等离子体显示器用构件及等离子体显示器用构件的制造方法

摘要

一种等离子体显示器用构件，具有：在基板(5)上形成的多个大致条纹状的地址电极(7)；覆盖该地址电极的电介质层(6)；以及位于该电介质层上的与该地址电极大致平行的主隔壁(8)及与该主隔壁正交的辅助隔壁(9)，其特征在于，在位于显示区域的横向两侧的非显示区域的主隔壁中，位于最外部的主隔壁和与其相邻的主隔壁的间距(Pt1)为位于显示区域的主隔壁的间距(Pt2)的2以上的整数倍。另外，通过使用具有特定的形状的光掩模进行多次曝光，可以得到显示品质高且生产率高的等离子体显示器。

权利要求

1.一种等离子体显示器用构件，具有：在基板上形成的多个大致条纹状的地址电极；

覆盖该地址电极的电介质层；以及位于该电介质层上的与该地址电极大致平行的主隔壁及与该主隔壁正交的辅助隔壁，其特征在于，

在位于显示区域的横向两侧的非显示区域的主隔壁中，位于最外部的主隔壁和与其相邻的主隔壁的间距是位于显示区域的主隔壁的间距的2以上的整数倍，所述位于最外部的主隔壁的宽度比所述位于显示区域的主隔壁的宽度粗。

2.如权利要求1所述的等离子体显示器用构件，其中，在位于显示区域的横向两侧的非显示区域的主隔壁中，位于最外部的主隔壁和与其相邻的主隔壁的间距是位于显示区域的主隔壁的间距的2倍、3倍或4倍。

3.一种等离子体显示器用构件的制造方法，对显示器用构件材料，经由具有与地址电极或地址电极的前体大致平行及与其正交的格子状的透光图案的光掩模进行多次曝光操作并进行显影、烧成，形成由与该地址电极大致平行的主隔壁及与该主隔壁正交的辅助隔壁构成的格子状隔壁，其中，该显示器用构件材料包括：在基板上形成的多个大致条纹状的地址电极或地址电极的前体；覆盖该地址电极或地址电极的前体的电介质层或电介质层的前体；以及在该电介质层或电介质层的前体上形成的感光性玻璃浆料层，其特征在于，使用位于横向最外部的主隔壁形成用透光部和与其相邻的主隔壁形成用透光部的间距为位于横向中央部的主隔壁形成用透光部的间距的2以上的整数倍的光掩模，在至少2次曝光操作之间使光掩模和基板与辅助隔壁的方向平行地相对移动，移动距离为位于横向最外部的主隔壁用透光部和与其相邻的主隔壁用透光部的间距的整数倍。

4.如权利要求3所述的等离子体显示器用构件的制造方法，其中，位于横向最外部的主隔壁用透光部和与其相邻的主隔壁用透光部的间距为位于横向中央部的主隔壁用透光部的间距的2倍、3倍或4倍。

5.一种等离子体显示器用构件的制造方法，对显示器用构件材料，经由具有与地址电极或地址电极的前体大致平行及与其正交的格子状的透光图案的光掩模进行多次曝光操作并进行显影、烧成，形成由与该地址电极大致平行的主隔壁及与该主隔壁正交的辅助隔壁构成的格子状隔壁，其中，该显示器用构件材料包括：在基板上形成的多个大致条纹状的地址电极或地址电极的前体；覆盖该地址电极或地址电极的前体的电介质层或电介质层的前体；以及在该电介质层或电介质层的前体上形成的感光性玻璃浆料层，其特征在于，使用位于横向最外部的主隔壁形成用透光部和与其相邻的主隔壁形成用透光部的间距为位于横向中央部的主隔壁形成用透光部的间距的2以上的整数倍的光掩模，在至少2次曝光操作之间使光掩模和基板与主隔壁的方向平行地相对移动，移动距离为位于纵向最外部的辅助隔壁透光部和与其相邻的辅助隔壁透光部的间距的整数倍。

说明书

等离子体显示器用构件及等离子体显示器用构件的制造方

法

技术领域

[0001] 本发明涉及一种等离子体显示器用构件及等离子体显示器用构件的制造方法。

背景技术

[0002] 作为可以用于薄型/大型电视的显示器，等离子体显示器备受瞩目。图5为示意性地表示等离子体显示器的1种像素的结构的例子的立体图。在图5所示的例子中，在成为显示面的前面板18侧的玻璃基板12上，成对的多个维持电极(sustain electrode)14和扫描电极(scan electrode)13以银、铬、铝、镍等材料，在以显示区域的短边的方向为纵向、长边的方向为横向时，形成为以横向为长尺寸方向的条纹状。另外，在等离子体显示器的纵向的像素和像素之间，为了维持图像显示时的对比度，有时形成黑条纹15。进而，覆盖维持电极14及扫描电极13并以玻璃为主要成分的电介质层16以20～50μm厚度形成，覆盖电介质层16而形成有保护层17。

[0003] 另一方面，在背面板25侧的玻璃基板19，多个地址电极(address electrode)20形成为以纵向为长尺寸方向的条纹状，形成有覆盖地址电极20并以玻璃为主要成分的电介质层21。在上述电介质层21上形成用于隔开放电单元的主隔壁22和辅助隔壁23，在由隔壁和电介质层21形成的放电空间内形成有荧光体层24。在可以进行全彩色显示的等离子体显示器中，荧光体层由以红(R)、绿(G)、蓝(B)的发光各种颜色的物质构成。以前面板18侧的维持电极14和背面板25侧的地址电极20相互正交的方式密封前面板和背面板，在这些基板的间隙内封入由氦、氖、氙等构成的稀有气体，形成等离子体显示器。由于以扫描电极13和地址电极20的交点为中心形成像素单元，因此，等离子体显示器具有多个像素单元，可以进行图像的显示。

[0004] 在等离子体显示器中进行显示时，在选择的像素单元中，从不发光的状态在扫描电极13和地址电极20之间施加放电开始电压以上的电压时，通过电离产生的阳离子、电子由于像素单元为电容性负荷而在放电空间内向相反极性的电极移动，使保护层17的内壁带电，由于保护层17的电阻高，因此，内壁的电荷不衰减，作为壁电荷残留。

[0005] 接着，在扫描电极13和维持电极14之间施加放电维持电压。在存在壁电荷的地方，即使是低于放电开始电压的电压也可以放电。通过放电激发放电空间内的氙气，产生147nm的紫外线，紫外线激发荧光体层24，由此，可以进行发光显示。

[0006] 关于构成等离子体显示器面板用背面板的地址电极、电介质层、隔壁、荧光体层，已知有在基板上涂敷或层叠感光性浆料、经由具有所期望的图案的光掩模曝光、其后使用所期望的显影液进行显影的方法。

[0007] 例如，提出了在基板上形成由陶瓷粉末和紫外线固化型树脂构成的感光性浆料层、经由具有所期望的图案的光掩模进行曝光/显影/烧成、由此形成隔壁的方法(专利文献1)。

[0008] 但是，存在如下问题：在形成由主隔壁及辅助隔壁构成的格子状的隔壁时，当将由陶瓷粉末和树脂构成的浆料涂敷层图案化成格子状并进行烧成时，在横向最外部的主隔壁和辅助隔壁的交叉部产生隆起，在隆起的部分以外，前面板和隔壁不密接，产生误放电。

[0009] 另外，在光掩模上附着有异物时或有伤痕时，在曝光/显影后得到的图案中，其大部分产生断线或短路等缺陷，成品率降低。

[0010] 针对这样的问题，提出了准备光掩模的开口部的长度比图案层的长度短的光掩模、一边使基板或光掩模移动、一边进行曝光的方法(专利文献2、3)。但是，在该方法中存在如下问题：在形成PDP的格子状隔壁等复杂的图案时，在基板或光掩模的移动方向端部产生隔壁形状的不良，使构件的生产率降低或使面板的显示品质下降。

[0011] 专利文献1：日本特开平2-165538号公报

[0012] 专利文献2：日本特开2004-240095号公报

[0013] 专利文献3：国际公开号WO2006/025266A1号公报

发明内容

[0014] 发明要解决的课题

[0015] 本发明要解决的课题在于，提供一种显示品质高且生产率高的等离子体显示器。

[0016] 解决课题的方案

[0017] 本发明的课题能够通过一种等离子体显示器用构件来解决，所述等离子体显示器用构件具有在基板上形成的多个大致条纹状的地址电极；覆盖该地址电极的电介质层；以及位于该电介质层上的与该地址电极大致平行的主隔壁及与该主隔壁正交的具有辅助隔壁，其特征在于，在位于显示区域的横向两侧的非显示区域的主隔壁中，位于最外部的主隔壁和与其相邻的主隔壁的间距是位于显示区域的主隔壁的间距的2以上的整数倍。

[0018] 另外，本发明的课题能够通过一种等离子体显示器用构件的制造方法来解决，所述方法为对在基板上形成有多个大致条纹状的地址电极或地址电极的前体、覆盖该地址电极或地址电极的前体的电介质层或电介质层的前体、以及在该电介质层或电介质层的前体上的感光性玻璃浆料层的显示器用构件材料，经由具有与该地址电极或地址电极的前体大致平行及与其正交的格子状的透光图案的光掩模，进行多次曝光操作并进行显影、烧成，形成由与该地址电极大致平行的主隔壁及与该主隔壁正交的辅助隔壁构成的格子状隔壁，其特征在于，使用位于横向最外部的主隔壁形成用透光部和与其相邻的主隔壁形成用透光部的间距为位于横向中央部的主隔壁形成用透光部的间距的2以上的整数倍的光掩模，在至少2次曝光操作之间使光掩模和基板与辅助隔壁的方向平行地相对移动，移动距离为位于横向最外部的主隔壁用透光部和与其相邻的主隔壁用透光部的间距的整数倍。

[0019] 另外，本发明的课题也能够通过一种等离子体显示器用构件的制造方法来解决，所述方法为对在基板上形成有多个大致条纹状的地址电极或地址电极的前体、覆盖该地址电极或地址电极的前体的电介质层或电介质层的前体、以及在该电介质层或电介质层的前体上的感光性玻璃浆料层的显示器用构件材料，经由具有与该地址电极或地址电极的前体大致平行及与其正交的格子状的透光图案的光掩模进行多次曝光操作并进行显影、烧成，形成由与该地址电极大致平行的主隔壁及与该主隔壁正交的辅助隔壁构成的格子状隔壁，其特征在于，使用位于横向最外部的主隔壁形成用透光部和与其相邻的主隔壁形成用透光部的间距为位于横向中央部的主隔壁形成用透光部的间距的2以上的整数倍的光掩模，在至少2次曝光操作之间使光掩模和基板与主隔壁的方向平行地相对移动，移动距离为位于纵向最外部的辅助隔壁透光部和与其相邻的辅助隔壁透光部的间距的整数倍。

[0020] 发明的效果

[0021] 根据本发明，能够提供一种显示品质高且生产率高的等离子体显示器。

附图说明

[0022] 图1是现有的等离子体显示器用背面板的横向剖面示意图；

[0023] 图2是本发明的等离子体显示器用背面板的横向剖面示意图；

[0024] 图3是用于本发明的光掩模图案的示意图；

[0025] 图4是由本发明得到的隔壁图案的示意图；

[0026] 图5是等离子体显示器面板的示意图。

[0027] 附图标记说明

[0028] 1：辅助隔壁

[0029] 2：显示区域的主隔壁

[0030] 3：最外部的主隔壁

[0031] 4：光掩模图案

[0032] 5：玻璃基板

[0033] 6：电介质层

[0034] 7：地址电极

[0035] 8：主隔壁

[0036] 9：辅助隔壁

[0037] 10：显示区域

[0038] 11：非显示区域

[0039] 12：玻璃基板

[0040] 13：扫描电极

[0041] 14：维持电极

[0042] 15：黑条纹

[0043] 16：电介质层

[0044] 17：保护层

[0045] 18：前面板

[0046] 19：玻璃基板

[0047] 20：地址电极

[0048] 21：电介质层

[0049] 22：主隔壁

[0050] 23：辅助隔壁

[0051] 24：荧光体层

[0052] 25：背面板

[0053] Pmt1：位于光掩模的横向最外部的主隔壁形成用透光部和与其相邻的主隔壁形成用透光部的间距

[0054] Pmt2：位于横向中央部的主隔壁形成用透光部的间距

[0055] Pmy：辅助隔壁形成用透光部的间距

[0056] Wt1：位于横向最外部的主隔壁形成用透光部的开口宽度

[0057] Wt2：位于横向中央部的主隔壁形成用透光部的开口宽度

[0058] Pt1：在位于显示区域的横向两侧的非显示区域的主隔壁中，位于最外部的主隔壁和与其相邻的主隔壁的间距

[0059] Pt2：位于显示区域的主隔壁的间距

[0060] Py：辅助隔壁的间距

[0061] Lt1：在位于显示区域的横向两侧的非显示区域的主隔壁中，位于最外部的主隔壁的底部宽度

[0062] Lt2：位于显示区域的主隔壁的底部宽度

具体实施方式

[0063] 本发明的等离子体显示器用构件为在基板上具有多个大致条纹状的地址电极、覆盖该地址电极的电介质层、以及位于该电介质层上的与该地址电极大致平行的主隔壁及与该主隔壁正交的辅助隔壁的等离子体显示器用构件，其特征在于，在位于显示区域的横向两侧的非显示区域的主隔壁中，位于最外部的主隔壁和与其相邻的主隔壁的间距为位于显示区域的主隔壁的间距的2以上的整数倍。

[0064] 在这里，横向如上所述指的是显示画面的长边的方向，为与地址电极正交的方向。另外，在本申请中，纵向指的是在基板上与横向正交的方向、即显示画面的短边的方向，为与地址电极平行的方向。

[0065] 在位于显示区域的横向两侧的非显示区域的主隔壁中，位于最外部的主隔壁和与其相邻的主隔壁的间距为位于显示区域的主隔壁的间距的2以上的整数倍，由此，通过在将由有机成分和无机成分构成的隔壁浆料的涂敷膜进行图案加工为格子状后进行烧成，在形成由主隔壁及辅助隔壁构成的格子状的隔壁时，可以抑制横向最外部的主隔壁的隆起。

[0066] 再有，在本发明中，所谓2以上的整数倍，不一定必须严格地为整数倍，只要大概为整数倍的0.90～1.10倍、优选为0.95～1.05倍的范围内即可。

[0067] 本发明的等离子体显示器用构件进一步优选在位于显示区域的横向两侧的非显示区域的主隔壁中、位于最外部的主隔壁和与其相邻的主隔壁的间距为位于显示区域的主隔壁的间距的2倍、3倍或4倍。特别优选为2倍。

[0068] 另外，本发明的等离子体显示器用构件的制造方法，对在基板上形成有多个大致条纹状的地址电极或地址电极的前体、覆盖该地址电极或地址电极的前体的电介质层或电介质层的前体、以及在该电介质层或电介质层的前体上的感光性玻璃浆料层的显示器用构件材料，经由具有与该地址电极或地址电极的前体大致平行及与其正交的格子状的透光图案的光掩模进行多次曝光操作并进行显影、烧成，形成由与该地址电极大致平行的主隔壁及与该主隔壁正交的辅助隔壁构成的格子状隔壁，其特征在于，使用位于横向最外部的主隔壁形成用透光部和与其相邻的主隔壁形成用透光部的间距为位于横向中央部的主隔壁形成用透光部的间距的2以上的整数倍的光掩模，在至少2次曝光操作之间使光掩模和基板与辅助隔壁的方向平行地相对移动，移动距离为位于横向最外部的主隔壁用透光部和与其相邻的主隔壁用透光部的间距的整数倍。

[0069] 通过经由具有格子状的透光图案的光掩模进行多次曝光操作，在至少2次曝光操作之间使光掩模和基板与辅助隔壁的方向平行地相对移动，由此，即使在光掩模上付着有异物的情况或有伤痕的情况下，也可以抑制断线、短路等的缺陷的产生。

[0070] 另外，在至少2次曝光操作之间使光掩模和基板相对移动，因此，为了确保曝光的位置精度，优选在2次的各曝光操作之前进行用于位置对准的校准操作。但是，在第1次曝光操作之前，每次进行用于基板和光掩模的位置对准的校准操作，在第2次曝光操作之前，在第1枚进行校准操作，第2枚以后不进行校准操作，以初次校准的结果为基础，使光掩模和基板相对移动一定距离而进行曝光操作，将以上操作设定为1循环，可以将其重复进行。由此，可以确保曝光操作的位置精度，且在短时间内结束曝光操作，因此，也不牺牲生产率。

[0071] 另外，作为光掩模，使用位于横向最外部的主隔壁形成用透光部和与其相邻的主隔壁形成用透光部的间距为位于横向中央部的主隔壁形成用透光部的间距的2以上的整数倍的光掩模，将在至少2次曝光操作之间进行的光掩模和基板的向辅助隔壁的方向的相对移动的移动距离设定为位于横向最外部的主隔壁用透光部和与其相邻的主隔壁用透光部的间距的整数倍，由此，可以没有缺陷地制造横向最外部的主隔壁的隆起少的等离子体显示器用构件。

[0072] 位于横向最外部的主隔壁形成用透光部和与其相邻的主隔壁形成用透光部的间距优选为位于横向中央部的主隔壁形成用透光部的间距的2倍、3倍或4倍。特别优选为2倍。另外，在至少2次曝光操作之间进行的光掩模和基板的向辅助隔壁的方向的相对移动的移动距离优选为位于横向最外部的主隔壁用透光部和与其相邻的主隔壁用透光部的间距的等倍。

[0073] 在本发明中，经由具有格子状的透光图案的光掩模进行多次曝光操作，不仅在至少2次曝光操作之间使光掩模和基板如上述那样与辅助隔壁的方向平行地相对移动，而且可以与主隔壁的方向平行地相对移动。此时的本发明为一种等离子体显示器用构件的制造方法，其对在基板上形成有多个大致条纹状的地址电极或地址电极的前体、覆盖该地址电极或地址电极的前体的电介质层或电介质层的前体、以及在该电介质层或电介质层的前体上的感光性玻璃浆料层的显示器用构件材料，经由具有与该地址电极或地址电极的前体大致平行及与其正交的格子状的透光图案的光掩模进行多次曝光操作并进行显影、烧成，形成由与该地址电极大致平行的主隔壁及与该主隔壁正交的辅助隔壁构成的格子状隔壁，其特征在于，使用位于横向最外部的主隔壁形成用透光部和与其相邻的主隔壁形成用透光部的间距为位于横向中央部的主隔壁形成用透光部的间距的2以上的整数倍的光掩模，在至少2次曝光操作之间使光掩模和基板与主隔壁的方向平行地相对移动，移动距离为位于纵向最外部的辅助隔壁透光部和与其相邻的辅助隔壁透光部的间距的整数倍。

[0074] 在该制造方法中，位于使用的光掩模的纵向最外部的辅助隔壁形成用透光部的开口线宽度优选比位于纵向中央部的辅助隔壁形成用透光部的开口线宽度大。

[0075] 通过经由具有格子状的透光图案的光掩模进行多次曝光操作，在至少2次曝光操作之间使光掩模和基板与主隔壁的方向平行地相对移动，从而即使在光掩模上付着有异物的情况或有伤痕的情况下，也可以抑制断线或短路等的缺陷的产生。

[0076] 另外，在至少2次曝光操作之间使光掩模和基板相对移动，因此，为了确保曝光的位置精度，优选在2次的各曝光操作之前进行用于位置对准的校准操作。但是，在第1次曝光操作之前，每次进行用于基板和光掩模的位置对准的校准操作，在第2次曝光操作之前，在第1枚进行校准操作，第2枚以后不进行校准操作，以初次校准的结果为基础，使光掩模和基板相对移动一定距离而进行曝光操作，将以上操作设定为1循环，可以将其重复进行。通过这样，可以确保曝光操作的位置精度，且在短时间内结束曝光操作，因此，也不牺牲生产率。

[0077] 下面，对本发明的等离子体显示器用构件的结构和本发明的等离子体显示器用构件的结构及制造方法进行说明。

[0078] 作为用于本发明的等离子体显示器用构件的基板，可以使用钠玻璃等，具体能够列举作为等离子体显示器用的耐热玻璃的旭硝子(株)制的PD200或日本电气硝子(株)制的PP8等。

[0079] 在基板上，通过银、铝、铬、镍等金属形成条纹状的地址电极。作为形成的方法，可以使用以下方法：将以这些金属的粉末和有机粘合剂为主要成分的金属浆料用网版印刷进行图案印刷并以400～600℃加热、烧成而形成金属图案的方法；或将含有金属粉末和感光性有机成分的感光性金属浆料进行涂敷后，使用光掩模进行图案曝光，然后，在显影工序中溶解除去不需要的部分，进一步加热、烧成至400～600℃而形成金属图案的感光性浆料法。另外，也可以使用在玻璃基板上将铬、铝等金属进行溅射后，涂敷抗蚀剂，将抗蚀剂进行图案曝光、显影后，利用蚀刻除掉不需要的部分的金属的蚀刻法。电极厚度优选为1.0～10μm，更优选1.5～5μm。电极厚度过薄时，存在电阻值变大、正确的驱动变得困难的倾向，当其过厚时，存在需要材料多、在成本方面不利的倾向。地址电极的宽度优选为35～
240μm，更优选为30～150μm。当地址电极的宽度过细时，存在电阻值升高、正确的驱动变得困难的倾向，当其过粗时，存在相邻电极间的距离变小、因此容易产生短路缺陷的倾向。
进而，地址电极以对应于显示单元(形成像素的各RGB的区域)的间距形成。在通常的等离子体显示器中，优选以100～500μm、在高精细等离子体显示器中为100～400μm的间距形成。

[0080] 覆盖上述地址电极，形成电介质层。电介质层可以通过将以玻璃粉末和有机粘合剂为主要成分的玻璃浆料以覆盖地址电极的形式涂敷后、在400～600℃下烧成来形成。在用于电介质层的玻璃浆料中，可以含有氧化铅、氧化铋、氧化锌、氧化磷的至少1种以上，优选使用以总计为10～80质量％含有这些的低熔点玻璃粉末。通过将该混合物设定为10质量％以上，容易进行600℃以下的烧成，通过将其设定为80质量％以下，防止结晶化，防止透射率的降低。

[0081] 将上述低熔点玻璃粉末和有机粘合剂进行捏合(kneading)而制作浆料。作为使用的有机粘合剂，可以使用以乙基纤维素、甲基纤维素等为代表的纤维素类化合物、甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸异丁酯、丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、丙烯酸异丁酯等丙烯酸类化合物等。另外，在玻璃浆料中，可以加入溶剂、增塑剂等添加剂。作为溶剂，可以使用松油醇、丁内酯、甲苯、甲基溶纤剂等通用溶剂。另外，作为增塑剂，可以使用邻苯二甲酸二丁酯、邻苯二甲酸二乙基等。除了低熔点玻璃粉末之外，通过添加软化温度高且在烧成时不进行软化的填料成分，可以得到反射率高且亮度高的PDP。作为填料，优选氧化钛、氧化铝、氧化锆等，特别优选使用体积分布曲线中的50％粒径为0.05～3μm的氧化钛。填料的含量优选按玻璃粉末∶填料的质量比计为1∶1～10∶1。通过将填料的含量设定为以重量比为玻璃粉末含量的十分之一以上，可以得到亮度提高的效果。另外，通过设定为玻璃粉末的含量的同量以下，可以保持烧结性。

[0082] 另外，通过在用于电介质层的玻璃浆料中添加导电性微粒子，可以制作驱动时的可靠性高的等离子体显示器。导电性微粒子优选镍、铬等金属粉末，体积分布曲线中的50％粒径优选为1～10μm。可以通过将其设定为1μm以上来发挥充分的效果，可以通过将其设定为10μm以下来抑制电介质上的凹凸，可以容易进行电介质层上的后述的隔壁的形成。作为在电介质层中含有这些导电性微粒子的含量，优选0.1～10质量％。可以通过将其设定为0.1质量％以上来得到导电性，通过将其设定为10质量％以下，可以防止在横向的相邻的地址电极间的短路。电介质层的厚度优选为3～30μm，更优选为3～15μm。电介质层的厚度过薄时，存在针孔多发的倾向，当其过厚时，存在放电电压升高、消费电力变大的倾向。

[0083] 接着，对本发明中的主隔壁及辅助隔壁的形成方法进行说明。主隔壁及辅助隔壁通过在基板上使用由绝缘性的无机成分和有机成分构成的浆料，利用网版印刷法、喷砂法、感光性浆料法(光刻法)、金属模转印法、剥离法等公知的技术形成图案，进行烧成来形成。

[0084] 下面，对感光性浆料法进行详述。

[0085] 在感光性浆料法中使用的隔壁形成用感光性浆料以无机微粒子和感光性有机成分为主要成分，根据需要含有光聚合引发剂、光吸收剂、增感剂、有机溶剂、增感助剂、聚合抑制剂。

[0086] 作为隔壁形成用感光性浆料的无机微粒子，可以使用玻璃、陶瓷(氧化铝、堇青石等)等。特别优选以硅氧化物、硼氧化物或铝氧化物为必需成分的玻璃或陶瓷。

[0087] 无机微粒子的粒径考虑要制作的图案的形状而选择，体积分布曲线中的50％粒径优选为1～10μm，更优选为1～5μm。通过将体积分布曲线中的50％粒径设定为10μm以下，可以防止表面凸凹产生。另外，通过将其设定为1μm以上，可以容易进行浆料的粘度2
调整。进而，在图案形成中，特别优选使用比表面积为0.2～3m/g的玻璃微粒子。

[0088] 主隔壁及辅助隔壁优选在热软化点低的玻璃基板上进行图案形成，因此，作为无机微粒子，优选使用含有热软化温度为350～600℃的低熔点玻璃微粒子60质量％以上的无机微粒子。另外，通过添加由热软化温度高于600℃的高熔点玻璃微粒子、陶瓷微粒子构成的填料成分，可以抑制烧成时的收缩率，其量优选相对无机微粒子的总计量为40质量％以下。作为低熔点玻璃微粒子，为了在烧成时在玻璃基板不产生弯曲，优选使用线膨胀系数-7 -7 -1 -7 -7 -1为50×10 ～90×10 K 、进一步优选为60×10 ～90×10 K 的低熔点玻璃微粒子。

[0089] 作为低熔点玻璃微粒子，优选使用含有硅和/或硼的氧化物的玻璃。

[0090] 优选在3～60质量％的范围内混合氧化硅。通过将其设定为3质量％以上，玻璃层的致密性、强度、稳定性提高，另外，将热膨胀系数设定为所期望的范围内，可以防止与玻璃基板的热膨胀系数之差引起的弯曲产生的问题。另外，具有以下优点：通过使其为60质量％以下，热软化点变低，可以进行对玻璃基板的焙烧等。

[0091] 通过在5～50质量％的范围内混合氧化硼，可以提高电绝缘性、强度、热膨胀系数、绝缘层的致密性等电、机械及热的特性。通过将其设定为50质量％以下，可以保持玻璃的稳定性。

[0092] 而且，通过以总计为5～50质量％含有氧化铋、氧化铅、氧化锌中的至少1种，可以得到具有适于在玻璃基板上进行图案加工的温度特性的玻璃浆料。特别是使用含有氧化铋5～50质量％的玻璃微粒子时，可得到浆料的适用期长等优点。作为铋类玻璃微粒子，优选使用由以下组成构成的玻璃粉末。

[0093] 氧化铋：10～40质量％

[0094] 氧化硅：3～50质量％

[0095] 氧化硼：10～40质量％

[0096] 氧化钡：8～20质量％

[0097] 氧化铝：10～30质量％

[0098] 另外，可以使用将氧化锂、氧化钠、氧化钾中至少1种含有3～20质量％的玻璃微粒子。通过使碱金属氧化物的添加量为20质量％以下、优选15质量％以下，可以提高浆料的稳定性。在上述3种碱金属氧化物内，在浆料的稳定性方面，特别优选氧化锂。作为锂类玻璃微粒子，优选使用含有例如以下所示的组成的玻璃粉末。

[0099] 氧化锂：2～15质量％

[0100] 氧化硅：15～50质量％

[0101] 氧化硼：15～40质量％

[0102] 氧化钡：2～15质量％

[0103] 氧化铝：6～25质量％

[0104] 另外，如果使用含有氧化铅、氧化铋、氧化锌那样的金属氧化物和氧化锂，氧化钠、氧化钾那样的碱金属氧化物的两者的玻璃微粒子，则可以以更低的碱金属含量容易地控制热软化温度、线膨胀系数。

[0105] 另外，通过在玻璃微粒子中添加氧化铝、氧化钡、氧化钙、氧化镁、氧化钛、氧化锌、氧化锆等、特别是氧化铝、氧化钡、氧化锌，可以改良加工性，从热软化点、热膨胀系数方面考虑，其含量优选40质量％以下，更优选为25质量％以下。

[0106] 作为感光性有机成分，优选含有感光性单体、感光性低聚物、感光性聚合物中的至少1种。

[0107] 感光性单体为含有碳-碳不饱和键的化合物，作为其具体的例子，优选使用单官能及多官能性的(甲基)丙烯酸酯类、乙烯基类化合物类、烯丙基类化合物类等丙烯酸类单体。这些可以使用1种或2种以上。

[0108] 作为感光性低聚物、感光性聚合物，可以使用将具有碳-碳双键的单体中的至少1种进行聚合而得到的低聚物、聚合物。优选为将上述丙烯酸类单体中的至少1种进行聚合而得到的低聚物或聚合物，可以以上述单体的含量为10质量％以上、进一步优选35质量％以上的方式与其它感光性的单体共聚。通过在聚合物、低聚物中将不饱和羧酸等不饱和酸进行共聚，可以提高感光后的显影性。作为不饱和羧酸的具体的例子，可列举：丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、丁烯酸、马来酸、富马酸、乙烯基醋酸或它们的酸酐等。这样得到的侧链上具有羧基等酸性基团的聚合物或低聚物的酸价(AV)优选50～180的范围，更优选70～140的范围。通过对以上所示的聚合物或低聚物使光反应性基团附加于侧链或分子末端，可以用作具有感光性的感光性聚合物或感光性低聚物。优选的光反应性基团为具有乙烯性不饱和基团的基团。作为乙烯性不饱和基团，可列举：乙烯基、烯丙基、丙烯酸基、甲基丙烯酸基等。

[0109] 作为光聚合引发剂的具体的例子，可列举：二苯甲酮、邻苯甲酰苯甲酸甲酯、4，4-双(二甲基氨基)二苯甲酮、4，4-双(二乙基氨基)二苯甲酮、4，4-二氯二苯甲酮、4-苯甲酰-4-甲基苯基酮、二苄基酮、芴酮、2，3-二乙氧基苯乙酮、2，2-二甲氧基-2-苯基-2-苯基苯乙酮等。可以使用1种或2种以上这些化合物。光聚合引发剂相对感光性成分，优选以0.05～10质量％的范围添加，更优选以0.1～5质量％的范围添加。聚合引发剂的量过少时，存在光灵敏度降低的倾向，光聚合引发剂的量过多时，存在曝光部的残存率过小的倾向。

[0110] 添加光吸收剂也是有效的。通过添加紫外光、可见光的吸收效果高的化合物，可得到高纵横比、高精细、高分辨率。作为光吸收剂，优选使用由有机类染料构成的光吸收剂，具体而言，可以使用偶氮类染料、氨基酮类染料、呫吨类染料、喹啉类染料、蒽醌类染料、二苯甲酮类染料、二苯基氰基丙烯酸酯类染料、三嗪类染料、对氨基苯甲酸类染料等。由于有机类染料不残存于烧成后的绝缘膜中，因此，可以减少光吸收剂引起的绝缘膜特性的低下，因此优选。其中，优选偶氮类及二苯甲酮类染料。有机染料的添加量优选为0.05～5质量％，更优选为0.05～1质量％。添加量小于上述范围时，存在光吸收剂的添加效果减少的倾向，当其大于上述范围时，存在烧成后的绝缘膜特性降低的倾向。

[0111] 为了使灵敏度提高，优选添加增感剂。作为增感剂的具体例，可列举：2，4-二乙基噻吨酮、异丙基噻吨酮、2，3-双(4-二乙基氨基亚苄基)环戊酮、2，6-双(4-二甲基氨基亚苄基)环己酮等。可以使用1种或2种以上这些化合物。在感光性浆料中添加增感剂时，其添加量相对感光性成分，通常为0.05～10质量％，更优选为0.1～10质量％。增感剂的量小于上述范围时，存在不发挥使灵敏度提高的效果的倾向，增感剂的量大于上述范围时，存在曝光部的残存率变小的倾向。

[0112] 作为有机溶剂，可使用例如甲基溶纤剂、乙基溶纤剂、丁基溶纤剂、丙二醇单甲醚醋酸酯、甲基乙基酮、二噁烷、丙酮、环己酮、环戊酮、异丁醇、异丙醇、四氢呋喃、二甲基亚砜、γ-丁内酯、N-甲基吡咯烷酮、N，N-二甲基甲酰胺、N，N-二甲基乙酰胺、溴苯、氯苯、二溴苯、二氯苯、溴苯甲酸、氯苯甲酸等或含有它们中的1种以上的有机溶剂混合物。

[0113] 隔壁形成用感光性浆料通常以成为规定的组成的方式调合上述无机微粒子或有机成分，然后，用3根辊或捏合机均质地进行混合分散来制作。接着，进行感光性浆料的涂敷、干燥、曝光、显影等。

[0114] 作为涂敷隔壁形成用感光性浆料的方法，可以使用网版印刷法、棒涂机、辊涂机、模涂机、刮刀涂敷机等。

[0115] 另外，涂敷后的干燥可以使用通风炉、电热板、IR(红外线)炉等。

[0116] 曝光中所使用的活性光源可列举例如可见光线、近紫外线、紫外线、电子线、X线、激光等。其中，最优选紫外线，作为其光源，优选例如低压水银灯、高压水银灯、超高压水银灯、卤化物灯、灭菌灯等。其中，优选超高压水银灯。曝光条件因涂敷厚度而不同，使用1～2
100mW/cm 的输出的超高压水银灯进行0.1～10分钟曝光。

[0117] 在这里，光掩模和感光性浆料的涂敷膜表面的距离(以下称为间隙量)优选调整为50～500μm，进一步为70～400μm。通过将间隙量设定为50μm以上、进一步优选70μm以上，可以防止感光性浆料涂敷膜和光掩模的接触，防止两者的破坏或污染。另外，通过将其设定为500μm以下、进一步优选400μm以下，可以进行清晰的构图。

[0118] 显影利用曝光部和非曝光部相对于显影液的溶解度差而进行。显影可以用浸渍法或喷雾法、涂刷法等进行。

[0119] 显影液使用感光性浆料中的要溶解的有机成分，即，在负型感光性浆料的情况下，使用可以溶解曝光前的感光性有机成分的溶液，在正型感光性浆料的情况下，使用可以溶解曝光后的有机成分的溶液。在要溶解的有机成分中存在具有羧基等酸性基的化合物时，可以在碱水溶液中进行显影。作为碱水溶液，可以使用氢氧化钠或碳酸钠、碳酸钠水溶液、氢氧化钙水溶液等无机碱水溶液，由于在烧成时容易除去碱成分，因此，优选使用有机碱水溶液。作为有机碱，可以使用一般的胺化合物。具体可列举：四甲基氢氧化铵、三甲基苄基氢氧化铵、一乙醇胺、二乙醇胺等。碱水溶液的浓度通常为0.01～10质量％，更优选为0.1～5质量％。如果碱浓度过低，则存在难以除去可溶部分的倾向，如果碱浓度过高，则存在剥离图案部或使非可溶部腐蚀的倾向。另外，在工序管理上优选显影时的显影温度在20～50℃下进行。

[0120] 接着，通过显影得到的主隔壁及辅助隔壁的图案在烧成炉中被烧成。烧成氛围或温度因浆料或基板的种类而不同，在空气中、氮、氢等氛围中进行烧成。作为烧成炉，可以使用分批式的烧成炉或辊道炉床式的连续型烧成炉。烧成温度在400～800℃下进行即可。在玻璃基板上直接形成隔壁时，在450～620℃的温度下保持10～60分钟进行烧成即可。

[0121] 接着，在与规定的地址电极平行方向所形成的主隔壁间形成发光红(R)、绿(G)、蓝(B)的各色的荧光体层。荧光体层可以通过使以荧光体粉末、有机粘合剂及有机溶剂为主要成分的荧光体浆料涂敷在规定的主隔壁间并进行干燥、根据需要进行烧成来形成。

[0122] 作为将荧光体浆料涂敷在规定的主隔壁间的方法，可以利用使用网版印刷版进行图案印刷的网版印刷法、从喷出喷嘴的前端将荧光体浆料进行图案喷出的分配器法、另外在荧光体浆料中使用有上述的感光性有机成分的感光性浆料法使各色的荧光体浆料涂敷在规定的场所，但从成本的理由考虑，在本发明中，优选应用网版印刷法、分配器法。

[0123] 将红色荧光体层的厚度设定为Tr(μm)、绿色荧光体层的厚度设定为Tg(μm)及蓝色荧光体层的厚度设定为Tb(μm)时，优选满足式(2)及(3)。

[0124] 10≤Tr≤Tb≤50 (2)

[0125] 10≤Tg≤Tb≤50 (3)

[0126] 即，对发光亮度低的蓝色，通过使厚度比绿色、红色厚，可以制作色平衡更优异(色温度高)的等离子体显示器。作为荧光体层的厚度，可以通过将其设定为10μm以上来得到充分的亮度。另外，通过将其设定为50μm以下，可以取得宽的放电空间，得到高的亮度。此时的荧光体层的厚度作为相邻的主隔壁及相邻辅助隔壁的中间点的烧成后的厚度测定。即，作为在放电空间(由主隔壁、辅助隔壁包围的像素单元内)的底部所形成的荧光体层的厚度测定。

[0127] 通过将被涂敷的荧光体层根据需要在400～550℃下烧成，可以制作背面板。

[0128] 在使用该背面板与前面板密封后，在前背面的基板间隔所形成的空间封入由氦、氖、氙等构成的放电气体后，安装驱动电路而能够制作等离子体显示器。前面板为在基板上以规定的图案形成有透明电极、汇流电极、电介质、保护层的构件。可以在与背面板上所形成的RGB各色荧光体层一致的部分形成滤色器层。另外，为了提高对比度，可以形成黑条纹。

[0129] 接着，对主隔壁的间距进行说明。在是由主隔壁和与其正交的辅助隔壁构成的格子状的隔壁图案的情况下，在位于显示区域的横向两侧的非显示区域的主隔壁中，位于最外部的主隔壁成为仅连接辅助隔壁和显示区域侧的一侧的形状，在烧成时通过辅助隔壁收缩而产生的应力仅施加于向显示区域侧的一方向，因此，如图1所示，产生最外部的主隔壁3倾倒、与其它的显示区域的主隔壁2相比隆起的问题。这样，成为隔壁高度局部地升高时、在点亮面板时、有时产生误放电等使显示品质降低的问题。因此，为了防止最外部主隔壁的倾倒，如图2所示，进行使最外部主隔壁的宽度Lt1比显示区域的主隔壁宽度粗，但在最外部主隔壁的间距Pt1与显示区域内的主隔壁间距Pt2相同的情况下，不能越为了防止倾倒越充分加粗Lt1，因此，设计为Pt1比Pt2大。Lt1优选是Lt2的1.2～3倍。当其小于1.2倍时，抑制倾倒的效果不充分，当其大于3倍时，最外部主隔壁自身的宽度方向的收缩应力变大，有时顶部翘起，因此，不优选。

[0130] 另外，使用感光性浆料法，利用主隔壁和辅助隔壁，具有图案为格子状的隔壁的基板可以通过如下方式获得，即，对在基板上所形成的隔壁形成用感光性浆料涂敷膜，使用具有所期望的格子状图案的光掩模进行曝光并进行显影/烧成。此时在异物附着于光掩模、或有伤痕、气泡等的情况下，有时图案形成不良。

[0131] 在这里，通过应用将在基板上形成的隔壁形成用感光性浆料涂敷膜和具有所期望的格子状图案的光掩模的位置进行对准，进行一次曝光(曝光操作1)，进一步以所期望的量移动基板或光掩模而进行曝光(曝光操作2)的方法，可以抑制图案的形成不良等缺陷产生。此时的基板或光掩模的移动方向与辅助隔壁的方向平行或与主隔壁的方向平行，在移动方向与辅助隔壁的方向平行的情况下的移动量优选为主隔壁间距Pt2的整数倍。不为整数倍时，在曝光操作1和曝光操作2中主隔壁位置偏离，因此，抑制缺陷产生的效果不充分，而且，隔壁宽度等形状不均的控制困难。在位于显示区域的横向两侧的非显示区域的主隔壁中，位于最外部的主隔壁和与其相邻的主隔壁的间距Pt1必须为位于显示区域的主隔壁的间距Pt2的2以上的整数倍，由此，可以抑制最外部主隔壁的隆起。而且，通过上述曝光操作1和曝光操作2之间的基板或光掩模的移动量与Pt2相同，可以抑制图案形成不良等缺陷的产生。但是，当Pt1为Pt2的5以上的整数倍时，最外部的主隔壁3和其相邻主隔壁之间过于隔开，因此，在与前面板贴合进行面板化时，施加于最外部的主隔壁的应力变大，有时隔壁缺损。

[0132] 另外，移动方向与主隔壁的方向平行时的移动量优选是辅助隔壁间距的整数倍，更优选为与辅助隔壁间距相同距离。在不为整数倍的情况下，横隔壁的形状的控制困难。

[0133] 实施例

[0134] 下面，利用实施例对本发明进行具体说明。但是，本发明并不限定于此。

[0135] 首先，对评价方法进行说明。关于隔壁的形成不良，用背面板实施评价，关于误放电和最外部主隔壁缺损，用等离子体显示器面板实施。

[0136] <隔壁形成不良>

[0137] 用透射光目视确认制成的背面板，调查隔壁图案的断线的有无，用以下基准进行判定。

[0138] ○：没有断线

[0139] ×：有断线

[0140] <误放电>

[0141] 对制成的PDP的扫描电极施加140V的电压，对维持电极施加200V的电压，对地址电极施加70V的电压，使R、G、B以单色依次点亮。对由于误放电而以不应该点亮的颜色(R点亮时为G和B，G点亮时为B和R，B点亮时为R和G)点亮的单元的个数进行计数，用以下基准进行判定。

[0142] ○：误点亮单元数每1面板为5个以下

[0143] △：误点亮单元数每1面板为6～10个

[0144] ×：误点亮单元数每1面板为11个以上

[0145] <最外部主隔壁缺损>

[0146] 在制成的PDP中的背面板的位于显示区域的横向两侧的非显示区域的主隔壁中，用显微镜(キ一ェンス社制)观察位于最外部的主隔壁的缺损的有无，用以下基准进行判定。

[0147] ○：没有缺损

[0148] △：一部分缺损，但没有达到隔壁的崩溃

[0149] ×：隔壁崩溃

[0150] 接着，对形成方法依次进行说明。

[0151] (实施例1～4、比较例1、2)

[0152] 作为玻璃基板，使用590×964×1.8mm的42英寸大小的PD-200(旭硝子(株)制)。在该基板上，作为写入电极(writing electrode)，使用由平均粒径2.0μm的银粉末70重量份、Bi2O3/SiO2/Al2O3/B2O3＝69/24/4/3(质量％)构成的平均粒径2.2μm的玻璃粉末2重量份、丙烯酸、甲基丙烯酸甲酯、苯乙烯的共聚聚合物8重量份、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯7重量份、二苯甲酮3重量份、丁基卡必醇丙烯酸酯7重量份、苄醇3重量份构成的感光性银浆料，利用光刻法形成间距240μm、线宽度100μm、烧成后厚度3μm的条纹状电极。

[0153] 在该基板上涂敷由Bi2O3/SiO2/Al2O3/ZnO/B2O3＝78/14/3/3/2(质量％)构成的体积平均粒径2μm的低熔点玻璃微粒子60重量份、平均粒径为0.3μm的氧化钛粉末10重量份、乙基纤维素15重量份、松油醇15重量份构成的电介质浆料后，在580℃下进行烧成，形成厚度10μm的电介质层。

[0154] 隔壁形成用的感光性浆料将以下的成分进行混合、分散而使用。

[0155] 玻璃粉末：Bi2O3/SiO2/Al2O3/ZnO/B2O3＝82/6/6/6/3(质量％)构成的平均粒径2μm的玻璃粉末67重量份

[0156] 填料：平均粒径0.2μm的氧化钛3重量份

[0157] 聚合物：“サィクロマ-”P(ACA250、ダィセル化学工业社制)10重量份[0158] 有机溶剂(1)：苄醇 4重量份

[0159] 有机溶剂(2)：丁基卡必醇醋酸酯 3重量份

[0160] 单体：二季戊四醇六丙烯酸酯 8重量份

[0161] 光聚合引发剂：二苯甲酮 3重量份

[0162] 抗氧化剂：1，6-己二醇-双[(3，5-二-叔丁基-4-羟基苯基)丙酸酯]1重量份[0163] 有机染料：碱性蓝26 0.01重量份

[0164] 触变性赋予剂：N，N′-12-羟基硬脂酸亚丁基二胺：0.5重量份

[0165] 表面活性剂：聚氧乙烯鲸蜡基醚：0.49重量份。

[0166] 利用模涂机将涂敷隔壁形成用感光性浆料涂敷成250μm的厚度后，在洁净炉中在100℃下进行40分钟的干燥，形成涂敷膜。在其上面将隔壁形成用感光性浆料利用模涂机涂敷成50μm的厚度后，在洁净炉中在100℃下进行30分钟的干燥，形成涂敷膜。相对形成涂敷膜，使具有所期望的格子状图案的光掩模的位置对准，进行一次曝光(曝光操作1)，进一步以表1所示的所期望的移动距离S(μm)在与辅助隔壁平行的方向移动基板或光掩模，再次进行位置对准而进行曝光(曝光操作2)。光掩模使用具有图3所示的图案的光掩模。再有，表1表示在各自的实施例、比较例中使用的光掩模的位于横向最外部的主隔壁形成用透光部和与其相邻的主隔壁形成用透光部的间距Pmt1(μm)、位于横向中央部的主隔壁形成用透光部的间距Pmt2(μm)、辅助隔壁形成用透光部的间距Pmy(μm)、位于横向最外部的主隔壁形成用透光部Wt1(μm)、位于横向中央部的主隔壁形成用透光部的宽度Wt2(μm)。

[0167] 另外，将与光掩模的间隙设定为150μm，以在曝光操作1和曝光操作2中累计曝光2
量之和为400mJ/cm 的方式实施曝光。

[0168] 将如上述那样形成的已曝光的基板在0.5质量％的碳酸钠水溶液中进行显影，形成隔壁图案。将图案形成已结束的基板在560℃下进行15分钟烧成。将得到的基板的概略图示于图4。表1表示在位于显示区域的横向两侧的非显示区域的主隔壁中、位于最外部的主隔壁和与其相邻的主隔壁的间距Pt1(μm)、位于显示区域的主隔壁的间距Pt2(μm)、辅助隔壁的间距Py(μm)、在位于显示区域的横向两侧的非显示区域的主隔壁中、位于最外部的主隔壁的底部宽度Lt1(μm)、位于显示区域的主隔壁的底部宽度Lt2(μm)的测定结果。

[0169] 在所形成的隔壁间利用网版印刷法涂敷各色荧光体浆料并进行烧成(500℃、30分钟)。在隔壁的侧面及底部形成荧光体层。

[0170] 接着，利用以下的工序制作前面板。首先，使用590×964×2.8mm的42英寸大小的PD-200(旭硝子(株)制)作为玻璃基板，在该玻璃基板上用溅射法形成ITO后，涂敷抗蚀剂，利用曝光、显影处理、蚀刻处理形成厚度0.1μm、线宽度200μm的透明电极。另外，使用由黑色银粉末构成的感光性银浆料，利用光刻法形成烧成后厚度5μm的扫描电极和维持电极。就电极而言，分别制作间距500μm、线宽度80μm的电极。

[0171] 接着，将含有氧化铅75质量％的低熔点玻璃的粉末70重量份、乙基纤维素20重量份、松油醇10重量份进行捏合而得到的玻璃浆料利用网版印刷、以覆盖显示部分的汇流电极的方式以50μm的厚度进行涂敷后，在570℃下进行15分钟的烧成，形成前面电介质。

[0172] 在形成有电介质的基板上，作为保护膜，利用电子束蒸镀形成厚度0.5μm的氧化镁层，制作前面板。

[0173] 使用密封玻璃将制成的前面板和背面板密封，以内部气体压力为66500Pa的方式封入含Xe5％的Ne气，安装驱动回路，由此制作等离子体显示器面板。

[0174] 表1表示评价结果。

[0175] [表1]

[0176]

[0177] 在实施例1～4中，可以得到生产率良好、显示品质也高的等离子体显示器面板，但在比较例1～3中，成为生产率和显示品质的一个较差的结果。