再流经该除雾层40(为蜂窝型除雾器)时，即被进一步除雾拦截，经净化后的有机废气再流经净化气体出口C而排出，而回收的有机溶剂自该回收槽50流经一阀门52自回收溶剂出口D排出；经此有效将有机废气中的有机溶剂利用本发明的有机废气湿式洗涤净化回收装置2进行净化回收。

[0077] 以PU合成皮业的有机废气进行测试，其中该有机废气150NCMM、80-100℃含DMF1000ppmv及Toluene 1000ppmv，在流经该有机废气湿式洗涤净化回收装置2之后，净化后的有机废气150NCMM、15-18℃中的有机溶剂的浓度为1050ppmv，其中大部分为Toluene，即有效净化该DMF；而回收液为29Kgs/hr的DMF及0.1-0.5Kgs/hr的Toluene，水则为0.5-2.0Kgs/hr。

[0078] 实施例3

[0079] 本发明第三具体实施例的一种有机废气湿式洗涤净化回收装置3如图3所示，其中该装置包含：一蒸发浓缩层10、二吸收层20、21、二洗涤液喷洒装置30、31、一除雾层40、一回收槽50及一预热器60。

[0080] 而该有机废气湿式洗涤净化回收装置3的净化回收有机废气的运作如下：首先有机废气自一废气入口A将所欲处理的有机废气经一预热器60加热至温度为50-85℃，而该有机废气顺着气流朝上，而洗涤液(水)自一洗涤液入口B进入该洗涤液喷洒装置30或经由回收的浓缩洗涤液经由该洗涤液喷洒装置31喷洒而下，当洗涤液自喷洒器30、31向下落下，经该吸收层20、21至该蒸发浓缩层10与该有机废气相遇，于该蒸发浓缩层10之中(其由蜂巢状陶瓷填充材所构成)，该较低温(室温)的洗涤水有效交换该有机废气的热能而被蒸发，从而浓缩洗涤水中有机溶剂的浓度，而被冷却的有机溶剂随着该有机废气向上，于该吸收层20、21中(该吸收层为碳化基陶瓷发泡填充材所构成)，含有机溶剂及洗涤液蒸汽的有机废气处于饱和及过饱和的状态下，致使该有机溶剂于此吸收层20、21中被洗涤液蒸汽产生冷凝而凝结核成长包覆并被吸收，而被吸收的有机溶剂可进一步经蒸发浓缩层10浓缩(但不限定一定要)而回收至该回收槽50；再者，剩余未被吸收且雾化的有机溶剂，再流经该除雾层40(为蜂窝型除雾器)时，即被进一步除雾拦截，经净化后的有机废气再流经净化气体出口C而排出，而回收的有机溶剂自该回收槽50流经一阀门52自回收溶剂出口D排出；经此有效将有机废气中的有机溶剂利用本发明的有机废气湿式洗涤净化回收装置3进行净化回收。

[0081] 以半导体业的有机废气进行测试，其中该有机废气50NCMM、25℃、50％RH(露点温度为18℃dp)含MEA及DMSO废气2000ppmv，在流经该有机废气湿式洗涤净化回收装置3之后，其净化后的有机废气50NCMM、18-20℃中的有机溶剂的浓度为100ppmv，可有效净化该MEA及DMSO废气；而回收液为17.8Kgs/hr的有机溶液，水则为2Kgs/hr左右；且经处理净化后的有机废气可进一步经由焚化炉、流体化床、沸石转轮及冷凝器等进行更完全的净化。

[0082] 实施例4

[0083] 本发明第四具体实施例的一种有机废气湿式洗涤净化回收装置4如图4所示，其中该装置包含：一蒸发浓缩层10、一吸收层20、一洗涤液喷洒装置30、一冰水机35、一除雾层40及一回收槽50。

[0084] 而该有机废气湿式洗涤净化回收装置4的净化回收有机废气的运作如下：首先有机废气自一废气入口A将所欲处理的有机废气送入，而该有机废气顺着气流朝上，而洗涤液(水)自一冰水机或冰水热交换器35降温冷却后进入该喷洒器30喷洒而下，当冰冷的洗涤液自喷洒器30向下落下，经该吸收层20使有机废气产生骤冷却现象而促使废气处于过饱和状态，接着至该蒸发浓缩层10与该有机废气再相遇，在该蒸发浓缩层10之中(其由吸湿性陶瓷环填充材所构成)，该低温(冰温)的洗涤水有效交换该有机废气(80℃)的热能而被蒸发，进而浓缩洗涤液中有机溶剂的浓度，而被冷却的有机溶剂随着该有机废气向上，于该吸收层20中(该吸收层为”Φ1/2”马鞍型陶瓷填充材所构成)，含有机溶剂及洗涤液蒸汽的有机废气处于饱和及过饱和的状态下，致使该有机溶剂于此吸收层20中被洗涤液蒸汽产生冷凝而凝结核成长包覆并被吸收，而被吸收的有机溶剂可进一步经蒸发浓缩层10浓缩而回收至该回收槽50；再者，剩余未被吸收且雾化的有机溶剂，再流经该除雾层40(为蜂窝型除雾器)时，即被进一步除雾拦截，经净化后的有机废气再流经净化气体出口C而排出，而回收的有机溶剂自该回收槽50流经一阀门52自回收溶剂出口D排出；经此有效将有机废气中的有机溶剂利用本发明的有机废气湿式洗涤净化回收装置4进行净化回收。

[0085] 以光电业的有机废气进行测试，其中该有机废气300 NCMM、25℃含PGMEA300ppmv，先经一浓缩转轮70的浓缩处理，该浓缩转轮为一蜂巢状转轮浓缩器(Concentrator；亦可为转环式或流体化床式的浓缩器)，该有机废气自一废气入口E经由该浓缩转轮净化后，其自一净化出口F流出的废气浓度为5ppmv，而吸附于转轮的有机废气经由一脱附加热单元75的脱附，自该转轮浓缩脱附的有机废气为20NCMM、55-90℃含有机溶剂的浓度为4425ppmv，而在流经该有机废气湿式洗涤净化回收装置4之后，其净化后的有机废气20NCMM、10-20℃含有机溶剂的浓度为221ppmv，可有效净化该PGEMA废气；而回收液为18Kgs/hr的有机溶液，水则为2～8kgs/hr左右，含水率为1～30％wt；故本发明中的有机废气湿式洗涤净化回收装置被用来搭配净化经浓缩的有机废气。