多晶硅氢化炉

摘要

本发明提供了一种多晶硅氢化炉，包括：支座；底盘，设置在支座之上；钟罩，设置在底盘之上，与底盘形成一空腔；隔热罩，设置在空间内，与底盘连接，隔热罩内部与底盘形成反应区；导气管，贯穿钟罩，导气管一端与隔热罩连通；气体分布装置，设置在空间内；热交换装置，设置在钟罩外，热交换装置分别与导气管相对于导气管与隔热罩连通的一端的另外一端及气体分布装置连通；反应气体进气口，与热交换装置连通；反应气体出气口，与热交换装置连通。低温的反应气体与高温尾气在热交换装置中进行热量交换，实现了能量的大量回收，提高了进入反应区气体的温度，也降低了反应尾气的温度，同时也提高了氢化炉的生产效力及降低了尾气处理的难度。