液体喷射装置

摘要

一种具备用于调节液体压力的超小型阀装置的液体喷射装置。调节流体压力的阀装置，包括含有相互层叠的多个板构件的层叠体。在层叠体上设置开关液体流路的阀部。驱动部产生驱动阀部的驱动力。传递部被设置在阀部和驱动部之间，将该驱动部的驱动力传递到阀部。多个板构件包括含有驱动部的第一板构件、和含有起到流路的一部分功能的孔的第二板构件。阀部在闭塞孔的封闭位置、和通过传递部传递的驱动力作用下开放孔的开放位置之间移动。

权利要求

1.一种液体喷射装置(10)，其可卸下地安装，与收纳液体的液体容器(20)一起使用，其中，具备：沿规定的轨道可移动地设置的托架(13)；

液体喷射单元(16)，其搭载于所述托架上，包括喷射从所述液体容器供给的液体的喷射口(16b)；

阀装置(50、90)，其设在所述液体喷射单元上，开闭流路而调整从所述喷射口喷射的所述液体的压力，所述阀装置(50、90)，具备：

层叠体(51、91)，其包括为形成所述流路而相互层叠的多个板构件(73～76、73、92～

94)；

阀部(87、94b)，其可动作地设在所述层叠体上，开闭所述流路；

驱动部(78a)，其产生驱动所述阀部的驱动力，所述阀部基于所述驱动部的驱动力而打开所述流路；

传递部(89、95)，其设在所述阀部和所述驱动部之间，将该驱动部的驱动力传递到所述阀部，并且，所述多个板构件包括：

包括所述驱动部的第一板构件(73)；

第二板构件(74、92)，其包括作为所述流路的一部分发挥功能的孔(74a、92a)，所述阀部在堵住所述孔的封闭位置、和基于经由所述传递部传递的所述驱动部的驱动力而打开所述孔的开放位置之间移动；

第三板构件(94)，其与所述阀部(94b)形成一体，所述传递部(95)插通所述第二板构件的孔(92a)，所述阀部(94b)包括：从所述第三板构件(94)延伸的基端、和与该基端相反侧的前端，所述第二板构件还形成有定位部(92c)，其在划分该第二板构件的孔的内周面上形成，决定所述传递部在所述孔内的位置，而使所述传递部接触所述阀部的前端附近。

说明书

液体喷射装置

[0001] 本申请是分案申请，其母案申请的申请号：200610163197.6，申请日：2006.11.29，发明名称：具备阀装置的液体喷射装置

技术领域

[0002] 本发明涉及一种超小型的压力调节用的阀装置及具备该装置的液体喷射装置。

背景技术

[0003] 液体喷射装置包括喷墨式打印机(下称“打印机”)。在打印机上安装有可拆卸的墨水盒(下称“墨盒”)。打印机通过从记录头喷射(喷出)墨盒供给的墨进行印刷。至今为止，已知多种从墨盒向记录头供给墨的墨供给方式。为了使墨滴从记录头稳定地喷出，需要适当调节墨压力。因此，打印机包括对应墨供给方式的墨压力调节用阀装置(差压调节阀或减压阀)。

[0004] 特表00/03877号公报公开了内置于墨盒内的差压阀。该墨盒装配在托架上。这种墨盒被称为在架型(On Carriage Tape)的墨盒。

[0005] 特开2001-199080号公报公开了一种具备副箱的打印机托架。该副箱式的记录装置，通过添置在副箱侧壁上的霍尔元件等磁电转换元件，对应随着浮动构件的上浮位置变化的永磁体的磁力线量检测墨量。而且，检测出的墨量减少到规定量时，墨补给阀打开。

[0006] 特表2003/041964号公报公开了在打印机本体上具备带盒托座的记录装置。在该记录装置中，墨盒被装入到本体的带盒托座中，在托架上配备有阀单元。这种墨盒被称为下架型(Off Carriage Tape)的墨盒。

[0007] 特开2005-186344号公报公开了具备将存储液体的压力室内的液体减压到规定压力的减压阀的阀装置。该减压阀具备弹性变形的受压构件、调压弹簧及动作杆等构成部件。因此，阀装置呈大型化。

[0008] 现有的阀装置均呈大型化。因此在开发小型的、可搬运的便携式打印机时，存在不能应对打印机的小型化的问题。供给到记录头的墨被调节到适当的墨压。以前，用于调节墨压力的阀装置因墨供给方式而异。所以很难在不同墨供给方式的记录装置间实现阀装置的标准化。例如，如果能在记录头中内置调节压力用的阀装置，就能够在不同墨供给方式的记录装置之间实现阀装置的通用。但由于现有的阀装置的构造尺寸大，记录头呈大型化。因此事实上没能将阀装置内置到记录头中。

[0009] 再者，因为现有的阀装置的外壳构件(盒等)为树脂制，容易透气。因此也成为导致墨盒内的墨水分产生蒸发、或使侵入到墨盒内的气体在墨中形成气泡等的原因。所以，在阀装置中要求降低成为水分蒸发和气泡产生的原因的透气性。

发明内容

[0010] 本发明提供能够具备压力调节阀制成超小型的阀装置的液体喷射装置。

[0011] 本发明提供一种液体喷射装置，其可卸下地安装，与收纳液体的液体容器一起使用，其中，具备：

[0012] 沿规定的轨道可移动地设置的托架；

[0013] 液体喷射单元，其搭载于所述托架上，包括喷射从所述液体容器供给的液体的喷射口；

[0014] 阀装置，其设在所述液体喷射单元上，开闭流路而调整从所述喷射口喷射的所述液体的压力，

[0015] 所述阀装置，具备：

[0016] 层叠体，其包括为形成所述流路而相互层叠的多个板构件；

[0017] 阀部，其可动作地设在所述层叠体上，开闭所述流路；

[0018] 驱动部，其产生驱动所述阀部的驱动力，所述阀部基于所述驱动部的驱动力而打开所述流路；

[0019] 传递部，其设在所述阀部和所述驱动部之间，将该驱动部的驱动力传递到所述阀部，

[0020] 并且，所述多个板构件包括：

[0021] 包括所述驱动部的第一板构件；

[0022] 第二板构件，其包括作为所述流路的一部分发挥功能的孔，所述阀部在堵住所述孔的封闭位置、和基于经由所述传递部传递的所述驱动部的驱动力而打开所述孔的开放位置之间移动；

[0023] 第三板构件，其与所述阀部形成一体，

[0024] 所述传递部插通所述第二板构件的孔，

[0025] 所述阀部包括：从所述第三板构件延伸的基端、和与该基端相反侧的前端，[0026] 所述第二板构件还形成有定位部，其在划分该第二板构件的孔的内周面上形成，决定所述传递部在所述孔内的位置，而使所述传递部接触所述阀部的前端附近。

[0027] 本发明的优点及特征在下述实施例中进行描述，包括本发明主旨的附图、举例说明。

附图说明

[0028] 图1是本发明的第一实施方式的打印机的概略立体图。

[0029] 图2是图1所示的墨盒及托架的概略截面图。

[0030] 图3是图2中的记录头(头单元)的概略截面图。

[0031] 图4A是图2中的头芯片的概略立体图。

[0032] 图4B是图4A中的头芯片的侧视图。

[0033] 图5是图4A中的头芯片的V-V线截面图。

[0034] 图6是图5的阀单元的概略分解立体图。

[0035] 图7A是表示图6的阀体头部的概略立体图。

[0036] 图7B是表示图6的阀体的轴部及密封构件的概略立体图。

[0037] 图7C是图6的阀体及密封构件的概略侧视图。

[0038] 图8A是表示图6的阀固定板的贯通孔的概略俯视图。

[0039] 图8B是表示图6的阀保持板的贯通孔的概略俯视图。

[0040] 图9A是将图6的阀体安装在层叠体上的方法说明俯视图。

[0041] 图9B是将图6的阀体安装在层叠体上的方法说明俯视图。

[0042] 图10A是图6的阀单元的制造方法立体图。

[0043] 图10B是图6的阀单元的制造方法立体图。

[0044] 图10C是图6的阀单元的制造方法立体图。

[0045] 图10D是图6的阀单元的制造方法立体图。

[0046] 图11是本发明的第二实施方式的阀单元的概略分解立体图。

[0047] 图12A是图11的阀单元的制造方法立体图。

[0048] 图12B是图11的阀单元的制造方法立体图。

[0049] 图12C是图11的阀单元的制造方法立体图。

[0050] 图13A是图11的阀单元的放大俯视图。

[0051] 图13B是图11的阀单元的放大俯视图。

[0052] 图14是图11的阀单元的概略截面图。

具体实施方式

[0053] 以下，参照图1～图10对本发明的第一实施方式的喷墨式记录装置(下称记录装置)10进行说明。

[0054] 图1为第一实施方式的记录装置10的概略立体图。如图1所示，作为液体喷射装置的记录装置10，具备包括底板、左右侧板及背板的规定形状的主架11。架设在主架11内侧的导向轴12插通托架13的插通孔13a。托架13沿着导向轴12在主扫描方向X上自由移动。在托架13的背面上伸展有与导向轴12的轴方向平行延伸的环状同步带14。托架13被固定在该同步带14的一部分上。当配设在主架11的一端附近上的托架电动机15正向或逆向旋转驱动时，托架13在主扫描方向X上往复移动。

[0055] 在托架13的下部搭载有作为液体喷射单元(液体喷射头)的喷墨式记录头(下称记录头16)。在记录头16的下面设有喷嘴形成面16a(参考图2、图3)。在主架11的底板上设有规定该喷嘴形成面16a与记录纸17间隔的压纸卷筒18。另外，在托架13的上部安装有可拆卸的黑色墨盒19及彩色墨盒20。记录头16可以从喷嘴形成面16a的各个喷嘴口喷射(喷出)各个墨盒19、20供给的墨。在墨盒20中个别地装有例如靛蓝(C)、洋红(M)、黄(Y)等3色墨。

[0056] 记录装置10还包括设置在其背面的供纸托盘(未图示)和供纸装置22。在供纸托盘上可以放置多张记录纸17。供纸装置22仅将供纸托盘上放置的多张记录纸17中最上面的一张记录纸分离后进行供纸。当配设在主架11的一侧(同图中为右侧)下部的送纸电机23驱动时，记录纸17被送向副扫描方向Y。供纸时记录纸17沿着副扫描方向Y被前后两处设置的未图示的一对传送辊挟持。当托架13在主扫描方向X上往复移动时，从记录头16的喷嘴16b(参考图2)向记录纸17上喷射墨。而且，托架13不移动时，记录纸17向副扫描方向Y被传送规定的距离。如此通过交互反复地进行喷射墨和供纸的动作在记录纸17上进行记录(印刷)。在本发明中喷嘴16b起到液体喷射单元的喷射口的作用。

[0057] 如图1所示，托架13的移动路径上的一端(同图中的右端)被设定为初始位置。在初始位置上配设有对记录头16进行清洁的维护单元25。维护单元25具备防止记录头
16的喷嘴中的墨干燥的大致四边形的帽26、和用于擦拭喷嘴形成面16a的擦拭器27、以及被配置在帽26邻接位置上的吸引泵28。当托架13移动到初始位置时，记录头16位于帽
26的正上方。而且，帽26上升封住记录头16的喷嘴形成面16a。清洁时吸引泵28驱动，以向被帽26封住的喷嘴形成面16a和该帽26之间的空间施加负压。如此墨被记录头16的喷嘴吸出。从帽26吸出的废墨通过未图示的管子排出到配置在压纸卷筒18下方的废液罐29中。另外，吸引泵28通过例如供纸电动机23被旋转驱动。

[0058] 图2为图1中的墨盒20及托架13的概略截面图。以彩色墨盒20为例进行说明。如该图所示，在托架13的上面设有中空构造的供给针30(导入针)。在托架13的下面安装有记录头16。供给针30具有由前端部上穿孔的导入孔30a和与导入孔30a连通的中空部分组成的流路30b。

[0059] 记录头16包括安装在托架13下面的盒式打印头31和附装在该盒式打印头31下面的打印头芯片32。在盒式打印头31的上面的凹部31a中配置防止流入供给针30的流路30b内的墨中的杂质流进记录头16的流路33的过滤器34。

[0060] 在打印头芯片32上对应流路33的位置上设有阀单元50。流路33包括设在阀单元50和供给针30之间的上游流路33a以及设在阀单元50和喷嘴16a之间的下游流路33b。阀单元50起到将下游流路33b内的墨的液压保持在规定值的减压阀的功能。阀单元50被内置在记录头31中。在第一实施方式中，阀单元50将具有大气压(约1atm)的上游流路
33a内的墨的压力减压，将下游流路33b内的墨的压力保持在低于大气压的规定负压。下游流路33b与贮存器65(图5所示)连通。贮存器65经过从该贮存器65起分支成和喷嘴
16b的数量相同的多个分支流路，与分别安装有压电振荡器35的各个墨室68(图5所示)连通。各个墨室68又与在喷嘴形成面16a上开口的多个喷嘴16b(喷嘴口)连通。安装在打印头芯片32上的压电振荡器35通过施加驱动电压(脉冲电压)进行驱动，墨滴被从喷嘴16b喷射(喷出)。

[0061] 墨盒20包括盒36。在盒36内划分的储藏室36a中储存墨。在盒36的上部穿孔，形成连通储藏室36a和盒子36的外侧大气的通气孔36b。因此，储存在储藏室36a中的墨具有与大气压大致相同的压力。当把墨盒20装入托架13时，供给针30贯穿设在墨盒20的供给口部36c上的橡胶制的垫圈37。而且，大气压的墨经过供给针30的导入孔30a从储藏室36a内流入流路30b，该墨再通过过滤器34被供给到流路33。

[0062] 在现有的技术中，在内置于墨盒中的差压调节阀的作用下，比大气压还低的规定负压的墨从墨盒供给到过滤器。以此相对，在第一实施方式中，在安装于打印头芯片32上的小型阀单元50的作用下，通过过滤器34后的墨被减压。即，在第一实施方式中，具有大气压的墨通过过滤器34。

[0063] 在墨盒20的侧部设有电路板38(墨盒IC)和连接端子38a。当把墨盒20装入托架13时，连接端子38a与托架13的接触端子39产生电连接。记录装置10包括起到控制部分功能的CPU(无图示)，CPU对安装在电路板38上的半导体记忆元件的数据进行读取和记录。在半导体记忆元件中，储存有墨盒20的墨种类、序列号、墨消耗量、有效期等各种墨盒信息数据。另外，黑色墨盒19也包括储藏室36a和供给口部36c，与彩色墨盒20具有同样的构造。

[0064] 图3为图2中的记录头16的概略截面图。图3表示用与通过图2中供给针30的副扫描方向Y平行的面切断的截面。

[0065] 如图3所示，在托架13上供给针30及记录头16作为一个打印头单元40被组合为一体。该打印头单元40具有包括供给针30的针墨盒41、盒式打印头31以及打印头芯片32。针墨盒41和盒式打印头31通过熔敷或嵌入接合在一起。

[0066] 针墨盒41包括可以插入墨盒20的供给口部36c的具有圆形开口的凹部41a、和凸出在凹部41a的底面中央部的供给针30。在针墨盒41和盒式打印头31之间的接合位置上，在供给针30上形成的流路30b和盒式打印头31上形成的流路33之间配置过滤器34。再在针墨盒41和盒式打印头31之间的接合位置上，在针墨盒41的前端(同图中的左端)上设置FFC连接器42、和安装该FFC连接器42的头基板43。FFC连接器42的一部分露出到头单元40的外侧。在FFC连接器42上电连接有从设在主架11上的控制部分(无图示)延伸的FFC(软性扁平电缆)(未图示)。所以，可以通过FFC在控制部分和打印头基板43之间进行信号和数据的收发。在打印头基板43上，安装有为了驱动和控制记录头16所需的各种电子电路及用于获取必要的检测信息的各种传感器。

[0067] 从头基板43延伸的FPC44(柔性印制电路)，与通过盖头(cover head)45安装在盒式打印头31下面的打印头芯片32产生电连接。在EPC44上安装有为了控制压电振荡器35的驱动的传动器驱动控制用打印头IC46(驱动IC)。打印头IC46具备用于生成为了驱动各个压电振荡器35的喷射驱动脉冲(驱动电压)的驱动电路。喷射驱动脉冲按每个喷嘴16b生成，而供给到对应的各个压电振荡器35(参考图2)。而且，阀单元50被封装在打印头芯片32的上面中的、对应在盒式打印头31内形成的流路33a的位置上。

[0068] 图4A为图3中的打印头芯片32的立体图，图4B为打印头芯片32的侧视图。

[0069] 打印头芯片32包括层叠基板47和安装在基板47上面的4个阀单元50以及4个促动器(actuator)部48。

[0070] 阀单元50包括其主体即层叠体51、和与层叠体51的上面开口连通的输入口52、以及在输入口52内设置的阀53。输入口52与盒式打印头31内的上游流路33a连通。通过过滤器34流入流路33a的大气压下的墨，从流路33a流入输入口52。阀53包括减压阀装置，形成在基板47内的下游流路33b内的墨被减压阀保持在规定的负压。

[0071] 促动器部48形成为包括压电振荡器35的薄膜层，该压电振荡器35的数量与对应墨颜色的喷嘴16b的数量(例如80～180个)相同。在对应各喷嘴16b的位置上各压电振荡器35排列成一列。在基板47内部形成的下游流路33b，通过与阀单元50对应的贮存器65以及从贮存器65分出的与喷嘴16b的数量相同的多个分支流路，与多个储墨室68连通。在基板47的上面与储墨室68对应的位置上设置压电震动器35。在第一实施方式中，阀单元50的厚度约为1mm，促动器部48的厚度约为0.3mm。内置于记录头16中的阀单元50的主体厚度优选在2mm以下。但是，可以根据用途对阀单元50主体的厚度进行变更。

[0072] 图5为图4A中的打印头芯片32的V-V线截面图。基板47具有例如用粘合剂相互粘接及层叠的喷嘴板61、流路板62、供给板63的3层构造。在基板47的上面形成墨供给口64，阀单元50覆盖墨供给口64而安装。墨供给口64与贮存器65连通。在基板47上面直立设置由绝缘材料构成的隔层66。在隔层66上层叠作为促动器部48的压电振荡器35作用的压电层67。由隔层66和压电层67包围的空间形成储墨室68。在基板47上形成与储墨室68连通的喷嘴孔69，在喷嘴孔69中，形成在喷嘴板61中的部分被划分为喷嘴16b。

[0073] 另外，流路板62也可以具有作为从贮存器65分出的多个分支流路及该各分支流路连通的储墨室分别发挥作用的多个贯通孔。该多个贯通孔可以通过蚀刻形成。即，可以在流路板62的两面上层叠的喷嘴板61和供给板63之间形成多个分支流路及储墨室。这种情况下，通过溅射法等的PVD法和CVD法在供给板的上面形成薄膜的压电层。因此使形成精密的压电振荡器35成为可能。另外，压电层最好包括压电材料层和夹住压电材料层的一对电极层(未图示)。

[0074] 其次，对阀单元50的构成进行说明。在阀单元50的层叠体51上形成流路71，该流路71连通与层叠体51的上面开口相连的输入口52和与层叠体51的下面开口相连的输出口72。阀单元50设置在基板47上，使输出口72与墨供给口64连通。

[0075] 层叠体51包括多个作为板构件的层叠薄膜板73、流路板74、阀保持板75及阀固定板76。流路板74及阀保持板75由金属或陶瓷形成。在第一实施方式中，例如使用的是玻璃基板或硅基板(硅晶片)。阀固定板76优选由向阀体86推压的具有弹性的金属材料形成。在第一实施方式中使用例如SUS。

[0076] 层叠薄膜板73起到本发明的第一板构件的功能。层叠薄膜板73包括多个副板。在第一实施方式中，层叠薄膜板73包括薄膜78(第一副板)和板79(第二副板)以及板
77(第三副板)。板77、79例如由SUS构成，薄膜78由树脂材料构成。薄膜78优选由树脂材料中的特别是透气性低的材料形成。因为树脂材料的透气性一般高于其它材料。所以为了降低透气性，板77、79优选由树脂以外的材料，例如金属或无机材料形成。采用金属材料时，除了SUS之外还可以使用例如铁、铜、铝、镍等金属。但这种情况下，需要对使用的液体具有耐腐蚀性(耐化学性)。因此，使用金属时优选在其上面上进行镀覆以提高耐腐蚀性。
例如可以在铁上面上镀镍或镀锌。

[0077] 阀单元50包括在层叠薄膜板73的中央部上形成的受压板部79a。具体地说就是受压板部79a形成在板79上，受压板部79a的基端被板79支承。受压板部79a的前端为自由端。阀单元50还包括用于确保受压板部79a的变位量而大致U字形地包围受压板部79a的周围的薄膜78a(参考图6)。薄膜78a起到本发明的驱动部的功能。薄膜78a形成在薄膜78上。在阀单元50的内部通过受压板部79a及薄膜78a划分出液压室80(第一压力室)和大气压室81(第二压力室)。液压室80起到流路71的一部分的功能。大气压室
81通过大气连通孔81a向阀单元50的外侧(大气)开放。所以大气压室81可以经常保持大气压。受压板部79a承受对应液压室80的液压(墨压)和大气压室81的大气压的压力差的力。例如当液压变得小于大气压时，如图5中双点划线所示受压板部79a承受向液压室80内位移的力。

[0078] 流路板74起到本发明的第二板构件的功能。流路板74包括作为各个流路71的一部分作用的2个贯通孔74a、74b。在流路板74的上面配置由橡胶材料构成的圆环状密封构件85(O型环)，包围与液压室80连通的贯通孔74a的开口。阀保持板75包括阀体86及收纳密封构件85的贯通孔75a。

[0079] 作为阀53的一例的阀体86，包括起到阀部功能的大致圆板状的阀板部87、和从阀板部87的上面垂直突出设置的圆柱状的头部88、和从阀板部87的下面垂直突出的轴部89。轴部89在本发明中起到传递部的功能。轴部89相对阀体86的轴心仅偏心规定的偏移量。密封构件85起到阀座的功能。当阀板部87与密封构件85的上面全部接合时阀体
86闭阀。另外，在闭阀状态下，阀体86的轴心与密封构件85的轴心一致。

[0080] 阀固定板76起到本发明的第三板构件的功能。阀固定板76在将阀体86推向密封构件85的方向上(闭阀方向)推压。所以，阀体86被阀固定板76保持(固定)。具体地说，阀体86的阀板部87的上面与阀固定板76的板簧部76b接触，在板簧部76b的弹力作用下阀体86被向下方推压。因此，阀板部87的下面被推向密封构件85，阀体86被保持在闭塞流路71(贯通孔74a)的闭阀状态。另外，板簧部76b在与相对密封构件85的轴心偏心的轴部89的反方向位置上和阀板部87接触。阀体86的轴部89被插入贯通孔74a后突出到液压室80内。轴部89的下端部与受压板部79a的基端上面接触。

[0081] 当压电振荡器35驱动时，从喷嘴16b喷出液滴。于是流路33b内的液体量减少导致液压室80内的液压降低。结果在液压室80内的液压和大气压的压差作用下，产生使受压板部79a向液压室80内位移位，将轴部89的阀体86推向上方的力。该力大于将阀体86向下方付势的板簧部76b的付势力时，受压板部79a向上方位移后将阀体86的轴部89上推。此时，如图5中的双点划线所示，受压板部79a以被板79支承的底部为支点倾动。阀体86的轴部89与倾动的受压板部79a的基端(支点附近)上面接触。所以，如图5所示，轴部89在受压板部79a发出的力作用下被推向左斜上方而倾动。即，阀体86以与板簧部76b接触的位置为支点可以倾动规定的角度。而且，受压板部79a向轴部89发出的力的方向(图5中的左斜上方)与阀体86的倾动方向对应。结果在阀板部87和密封构件85之间形成间隙，阀单元50开阀。

[0082] 图6为图5中的阀单元50的分解立体图。阀单元50如前所述包括层叠薄膜板73、流路板74、阀保持板75、阀固定板76、密封构件85及阀体86。层叠薄膜板73是包括板
77、78、79的3层构造。板77、79和薄膜78被粘合剂粘接在一起。受压板部79a及薄膜78a使用加工前的层叠薄膜板73按以下的加工顺序制成。

[0083] 首先在加工前的层叠薄膜板73的一面(表面)上涂布光致抗蚀剂(photo resist)。其次通过对层叠薄膜板73的上面的规定区域进行曝光及显影形成凹部79b及贯通孔73a的图案。凹部79b的图案被形成在与液压室80对应的区域。再在凹部79b及贯通孔73a的图案以外的区域上涂布起到掩膜功能的光致抗蚀剂。接着在层叠薄膜板73的另外一面(背面)上涂布光致抗蚀剂。然后在层叠薄膜板73的背面的规定区域上进行曝光及显影处理形成大气压室81的图案。再在大气压室81的图案以外的区域涂布起掩膜功能的光致抗蚀剂。接着将层叠薄膜板73按规定时间浸渍于蚀刻液中，对层叠薄膜板73的两面进行蚀刻(第一蚀刻工序)。在第一蚀刻工序中，对板79进行蚀刻时使凹部79b的底面厚度与受压板部79a的厚度大致相同。再者，通过该第一蚀刻工序，板77被蚀刻成与大气压室81的图案区域中的板79相同的深度。

[0084] 其次，在板79上形成的规定深度的凹部79b的底面上涂布光致抗蚀剂。再对凹部79b内的规定区域进行曝光及显影处理形成薄膜78a的图案。接着在薄膜78a的图案以外的区域涂布起掩膜功能的光致抗蚀剂。对于板77(层叠薄膜板73的背面)原样使用在第一蚀刻工序中用过的掩膜。然后将层叠薄膜板73按规定时间浸渍于蚀刻液中，对层叠薄膜板73(板79的凹部79b及板77)进行蚀刻(第二蚀刻工序)。通过该第二蚀刻工序，凹部
79b的底面进一步被蚀刻成大致U字形。结果形成液压室80，薄膜78a(薄膜78)露出到液压室80中。再者，通过第二蚀刻工序，板77仅被蚀刻为与板79相同的深度。结果形成大气压室81，薄膜78a(薄膜78)露出到大气压室81中。另外，由树脂材料构成的薄膜78不会被板77、79的蚀刻液所蚀刻。所以，在第二蚀刻工序中可以确保使薄膜78露出的充分的蚀刻时间。

[0085] 如此，通过将凹部79b的底面蚀刻成大致U字形的第二蚀刻工序形成薄膜78a，即，在第二蚀刻工序中没有被蚀刻的凹部79b的底面的残余部形成受压板部79a。另外，在贯通孔73a的图案形成区域中仅残留薄膜78。之后除去在第一及第二蚀刻工序中用作掩膜的光致抗蚀剂，对层叠薄膜板73进行清洗。

[0086] 其次，用喷射压空的夹具对层叠薄膜板73的一面进行大致密封。在此状态下，从夹具喷射压空使薄膜78a塑性变形。压空的喷射在将层叠薄膜板73加热到薄膜78的树脂材料的玻璃化转变点以上的温度后进行。如此薄膜78a保持塑性变形后的挠曲形状。通过使薄膜78a保持挠曲，可使受压板部79a按照必要的位移量进行位移。之后，除去残留在贯通孔73a区域内的薄膜78a形成贯通孔73a。当然，如果没有压空的泄漏等的影响，去除残留在贯通孔73a区域内的薄膜78a也可以在压空工序之前进行。

[0087] 还有，使薄膜78a保持挠曲的加工方法不局限于喷射压空的方法。例如也可以采用将模压夹具按压向呈略U字形露出的薄膜78a、机械性地使薄膜78a塑性变形的方法。另外，除压空之外也可以喷射水等液体。再者也可以采用喷射加工用的粒子的喷沙法。还可以用溅射法中使分子碰撞后产生的能量使薄膜78a产生挠曲。使薄膜78a产生挠曲的加工方法(压空、粒子、夹具等)所用的力优选仅施加于薄膜78a，但也可以将加工方法所用的力施加到包括受压板部79a及薄膜78a的凹部79b的整体上。

[0088] 在此，作为层叠薄膜板73的其它制造方法，也可以采用将事先挠曲的薄膜夹在SUS之间的制造程序。但这种情况下，难以使薄膜的挠曲部分与SUS的贯通孔的位置对准。与此相对，在第一实施方式中，使用将薄膜78夹在中央层的3层构造的薄膜板73。而且，使薄膜78露出后，使露出的薄膜78挠曲。这样的制造程序可以使薄膜78的规定位置确实地挠曲。

[0089] 另外，在第一实施方式中，也可以将流路板74和阀保持板75形成在1张板上，并将插入轴部89的贯通孔74a和收纳密封构件85及阀体86的贯通孔75a形成在1张板上。这种情况下，对1张板的两面进行半蚀刻形成贯通孔74a、75a。

[0090] 流路板74由金属材料或无机材料构成。在第一实施方式中，流路板74由SUS构成，通过对SUS板进行蚀刻形成2个贯通孔74a、74b。贯通孔74a被形成为阀体86的轴部89与受压板部79a的基端附近的位置接触。另外，贯通孔74b被形成为连通贯通孔73a和凹部78b双方的长孔。

[0091] 阀保持板75由金属材料或无机材料构成。在第一实施方式中，阀保持板75由SUS构成，贯通孔75a形成在和贯通孔74a相对的位置上，具有大致十字形的开口。另外，流路板74和阀保持板75中的至少一方也可以由Si(硅)或玻璃构成。

[0092] 为了使板簧部76b具有规定的弹性系数，阀固定板76由金属材料构成。在第一实施方式中，阀固定板76由SUS构成。贯通孔76a被形成在和贯通孔75a相对的位置上。在阀固定板76上突出设置从贯通孔76a的周围起向内侧延伸的相互相对的一对板簧部76b。

[0093] 密封构件85具有比贯通孔74a的直径大的内径，且具有比贯通孔75a的内径大的外径。

[0094] 阀体86具有阀板部87、头部88及轴部89。阀板部87触及作为阀座的密封构件86起到阀部的功能。阀体86被板簧部76b推压时，轴部89通过贯通孔74a可以接触到受压板部79a的上面。

[0095] 层叠薄膜板73、流路板74、阀保持板75及阀固定板76分别4层层叠时的合计厚度约为1mm。例如层叠薄膜板73的适当厚度应为0.1mm～0.6mm，流路板74的适当厚度应为0.02mm～0.2mm，阀保持板75的适当厚度应为0.05mm～0.4mm，阀固定板76的适当厚度应为0.02mm～0.2mm。各个薄板的厚度可以根据阀体86及密封构件85的各个尺寸、流路的厚度方向的必要长度等各种条件进行设定。

[0096] 图7A所示为图6中的阀体86的头部88的立体图。图7B所示为阀体86的轴部89及密封构件85的立体图。图7C为阀体86及密封构件85的侧视图。阀体86的头部88具有贯穿其上面中央延伸的槽88a。槽88a中能够插入将阀体86组装到层叠体51上时使用的精密螺丝刀等工具的前端。阀板部87具有线对称地对其外周面的一部分开槽形成的一对切口凹部87a、和由其外周面的剩余部分形成的突起87b。阀板部87具有从头部88的上方起线对称的形状(参考图9)。如图7C所示，阀板部87的轴线与头部88的轴线一致。
如图7B所示，具有阀板部87的轴部89的面与密封构件85接触，该面与密封构件85紧贴时阀体86关闭流路。

[0097] 轴部89的轴线相对于略圆板状的阀板部87的轴线(图7C中用一点划线表示的密封构件85的轴心)按规定的偏移量偏心。另一方面，如图7C所示，突起87b相对于阀体86的轴线(密封构件85的轴心)形成在与轴部89相反侧上。板簧部76b与该突起87b接触。所以，当阀体86的轴部89因受压板部79a的力被上推时，阀体86在按压该突起87b的板簧部76b的推压力的作用下向左斜上方倾动。阀板部87的轴线(即阀体86的轴心)与密封构件85的中心(环状中心)一致。

[0098] 图8A所示为图6中的阀固定板76的贯通孔76a的俯视图。图8B所示为图6中的阀保持板75的贯通孔75a的俯视图。如图8A所示，一对板簧部76b在从贯通孔76a的中心(密封构件85的中心)，以规定的偏移量向和直径方向平行移动的线上，从划分贯通孔75a的内周面朝向内侧相互相对突出。板簧部76b与切口凹部87a相对时(图8A中的双点划线所示)，板簧部76b不与阀体86的突起部87b接触。在这种状态下安装阀体86时，阀体86通过贯通孔76a被插入到贯通孔75a内。

[0099] 如图8B所示，大致十字形的贯通孔75a，具有在圆周方向上以90度间隔向外侧凹陷的4个凹部75c、和以比凹部75c更小的内径划分的、连通4个凹部75c的4个内壁面75b。阀板部87的外周径比内壁面75b的内径小一些。所以，阀板部87可以插入到贯通孔
75a中。密封构件85的外径略大于内壁面75b的内径。所以，密封构件85可以插入到贯通孔75a的内壁面75b中。如此，使密封构件85的轴心与贯通孔74a的轴心保持一致而决定其在贯通孔75a内的位置。

[0100] 图9A、图9B为向图6中的层叠体53上安装阀体86的方法的说明图。首先如图9A所示，在切口凹部87a与板簧部76b相对的位置上，将阀体86插入贯通孔76a。安装阀体86时，已经将密封构件85按压插入到贯通孔75a中。其次，将阀体86推向密封构件85，将阀板部87的上面按压到比板簧部76b的下面低的下方。接着，将精密螺丝刀(一字形螺丝刀)等工具的前端插入槽88a中，将工具仅转动半圈。结果如图9B所示，阀板部87的突起87b的上面与板簧部76b的下面接合。这种状态下，阀体86在板簧部76b的弹力作用下被向下方(图9B中与纸面垂直方向的内侧)推压。

[0101] 图10A～图10D表示图6中的阀单元50的制造方法。如图10A所示，首先用粘合剂将层叠薄膜板73、流路板74及阀保持板75粘接到一起。接着将密封构件85插入到贯通孔75a中。如图10B所示，密封构件85的位置由贯通孔75a的内壁面75b决定。

[0102] 接着，用粘合剂将阀固定板76粘接在阀保持板75的上面形成层叠体51。然后，将阀体86插入到层叠体51的贯通孔76a中。而且，如图9A、B所示，用卡合于槽88a的工具使插入到贯通孔76a内的阀体86转动半圈，如图10D所示安装阀体86。此时，也可以在层叠体51的贯通孔76a、75a中预先安装好密封构件85及阀体86。实际制造时，为了高效率地生产阀单元50，可以制造大号的母层叠体。而且，可以通过切断母层叠体一次性制造多个层叠体51。

[0103] 在第一实施方式中，由于阀单元50被形成为约1mm后的超薄型(超小型)，可以内置于记录头16。因此，墨盒20内的墨经由过滤器34及上游流路33a到抵达阀单元50为止，墨的压力一直保持为大气压。即，墨首先被记录头16内的阀单元50减压。因此墨盒20内外几乎没有压力差。其结果氮、氧等气体很难透过形成墨盒20和打印头单元40的树脂材，墨中不易产生气泡。再者，在从墨盒20到喷嘴16b为止的墨流路中，比过滤器34更上游的流路中的墨压力为大气压。因此，墨中微小气泡的成长速度慢。也就是说即使墨中产生微小的气泡，这些小气泡也不易长大。所以可以实质上避免过滤器34中附着大气泡而导致墨的动压的上升。其结果能够避免比过滤器更下游的流路中的墨压力(负压)、特别是储墨室68内的墨压力变得不稳定。因此能够稳定地喷射适量的墨滴。

[0104] 如图5所示，当液压室80和大气压室81之间不产生压力差时，受压板部79a被保持在图5中实线所示的位置上。所以，阀板部87和密封构件85密接。即，阀板部87移动到闭塞贯通孔74a(墨流路)的封闭位置。当墨滴被喷出储墨室68及贮存器65内的墨量减少时，对应墨的减少量液压室80的液压也随之下降。其结果液压室80和大气压室81之间产生压力差，该压力差的应力作用于受压板部79a。从该受压板部79a传递到阀体86的力变得大于将阀体86按压向闭阀方向的力(板簧部76b的付势力及阀体86的重力)时，受压板部79a以其底部为支点向上方位移倾动。伴随该倾动与靠近受压板部79a的基端位置相接的轴部89被抬起。其结果阀体86倾动，阀板部87移动到开放贯通孔74a(墨流路)的开放位置。

[0105] 开阀时，上游流路33a内的墨从阀板部87和密封构件96的间隙流入到阀单元50内。随着墨的流入贮存器65及墨室68的墨压上升，液压室80和大气压室81之间的压力差变小。而且，从受压板部79a传递到轴部89的力，变得小于按压阀体86的力(板簧部76b的付势力及阀体86的重力)时，受压板部79a复位而阀体86下降。其结果阀关闭。之后，通过阀单元50反复开闭阀。其结果贮存器65及墨室68的墨压被稳定地维持在规定的负压，从而喷射出适量的墨滴。

[0106] 具备第一实施方式的阀装置(阀单元50)的记录装置10具有以下的优点。

[0107] (1)由于在层叠体51中装入阀体86，可以提供起到减压阀功能的厚度为1mm左右的超薄型的阀单元50。因此，有助于实现打印机(例如小型可携带的便携式打印机)的小型化。

[0108] (2)因为阀单元50为超小型，可以将阀单元50内置在记录头16中，因此，在墨供给方式不同的记录装置间可以采用通用的阀装置。所以无需分别制造、开发对应不同墨供给方式的阀装置。

[0109] (3)通过蚀刻法部分去除层叠薄膜板73使薄膜78的一部分露出后，对该露出部分进行挠性加工。所以，可以比较简单地制造受压板部79a及薄膜78a。如果在预先挠曲的薄膜上粘贴板材制作层叠薄膜板时，难以使薄膜与板材的位置保持一致。

[0110] (4)制成层叠体51后，将密封构件85及阀体86装入层叠体51。当在制造层叠体51的途中进行密封构件85及阀体86的部件的组装时，在装入部件后需要进行粘接最上层的薄板的工序。因此部件有可能被粘合剂弄脏。再者，最上层的薄板受到板簧部的反作用力(与按压力相反方向的力)，最上层的薄板有可能发生剥离。在第一实施方式中，在完成层叠体51后对部件(85、86)进行装配。所以能够高效地制造阀单元50。

[0111] (5)使与阀体86接触的板簧部76b的位置自阀体86的轴心(密封构件85的轴心)产生规定量的位移。再者，使轴部89的轴心从阀体86的轴心(密封构件85的轴心)向和板簧部76b相反的方向产生规定量的位移。因此，阀体86以与阀体86接触的板簧部76b的位置为支点倾动。所以，阀体86的开闭动作能够顺利进行。再者，由于轴部89和受压板部79a的基端附近接触，来自受压板部79a的力可以有效地传递到阀体86。因此，能够确保对抗板簧部76b的推压力的使阀体86工作所需的力。

[0112] (6)将起到把来自受压板部79a的力传递到阀板部87的传递部功能的轴部89与阀体86形成为一体。因此可以减少阀单元50的部件数。

[0113] (7)阀体86被插入到层叠体51的贯通孔76a后，被半旋转后安装。因此可以简单地将阀体86安装到层叠体51内。再者，在阀体86的头部形成有槽88a。因此，可以用工具简单地进行阀体86的安装。

[0114] (8)受压板部79a(板79)由金属材料构成。因此在受压板部79a中可以确保高弹性力，可以快速进行受压板部79a的弹性位移及原位复归。其结果随着液压室80的墨压力的变化，开闭阀动作的响应性变好，可以提高阀单元50的压力调节的精度。再者，板簧部76b(阀固定板76)也由金属材料构成。因此板簧部76b中也可以保持高弹性力。即，可以容易地获得将阀体86向闭法方向推压所需的充分的势能，同时开阀时可以迅速地使阀体
86闭阀。这也有助于优化阀体86的响应性，实现高精度的压力调节。

[0115] (9)连通阀单元50的输入口52和液压室80的流路(贯通孔74a)与连通输出口72和液压室80的流路(长孔74b)形成在液压室80的上层的流路板74上。所以，支承受压板部79a的薄膜78a被板77、79牢固支承。其结果可以在使其输入口和输出口一致的状态下，将阀单元50层叠后装入成为对象的部件(头芯片32)中。

[0116] (10)将大号的薄板层叠后制造出母层叠体，可以通过切割该母层叠体来制造阀单元50的层叠体51。能够一次制造出多个层叠体51。所以，也适宜对阀单元50进行量产。

[0117] (11)超小型的阀单元50能够内置于记录头16中。因此，可以在相对过滤器34更下游的流路上配置阀单元50。能够避免过滤器34中附着比较大的气泡导致动压变高或储墨室68的负压变的不稳定。所以，可以使墨室68的液压保持稳定。结果可以以稳定的喷射量喷射墨滴，能够保证高精度的印刷品质。

[0118] (12)因为阀单元50能够内置于记录头16中，所以可以在墨盒19、20上省去差压调节阀。因此，可以在不改变墨填充量的同时实现墨盒的小型化，或者在相同尺寸的墨盒内增加墨的填充量。另外，由于墨盒19、20上需要差压调节阀等的阀装置，所以可以压低作为耗材的墨盒19、20的制造成本。

[0119] (13)通过用液压室80和大气压室81之间的压力差开闭阀体86，调节比阀体86更下游的流路内的墨压。所以可以用大致稳定的大气压为标准调节墨压。因此，可以稳定地调节墨压。

[0120] (14)在阀固定板76的板簧部76b的作用下阀体86被推压向闭阀方向。因此，无需用螺旋弹簧等大型部件对阀体86推压。其结果可以将阀单元50制成薄型。

[0121] (15)形成层叠体51的板材材料，可以从硅薄板、玻璃薄板、金属薄板及包括金属层的层叠薄板中选择。所以层叠体51的薄膜78a被覆具有极低透气性的无机材料或金属材料。因此，可以提供气体难以透过的阀单元50。

[0122] 其次，按照图11～图14对第二实施方式的阀单元90进行说明。

[0123] 如图14所示，第二实施方式的阀单元90包括作为其本体的层叠体91、杆95、阀部94b及密封构件96(O型环)。杆95在本发明中起到传递部的功能。杆95在基于液压室80和大气压室81之间的压力差而位移的受压板部79a的作用下上下位移。阀部94b随着杆
95的上下移动而开闭。层叠体91的形成与第一实施方式相同，厚度约为1mm。

[0124] 如图11所示，层叠体91包括作为多个板构件的层叠薄膜板73、流路板92、杆保持板93及阀形成板94。层叠薄膜板73的形成与第一实施方式相同，具有受压板部79a和薄膜78a。另外，层叠薄膜板73还具有作为流路71的一部分形成的贯通孔73a。

[0125] 流路板92起到本发明的第二板构件的功能。该流路板92上形成有分别作为流路71的一部分发挥作用的贯通孔92a及长孔92b。杆95插入到贯通孔92a中。长孔92b与层叠薄膜板73的凹部79b及贯通孔73a连通。另外，流路板92上还形成有划分贯通孔92a的从内周面起向内侧突出的突起92c。突起92c作为本发明的定位部发挥作用，偏心及保持杆95。

[0126] 杆保持板93具有大致十字形的贯通孔93a和长孔93b，贯通孔93a具有沿圆周方向以90度间隔形成的4个凹部93d、和连接4个凹部93d之间的、用比凹部93d更小的内径划分的4个内壁面93c。长孔93b形成在与流路板92的长孔92b相对的位置上，长孔92b、层叠薄膜板73的凹部79b以及贯通孔73a相互连通。

[0127] 阀形成板94起到本发明的第三板构件的功能。阀形成板94上形成有大致C字状的圆弧状孔94a。通过圆弧状孔94a，在阀形成板94上形成舌片状的阀部94b。阀部94b、贯通孔93a及贯通孔92a对应受压板部79a的基端附近的位置。杆95经由贯通孔92a、93a被装入层叠体91中，使之与受压板部79a的基端上面接触。密封构件96被按压插入到贯通孔93a的内壁面93c中，在流路板92的上面上包围贯通孔92a。阀部94b具有从杆95朝向受压板部79a向该杆95推压的板簧部的功能。

[0128] 其次，对阀单元90的制造方法进行说明。首先如图12A所示，将层叠薄膜板73、流路板92及杆保持板93等3张用粘合剂进行粘合。这种状态下，层叠薄膜板73的凹部79b和贯通孔73a通过长孔92b、93b连通。接着，向图12A所示的贯通孔93a中依次插装杆95及密封构件96。

[0129] 如图13A所示，杆95被配置在从突起92c起比贯通孔92a的中心(即密封构件96的中心)更靠近阀部94b的前端的位置上。密封构件96通过被压入到贯通孔93a的4个位置的内壁面93c内而定位。密封构件96从层叠体的贯通孔93a的开口稍稍突出。

[0130] 其次，如图12C所示，用粘合剂将阀形成板94粘接在图12B所示的层叠体的上面上制成阀单元90。阀部94b与密封构件96接触被略微上推。这种状态下，阀部94b在其复原力的作用下，被规定的按压力按压向密封构件96。因此，阀部94b与密封构件96按压接触，阀单元90可以维持闭阀状态。

[0131] 如图14所示，当液压室80和大气压室81之间不产生压力差时，受压板部79a被保持在图14中实线表示的位置。所以，阀部94与密封构件96密接而闭阀。墨滴被喷出而墨室68及贮存器65内的墨量减少时，对应减少的墨量液压室80的液压下降。其结果液压室80和大气压室81之间出现压力差，因压力差发出的力作用于受压板部79a。从该受压板部79a传递到杆95的力变得大于将阀部94b下压向闭阀方向的力(阀部94b的付势力及杆95的重力)时，如图14中双点划线所示，受压板部79a以其底部为支点向上方位移倾动。随着该倾动与靠近受压板部79a的基端的位置接触的杆95被抬起。其结果如图14中双点划线所示，阀部94b抬起后流路开放。

[0132] 开阀时，上游流路33a内的墨从阀部94b和密封构件96的间隙流入阀单元90内。随着墨的流入，贮存器65及储墨室68的墨压上升，液压室80和大气压室81之间的压力差变小。而且，从受压板部79a传递到杆95的力，变得小于下压杆95的力(阀部94b的按压力及杆95的重力)时，受压板部79a复位，杆95降下。其结果阀(阀部94b)关闭。之后，反复进行阀单元90作用下的阀的开闭。其结果贮存器65及储墨室68的墨压被稳定地维持在规定的负压，可以喷射出适量的墨滴。

[0133] 另外，在第二实施方式中，可以使杆95与靠近受压板部79a的前端的位置接触。这种情况下可以延长杆95的移动行程。其结果可以进一步实现阀单元90的小型化。即，通过使杆95与靠近受压板部79a前端的位置接触，受压板部79a的长度即使变得较短，也可以容易地向杆95移动希望的行程。

[0134] 具备第二实施方式的阀装置(阀单元90)的记录装置，除了第一实施方式的(1)～(3)、(8)～(15)的效果之外，还具有以下的效果。

[0135] (16)在层叠体91的最上层的阀形成板94上形成阀部94b。因此，不再需要第一实施方式中的阀体86。即，在第二实施方式中用杆95代替了阀体86。作为将受压板部79a的位移传递到阀部94b的传递部的杆95，省去了设置在阀体86上的头部88(槽88a)和切口凹部87a。所以，阀构造比第一实施方式还要简单。因此阀单元90的制造及构造变得简单。

[0136] (17)杆95在贯通孔92a内通过突起92c配置在比贯通孔92a的轴心(即密封构件96的中心)更接近阀部94b的前端的位置。因此，作用于受压板部79a的力经由杆95被高效地传递到阀部94b。其结果可以用小的力高效地进行阀的开闭。杆95通过自划分贯通孔92a的内周面突出的突起92c定位。因此，可以使贯通孔92a的直径比杆95的直径足够大。所以能够放大墨流路直径。

[0137] 本发明在不脱离本发明的发明主旨的范围内还可以进行各种变形，该各种变形均包含于本发明，例如有如下各例。

[0138] (变形例1)阀单元不局限于内置于记录头的减压阀，也可以是内置于墨盒的差压阀。例如，大气压室81和流路33a连通，也可以形成具有与阀部(阀板部87或阀部94b)上游的液压相等的压力室。这种情况下，在阀部上游的压力室的液压和阀部下游的液压室80的液压之间的压力差的作用下，阀部进行开闭。所以阀单元50、90起到差压调节阀的作用。再者，安装阀装置(阀单元)的位置，不局限于记录头或墨盒。阀装置也可以配置在记录头和墨盒之间的流路上。例如阀装置也可以设置在墨盒和打印机托架之间的流路上。再者，也可以在副箱方式的托架的内部安装阀装置。也可以在下架型(Off Carriage Tape)的墨盒托架的内部设置阀装置。

[0139] (变形例2)也可以不在阀单元上设置受压板部79a。如果薄膜78a由具有一定强度的材质构成，薄膜78a也可以直接与轴部89或杆95接触。

[0140] (变形例3)在第一实施方式中，传递部也可以是代替阀体86的轴部89从受压板部79a突出的突起。在第二实施方式中，传递部也可以是代替杆95从受压板部79a突出的突起，或者是从阀部突出的突起。

[0141] (变形例4)薄膜78a也可以是在压力差作用下伸缩的橡胶膜。薄膜78a为橡胶膜时，可以不用对薄膜进行挠性加工。薄膜78a为树脂薄膜时，由于树脂的耐久性及强度一般高于橡胶，所以可以制成较薄的薄膜78a。

[0142] (变形例5)在第一实施方式中，阀固定板76(付势支承薄板)的材质不局限于SUS(单一的金属层)。也可以是包括至少1个金属层(SUS等)的层叠板。另外，在第二实施方式中，阀形成板94(阀形成薄板)的材质也可以是包括至少1个金属层(SUS和铜等)的层叠板。再者，层叠薄膜板73(驱动支承薄板)也可以是仅由使受压板部分变位形成的金属层构成的层叠板。

[0143] (变形例6)受压板部79a也可以被基端及前端的双方、或者3个以上的支承部所支承。这种情况下，支承部分优选具有有助于受压板的位移、容易挠曲的形状(细长而薄的形状)。

[0144] (变形例7)驱动阀部(87、94b)的驱动部不局限于基于液压室80和大气压室81之间的压力差而驱动阀部的差压驱动部(薄膜78a)。驱动部也可以使进行电驱动的压电元件。这种情况下，安装在层叠薄膜板73上的压电元件，通过施加驱动电压产生的电致收缩作用，使受压板部79a发生部分位移。再者驱动部也可以是在由施加到2个电极间的电荷产生的静电吸引力的作用下，使受压板部79a发生部分变位的静电元件。这种靠电驱动的驱动部与记录装置10(液体喷射单元)的液体喷射同步，按照被喷射的液量驱动阀部。其结果可以用对应液体的喷射时机及喷射量的开度或时间来开闭阀部。

[0145] (变形例8)阀单元也可以包括多个阀装置。即也可以通过切断母层叠体制造阀单元时，使之包括多个阀装置。

[0146] (变形例9)也可以是喷射墨以外的其它液体(包括分散有功能材料粒子的液状体)的液体喷射装置。例如，也可以是将分散或溶解有制造液晶显示器、EL(电致发光)显示器以及面发光显示器时使用的电极材料和染色材料等材料的液状体进行喷射的液体喷射装置、喷射制造生物芯片时使用的生物有机体的液体喷射装置、喷射用于精密吸液管使用的样品液体的液体喷射装置。而且，在这些液体喷射装置的任何一种上都可以适用阀装置。再者，阀装置不局限于液体喷射装置，可以应用于任意的装置。

[0147] 本发明并不限于在此给出的各例，不超出本发明的主旨范围的各种方式均包含于本发明。