本发明提供一种基板保持架、基板保持单元、基板搬送装置和基板贴合装置，在基板保持架上保持基板的状态下可靠地搬送。基板保持架，利用由来自外部的供电产生的静电力保持基板，并在保持基板的状态下被搬送，具备：载置基板的保持架主体；和从保持架主体露出，并相对于外部的电力供给端子装卸自如的连接端子。此外，基板搬送装置，用于对利用由来自外部的供电产生的静电力保持基板的基板保持架进行搬送，具备：具有供基板保持架载置的载置面，用于保持基板保持架的载置部；和向载置于载置面的基板保持架供电的电力供给端子。
1.一种基板保持架，其利用由来自外部的基板搬送装置的供电产生的静电力保持基板，并在保持着基板的状态下被基板搬送装置搬送，其特征在于，具备：载置所述基板的保持架主体；
与所述保持架主体电连接，并与外部的第1电力供给电子抵接而接受外部的电力供给的导电部件；和与所述导电部件电连接，并与外部的第2电力供给电子抵接而接受外部的电力供给的电极前端部。
2.根据权利要求1所述的基板保持架，其特征在于：所述导电部件以及所述电极前端部分别能够与相互不同的外部的电力供给端子连接。
3.根据权利要求1所述的基板保持架，其特征在于：所述导电部件以及所述电极前端部分别朝向不同的方向。
4.根据权利要求1所述的基板保持架，其特征在于：所述导电部件以及所述电极前端部分别设置在所述保持架主体上，在所述保持架主体相互不同的面露出。
5.根据权利要求1所述的基板保持架，其特征在于：所述基板保持架在与具有相对于外部的电力供给端子装卸自如的连接端子的其他基板保持架重合的状态下被搬送，所述基板保持架还具备露出部，该露出部在所述基板保持架与所述其他基板保持架重合的状态下使所述其他基板保持架的所述连接端子露出。
6.根据权利要求5所述的基板保持架，其特征在于：所述电极前端部在所述保持架主体的载置所述基板的面露出，所述导电部件在所述面的背面露出，所述露出部朝向与该基板保持架的所述导电部件露出的面相同的面使所述其他基板保持架的所述连接端子露出。
7.根据权利要求5或6所述的基板保持架，其特征在于：所述露出部是切口或孔。
8.一种基板保持单元，在夹着多个基板的状态下被搬送，其特征在于，具备：利用由来自外部的供电产生的静电力保持所述多个基板中的一个基板的第一基板保持架；和利用由来自外部的供电产生的静电力保持所述多个基板中的另一个基板的第二基板保持架，所述第一基板保持架和所述第二基板保持架分别具有载置所述基板的保持架主体；与所述保持架主体电连接、并与外部的第1电力供给电子抵接而接受外部的电力供给的导电部件；和与所述导电部件电连接，并与外部的第2电力供给电子抵接而接受外部的电力供给的电极前端部。
9.根据权利要求8所述的基板保持单元，其特征在于：所述导电部件以及所述电极前端部分别能够与相互不同的外部的电力供给端子抵接。
10.根据权利要求8所述的基板保持单元，其特征在于：所述导电部件以及所述电极前端部分别朝向不同的方向。
11.根据权利要求8所述的基板保持单元，其特征在于：所述导电部件以及所述电极前端部分别设置在所述保持架主体，在所述保持架主体相互不同的面上露出。
12.根据权利要求8所述的基板保持单元，其特征在于：所述第一基板保持架和所述第二基板保持架中的一方还具有露出部，该露出部在所述第一基板保持架和所述第二基板保持架相互重合的状态下使所述第一基板保持架和所述第二基板保持架的另一方的所述电极前端部露出。
13.根据权利要求12所述的基板保持单元，其特征在于：在所述第一基板保持架和所述第二基板保持架相互重合的状态下，所述第一基板保持架的所述导电部件和所述第二基板保持架的所述电极前端部，朝向相同的面露出。
14.根据权利要求12所述的基板保持单元，其特征在于：所述露出部是切口或孔。
15.根据权利要求8至14中任一项所述的基板保持单元，其特征在于：所述第一基板保持架的所述导电部件和所述第二基板保持架的所述导电部件，当使所述第一基板保持架和所述第二基板保持架中的载置基板的面为相同朝向时相互配置在相同的位置，所述第一基板保持架的所述电极前端部和所述第二基板保持架的所述电极前端部，当使所述第一基板保持架和所述第二基板保持架中的载置基板的面为相同朝向时相互配置在相同的位置。
16.根据权利要求15所述的基板保持单元，其特征在于：所述第一基板保持架的所述导电部件和所述第二基板保持架的所述导电部件，在使载置基板的面面对并重合的情况下配置在面上的不同的位置，所述第一基板保持架的所述电极前端部以及所述第二基板保持架的所述电极前端部，在使载置基板的面面对并重合的情况下配置在面上的不同的位置。
17.根据权利要求8所述的基板保持单元，其特征在于：所述第一基板保持架和所述第二基板保持架分别具有从载置基板的面贯通至另一个面的贯通部，当使所述第一基板保持架和所述第二基板保持架中的载置基板的面为相同朝向时，所述第一基板保持架和所述第二基板保持架的所述导电部件相互配置在相同的位置，所述第一基板保持架和所述第二基板保持架的所述电极前端部相互配置在相同的位置，并且所述第一基板保持架和所述第二基板保持架的所述贯通部相互配置在相同的位置，当使所述载置基板的面面对并重合的情况下，所述第一基板保持架和所述第二基板保持架中的一方的所述贯通部配置在与所述第一基板保持架和所述第二基板保持架中的另一方的所述电极前端部重叠的位置。
18.一种基板搬送装置，其特征在于，具有：接受外部的电力供给的导电部件；和与所述导电部件电连接，接受外部的电力供给的电极前端部，用于对利用由来自外部的供电产生的静电力保持着基板的基板保持架进行搬送，该基板搬送装置具备：
载置部，其具有载置所述基板保持架的载置面，用于保持所述基板保持架；和向载置于所述载置面的所述基板保持架供电的电力供给端子，所述电力供给端子具有相互重合了两个所述基板保持架时的、与下侧的所述基板保持架的所述导电部件抵接而电连接的下侧电力供给端子和与上侧的所述基板保持架的所述电极前端部抵接而电连接的上侧电力供给端子。
19.根据权利要求18所述的基板搬送装置，其特征在于：所述下侧电力供给端子和所述上侧电力供给端子配置在所述载置面侧。
20.根据权利要求18所述的基板搬送装置，其特征在于：所述下侧电力供给端子具有比所述下侧的基板保持架的厚度低的高度，所述上侧电力供给端子具有比所述下侧的基板保持架的厚度高的高度。
21.根据权利要求18至20中任一项所述的基板搬送装置，其特征在于：所述基板搬送装置还具备旋转部，该旋转部在所述载置面处于所述基板保持架之下的正姿势，和所述载置面处于所述基板保持架之上的翻转姿势之间旋转所述载置部，所述下侧电力供给端子分别设置在相对于所述载置部的旋转轴对称的位置，所述上侧电力供给端子分别设置在相对于所述载置部的旋转轴非对称的位置。
22.根据权利要求21所述的基板搬送装置，其特征在于：所述基板搬送装置还具备脱落防止部，所述脱落防止部在以非接触状态覆盖所述基板和所述基板保持架的一个面的各自的至少一部分的脱落防止位置、和不妨碍沿着所述载置部的上下方向的所述基板和所述基板保持架的移动的退避位置之间进退，所述脱落防止部与所述基板保持架的所述一个面平行地进退。
23.根据权利要求22所述的基板搬送装置，其特征在于：所述脱落防止部具有分别覆盖所述基板和所述基板保持架的所述一个面且与所述基板平行的平板部，所述平板部具有多个平板侧突出部，所述多个平板侧突出部配置在所述基板和所述基板保持架的外侧且在所述载置部的所述正姿势下向下方突出。
24.根据权利要求23所述的基板搬送装置，其特征在于：所述多个平板侧突出部具有在所述脱落防止部进退时不与所述基板和所述基板保持架接触的突出尺寸。
25.根据权利要求23所述的基板搬送装置，其特征在于：在所述平板部的与所述基板相对置的面设置有与所述基板对应的大小的凹部。
26.根据权利要求23所述的基板搬送装置，其特征在于：在所述平板部的位于所述基板和所述基板保持架的外侧的端部形成有从该端部朝向所述载置面延伸的折回部，该折回部延伸至比所述基板保持架的所述一个面更靠所述载置面侧。
27.根据权利要求21所述的基板搬送装置，其特征在于：所述载置部具有多个载置侧突出部，所述多个载置侧突出部配置在所述基板和所述基板保持架的外侧且在所述载置部的所述正姿势下向上方突出。
28.根据权利要求27所述的基板搬送装置，其特征在于：所述多个载置侧突出部具有当所述脱落防止部进退时不与该脱落防止部接触的突出尺寸。
29.根据权利要求22至28中任一项所述的基板搬送装置，其特征在于：所述载置部具有利用真空对所述基板保持架进行吸附的吸附部。
权利要求18至29中任一项所述的基板搬送装置；和贴合被所述基板搬送装置搬送的多个基板的贴合部。
基板保持架、基板保持单元、基板搬送装置和基板贴合装置
技术领域
[0001] 本发明涉及基板保持架、基板保持单元、基板搬送装置和基板贴合装置。本发明特别是涉及保持基板的基板保持架、基板保持单元、基板搬送装置。
[0002] 本申请是与下述的日本申请相关联、主张来自下述日本申请的优先权的申请。对于认可基于参照文献的编入的指定国，通过参照将下述申请所记载的内容编入本申请，作为本申请的一部分。
[0003] 日本特愿2008-64926 申请日2008年3月13日
背景技术
[0004] 已知有对保持基板的基板保持进行搬送的基板搬送装置(例如参照专利文献1)。该基板搬送装置例如用于在将被基板保持架保持的基板和被贴合在该基板的其他基板相互对位的对位装置中搬送基板和基板保持架。基板搬送装置通过真空吸附等的吸附机构保持基板保持架。
[0005] 此外，在保持基板的静电卡盘中，有设置有脱落防止用支承部件的静电卡盘(例如参照专利文献2)。该脱落防止用支承部件从静电卡盘的周边部朝向内侧延伸，绕与基板平行的旋转轴转动，在以非接触状态覆盖基板的脱落防止位置和开放基板的载置面的退避位置之间进行移动。
[0006] 专利文献1：日本特开2006-332563号公报
[0007] 专利文献2：日本特开平8-340683号公报
[0008] 但是，在专利文献2中，静电卡盘固定在离子注入装置等的装置主体上。因此，无法在利用该静电卡盘的静电力保持基板的状态下搬送到装置外。
发明内容
[0009] 因此，在本发明的一个侧面，其目的在于提供一种能够解决上述课题的基板搬送装置。该目的是通过权利要求中的独立权项所记载的特征的结合而达成的。此外，从属权项限定本发明的更有利的具体例。
[0010] 在本发明的第一方式中，提供一种基板保持架，其利用由来自外部的供电产生的静电力保持基板，并在保持着基板的状态下被搬送，其具备：载置基板的保持架主体；和从保持架主体露出，并相对于外部的电力供给端子装卸自如的连接端子。
[0011] 在本发明的第二方式中，提供一种基板保持单元，其在夹着多个基板的状态下被搬送，其特征在于，具备：利用由来自外部的供电产生的静电力保持多个基板中的一个基板的第一基板保持架；和利用由来自外部的供电产生的静电力保持多个基板中的另一个基板的第二基板保持架，第一基板保持架和第二基板保持架分别具有载置基板的保持架主体，和从保持架主体露出，并相对于外部的电力供给端子装卸自如的连接端子。
[0012] 在本发明的第三方式中，提供一种基板搬送装置，其用于对利用由来自外部的供电产生的静电力保持基板的基板保持架进行搬送，其特征在于，具备：具有供基板保持架载置的载置面，用于保持基板保持架的载置部；和向载置于载置面的基板保持架供电的电力供给端子。
[0013] 在本发明的第四方式中，提供一种基板贴合装置，其具备：上述基板搬送装置；和贴合被基板搬送装置搬送的多个基板的贴合部。
[0014] 另外，上述发明的概要并没有列举本发明的全部必要技术特征，这些特征组的子组合也成为发明。
附图说明
[0015] 图1是示意地表示本实施方式涉及的半导体层叠装置200的俯视图。
[0016] 图2是作为基板搬送装置的一例的基板搬送部300的立体图。
[0017] 图3是表示基板搬送部300的翻转姿势的立体图。
[0018] 图4是被基板搬送部300保持的基板保持架100的立体图。
[0019] 图5是平板部362、382在基板10上进出的状态的立体图。
[0020] 图6是从轴部352的延伸方向观察基板搬送部300的主视图。
[0021] 图7示出说明电力供给端子340的俯视图。
[0022] 图8示出图7的截面图。
[0023] 图9是示意地表示对位部202的侧视图。
[0024] 图10是为了说明而将下载台210上下翻转加以表示的局部立体图。
[0025] 图11是说明下载台210中的脱落防止块230、240的动作的侧视图。
[0026] 附图标记说明
[0027] 10...基板；12...背面；14...表面；20...基板；100...基板保持架；110...保持架主体；112...另一个面；114...一个面；124...导电部件；126...导电部件；128...电极基部；130...电极基部；132...电极前端部；134...电极前端部；136...退避槽；138...退避槽；140...侧面；142...侧面孔；150...基板保持架；164...导电部件；
166...导电部件；168...电极基部；170...电极基部；172...电极前端部；174...电极前端部；176...退避槽；178...退避槽；200...半导体层叠装置；202...对位部；210...下载台；212...下载台主体；214...球面座；216...支承部；218...升降部；220...上载台；222...上载台主体；224...吸附板；226...吸附孔；228...吸附槽；230...脱落防止块；232...销；240...脱落防止块；242...销；250...加热挤压部；300...基板搬送部；
310...载置部；311...载置面；312...基部；314...托架部；316...托架部；320...载置侧突出部；322...载置侧突出部；324...载置侧突出部；326...载置侧突出部；330...吸附部；332...吸附部；334...吸附部；340...电力供给端子；342...下侧电力供给端子；344...下侧电力供给端子；346...上侧电力供给端子；348...上侧电力供给端子；
350...旋转部；352...轴部；360...脱离防止部；362...平板部；364...平板侧突出部；366...平板侧突出部；368...凹部；372...折回部；374...前端部；376...致动器；
377...引导部；378...可动部；382...平板部；384...平板侧突出部；386...平板侧突出部；388...凹部；392...折回部；394...前端部；396...致动器。
具体实施方式
[0028] 以下通过发明的实施方式对本发明的(一)侧面进行说明，但以下的实施方式并不对权利要求的范围所涉及的发明造成限定，而且，实施方式中所说明的特征的全部组合并不是发明的解决方法所必须的。
[0029] 图1是示意地表示本实施方式涉及的半导体层叠装置200的俯视图。半导体层叠装置200，通过重合层叠多个基板10、20，制造三维实际安装的半导体装置。基板10、20的一例是具有形成有半导体元件的多个半导体装置的晶片。图1所示的半导体层叠装置200具有：对位部202，其使将基板10、20分别保持的基板保持架100、150相互对位重合；和加热挤压部250，其通过对由对位部202重合过的基板保持架100、150进行加热挤压而对保持于基板保持架100、150上的基板10和基板20进行层叠。该半导体层叠装置200是基板贴合装置的一例。
[0030] 进而，半导体层叠装置200具有在上述对位部202和加热挤压部250之间搬送基板10、20以及基板保持架100、150的基板搬送部300。另外，基板搬送部300，可以搬送基板保持架100和基板保持架150的双方，也可以搬送任一方。
[0031] 图2是作为基板搬送装置的一例的基板搬送部300的立体图。基板搬送部300具备：载置并保持基板保持架100、150的载置部310；将载置部310沿图中箭头A的方向旋转的旋转部350；和相对于载置部310在图中箭头B的方向上进退的脱落防止部360。此外，旋转部350具有与载置部310连结的轴部352。
[0032] 载置部310通过与轴部352连结的基部312，以及从基部312中的与轴部352的延伸方向正交的方向的两端沿与轴部352的延伸方向平行地延伸的一对托架部314、316，而具有大致コ字的形状。这些基部312和托架部314、316的一个面(图中的上表面)形成载置基板保持架100的载置面311。以下，将载置面相对于基板保持架100处于下的姿势亦即载置面311朝向上方的姿势称为正姿势，将载置面相对于基板保持架100处于上的姿势亦即载置面311朝向下方的姿势称为翻转姿势。此外，基部312和轴部352通过连结部件连结，随着轴部352的旋转，基部312也旋转，但在图中省略表示连结部件。
[0033] 载置部310具有在载置部310的正姿势时向上方突出的多个载置侧突出部。在图示的例子中，载置部310具有四个载置侧突出部320、322、324、326，分别由销部件构成。在图2所示的方式中，四个载置侧突出部320、322、324、326中的两个载置侧突出部322、324分别设置在各托架部314、316的前端，余下的两个载置侧突出部322、326分别设置在各托架部314、316的基端。
[0034] 进而，载置部310具有配置于基部312的吸附部330、配置于一个托架部314的前端的吸附部322、以及配置在另一个托架部316的前端的吸附部334。这些吸附部330、332、334利用真空吸附载置于载置面的基板保持架100。此外，进而，载置部310，在设置有吸附部330的区域具有电力供给端子340。
[0035] 脱落防止部360具有与载置部310的载置面大致平行地配置的一对平板部362、382。
[0036] 各平板部362、382，在图示的例子中，分别形成沿着轴部352的延伸方向延伸的矩形形状，横跨轴部352并且以与载置面向上方隔开间隔的方式配置在该载置面的上方。各平板部362、382之间的间隔设定成比基板10、20的直径小。
[0037] 脱落防止部360还具有一对致动器376、396。各致动器376、396分别由目前众所周知的气缸构成，该气缸具有从基部312的两端沿与各托架部314、316的延伸方向相反的方向相互平行地延伸的一对引导部377、和可沿着该各引导部移动的一对活动部378(在该图中致动器396侧的引导部和活动部藏平板部382后而无法看到)。各平板部362、382各自的一端部固定于各活动部，通过该各活动部沿着各引导部移动而使各平板部362、382沿着各托架部314、316的延伸方向相互平行地进退。各引导部的长度尺寸被设定为，当各活动部分别移动到各引导部的前端部时载置面不被平板部362、382覆盖而露出、且当各活动部分别移动到各引导部的基端部时各平板部362、382分别配置在载置面311上。如上所述，各平板部362、382之间的间隔，由于比基板10、20的直径小，所以当各平板部362、382分别在载置面311上移动时，基板10的表面14和基板保持架100的一个面114(参照图4)的各自的一部分，被各平板部362、382以非接触状态覆盖。即，各平板部362、382能够分别在覆盖基板10以及基板保持架100的一部分的脱落防止位置和不妨碍沿着载置部310的上下方向的基板10以及基板保持架100的移动的退避位置之间移动。
[0038] 各平板部362、382分别具有在载置部310的正姿势时向下方突出的多个平板侧突出部。在图示的例子中，一个平板部362具有两个平板侧突出部364、366，另一个平板部382具有两个平板侧突出部384、386。在图2所示的方式中，各平板侧突出部364、384分别设置在各平板部362、382的另一端部，各平板侧突出部366、386分别设置在各平板部362、
382的中央附近。进而，在各平板部362、382的在各自的宽度方向面对的两个缘部之中位于与在相对的平板部362、382之间相互对置的各缘部相反一侧的各缘部，分别形成有从该各缘部朝向载置面延伸的折回部372、392。两折回部372、392之间的间隔设定得比各基板保持架100、150的直径大。此外，在各平板部362、382的另一端部形成有以从该各另一端部相互接近的方式延伸的前端部374、394。
[0039] 图3是表示基板搬送部300的翻转姿势的立体图。如图3所示，在与各平板部362、382的载置面相对置的面即内面，以及与各前端部374、394的载置面相对置的面，设置有与基板10的大小对应的凹部368、388。各凹部368、388，分别以在各平板部362、382分别置于上述脱落防止位置的状态下与载置面上的基板10、20相对置的方式形成在各平板部362、
382上。由此，在翻转姿势下基板10脱离基板保持架100而被平板部362、382支承的情况下，基板10嵌入该凹部368、388，而能够防止基板10在面内的落下。
[0040] 图4示出被基板搬送部300保持的基板保持架100的立体图。在此，由于基板保持架150和基板保持架100为相同形状，所以对基板保持架100进行说明，省略基板保持架150的说明。
[0041] 基板保持架100具有比基板10直径大的的圆盘形状的保持架主体110。基板保持架100，以在表面14形成有元件的基板10的背面12与保持架主体110的一个面114相接的朝向，载置并保持基板10。在该情况下，基板保持架100，利用由来自外部的供电产生的静电力吸附并保持基板10。此外，基板保持架100，以其另一个面112与载置部310的载置面相接的朝向，载置于载置部310。在此，外部是指不是与基板保持架100一体地移动的基板保持架100的一部分，而是基板保持架100的外部即半导体层叠装置200的基板搬送部300等。
[0042] 基板保持架100还具有：贯通保持架主体110的厚度方向、从侧面140向径向内侧凹陷的退避槽136、138；和相对于这些退避槽136、138配置在径向内侧的导电部件124、126。在基板保持架100的侧面140形成有一对侧面孔142，该一对侧面孔142向保持架主体110的径向内侧凹陷且在保持架主体110的周向上隔开间隔地配置。另外，虽然从图4的方向无法看见，但在相对于表面14的中心与各侧面孔142对称的位置上还设置有一对侧面孔142。
[0043] 图5是表示各平板部362、382分别在上述脱落防止位置进出的状态的立体图。在图5所示的状态下，在保持有基板保持架100的载置部310被旋转到翻转姿势的情况下，当因某种理由载置部310保持基板保持架100的力变弱了时、或者当基板保持架100保持基板10的力变弱了时，各平板部362、382从下方支承脱离了载置部310的基板保持架100或脱离了基板保持架100的基板10，因此能够防止基板100以及基板10脱落而落到地面。
[0044] 另外，如图2所示，在旋转部350旋转到载置部310的正姿势的状态下，在基板保持架100被载置部310装卸的情况下，各平板部362、382分别退避到上述退避位置。由此，不会被平板部362、382妨碍，就能够对基板保持架100等进行装卸。
[0045] 图6是从轴部352的延伸方向观察基板搬送部300时的主视图。如图6所示，各平板部362、382相对于载置面，配置在比重合了两个基板保持架100、150的高度高的位置。由此，在各平板部362、382进行进退的情况下，能够防止其与基板保持架100、150接触。
[0046] 此外，各载置侧突出部320、322、324、326分别在面方向上配置在基板保持架150的外侧。由此，在正姿势下能够防止基板保持架150在面内移动。进而，各载置侧突出部320、322、324、326分别具有当各平板部362、382进退时不与各平板部362、382接触的突出尺寸H1。在图6所示的方式中，突出尺寸H1比配置在接近载置面的一侧的基板保持架150的厚度H2小。由此，各平板部362、382能够不与各载置侧突出部320、322、324、326接触就顺畅地进退。
[0047] 进而，各平板侧突出部364、366、384、386，分别在面方向上配置在基板保持架100的外侧。由此，在翻转姿势下基板保持架100被平板部362、382支承的情况下，能够防止基板保持架100在面内移动。此外，各平板侧突出部364、366、384、386分别具有在各平板部362、382进退时不与基板保持架100接触的突出尺寸H3。在图6所示的方式中，突出尺寸H3比配置在接近各平板部362、382的一侧的基板保持架100与各平板部362、382之间的间隙H4小。由此，各平板侧突出部364、366、384、386不与基板保持架100接触，而各平板部
362、382能够顺畅地进退。
[0048] 此外，各折回部392、372分别位于各基板保持架100、150的外侧。各折回部392、372具有向比配置在载置面侧的基板保持架150的一个面114向载置面侧延伸的尺寸H5。
由此，无论在翻转姿势以及旋转中的任一个情况下，都能够防止基板保持架100、150在面方向移动、脱落。
[0049] 根据以上的结构，能够防止载置在基板搬送部300的基板10和基板保持架100在基板搬送部300的翻转姿势下脱落。特别是，由于脱落防止部360的各平板部362、382沿着轴部352的轴向、即基板10的面方向进退，所以与沿基板10的面方向转动的情况相比，能够缩小用于进退的空间。此外，即使在基板搬送部300上重合载置了基板保持架100和基板保持架150的情况下，在基板搬送部300的翻转姿势下，能够防止基板保持架100和基板保持架150脱落。进而，当基板搬送部300的搬送时，能够防止基板10、20以及基板保持架100、150在面内产生错位。
[0050] 图7示出说明电力供给端子340的俯视图，图8(a)示出以图7(a)的点划线为切断线切断了电力供给端子340时从箭头方向观察的截面图。电力供给端子340与被吸附部330吸附的基板保持架100、150的电极电连接。
[0051] 如图7(a)和图8(a)所示，电力供给端子340具有在正姿势下从基部312向上方突出的一对下侧电力供给端子342、344以及一对上侧电力供给端子346、348。这些下侧电力供给端子342、344以及上侧电力供给端子346、348配置在载置面侧即图2的吸附部330的上表面，且向图中上方突出。下侧电力供给端子342、344具有比下侧的基板保持架150的厚度低的高度，分别设置在相对于载置部310的旋转轴(图中的虚线)对称的位置。另一方面，上侧电力供给端子346、348具有比下侧的基板保持架150的厚度高的高度，分别设置在相对于载置部310的旋转轴非对称的位置。
[0052] 如图8(a)所示，基板保持架150，在与下侧电力供给端子342、344对应的位置具有导电部件164、166，并且在与上侧电力供给端子346、348对应的位置具有退避槽176、178。进而，如图7(b)所示，基板保持架150具有与基板保持架150的内部电极电连接的电极基部168、170以及配置在上述电极基部168、170的前端的电极前端部172、174。如图8(a)所示，电极基部168、170与导电部件164、166电连接。此外，电极前端部172、174分别设置在与退避槽176、178相反一侧的非对称的位置，在设置有导电部件164、166的面的背面(图
8(a)的上表面)露出。在此，导电部件124、126、电极基部168、170以及电极前端部172、
174是连接端子的一例。
[0053] 同样地，如图7(c)、图8(b)和图8(c)所示，基板保持架100也具有导电部件124、126，退避槽136、138，电极基部128、130，电极前端部132、134。基板保持架100中的导电部件124、126，退避槽136、138，电极基部128、130，电极前端部132、134的配置，在使之与基板保持架150朝向相同的情况下，即在使将基板位于不同位置的面为相同朝向的情况下，与该基板保持架150中的导电部件164、166，退避槽176、178，电极基部168、170以及电极前端部172、174的配置相同。
[0054] 如图7(b)和图8(b)所示，在将基板保持架150载置于基板搬送部300的情况下，下侧电力供给端子342、344与导电部件164、166接触。由此，下侧电力供给端子342、344经由导电部件164、166与电极基部168、170电连接，供给用于静电吸附的电力。在该情况下，上侧电力供给端子346、348被收纳在退避槽176、178中，而与基板保持架150电绝缘。
[0055] 进而，如图7(c)和图8(c)所示，在将基板保持架100载置于基板保持架150上的情况下，由于退避槽176、178使基板保持架100的电极前端部132、134露出，所以上侧电力供给端子346、348与电极前端部132、134抵接。由此，上侧电力供给端子346、348与电极前端部132、134电连接，供给用于静电吸附的电力。在该情况下，下侧电力供给端子342、344被收纳在基板保持架150内，而与基板保持架100电绝缘。
[0056] 另外，优选上侧电力供给端子346、348以及下侧电力供给端子342、344，例如为弹簧探针或弹性板簧等，与基板保持架100、150的连接端子弹性抵接。由此能够使电连接更可靠。优选利用上侧电力供给端子346、348以及下侧电力供给端子342、344的弹性维持与基板保持架100、150的连接端子抵接的冲程，比图6的高度H4长。由此，即使在基板保持架100、150脱落到平板部362、382上的情况下，也能够防止基板10、20进一步从基板保持架100、150脱落。
[0057] 此外，优选导电部件164、166以及电极前端部132、134的露出面积，比基板搬送部300保持基板保持架100、150时以及保持过程中所容许的误差范围大。由此，在基板搬送部
300保持基板保持架100、150时以及搬送过程中也能够进行更可靠地电连接。
[0058] 根据以上结构，在将具有相同结构的基板保持架100、150的一个翻过来重叠的情况下，能够独立地向基板保持架100和基板保持架150供给电力。具体而言，在基板保持架100和基板保持架150夹着基板重合了的情况下，基板保持架150的导电部件164、166向基部312侧(图中下方)露出，并且在面上与基板保持架150的导电部件164、166不同的位置，基板保持架100的导电部件164、166从保持架主体向基部312侧(图中下方)露出，并且基板保持架100的电极前端部132、134也从保持架主体经由退避槽176、178向基部312露出。因此，能够在重叠了基板保持架100、150的状态下向这两个基板保持架100、150供电。因而，在向基板保持架100、150供电的状态下，能够搬送该基板保持架100、150。另外，在仅保持基板保持架150的情况下也能够向该基板保持架150供电，这是不言而喻的。
[0059] 此外，在使载置基板的面面对重合着的情况下，由于基板保持架150的退避槽176、178配置在与基板保持架100的电极前端部132、134重叠的位置，所以通过将退避槽、电极前端部等的配置相同的两个基板保持架中的一个翻过来重叠，能够使两个基板的两方的连接端子露出。因此，能够使部件及其制造工序通用而降低成本。
[0060] 另外，在图7和图8中，说明了在将基板保持架150载置于基板搬送部300后，将基板保持架100载置在基板保持架150上，但载置的顺序并不限定于此。例如，也可以在基板保持架100和基板保持架150被重合之后，将基板保持架100和基板保持架150一次载置在基板搬送部300上。此外，退避槽176、178具有从周围切入的切口形状，但也可以将该切口形状改变成孔。优选在任一情况下都在保持架主体的厚度方向上贯通。这些退避槽和孔是露出部和贯通部的一例。
[0061] 图9是示意地表示对位部202的侧视图。对位部202具有保持基板保持架100的上载台220，和保持基板保持架150的下载台210。
[0062] 下载台210，按照接近上载台220起的顺序、即从上起的顺序，具有下载台主体212、球面座214、支承部216和升降部218。下载台主体212吸附并保持对被基板搬送部
300搬送来的基板20进行保持的基板保持架150。下载台主体212通过真空吸附对基板保持架150进行吸附。另外，也可以真空吸附或在真空吸附的基础上，下载台主体212通过静电吸附对基板保持架150进行吸附。下载台主体212利用球面座214，与球面座214连结。
进而，升降部218使球面座214相对于下载台210接近和远离，即，在上下方向升降。此外，下载台210能够相对于上载台220在基板20的面方向即水平方向移动并定位。
[0063] 上载台220具有：上载台主体222；和安装在上载台主体222上，用于对保持着基板10的基板保持架100进行吸附的吸附板224。吸附板224通过真空吸附对被基板搬送部300搬送的基板保持架100进行吸附。另外，也可以代替真空吸附或在真空吸附的基础上，吸附板224通过静电吸附对基板保持架100进行吸附。
[0064] 根据上述结构，对位部202使被基板搬送部300搬送的基板保持架100和基板保持架150相互对位并重叠。基板搬送部300将由对位部202重合的基板保持架100和基板保持架150的组向加热挤压部250搬送。
[0065] 图10是为了说明而将下载台210上下翻转加以表示的局部立体图。如图10所示，在上载台主体222上安装有吸附板224。吸附板224具有与基板保持架100的外形大致相同的外形，具有吸附孔226和与该吸附孔226连结的吸附槽228。通过使上述吸附孔226和吸附槽228成为负压，能够将基板保持架100真空吸附在吸附板224上。
[0066] 下载台210还具有一对脱落防止块230、240，该一对脱落防止块230、240在下载台210的横向上夹着吸附板224并设置在该吸附板224的两侧。脱落防止块230、240分别具有向下载台210的横向延伸的一对销232、242。
[0067] 图11是说明脱落防止块230、240的动作的侧视图。脱落防止块230、240，在吸附板224保持基板保持架100的情况下，利用气缸等致动器向基板保持架100接近移动，各销232、242分别插入基板保持架100的对应的侧面孔142中。在销232、242插入到侧面孔142中后，开放基于吸附部330等的真空吸附，基板搬送部300从下载台210退避。由此，在吸附板224保持基板保持架100之外，脱落防止块230、240也保持基板保持架100。因此，吸附板224的吸附力变弱，在基板保持架100从吸附板224脱落的情况下，脱落防止块230、
240也保持基板保持架100，能够防止基板保持架100脱落。
[0068] 在上述图1至图11所示的实施方式中，示出了脱落防止部360具有一对平板部362、382的例子，但取而代之，能够应用具有单一的平板部的脱落防止部。
[0069] 此外，在上述图1至图11所示的实施方式中，基板10被保持在基板保持架100上，基板保持架100被载置在基板搬送部300上进行搬送。但是，基板10的搬送并不限定于使用基板保持架100的情况，也可以将基板10直接载置在基板搬送部300的载置面上。在该情况下，通过在基板搬送部300上设置与基板10的面平行地进退的脱落防止部360，从而能够防止在翻转姿势下基板10脱落。
[0070] 以上，根据本实施方式，由于在基板保持架100、150上设置有连接端子，所以在通过基板搬送部300搬送基板保持架100、150中的一个或者重叠了基板保持架100、150的两者的情况下，能够维持从基板搬送部300向该基板保持架100、150的供电。因此，能够在利用静电力将基板10、20吸附在基板保持架100、150上的状态下可靠地进行搬送。
[0071] 以上，使用实施方式对本发明进行了说明，但本发明的技术范围并不限定于上述实施方式所记载的范围。本领域技术人员可清楚地明白能够对上述实施方式进行多样的变更或加以改良。从权利要求的记载可知加以这样的变更或改良的方式也包含于本发明的技术范围内。
[0072] 就应该注意到在权利要求的范围、说明书和附图中表示的装置、系统、程序、以及方法中的动作、顺序、步骤和阶段等各处理的执行顺序，没有特别地明示为“更早之前”“事先”等，而且，只要不是将前的处理的输出在后面的处理中使用，就能够以任意的顺序实现。关于权利要求的范围、说明书和附图中的动作流程，为了方便而使用“首先”、“接着”等加以说明，但这并不意味着就必须按照该顺序实施。
