一种太阳能电池片的制作方法

摘要

本发明属于太阳能电池片制作技术领域，具体涉及一种太阳能电池片的制作方法，包括制绒、清洗、扩散、边缘绝缘、去磷硅玻璃、镀减反射膜、丝网印刷、烧结等步骤，在镀减反射膜的过程中，采用管式PECVD镀膜的方法，以石墨舟作为硅片载体，本制作方法为在镀减反射膜时，等离子体电离并沉积的过程中，通过石墨舟板间电场强度产生改变，从而电池片表面的减反射膜的厚度发生变化，而呈现出不同的颜色，形成单片不同颜色的彩色太阳能电池片，本发明的可控性及可重复性好，灵活性高，可以实现小面积内彩色化。

权利要求

1.一种太阳能电池片的制作方法，包括制绒、清洗、扩散、边缘绝缘、去磷硅玻璃、镀减反射膜、丝网印刷、烧结等步骤，在镀减反射膜的过程中，采用管式PECVD镀膜的方法，以石墨舟作为硅片载体，其特征在于，所述石墨舟放置硅片的板面为平面，内部相对的石墨舟板面设有凸起。

2.根据权利要求1所述的一种太阳能电池片的制作方法，其特征在于，所述的石墨舟板面上的凸起高度为1mm-10mm。

3.根据权利要求2所述的一种太阳能电池片的制作方法，其特征在于，单片硅片范围内的石墨舟板面上的凸起有高度差。

4.根据权利要求2所述的一种太阳能电池片的制作方法，其特征在于，所述的石墨舟板面上的凸起组成有规则的图形或者图案。

5.根据权利要求2所述的一种太阳能电池片的制作方法，其特征在于，所述的石墨舟板面上的凸起组成无规则的图形或者图案。

说明书

一种太阳能电池片的制作方法

技术领域

[0001] 本发明属于太阳能电池片制作技术领域，具体涉及一种太阳能电池片的制作方法。

背景技术

[0002] 在晶体硅太阳能电池生产领域，硅片经过制绒、清洗、扩散、边缘绝缘、去磷硅玻璃等步骤之后，进入PECVD装置，镀减反射膜，等离子体增强化学气相沉积（PECVD）是目前主流的镀减反射膜的方法。PECVD设备主要有两种，即板式PECVD与管式PECVD。管式PECVD使用石墨舟作为硅片载体，在石墨周片间通入高频的射频电源，硅片作为电极的一部分，石墨舟片之间的间距均匀一致，故其中的电场强度均匀一致，通过此方法得到的减反射膜的厚度相同，颜色主要以蓝黑色为主。随着光伏行业的不断进步及光伏与建筑一体化的发展，市场对光伏产品提出了更高的要求，不但要保证效率的不断提升，对电池片的外观,尤其是颜色提出了更苛刻的要求。目前现有制作彩色电池片的工艺，可以实现整片显示某种颜色，如红、黄、绿等，但无法实现片内的彩色化。

发明内容

[0003] 本发明的目的就是针对上述存在的缺陷而提供一种太阳能电池片的制作方法，本制作方法为在镀减反射膜时，等离子体电离并沉积的过程中，通过石墨舟板间电场强度产生改变，从而电池片表面的减反射膜的厚度发生变化，而呈现出不同的颜色，形成单片不同颜色的彩色太阳能电池片，本发明的可控性及可重复性好，灵活性高，可以实现小面积内彩色化。

[0004] 本发明的一种太阳能电池片的制作方法技术方案为，包括制绒、清洗、扩散、边缘绝缘、去磷硅玻璃、镀减反射膜、丝网印刷、烧结等步骤，在镀减反射膜的过程中，采用管式PECVD镀膜的方法，以石墨舟作为硅片载体，其特征在于，所述石墨舟放置硅片的板面为平面，内部相对的石墨舟板面设有凸起。

[0005] 所述的石墨舟板面上的凸起高度为1mm-10mm，单片硅片范围内的石墨舟板面上的凸起有高度差。所述的石墨舟板面上的凸起组成有规则的图形、图案或者是组成无规则的图形或图案。

[0006] 本发明的有益效果为：本发明的一种太阳能电池片的制作方法，是在镀减反射膜过程中，通过装载硅片的石墨舟上的凸起，使石墨舟板间电场强度产生改变，在PECVD装置中，电场强度高的地方电离较为充分，沉积到电池片表面的膜层就较厚，单片电池片表面的减反射膜的厚度发生变化，呈现出不同的颜色，再经过丝网印刷、烧结等步骤，得到单片不同颜色的彩色太阳能电池片。本发明的可控性及可重复性好，灵活性高，可以实现小面积内彩色化，满足了光伏与建筑一体化发展过程中对光伏产品的外观要求。

[0007] 附图说明：图1所示为本发明实施例1的石墨舟基本结构示意图；
图2所示为本发明实施例2的石墨舟基本结构示意图
图3所示为本发明实施例3的石墨舟基本结构示意图。

[0008] 图中，1.石墨舟，2.硅片。

[0009] 具体实施方式：为了更好地理解本发明，下面用结合附图来详细说明本发明的技术方案，但是本发明并不局限于此。

[0010] 实施例1硅片2经过制绒、清洗、扩散、边缘绝缘、去磷硅玻璃等步骤之后，准备放入石墨舟1，进入PECVD装置，镀减反射膜。

[0011] 如附图1所示，石墨舟1放置硅片2的板面为平面，内部相对的板面设有凸起。板面上的凸起为间隔的阶梯状，阶梯间隔距离为 1cm-3cm，阶梯高度为1mm-10mm不等。

[0012] 镀减反射膜完成之后，将硅片2取出进行丝网印刷、烧结及检测分选。形成单片片内颜色不同的彩色太阳能电池片。

[0013] 实施例2硅片2经过制绒、清洗、扩散、边缘绝缘、去磷硅玻璃等步骤之后，准备放入石墨舟1，进入PECVD装置，镀减反射膜。

[0014] 如附图2所示，石墨舟1放置硅片2的板面为平面，内部相对的板面设有凸起。板面上的凸起为锯齿状，锯齿底部宽度为 1cm-15cm，锯齿顶端高度为5mm。

[0015] 镀减反射膜完成之后，将硅片2取出进行丝网印刷、烧结及检测分选。形成单片片内颜色不同的彩色太阳能电池片。

[0016] 实施例3硅片2经过制绒、清洗、扩散、边缘绝缘、去磷硅玻璃等步骤之后，准备放入石墨舟1，进入PECVD装置，镀减反射膜。

[0017] 如附图3所示，石墨舟1放置硅片2的板面为平面，内部相对的板面设有凸起。板面上的凸起为连续的阶梯状，每层宽度为 1cm-5cm，阶梯高度为1mm-10mm不等。

[0018] 镀减反射膜完成之后，将硅片2取出进行丝网印刷、烧结及检测分选。形成单片片内颜色不同的彩色太阳能电池片。