等离子体寻址的微型镜显示器

摘要

一种包括具有光学性质的微机械像素矩阵的气体放电寻址显示器。

权利要求

1.一种显示器，包括：

(a)多个双稳态像素，每个双稳态像素包括移动电极，以及(b)寻址结构，包括：

(i)多个第一寻址电极和多个第二寻址电极；

(ii)多个像素电极，每个像素电极与所述第一寻址电极中选择的第一寻址电极形成电容器；以及(iii)在每个所述像素电极和所述第二寻址电极中选择的第二寻址电极之间形成的、在低压放电气体中工作的多个弧隙；

其中所述像素电极向所述双稳态像素提供选择性的寻址电压。

2.如权利要求1所述的显示器，其中所述像素电极和所述第一寻址电极向所述双稳态像素提供选择性的静电力。

3.如权利要求1所述的显示器，其中每个所述双稳态像素的所述移动电极位于所述像素电极中选择出的一个像素电极和固定的电极之间。

4.如权利要求1所述的显示器，还包括：用于接收和分布光的光学波导，所述光学波导具有上表面和下表面。

5.如权利要求4所述的显示器，其中所述光学波导还包括从所述光学波导的所述上表面向下延伸的多个光出射面，且所述双稳态像素操作来调制从所述光学波导的光出射面出来的光。

6.如权利要求5所述的显示器，其中每个所述双稳态像素的所述移动电极包括具有与所述光学波导的所述上表面实质上平行的倾斜轴的倾斜光调制器。

7.如权利要求6所述的显示器，其中每个所述倾斜光调制器选择性地将从所述光学波导的光出射面出来的光导向观察者或光吸收器。

8.如权利要求5所述的显示器，其中每个所述双稳态像素包括多个倾斜光调制器，且所述多个倾斜光调制器被分组以调制不同水平的光。

9.如权利要求8所述的显示器，其中每个所述倾斜光调制器包括具有镜面光反射下表面和光吸收上表面的微型镜。

10.如前述权利要求中任一项所述的显示器，其中所述低压放电气体从由氦、氖、氩、氙组成的组中选择。

11.如权利要求1-9中任一项所述的显示器，其中所述低压放电气体的压力在30托和

500托之间。

12.如权利要求1、2、3或9所述的显示器，其中所述低压放电气体与所述双稳态像素物理地隔离。

13.一种操作显示器的双稳态像素的方法，其中每个所述双稳态像素包括根据被提供到所述双稳态像素的选择性的寻址电压来采取第一位置或第二位置的移动电极，所述方法包括以下步骤：(a)选择性地启动低压放电气体中的电弧以向所述双稳态像素提供所述选择性的寻址电压；

(b)根据所提供的寻址电压将所述移动电极移位到所述第一位置或所述第二位置。

14.一种操作显示器的双稳态像素的方法，其中每个所述双稳态像素包括根据被提供到所述双稳态像素的一组选择性的寻址电压来采取第一位置或第二位置的移动电极，所述方法包括以下步骤：(a)选择性地启动低压放电气体中的电弧以向所述双稳态像素提供新的一组所述选择性寻址电压；

(b)通过将静电力施加到所述移动电极来将所述移动电极从所述第一位置移位到所述第二位置；

(c)通过将选择性的静电力施加到每个所述移动电极来选择性地将所述移动电极从所述第二位置移动到所述第一位置，以及(d)通过将静电偏置力施加到每个所述移动电极来将所述移动电极保持在所述第一位置和所述第二位置。

15.如权利要求13或14所述的方法，还包括将提供到所述双稳态像素的所述选择性的寻址电压重置的步骤。

说明书

等离子体寻址的微型镜显示器

[0001] 相关的美国专利文件

[0002] 序列号第US 12/079527号2008年3月27日

[0003] 相关的PCT专利文件

[0004] 序列号第PCT/US2008/087981号2008年12月22日

[0005] 上述专利文件作为引用包括在本文中。

[0006] 本发明的背景

[0007] 本发明的领域

[0008] 本发明一般涉及显示板并涉及使用微机械光调制器的显示器的矩阵寻址。更具体地，本发明涉及使用低压气体放电的静电力驱动的微型镜显示器的矩阵寻址。 [0009] 现有技术的讨论

[0010] 平板显示器一般包括产生或调制光以提供图像的像素阵列。为了向各个像素提供数据，一般使用包括行和列电极以及对于每个像素的电子开关的寻址结构。目前薄膜晶体管被用作液晶平板显示器中的电子开关，且气体放电被用于等离子体显示器中的寻址。气体放电寻址还被提出用于液晶显示器和电致发光显示器。

[0011] 颁发给Buzak等人的第4,896,149号美国专利描述了使用电离气体介质寻址数据存储单元的寻址结构，该数据存储单元通过重叠第一基片上的多个列电极和第二基片上的多个通道的区域来限定。电介质材料层分离第一和第二基片。Buzak等人的结构的每个通道包括参考电极和行电极。参考电极被设置在地电势，且行电极接收负向的DC脉冲信号以选择性地实 现包含在通道中的气体的电离。

[0012] 颁发给Stoller的第5,519,520号美国专利描述了矩阵类型平板显示器，其中AC等离子体气体放电系统使用空间调制来控制液晶层的灰度。液晶介质是可以通断(双水平)模式操作的一种介质，在通断(双水平)模式中饱和的总面积由空间面积直接决定，该空间区域由连续的或与其相邻的气体放电来充电。电荷存储表面例如透明电极阵列之间的电介质层，LC介质和气体介质存储电荷，该电荷被致使以与被选的矩阵交叉点上的结点电压的幅度成比例的方式扩散。电荷扩散面积建立了液晶材料改变状态所在地点的空间或面积大小，从而提供在被选的矩阵交叉点上的光发射的空间灰度水平。

[0013] 如以下段落中将要详细讨论的，与现有技术清楚地相区分的本发明独特地针对基于具有调制光的光学性质的微机械驱动器的显示器的矩阵寻址。

[0014] 本发明概述

[0015] 本发明的一个目的是提供带有由微机械光调制器组成的像素的气体放电寻址显示器板。在本发明的一种形式中，这个目的通过提供基片上的多个第一和第二寻址电极和多个像素来实现。每个像素包括具有光学性质的微机械驱动器和驱动电极。每个驱动电极与从第一寻址电极中选择的一个第一寻址电极形成电容器，并与从第二寻址电极中选择的一个第二寻址电极形成在低压放电气体中工作的弧隙。

[0016] 本发明的另一个目的是提供用于带有微机械像素的显示器板的寻址结构。这个目的通过提供基片上的多个第一和第二寻址电极和多个像素电极来实现。其中每个像素电极与从第一寻址电极中选择的一个第一寻址电极形成电容器，并与从第二寻址电极中选择的一个第二寻址电极形成在低压放电气体中工作的弧隙，并向从微机械像素中选择的一个微机械像素提供电压电势。

[0017] 本发明的另一个目的是提供用于寻址微机械像素的电子电路。这个目的通过提供串联连接的电子电路来实现，该电子电路包括第一寻址电极、 电容器、在低压放电气体中操作的弧隙以及第二寻址电极。其中等效电路作为电压控制的自终止电流开关操作，并向微机械像素提供电压电势。

[0018] 本发明的前述的以及其他目的将通过附图中所示出的和以下的说明书中所描述的新颖的显示器寻址结构和方法来实现。

[0019] 附图简要描述

[0020] 图1是本发明的显示器板的一种形式的一般透视图。

[0021] 图2是图1的沿着线2-2截取的放大的横截面视图。

[0022] 图3是在图2中被指示为3-3区域的放大的不完全的横截面视图。 [0023] 图4是部分断开以示出显示器板的内部结构的一般透视图，该显示器板实现了本发明的寻址结构的一种形式并实现了本发明的寻址方法的一种形式。

[0024] 图5是包括显示器板和相关的板驱动电子器件的本发明的平板显示器的一般示意图。

[0025] 图6是示出了应用到本发明的行和列电极以用于寻址显示器板的各种电压波形的一般示意图。

[0026] 图7是部分断开以示出本发明的显示器板的可选形式的内部结构的一般透视图。 [0027] 图8是包括显示器板和显示器的板驱动电子器件的本发明的平板显示器的可选形式的一般示意图。

[0028] 图9是示出了应用到行和列电极以用于寻址图7中所示出的显示器板的电压波形的一般示意图。

[0029] 本发明的描述

[0030] 参考附图尤其是图1到图3，这些附图示出了显示器板的结构和光学功能，该显示器板具有可在以下段落中描述的本发明的实施方式中寻找到的光波导和倾斜微型镜特征。如图1中所最好地看到的，显示器板一般由标号20指示，包括横截面一般是楔形的矩形光学波导21。波导21优选地 由光学透明材料例如丙烯酸酯或玻璃构成，且包括由一般是平行的侧表面28和29(见图1)连接的一般是平行的第一和第二端表面26和27。波导21还包括特别设置的主要上表面30和向上斜的下表面31(也见图2)。多个空间等间隔的槽32在上表面30上形成，且如图1中所示，延伸在侧表面28和29之间。细长的光源24安装在波导21的宽边缘26附近，且倾斜微型镜33的矩阵构造在图2中的波导的上表面30上。也在图2中，一列倾斜微型镜被指示为33a，33b，33c，33d，33e和33f。

[0031] 然后参考附图的图3，其代表在波导21的上表面30上形成的所有的槽32都包括三个一般是平的面34、35和36。如图2和图3中所示，面34相对于上表面30以80和90之间的陡的角度向下倾斜。第二面35从上表面30凹进(recessed)且一般平行于上表面30，且面36相对于上表面30以45和60之间的角度向上倾斜。

[0032] 图3中进一步示出，多层膜涂层应用到面35和36。第一层37是仅沉积在面36上的光吸收黑色聚合物膜。可由材料例如铝合金中形成的第二层38包括沉积在面35上和光吸收层37上的导电镜面反射镜膜。第三层39包括仅沉积在导电镜膜层38的平面水平部分上的透明电绝缘体。

[0033] 图3还示出了倾斜微型镜组33中的一个倾斜微型镜33e。倾斜微型镜中的每个都包括被固定到波导21的上表面30上的薄铝合金弹性膜。为了在倾斜轴42(见图3)处弯曲微型镜，每个微型镜的厚度在波导21的向下倾斜的面34与上表面30的结合处减小。为了吸收外部光，薄黑色聚合物膜41被沉积在每个微型镜的上表面上。

[0034] 在显示器板的当前形式中，倾斜微型镜33由静电吸引力和由弹性膜产生的相反的弹簧力操作。电学上，每个倾斜微型镜33代表电容器极板，其与导电镜膜38形成可变电容器。当适当的电压“V”应用在固定的导电镜膜38和微型镜33之间时，微型镜被静电吸引力倾斜，且当没有电压应用时，微型镜被弹性膜的相反弹簧力转到平面位置(flat position)。作为对槽的替代，适当设置的腔可在波导的上表面30上形成，且倾斜微型镜可在腔内而不是槽内被接收。

[0035] 在附图的图2所最好地看到的，从波导21的宽边缘26进入的光线43 通过全内反射均匀地分布在X轴的传播方向上，并从向下倾斜的面34离开波导21。根据倾斜微型镜的位置，光线被吸收或可选地定向到观看者(viewer)。

[0036] 当倾斜微型镜处于平面位置时，例如微型镜33c和33d(图2)，光线从微型镜的较低的光反射表面和镜涂层38被反射，并被导向到观察者。当被选的微型镜被向下倾斜时，例如微型镜33a和33b，光线从微型镜的较低光反射表面和镜涂层38被反射并将角度朝法向改变。在多次反射之后，光线损失其能量，且光被吸收。一些光线可通过从微型镜和镜涂层38来改变它们的反射角度，且这样的光线从向下倾斜的面34重新进入光导，并往回行进至光源的方向。(见图2和图3中示出的微型镜33e和33f)。光吸收层37吸收向后行进的光线。

[0037] 根据显示器的大小和分辨率，每个像素都可包括若干倾斜的微型镜。减小各个微型镜的大小有助于减小所需的静电驱动电压。而且，当适当的电压应用在固定的电极38和被选的一组微型镜之间时，每个像素的微型镜都可被组合以调制不同水平的光。这减少了显示器寻址的限制。图1中示出的显示器板可构造在单独的基片上并与背光组件组合。本发明提供了用于这种类型的显示器板系统的矩阵寻址结构和方法。

[0038] 图4示出了显示器板50，其实现了本发明的寻址结构的一种形式，实现了本发明的寻址方法的一种形式。本发明的显示板一般包括相当大数量的像素和相关的寻址电极。但是为了说明的目的，图4中示出的四个像素和两对行和列电极作为用于显示器板50的第一和第二寻址电极。

[0039] 如图4中所示出的，显示器板50包括由光学透明材料例如丙烯酸酯或玻璃构成的两个一般来说平行的第一和第二基片51和52，并通过间隔物53空间分离。在本发明的当前形式中，基片51和52之间的空间实质上用放电气体例如氖、氩、氦和氙或其任意混合物以大约30托和大约500托之间的压力填充。

[0040] 槽60在上表面58上形成并延伸在侧表面56和57之间。设置在被置于槽60内的凹进的表面上的是第一寻址或行电极R1和R2。行电极R1和R2优选地由镍或铝沉积成并用电介质膜的薄层61绝缘。

[0041] 由薄铝合金弹性膜构成的四个倾斜微型镜M1、M2、M3和M4和第二寻址或列电极C1和C2附在基片51的上表面58上。在本发明的显示器板的当前形式中，倾斜微型镜M1、M2、M3和M4可在第一和第二位置之间移动，并通过倾斜微型镜和相应的行电极R1和R2之间的静电吸引力和由弹性膜产生的相反的弹簧力操作。电学上，每个倾斜微型镜代表电容器极板，并与行电极一起形成可变电容器。在列电极和微型镜之间形成四个空隙G1、G2、G3和G4。为了防止串扰，希望在微型镜和列电极之间有最小的杂散电容。因此，只有列电极的一部分延伸与微型镜较近。如前所阐述的，本发明使用低压气体放电以用于寻址微型镜。 [0042] 在操作中，需要最小的击穿电压Vb来发起列电极和微型镜之间的火花。所需的最小击穿电压Vb一般遵守帕申定律，帕申定律阐述了空隙的最小击穿电压是气压和空隙长度的乘积。这是非线性函数且一般写作Vb＝f(p*d)，其中p是压力且d是空隙距离。在操作期间，为了避免列电极C1和微型镜M2或M4之间的电弧放电，列电极C1和微型镜M2和M4之间的距离d1被制作为明显大于弧隙的长度。

[0043] 图5示出了包括显示器板50和板驱动电子器件的平板显示器65的示意图。如图5所描述，数据处理和显示器扫描电子器件块62提供扫描信号到行驱动器64以用于顺序地选择显示器板50的行电极并提供同步的数据信号到列驱动器63。块62还提供了同步控制信号到光源67。行驱动器64和列驱动器63包括移位寄存器和缓冲放大器以用于驱动显示器板50的电极。一般的缓冲放大器包括互补晶体管和反向偏置保护二极管。 [0044] 在图5中，与行电极的相应部分形成电容器的显示器板50的倾斜微型镜被示出为电容器极板M1、M2、M3和M4。图5中还示出了四个弧隙G1、G2、G3和G4，每个都具有连接到相应的列电极C1和C2的第一端子以及连接到相应的电容器极板M1、M2、M3和M4的第二端子。

[0045] 图6示出了应用到行和列电极以用于寻址显示器板50的各种电压波 形。另外地，图6示出了作为应用到列和行电极的电压的结果而产生的微型镜M1和M2的电压波形。在图6中，一个视频场时间间隔被示出，其包括重置、寻址和显示时间段。初始地，列电极被设置为0V电势，行电极被设置为-40V电势。初始地，由微型镜和行电极形成的电容器被放电以使得微型镜M1和M2具有与行电极相同的-40V电势。

[0046] 如先前所讨论，需要跨弧隙的特定的最小气体击穿电压Vb来启动电弧。每次气体放电都还具有大约是击穿电压Vb的70％的特定的灭弧电压Ve。对于这个应用，假定击穿电压Vb＝100V，且灭弧电压Ve＝70V。

[0047] 在1微秒或更短的时间间隔T1期间，40V脉冲被应用到列电极C1和C2，且-80V被应用到行电极R1。这产生了跨弧隙G1和G2的120V电势并启动了每个弧隙上的电弧。所启动的电弧为由微型镜M1和M2和行电极R1的相应部分形成的电容器充电。应用到微型镜M1和M2的电荷将微型镜的电势提高到50V。随后，跨弧隙的电压电势落到灭弧电压Ve＝70V以下且电弧熄灭。等效电路作为电压控制的自终止电流开关操作。 [0048] 在时间间隔T2期间，列电极C1和C2上的电压被设置为0V，且行电极R1被提高到70V电势。这增加到在T1时间间隔期间应用到微型镜M1和M2的50V电荷上，并产生跨弧隙G1和G2的120V电势，在每个弧隙上启动电弧。所启动的电弧将由微型镜M1和M2和行电极R1的相应部分形成的电容器放电。这将跨弧隙的电压电势从120V降低到70V，且电弧熄灭。

[0049] 在图6中，最后两个波形示出了在微型镜M1和M2与行电极R1之间产生静电吸引力的电压电势差。在时间间隔T2期间，先前驱动的微型镜被弹性膜产生的相反弹簧力重新设置到上平面位置。因为这个原因，T2时间间隔保持得足够长(＞20微秒)。对于时间T1和T2的所描述的操作应用到显示器的所有的微型镜和行电极。

[0050] 如图6中所示出的，在寻址时间段时间间隔T3期间，列电极C1应用40V，列电极C2应用0V，且行电极R1应用-80V。这产生了跨弧隙G1的120V电势以及跨弧隙G2的80V电势。因为期望的击穿电压是Vb＝100V，所以，电弧仅在弧隙G1启动，且所启动的电弧为微型镜M1充电50V。 微型镜通过在行电极和接收50V充电的微型镜之间产生的静电力驱动。在时间间隔T3之后，对微型镜M3和M4的寻址通过将-80V脉冲应用到行电极R2以及将相应的数据应用到列电极来执行。

[0051] 参考图7，本发明的显示器板的可选形式被示出并一般由标号70指示。实现了寻址结构并实现了本发明的寻址方法的可选实施方式与附图的图4中示出的实施方式的一些方面类似，且图7中使用的相同的数字标识相同的部件。

[0052] 这里的显示器板70包括两个间隔开的部分，即由一般是透明的材料例如丙烯酸酯或玻璃构成的一般是平行的基片51和52。在显示器板70中，寻址结构构建在前覆盖基片52上且微型镜和较低的静电驱动电极构建在基片51上。基片51一般是矩形形状并包括由平行的侧表面56和57连接的平行的第一和第二端表面54和55。基片51还包括特别设置的主要上表面58和间隔的下表面59。

[0053] 空间等间隔的槽60形成在上表面58上并在侧表面56和57之间延伸。较低电极L1和L2承载在设置在槽60内的凹进的表面上，并由铝沉积成，且用薄的透明电介质膜61绝缘。由薄的铝膜构成的四个倾斜微型镜M1、M2、M3和M4和第一和第二微型镜驱动电极E1和E2附在基片51的上表面58上。电极E1电连接到微型镜M1和M2上，且电极E2电连接到微型镜M3和M4上。包括矩形形状的电容器极板P1、P2、P3和P4的第一寻址或行电极R1和R2承载在基片52的下表面73上并由铝沉积成。如图7中所示出，电容器极板P1、P2、P3和P4定位在相应的微型镜之上。

[0054] 行电极R1电连接到电容器极板P1和P2，而行电极R2电连接到电容器极板P3和P4。薄的透明绝缘体71旋涂在行寻址电极和电容器极板P1、P2、P3和P4上。由铝膜构成的四个一般是矩形形状的像素电极A1、A2、A3和A4以及两个第二寻址或列电极C1和C2附在绝缘体71的下表面上。列电极的部分延伸靠近像素电极形成弧隙G1、G2、G3和G4。薄的透明绝缘体膜72置于像素电极的下表面上，且绝缘体膜71和72之间的空间用低压的放电气体填充。与真空成形相似的这个过程使绝缘体膜72变型，并在像素电极和列电极之间的每个弧隙处形成放电气体的袋(pocket)。

[0055] 在显示器板70中，像素代表三电极静电驱动器。微型镜M1、M2和M3和M4是位于相应的上像素电极A1、A2、A3和A4和下电极Ll和L2之间的移动电极。像素电极和微型镜之间的静电吸引力将微型镜移动到第一上平面位置，且微型镜和下电极之间的静电吸引力将微型镜在向下的方向上朝着第二位置倾斜。

[0056] 图8示出平面板显示器80的示意图，其包括显示器板70和本发明的板驱动电子器件。本文的板驱动电子器件包括用于顺序地驱动显示器板70的行电极R1和R2的块74、用于向列电极C1和C2提供同步数据的块75，用于向下电极L1和L2提供电压的块76；以及用于驱动显示器板70的电极E1和E2的块77。在显示器板70中，每个像素代表串联连接的三个电容器。第一电容器由像素电极A1、A2、A3和A4和连接到相应的行电极R1和R2的电容器板P1、P2、P3和P4形成。第二电容器由像素电极A1、A2、A3和A4和连接到相应的驱动电极E1和E2的微型镜M1、M2、M3和M4形成。微型镜M1、M2、M3和M4和下电极L1和L2的相应部分形成第三电容器。四个弧隙G1、G2、G3和G4设置在显示器板70中，其中每个弧隙具有连接到相应的列电极C1和C2的第一端子，以及连接到相应的像素电极A1、A2、A3和A4的第二端子。

[0057] 图9示出了应用到用于寻址显示器板70的行和列电极的电压波形。图9还示出了作为应用到行电极R1和列电极C1和C2的电压的结果而产生的A1和A2像素电极的电压波形。图9中示出的最后两个波形示出了提供到电极L1、L2、E1和E2的静电驱动电压。 [0058] 如先前讨论的，像素电极与行电极和微型镜形成电容器。对于本申请，假定用像素电极A1和A2和行电极R1形成的电容器的值比由像素电极A1和A2和微型镜M1和M2形成的电容器大10倍。图9中示出的电压值说明了这些10比1的电容分压器。 [0059] 如图9中所示出，其中示出了两个视频场时间间隔，可看到显示器板70能够同步寻址和显示操作。视频场0的显示时间段与视频场1的寻址时间段重叠，而视频场1的显示时间段与视频场2的寻址时间段重叠。

[0060] 在视频场寻址时间段之前，所有的像素电极被重设为大约是行电极的 电压电势。类似地，在每个驱动时间段期间并在视频场显示时间段之前，所有的微型镜被重设到它们的新位置上。另外，在驱动时间段期间，光源被关闭，且在显示时间段期间光源打开。 [0061] 初始地，列电极被设置为0V电势，且行电极被设置到-85V电势。对于本申请，再次假定放电气体的击穿电压是Vb＝100V，且灭弧电压是Ve＝70V。

[0062] 在1微秒或更短的时间间隔T1期间，0V应用到列电极C1和C2，且大约-140V应用到行电极R1。这产生了跨弧隙G1和G2的大于击穿电压Vb＝100V的电压电势，从而在每个弧隙上启动电弧。所启动的电弧为像素电极A1和A2充电并将像素电极的电压电势提高到大约70V。

[0063] 随后，跨弧隙的电压电势落到灭弧电压Ve＝70V以下且电弧熄灭。在时间间隔T2期间，行电极R1上的电压提高到大约87V电势。这提高并增加到在T1时间间隔期间应用到像素电极上的70V电荷，并启动了弧隙G1和G2上的电弧。所启动的电弧将像素电极A1和A2放电。随后，跨弧隙的电压落到大约70V且电弧熄灭。

[0064] 在时间间隔T3期间，应用到行电极R1上的电压减小到大约-85V，将像素电极A1和A2上的电压电势设置为大约-85V。还应理解到，前述的对应于时间间隔T1和T2的操作适用于显示器板70的所有的行电极和像素电极。

[0065] 在视频场1的寻址时间段和时间间隔T4期间，列电极C1应用大约10V，列电极C2应用0V，行电极R1应用-95V。这产生了跨弧隙G1的105V电势和跨弧隙G2的95V。因为期望的击穿电压是Vb＝100V，所以，仅在弧隙G1启动电弧。在弧隙G1所启动的电弧将像素电极A1充电大约35V。在时间间隔T3后，-95脉冲被应用到行电极R2，且相应的数据被应用到列电极。

[0066] 在重置和寻址时间段期间，0V应用到电极E1和E2，且大约50V应用到电极L1和L2。每个倾斜的微型镜和较低电极之间的50V电势提供将微型镜保持在倾斜的位置上的偏置力。相似地，对于上平面位置的微型镜， 每个微型镜和相应的像素电极之间的50V或85V电势提供将微型镜保持在上平面位置的偏置力。

[0067] 将微型镜重设到它们的新的位置是两步骤过程。首先，倾斜的微型镜移动到上平面位置，且然后微型镜根据新的寻址选择性地倾斜。

[0068] 在驱动时间段和时间间隔T5期间，电极E1、E2、L1和L2应用大约50V。这些在每个微型镜和相应的像素电极之间产生了静电吸引力。所产生的力将先前倾斜的微型镜移动到上平面位置。现在所有的微型镜在上平面位置并靠近像素电极。在时间间隔T6期间，电极E1和E2的电压电势被降低到大约-55V。这在下较低电极L1和微型镜M1和M2之间产生了大约105V电势，以及在像素电极A1和微型镜M1之间产生了0V。微型镜M1和较低电极L1之间的静电力使得微型镜M1倾斜。微型镜M2和像素电极A2之间的大约35V电势提供了微型镜M2和像素电极A2之间的偏置力，将微型镜M2保持在上平面位置。 [0069] 虽然本发明的实施方式是对于倾斜微型镜描述的，应理解有本发明的教导适用的若干其他微机械光调制器。

[0070] 通过本发明现根据专利法规的要求的详细描述，本领域技术人员不难对各个部分或其相关组件作出改变和修改以符合指定的需要或条件。可按以下的权利要求的阐述在不偏离本发明的范围和精神的情况下作出这样的修改和改变。